JP2008026206A - 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出素子1は平板基板32に保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、引き出し配線部34、コンタクトバリアメタル膜36、強度補強保護膜37を形成する。その後、平板基板32を裏面からエッチングすることでダイヤフラム2を形成する。強度補強緩衝膜37の端部の基盤32の厚み方向に対応する位置に目盛パターン38が配置されている。ダイヤフラム2の端部と、強度補強緩衝膜37の端部との間に位置ずれが発生していないか否かを目盛パターン38により容易に判断することができる。
【選択図】図3
Description
Claims (7)
- 基板に形成されたダイヤフラム上に、発熱抵抗体と、温度検出抵抗体と、ダイヤフラムの強度を補強する強度補強緩衝膜とを有する熱式ガス流量センサにおいて、
上記基板の上記強度補強緩衝膜の端部に対応する位置に、目盛が付された目盛パターンが形成されていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。 - 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記目盛パターンの目盛は寸法目盛であることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記目盛パターンの目盛は角度目盛であることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記目盛パターンは、上記基板の厚み方向に関して、上記強度補強緩衝膜に覆われていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記目盛パターンは、上記発熱抵抗体、温度検出抵抗体と電気的に絶縁されていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記目盛パターン及び上記発熱抵抗体は、ポリシリコン膜、白金膜又はモリブデン膜により形成されていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 内燃機関に供給する空気流量を計測する空気流量計測手段と、この流量計測手段により計測された流量に基づいて、空気流量を制御する手段とを備える内燃機関の制御装置において、
上記流量計測手段は、
基板に形成されたダイヤフラム上に、発熱抵抗体と、温度検出抵抗体と、ダイヤフラムの強度を補強する強度補強緩衝膜と、上記基板の上記強度補強緩衝膜の端部に対応する位置に目盛が付された目盛パターンとが形成されていることを特徴とする内燃機関の制御装置。
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2006
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