JP2008026279A - 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 - Google Patents
熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008026279A JP2008026279A JP2006202430A JP2006202430A JP2008026279A JP 2008026279 A JP2008026279 A JP 2008026279A JP 2006202430 A JP2006202430 A JP 2006202430A JP 2006202430 A JP2006202430 A JP 2006202430A JP 2008026279 A JP2008026279 A JP 2008026279A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- flow sensor
- substrate
- resistor
- gas flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
【課題】ダストが衝突しても、容易に破壊しないダイヤフラムを有し、ダスト衝突による特性劣化を防止可能な熱式ガス流量センサを実現する。
【解決手段】平板基板32に保護膜30a、30b、31a、電気絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、強度補強保護膜37、引き出し配線部34を形成する。平板基板32の裏面にはダイヤフラム2を形成する。基板32とダイヤフラム2の境界面において絶縁膜30cと同じ材質の補強絶縁部39が厚く堆積している。この補強絶縁部39は、ダストの衝突に対するダイヤフラム2の機械的強度を向上し、特性劣化を防止することができる。
【選択図】図3
【解決手段】平板基板32に保護膜30a、30b、31a、電気絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、強度補強保護膜37、引き出し配線部34を形成する。平板基板32の裏面にはダイヤフラム2を形成する。基板32とダイヤフラム2の境界面において絶縁膜30cと同じ材質の補強絶縁部39が厚く堆積している。この補強絶縁部39は、ダストの衝突に対するダイヤフラム2の機械的強度を向上し、特性劣化を防止することができる。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体薄膜により発熱抵抗体を構成した熱式ガス流量センサに関する。
自動車などの内燃機関の電子制御燃料噴射装置に設けられ吸入空気量の流量計や、半導体製造に用いる各種ガスおよび燃料電池に用いる水素/酸素の流量計として、熱式のガス流量計が質量ガス量を直接検知できることから主流である。
この中で特に、半導体マイクロマシニング技術により製造されたガス流量計が、コストが低減でき且つ低電力で駆動することができることから注目されてきた。
このような従来の半導体基板を用いたガス流量計としては、例えば、特許文献1や特許文献2に記載されているように、発熱抵抗体として耐熱性および材料コストの利点から、従来使用されていた白金に置き換えて多結晶ケイ素(ポリシリコン)を用いたものが知られている。
そして、特許文献2に記載されているように、発熱抵抗体等は、基板に形成されたダイヤフラム上に配置されている。
ところで、熱式ガス流量センサでは、測定対象となるガスにダストが含まれる場合、このダストがダイヤフラムに衝突し、ダイアフラムを破壊することにより、空気流量センサの特性を劣化させる場合がある。
本発明の目的は、ダストが衝突しても、容易に破壊しないダイヤフラムを有し、ダスト衝突による特性劣化を防止可能な熱式ガス流量センサ、この熱式ガス流量センサの製造方法及びそれを用いた内燃機関の制御装置を実現することである。
本発明の熱式ガス流量センサは、基板に形成されたダイヤフラム上に、発熱抵抗体と、温度検出抵抗体とを有し、上記ダイヤフラムの端部に補強絶縁部が形成されている。
本発明の内燃機関の制御装置は、空気流量を計測する熱式空気流量センサと、この熱式空気流量センサにより計測された流量に基づいて、空気流量を制御する手段とを備え、上記熱式空気流量センサは、基板に形成されたダイヤフラム上に、発熱抵抗体と、温度検出抵抗体とを有し、上記ダイヤフラムの端部に補強絶縁部が形成されている。
また、本発明の熱式ガス流量センサの製造方法は、基板に形成されたダイヤフラム上に、絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを備え、上記基板に絶縁膜を形成し、形成されるダイヤフラムの端部に対応する位置の上記絶縁膜を除去し、開口部分を形成し、上記開口部が形成された部分を高温熱酸化し、上記絶縁膜と同一材質の補強絶縁部を形成し、上記絶縁膜上に、発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を形成し、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体上に保護膜を形成し、上記基板の上記絶縁膜が形成された面と反対側の面にダイヤフラムを形成する。
