JP2001004420A - 流量及び流速測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造が容易であって検出精度が優れている流量
及び流速測定装置を提供すること。 【解決手段】検出対象である主流管１内の流れ１０の一
部が分流管２内に導入され、流れ１１となる。分流管２
は、流れが大きく変向する変曲部２ｃと、変曲部２ｃの
上流側及び下流側に隆起部２ａ，２ｂを有する。主流管
１管外において分流管２の変曲部２ｃ底部には、支持体
４に同表面より突出して固着された検出素子５が配置さ
れ、その検出面はその近傍の流路面２ｅ，２ｆより突出
している。検出素子５に対向する対向面２ｄは検出面に
向かって突出している。かくして、変曲部２ｃにおい
て、流れ１１から、検出素子５の検出面に斜めに当たる
ダウンフロー１２が定常的に形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流れに関する諸量
を測定するための装置に関し、中でも温度に依存する検
出素子及び／又は半導体チップ上に一体形成された検出
素子を用いた流量及び流速測定装置に関し、例えば、車
両又は産業用エンジンの燃焼制御用質量流量センサ、或
いは、産業用空調システムやコンプレッサ圧空供給シス
テム用の質量流量センサ、更には家庭用ガスコンロの空
燃比制御用流量センサとして好適に適用される測定装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】特表平９−５０３３１１号公報には、
「内燃機関の吸気を測定する装置のためのセンサ支持体
であって、センサ支持体と、流量媒体内に挿入されたプ
レート上のセンサ素子とが設けられており、該センサ素
子が、温度に関連した少なくとも一つの測定抵抗器を有
しており、センサ素子が、センサ支持体の切欠内にこの
センサ支持体とほぼ同一面を成して収容されている型式
のもの」が提案されている。また、同公報の実施例にお
いて、「センサ素子はプレート状の形状を有していて、
その最大の表面が、流れ込む媒体に対してほぼ平行に整
列されている。」

【０００３】さらに、同公報には、「装置の製造時に
は、センサ素子の表面を、できるだけセンサ支持体の表
面と同一面になるように切欠内に接着することが重要で
ある。何故ならば、例えば非均一に塗布された接着層に
基づく最小のずれが存在しても、渦流及び剥離領域が発
生することになり、この渦流及び剥離領域は、センサ素
子の特に表面において測定抵抗器の熱導出に不都合な影
響を与え、測定結果を誤らせることになるからであ
る。」と記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
表平９−５０３３１１号公報に提案されているように、
「センサ素子の表面を、センサ支持体の表面と同一面に
なるように切欠内に接着する」ためには高度で精密な製
造技術を要し、これによって製造効率が低下するという
問題がある。

【０００５】また、センサ素子の表面とセンサ支持体の
表面とが同一面であることを保証するためには、精密な
検査が必要であるという更なる問題が生じる。

【０００６】本発明の目的は、製造が容易であって検出
精度が優れている流れに関する測定装置を提供すること
である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の視点に係
る測定装置は、分流管内の流れに作用するよう設けら
れ、検出素子の検出面に向かって斜めに当たるような流
れを形成する手段を有する。この流れ制御手段によっ
て、定常的に検出素子の検出面に検出すべき流れが供給
され、確実に該検出面上を検出すべき流れが流れるよう
になると考えられる。加えて、検出面近傍における渦流
及び剥離の発生が抑制されるため、検出精度及び再現性
が向上されると考えられる。

【０００８】また、この測定装置においては検出面上に
おける流れが安定化されていると考えられるから、この
検出面と該検出部両側の流路面とを必ずしも同一面上に
位置させなくともよい。換言すれば、この測定装置は、
検出面と該検出部近傍の流路面との間の段差を許容し、
又流路面に対する検出素子検出面の相対的な位置精度の
許容幅を拡大する。

【０００９】ゆえに、本発明の第１の視点に係る測定装
置によれば、上述した特表平９−５０３３１１号公報に
記載されているように、検出素子をその支持体の切欠内
に、検出素子表面と支持体表面とが厳密に同一面となる
よう接着する必要がなくされる。すなわち、この測定装
置は、接着厚み誤差によって生じる、検出面と該検出部
両側の流路面との間の段差を許容する。この結果、装置
の製造が容易化され、寸法検査の精度を低くすることが
できる。