好ましくは、上記熱式ガス流量センサにおいて、上記基板は、面方位(100)シリコンウエハで形成され、上記ダイアフラムは薄膜領域とバルクシリコン領域との境界で、かつダイアフラム端部の領域に上記補強絶縁部が形成されている。
本発明によれば、ダストが衝突しても、容易に破壊しないダイヤフラムを有し、ダスト衝突による特性劣化を防止可能な熱式ガス流量センサ、この熱式ガス流量センサの製造方法及びそれを用いた内燃機関の制御装置を実現することができる。
以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照して説明する。
なお、以下に示す実施形態は、本発明を熱式空気流量センサに適用した場合の例である。
なお、以下に示す実施形態は、本発明を熱式空気流量センサに適用した場合の例である。
図1は、本発明の一実施形態が適用される熱式空気流量センサの検出素子1の平面図であり、図2は図1のA−A'線に沿った断面図、図3は図1のB−B'線に沿った断面図である。
図1、図2、図3において、検出素子1はシリコンやセラミック等の熱伝導率の良い材料で構成される平板基板32に、保護膜30a、30b、31a、電気絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、強度補強保護膜37、引き出し配線部34を形成する。
その後、平板基板32を裏面からアルカリエッチ、例えばKOHやTMAH溶液などでエッチングすることで絶縁膜30cの下部に空間35を形成し、平板基板32に薄肉部(ダイヤフラム)2を形成する。
薄肉部2の表面には測定空気流量の温度と所定の温度差に加熱される発熱体としての発熱抵抗体3と、発熱抵抗体3の両側に温度検出手段としての温度検出抵抗体4、14が形成されている。なお、発熱抵抗体3はポリシリコン薄膜、白金薄膜、モリブデン膜などでつくられた抵抗体で、これらの抵抗体の抵抗値が温度により変化することを利用して、温度検出抵抗体4、14が配置された場所の温度を検出する。
発熱抵抗体3及び温度検出抵抗体4、14から信号線を引き出せるように配線部18〜23と、これら配線部18〜23に接続されるパッド8〜13が形成されている。これらの発熱抵抗体部3及び温度検出抵抗体4、14は、配線部18〜23を解してコンタクト部24〜29に接続される。そして、パッド8〜13を用いて外部に信号が取り出せるようにしている。発熱抵抗体3及び温度検出抵抗体4、14は、保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30cで覆われ、最表面には強度補強保護膜37が形成されている。
ここで、図3に示すように、基板32と空洞領域35の境界面において絶縁膜30cと同じ材質の補強絶縁部39が厚く堆積している。この補強絶縁部39は、ダストの衝突に対するダイヤフラム2の機械的強度を向上し、特性劣化を防止することができる。
ダイヤフラム2は4辺形の形状となっており、測定流体である空気を流す方向にほぼ直交する2辺に補強絶縁部39が形成されている。補強絶縁部39は、空気を流す方向にほぼ直交する2辺の全てに形成されるのが好ましいが、これら2辺のうちの部分的に形成されていても、ダイヤフラム2の機械的強度を向上することができる。
また、ダイヤフラム2の4辺全てに補強絶縁部39を形成すれば、さらに、ダイヤフラムの強度を向上することができる。
次に、本発明の一実施形態である熱式空気流量センサの製造方法について、図4〜図7を参照して説明する。
図4において、半導体基板32に、絶縁膜30c、絶縁膜(窒化膜等)31bを形成する。その後、図5に示すように、レジスト38などでダイアフラム2の端部(空気を流す方向にほぼ直交する2辺)に対応する部分に開口部を作成してパターンを形成する。そして、ドライエッチにて絶縁膜30c、絶縁膜31bを除去する。
次に、図6に示すように、レジスト38を除去し、この状態で高温熱酸化を行うと開口部のみ選択的に酸化される(LOCOS酸化)。そして、図7に示すように、選択的に酸化された箇所が絶縁膜30cと同一材質の補強絶縁部39となる。
次に、絶縁膜31bの上に絶縁膜30bを形成し、発熱抵抗体3および温度検出素子4、14を形成した後、保護膜31a、保護膜30aを形成する。そして、アルカリエッチやTMAH溶液等で、シリコン基板32をエッチングすると空洞部35が形成され、ダイヤフラム2が形成される(図3)。
これにより、面方位(100)シリコンウエハで形成されたダイアフラム構造を有する構造体(基板32)で、ダイアフラム構造は薄膜領域(ダイアフラム領域)とバルクシリコン領域の境界でかつダイアフラム端部の領域のみ補強絶縁部39となる絶縁膜が厚く堆積している熱式空気流量センサを製造することができる。
次に、本発明の効果を、図8、図9を参照して説明する。
図8は、本発明が適用されておらず、ダイヤフラムの端部に補強絶縁部39が形成されていない場合の例を示す図である。この図8に示した例では、ダイヤフラム2にダスト40が衝突した場合、ダイヤフラム2の端部に応力が集中し、破壊が発生する。
図8は、本発明が適用されておらず、ダイヤフラムの端部に補強絶縁部39が形成されていない場合の例を示す図である。この図8に示した例では、ダイヤフラム2にダスト40が衝突した場合、ダイヤフラム2の端部に応力が集中し、破壊が発生する。
これに対して、本発明が適用された場合は、図9に示すように、ダイヤフラム2にダスト40が衝突すると、ダイヤフラム2の端部に応力が集中するが、補強絶縁部39により破壊に至らない。
以上のように、本発明の一実施形態によれば、ダストが衝突しても、容易に破壊しないダイヤフラムを有し、ダスト衝突による特性劣化を防止可能な熱式空気流量センサ及びその製造方法を実現することができる。
図10は、上述した本発明による熱式空気流量センサが適用される内燃機関制御装置の要部概略構成図である。
図10において、エアクリーナ100から吸入された吸入空気116は、熱式空気流量センサ117が配置された主管118、吸気ダクト103、スロットルボディ104及び燃料が供給されるインジェクタ(燃料噴射弁)105を備えたインテークマニホールド106を経て、エンジンシリンダ107に吸入される。そして、エンジンシリンダ107で発生したガス108は排気マニホールド109を経て外部に排出される。
熱式空気流量センサ117は、エンジンルーム内のエアクリーナー100と、スロットルボディ104との間に設置される。熱式空気流量センサ117から出力される空気流量信号、吸入空気温度信号、スロットル角度センサ111から出力されるスロットルバルブ角度信号、排気マニホールド109に設けられた酸素濃度計112から出力される酸素濃度信号、及びエンジン回転速度計113から出力されるエンジン回転速度信号等は、コントロールユニット114に送信される。
コントロールユニット114は、送信された信号を逐次演算して、最適な燃料噴射量とアイドルエアコントロールバルブ開度とを求め、その値を使ってインジェクタ105及びアイドルエアコントロールバルブ115を制御する。
本発明による熱式空気流量センサ117が適用された内燃機関の制御装置によれば、ダスト衝突による特性劣化を防止し、空気流量の測定精度が向上されるので、内燃機関の制御精度を向上することができる。
なお、上述した例は発明を、熱式空気流量センサに適用した場合の例であるが、空気のならず、水素、酸素等の他のガス流量を測定するセンサにも適用可能である。
1・・・検出素子、2・・・ダイヤフラム(薄肉部)、3・・・発熱抵抗体、4・・・温度検出抵抗体、5〜7・・・配線部、8〜13・・・パット部、14〜17・・・配線部、18〜23・・・電極引き出し配線、24〜29・・・コンタクト部、30a、30b、31a・・・保護膜、30c、31b・・・絶縁膜、32・・・平板基板、33・・・コンタクト部、34・・・引き出し配線部、35・・・中空部、37・・・強度補強保護膜、38・・・レジスト保護膜、39・・・補強絶縁部
Claims (8)
- 基板に形成されたダイヤフラム上に、発熱抵抗体と、温度検出抵抗体とを有する熱式ガス流量センサにおいて、
上記ダイヤフラムの端部に補強絶縁部が形成されていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。 - 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記基板は、面方位(100)シリコンウエハで形成され、上記ダイアフラムは薄膜領域とバルクシリコン領域との境界で、かつダイアフラム端部の領域に上記補強絶縁部が形成されていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項2記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記基板上に、絶縁膜と、この絶縁膜上に形成される発熱的抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱的抵抗体及び温度検出抵抗体の上に形成される保護膜とを備え、上記補強絶縁部の材質は、上記絶縁膜と同一の材質であることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 内燃機関に供給する空気流量を計測する熱式空気流量センサと、この熱式空気流量センサにより計測された流量に基づいて、空気流量を制御する手段とを備える内燃機関の制御装置において、
上記熱式空気流量センサは、基板に形成されたダイヤフラム上に、発熱抵抗体と、温度検出抵抗体とを有し、上記ダイヤフラムの端部に補強絶縁部が形成されていることを特徴とする内燃機関の制御装置。 - 請求項4記載の内燃機関の制御装置において、上記基板は、面方位(100)シリコンウエハで形成され、上記ダイアフラムは薄膜領域とバルクシリコン領域との境界で、かつダイアフラム端部の領域に上記補強絶縁部が形成されていることを特徴とする内燃機関の制御装置。