【００１０】このように本発明の第１の視点に係る測定
装置は、上記段差を許容するから、検出素子とその支持
体を別体に構成して、或いは、検出素子及びその支持体
と分流管とを別体に構成して、検出素子を主流管に対し
て固着された分流管に対して脱着可能に取付けることが
可能となる。この結果、長期間の使用により劣化ないし
汚染した検出素子を交換することが可能とされる。

【００１１】ここで、本発明の第１の視点に係る測定装
置による効果を下記に例示する。 (１) 検出素子の検出面に向かって斜めに当たる流れ
（ダウンフロー）を形成することによって、検出面近傍
において渦流及び剥離の発生が抑制され、この結果、安
定した検出性と再現性を得ることが出来る。 (２) 検出面と検出素子支持体表面とが非同一面であっ
ても検出が可能である。これによって、検出素子の組み
付けが容易となる。 (３) 上記ダウンフローが形成されていることによっ
て、流路壁部において流れに関する量、例えば流量及び
流速の正確で安定した検出が可能となる。この場合に
は、検出素子表面ないし検出面のみが流路内に露出して
いれば十分である。 (４) 流路壁部での流量及び流速等の検出が可能である
ため、検出素子と分流管を別体とすることができ、分流
管及び検出素子の構造がそれぞれ簡素化され、両者の製
造が容易となる。 (５) 順流及び逆流の両方を測定できるよう、或いは順
流及び逆流のいずれか一方を選択的に測定し他方の流れ
の影響を受け難いよう、要求に応じて分流管の流路形状
を構成することができる。 (６) 分流路を形成するため、耐汚染性と機械的取扱性
の向上が図られる。

【００１２】本発明の第２の視点に係る測定装置は、分
流管の壁部ないし管壁において分流管内の流れに曝さ
れ、流れに関する量を検出する検出素子と、分流管内に
設けられ、検出素子の検出面に向かって斜めに当たるよ
うな流れを形成する手段を有する。この測定装置によれ
ば、検出素子と分流管を別体とすることができ、分流管
及び検出素子の構造がそれぞれ簡素化され、両者の製造
が容易となる。

【００１３】本発明の第３の視点に係る測定装置は、分
流管において主流管外へ突出している部分に配置され、
流れに関する量を検出する検出素子を有する。この測定
装置によれば、検出素子の組み付けが容易とされ、又主
流管及びその管外近傍の設計自由度が向上される。

【００１４】本発明の第４の視点に係る測定装置は、検
出素子の検出面が検出面近傍ないし隣接する流路面より
突出している。また、本発明の第５の視点に係る測定装
置は、検出素子の検出面が検出素子支持体表面より突出
している。

【００１５】本発明の第６の視点に係る測定装置は、測
定対象管（主流管）内の流れを検出管（分流管）内に取
り出し、検出管内に取り入れた流れをこの検出管内で大
きく変向ないし反転させ、この変向部ないし反転部或い
はこれらの下流側近傍において検出管内に取り入れられ
た流れが斜めに当たるよう検出素子が配置されている。
本発明の第７の視点に係る測定装置は、変曲部に窓が形
成されている分流管と、検出素子を駆動ないし制御する
ための回路基板を含み、分流管に対して脱着可能な検出
素子支持体と、を有している。

【００１６】なお、従属項はそれぞれ、各独立項に記載
された発明の原理に反しない限り、各独立項に適用され
うる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を説明する。

【００１８】本発明の好ましい実施の形態においては、
分流管（検出管）の変曲部において、検出素子の検出面
が該分流管内に曝されている。更に好ましくは、主流管
（測定対象管）に直交する方向に変曲管（分流管）が取
り付けられ、この変曲管の変曲部（折曲部、流路が曲が
る部分）に検出素子（検出部）が設けられる。或いは、
分流管の流れが反転する部分又は流れの向きが大きく変
更される部分ないし近傍に、検出素子ないし検出部が配
置される。また好ましくは、分流管内の流れが速い部分
に、検出面が曝される。また好ましくは、分流管内にお
いて流れが絞られ、続いて流れが変向する部分ないしそ
の近傍に検出面が曝される。

【００１９】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出面に斜めに当たる流れ（ダウンフロー）を発生させ
るために、検出素子を流路内の変曲部に配置する。変曲
部では必ず流体の方向が変化するために、このダウンフ
ローを定常的に得ることが容易である。また、この変曲
部又はその少なくとも上流側の流路面が、凹曲面又は凸
曲面、或いは検出部に向かって延在する傾斜面を含んで
いる場合、このダウンフローを発生させる上で更に効果
的である。

【００２０】本発明の好ましい実施の形態においては、
分流管内の分流路に導入された流体から、隆起部と変曲
部によって、検出面に対するダウンフローを定常的に形
成する。

【００２１】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出管（分流管となる）の中央にセパレータ（隔壁）が
設けられ、このセパレータによって検出管に導入された
流れが反転ないし大きく変向される。

【００２２】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子の検出面に斜めに当たる流れ（ダウンフロー）
乃至検出面に対し斜めに流れる流れを形成するための流
れ制御手段として、検出素子の少なくとも上流、或いは
上流及び／又は下流において、検出面より隆起している
流路面がある。

【００２３】上記隆起の形態としては、検出面に斜めに
当たる流れを形成できるものであればよく、好ましく
は、凹状又は凸状に隆起したり、隆起表面が直線的、多
角形状又は凹曲面状の傾斜面とされる。

【００２４】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子の検出面の高さと、流れ方向に沿って該検出面
近傍の流路面の高さの差、すなわち段差を、±０．５ｍ
ｍ以下、さらに好ましくは±０．４ｍｍ以下、より好ま
しくは±０．３ｍｍ以下とする。なお、プラスは検出面
の方が高い場合、マイナスは低い場合である。より好ま
しくは、検出面を該検出面近傍の流路面より突出させ、
上記段差を０．０５〜０．５ｍｍの範囲、さらに好まし
くは０．０５〜０．４ｍｍの範囲、或いは０．０５〜
０．３ｍｍの範囲とする。

【００２５】特に、隆起部と検出部（検出素子がある領
域）の境界域において、隆起部流路面よりも検出面が凸
側にある構造は、検出面上における渦流の発生を防止す
る上で有利な構造である。

【００２６】また、上記境界域において、隆起部流路面
と検出部の間に隙間を設けることにより、乱れた流れを
効果的に封じることが可能となる。

【００２７】本発明の好ましい実施の形態においては、
分流管の変曲部がベンチュリ管の一部を構成する。

【００２８】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子の支持体として、回路基板ないし回路を含むプ
レートを用いる。更には、この回路基板の裏面ないし回
路部品の搭載されていない面において、検出素子を、回
路基板面より突出した状態で形成ないし支持することに
より、検出素子の流路ないし分流管への組み付けが容易
となる。これによって、検出素子の検出面が回路基板面
と同一平面上に厳密に位置するよう、高密度配置された
回路部品の間に検出素子を接着するというような、高度
な製造技術を用いず、通常の実装回路基板の裏面に印刷
配線を施し、同基板上の所定位置に検出素子を突出させ
たまま設置でき、斯くして製造が容易となるという利点
が生じる。

【００２９】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子を検出素子支持体又は回路基板支持体に実装し
て使用することができる。検出素子支持体や回路基板支
持体は、検出素子とともに流路内に露出される必要はな
く、分流管の流路壁ないし隆起部によって隔てられた分
流管外空間の方に、位置することができる。この形態に
よれば、検出素子の交換が容易である。好ましくは、分
流管が、分流管と検出素子又は検出素子の支持体間の隙
間をシールするシール部を備える。

【００３０】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子と分流管とが別体とされ、、検出素子が前記分
流管に対して脱着可能に取り付けられる。さらに好まし
くは、分流管と、検出素子を保持する回路基板支持体と
を別体とし、測定時にはこれらを互いに組み付けて用い
る。検出素子は回路基板支持体に直接接着することもで
き、位置合わせのため、この支持体に若干の凹みを設け
てもよい。

【００３１】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子が、分流管内の流壁ないし管壁、中でも外壁に
配置されている。場合によっては、検出素子が、分流管
内の流れの中に配置される。

【００３２】本発明の好ましい実施の形態において、検
出素子は、主流路からバイパスされた分流路内に曝され
るよう、或いは主流路からバイパスされた分流路のさら
に分流路内に曝されるよう設置される。

【００３３】本発明の好ましい実施の形態においては、
分流管の導入口及び／又は導出口の近傍に、溜まりが形
成される。これによって、微粒子や粉塵等による検出素
子の汚染が高度に防止される。

【００３４】本発明の好ましい実施の形態においては、
分流管の上流部に縮径部が形成される。これによって、
微粒子や粉塵等による検出素子の汚染が高度に防止され
る。また、分流管の下流部に、導入口から導出口に向か
う順流方向に沿って拡径部、換言すれば、導出口から導
入口に向かう逆流方向に沿って縮径部を有する測定装置
によれば、順流測定時、逆流の影響が抑制される。