- 請求項5記載の内燃機関の制御装置において、上記基板上に、絶縁膜と、この絶縁膜上に形成される発熱的抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱的抵抗体及び温度検出抵抗体の上に形成される保護膜とを備え、上記補強絶縁部の材質は、上記絶縁膜と同一の材質であることを特徴とする内燃機関の制御装置。
- 基板に形成されたダイヤフラム上に、絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを備える熱式ガス流量センサの製造方法において、
上記基板に絶縁膜を形成し、
形成されるダイヤフラムの端部に対応する位置の上記絶縁膜を除去し、開口部分を形成し、
上記開口部が形成された部分を高温熱酸化し、上記絶縁膜と同一材質の補強絶縁部を形成し、
上記絶縁膜上に、発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を形成し、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体上に保護膜を形成し、
上記基板の上記絶縁膜が形成された面と反対側の面にダイヤフラムを形成することを特徴とする熱式ガス流量センサの製造方法。 - 請求項7記載の熱式ガス流量センサの製造方法において、上記基板は、面方位(100)シリコンウエハで形成され、上記ダイアフラムは薄膜領域とバルクシリコン領域との境界で、かつダイアフラム端部の領域に上記補強絶縁部が形成されることを特徴とする熱式ガス流量センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006202430A JP2008026279A (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006202430A JP2008026279A (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008026279A true JP2008026279A (ja) | 2008-02-07 |
Family
ID=39117046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006202430A Pending JP2008026279A (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008026279A (ja) |
-
2006
- 2006-07-25 JP JP2006202430A patent/JP2008026279A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3709373B2 (ja) | 流量計測装置 | |
US7437927B2 (en) | Thermal type gas flow meter | |
EP1452838B1 (en) | Thermal flow rate sensor | |
JP4850105B2 (ja) | 熱式流量計 | |
EP1291622B1 (en) | Thermal mass flow meter with particle protection | |
JP2002188947A (ja) | 流量測定装置 | |
JP4474308B2 (ja) | 流量センサ | |
US7426857B2 (en) | Flow detector element of thermosensible flow sensor | |
US7472591B2 (en) | Thermal gas flow and control device for internal-combustion engine using the same | |
JP2001004420A (ja) | 流量及び流速測定装置 | |
JP2008026206A (ja) | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 | |
US9719824B2 (en) | Thermal air flow sensor | |
JP2008026278A (ja) | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 | |
JP2008026279A (ja) | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 | |
JP2003090750A (ja) | 流量及び流速測定装置 | |
JP3709339B2 (ja) | 流量計測装置 | |
JP4906422B2 (ja) | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 | |
JP2009085855A (ja) | 流量測定装置及び内燃機関の制御システム | |
JP3638786B2 (ja) | 流量検出素子及び流量センサ | |
JPWO2003102974A1 (ja) | 白金薄膜および熱式センサ | |
JP2007286006A (ja) | 流量測定装置 |