【００３５】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子を中心として、検出素子の上流側と下流側の流
路が基本的に対称に形成されている。このような装置に
よれば、基本的に導入口から導出口に向かって流れる順
流及び基本的にその反対方向に流れる逆流の両方を好適
に測定できる。

【００３６】本発明の好ましい実施の形態においては、
分流管の流れ方向に直交する方向に沿って切断した断面
形状が、円状、半円状、楕円状及び矩形状から選択され
る形状のいずれか一種以上である。

【００３７】本発明の好ましい実施の形態においては、
検出素子が温度に基づいて、流量及び／又は流速を少な
くとも含む流れに関する量を測定するものである。

【００３８】

【実施例】以上説明した本発明の好ましい実施の形態を
さらに明確化するために、以下図面を参照して、本発明
の一実施例を説明する。

【００３９】［実施例１］図１（Ａ）及び図１（Ｂ）は
本発明の実施例１に係る測定装置の説明図であり、図１
（Ａ）は分流管の縦断面を概略的に示す説明図であり、
図１（Ｂ）は図１（Ａ）に示した検出部付近の拡大図で
ある。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）を参照すると、この測
定装置においては、分流管２が主流管１に基本的に直交
するよう取り付けられている。分流管２内には、検出対
象である主流管１内の流れが導入される。

【００４０】分流管２は、分流管２内に取り込んだ流れ
を反転できるよう曲折されている。分流管２は、主流管
１に取り付けられた状態で主流管１内の流れ１０と略直
交する方向に延在する互いに平行な２つの直流部と、こ
れら２つの直流部（直流路）を接続する変曲部２ｃと、
一方の直流部の側面（流れ１０と直交する面）に設けら
れた導入口と、他方の直流部の端面（流れ１０に平行な
面）に設けられた導出口と、を有している。変曲部２ｃ
近傍において、流路面２ｅ，２ｆは所定の曲率を有し、
変曲部２ｃ近傍において流れが大きく変向ないし概略反
転される。この変曲部２ｃにおいて分流管２底壁に検出
部３が設けられている。この検出部３は主流管１の管外
に位置され、交換可能とされている。

【００４１】また、分流管２内において、検出部３の上
流及び下流には、管壁が流れ断面中心方向に向かって凹
状に隆起したような、隆起部２ａ，２ｂが形成されてい
る。隆起部２ａ，２ｂ上の流路面２ｅ，２ｆは凹曲面に
形成されている。変曲部２ｃにおいて、検出部３に対向
する流路面である対向面２ｄは、検出部３に向かって凸
な凸曲面に形成されている。

【００４２】次に、検出部３近傍の詳細な構造を説明す
る。図１（Ｂ）を参照して、検出素子５が、接着層６を
介して支持体４の凹部底面に、支持体４表面より突出し
た状態で固着されている。支持体４は、検出素子５の検
出面（図１（Ｂ）中左側面）が分流管２底壁に形成され
た窓を介して分流管２内に曝されるよう分流管２底面に
取り付けられている。検出素子５と隆起部２ａ，２ｂの
間には、それぞれ僅かな隙間が形成されている。検出素
子５の検出面は、検出素子５に隙間をもって隣接する流
路面２ｅ，２ｆと、概略同一高さにあるか、或いはそれ
らより分流管２内へ突出され又は逆に後退した位置にあ
る。

【００４３】また、変曲部２ｃにおいて、検出素子５の
ある側の流れが速くなり、対向面２ｄ側の流れは遅くな
っていると考えられる。

【００４４】引き続き、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）を参
照して、分流管２内の流れを説明する。すなわち、主流
管１内の流れ１０が分流管２内に導入され、流れ１０と
略直交する方向に流れる流れ１１が生じる。変曲部２ｃ
において、流れ１１から、検出部３に向かって斜めに流
れ、検出素子５の検出面に概略斜めに当たるダウンフロ
ー１２が発生する。その後、分流管２内の流れは流れ１
０と合流する。

【００４５】なお、図１（Ａ）を参照すると、分流管２
の流路は、変曲部３を中心として概略対称に形成されて
いるため、流れ１１，１２の方向に流れる順流及びそれ
と略反対方向に流れる逆流の両方を好適に測定可能であ
る。また、分流管２の導入口が主流管１内の流れ１０と
直交する平面で開口していることにより、分流管２の導
入口奥部に流速の低い部分が形成され、ここに粉塵が滞
留すると考えられる。これによって、検出素子５の汚染
が防止される。

【００４６】ここで、図１（Ｂ）に示した検出素子５を
詳細に説明する。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は検出素子
の説明図であって、図２（Ａ）は斜視図、図２（Ｂ）は
図２（Ａ）に示した検出素子に形成されている薄膜抵抗
体を説明するための断面図である。

【００４７】図２（Ａ）を参照して、この検出素子５
は、基本的に半導体チップに４つの薄膜抵抗体が設けら
れたものである。より具体的には、半導体層３０上にダ
イヤフラム部２２とリム部２１が設けられている。ダイ
ヤフラム部２２には、(１)上流温度センサ２３及び(２)
下流温度センサ２４と、上流温度センサ２３，２４の間
に配置された(３)ヒータ２０が設けられいる。一方、リ
ム部２１には(４)雰囲気温度センサ２５が設けられてい
る。ダイヤフラム部２２は、極薄化され熱絶縁が図られ
ている。

【００４８】次に、ヒータ２０，雰囲気温度センサ２
５，上流温度センサ２３及び下流温度センサ２４をそれ
ぞれ構成する各薄膜抵抗体の構造について説明する。図
２（Ｂ）を参照して、半導体層３０上に第１のＳｉＮ絶
縁膜３１が形成されている。第１のＳｉＮ絶縁膜上３１
上には、白金抵抗体３３がパターン形成されている。白
金抵抗体３３の所定部分上には、白金抵抗体３３に電気
的に接続されたパッド３４が形成されている。第１のＳ
ｉＮ絶縁膜上３１上の残りの部分には、白金抵抗体３３
を覆うように第２のＳｉＮ絶縁膜３２が形成されてい
る。パッド３４が外部回路に電気的に接続されて白金抵
抗体３３を介しヒータ２０に電力が供給されることによ
り、ヒータ２０が発熱する。

【００４９】次に、この検出素子を用いた流速や流量等
の流れに関する諸量の検出原理を説明する。図３（Ａ）
及び図３（Ｂ）は検出素子の測定原理の説明図であり、
図３（Ａ）は検出素子上のダイヤフラム位置による温度
分布を示す等温線図であり、図３（Ｂ）は同グラフであ
る。

【００５０】図２（Ａ）〜図３（Ｂ）を参照して、上記
検出原理を下記に説明する。 (１)ヒータ２０が雰囲気温度に対して常に一定の温度差
をもつよう、ヒータ２０に供給する電力を制御する。 (２)したがって、流れがない場合には、上流温度センサ
２３と下流温度センサ２４の温度はほぼ等しくなってい
る。 (３)しかし、流れがある場合には、上流温度センサ２３
の温度はその表面から熱が逃げるため低下する。下流温
度センサ２４の温度はヒータ２０からの熱入力が増加す
るため、温度変化は上流温度センサ２３のそれよりも小
さい。なお、下流温度センサ２４の温度は上昇する場合
もある。 (４)上流温度センサ２３と下流温度センサ２４の温度差
に基づき流量や流速等を検出し、この温度差の符号から
流れ方向を検出する。なお、上記温度差は、温度による
電気抵抗の変化に基づき検出することができる。

【００５１】［実施例２］次に、本発明の実施例２に係
る測定装置として、前記実施例１の分流管が有する構造
に加えて、流れ断面径が変化する構造を備えた分流管を
用いた例を説明する。よって、下記の説明においては重
複を避けるため、主として、実施例２に係る装置が、前
記実施例１と異なる部分について説明し、同様の部分に
ついては適宜前記実施例１の記載を参照することができ
るものとする。

【００５２】図４は、本発明の実施例２に係る測定装置
の説明図であって、分流管の縦断面を概略的に示してい
る。図４を参照すると、この流量測定装置の分流管４２
は、上流側の直流部に流れ断面径を流れ方向に沿って縮
小ないし絞られた部分（これを以下「縮径部」４２ｇと
いう）を有し、下流側の直流部に流れ断面径を流れ方向
に沿って拡径した部分（これを以下「拡径部」４２ｈと
いう）を有する。これによって、分流管４２の上流部及
び下流部にそれぞれ、流速が遅い部分、すなわち溜まり
４２Ｉ，４２Ｊが形成されている。

【００５３】また、検出素子４５が、接着層４６を介し
て支持体４４の凹部底面に、支持体４４表面より突出し
た状態で固着されている。支持体４４は、検出素子４５
の検出面が分流管４２内に曝されるよう分流管４２の底
面に取り付けられている。詳細には、変曲部４２ｃの底
側において、検出素子４５の検出面が分流管４２内に曝
されている。検出素子４５の両側には、管壁が内側に向
かって凹曲面状に隆起した隆起部４２ａ，４２ｂが形成
されている。隆起部４２ａ，４２ｂの流路面４２ｅ，４
２ｆは曲面状に形成されている。変曲部４２ｃにおい
て、検出素子４５に対向する流路面である対向面４２ｄ
は、検出素子４５に向かって凸な凸曲面に形成されてい
る。

【００５４】ここで、分流管４２内の流れを説明する。
主流管１の流れ１０から分流管４２に流れ４３が導入さ
れる。変曲部４２ｃにおいて、検出素子４５の検出面に
対して斜めに当たるダウンフロー４４が発生する。その
後、分流管２内の流れは主流管１の流れ１０と再び合流
する。

【００５５】［測定１］以上説明した本発明の実施例２
に係る測定装置を用い、さらに、検出素子検出面の同近
傍流路面に対する高さＨ（これを「段差量Ｈ」とい
う）、及び測定対象である主流管内の流速を変えて、検
出素子の流速に関する検出出力を測定した。図５は、測
定１における段差量の定義を説明するための図である。
図５を参照して、流路面４２ｅ，４２ｆ（流路面４２ｆ
は図４参照）より、検出素子５の検出面が突出している
場合（凸の場合）の高さの符号を「＋」とし、後退して
いる場合（凹の場合）の高さの符号を「−」とする。

【００５６】また、比較のため、比較例に係る測定装置
を用いて、前記実施例２に係る測定装置と同様に測定を
行った。図６は比較例に係る測定装置の説明図であっ
て、その主流管の縦断面を概略的に示している。図６を
参照すると、この比較例に係る測定装置は、主流管１内
の流れ断面方向に沿ってほぼ中央に、検出素子２０５が
配置されている。検出素子２０５は、接着層２０６を介
して支持体２０４の凹部底面に固着されている。より詳
細には、検出素子２０５の検出面が、主流管１０の流れ
１０方向に向かう管軸方向に対して１０度傾斜するよ
う、支持体２０４が主流管１内に保持され、流れ１０が
この検出面によく当たるようにされている。

【００５７】［測定１の測定条件］ここで、測定１の測
定条件を下記に記す。 主流管の管径：５０ｍｍ、 分流管の外形寸法：Ｌ４０×Ｗ７×Ｈ１４ｍｍ、 分流管の導入口：５×１０ｍｍ、 分流管の導出口：５×５ｍｍ、 分流管の径大部：５×５ｍｍ、 分流管の径小部：５×２．５ｍｍ、 分流管の隆起部の曲率：４ｍｍ、 対向面の曲率：３．５ｍｍ、 検出素子（半導体チップ）の外形寸法：３×３×ｔ０．
４ｍｍ、 検出素子のダイヤフラム部：１ｍｍ×１ｍｍ×ｔ１μ
ｍ、 検出素子の白金抵抗体：Ｐｔ／Ｔｉ＝膜厚比５／１、 検出素子のパッド：Ａｕ。

【００５８】図７は測定１の結果を示すグラフである。
ここで、同図中、出力変化率(％)とは、段差量Ｈ（図５
参照）が実質的に０の場合、すなわち、検出素子の検出
面とその近傍の流路面とが同一平面上にある場合の出力
を１００％として、各出力を換算したものである。

【００５９】図７を参照すると、実施例２の装置の方が
比較例の装置より、段差量による流速検出出力の変化が
格段に小さくなっていることが分かる。また、図７よ
り、実施例２の装置によれば、広い流速範囲にわたって
流速を正確に検出できることがわかる。また別に、実施
例２の装置は逆流を検出することができるが、比較例の
装置はそれが困難である。

【００６０】［実施例３］本発明の実施例３として、本
発明による測定装置に適用される検出素子の種々の形状
を説明する。図８（Ａ）〜図８（Ｃ）は、本発明の実施
例３に係り、本発明による流量測定装置に適用される種
々の検出素子の説明図であり、それぞれ上図が平面図、
下図が平面中央部の断面図である。

【００６１】図８（Ａ）に示した検出素子は、前記実施
例１及び２で用いた検出素子と同様に、正方形タイプで
あり、正方形の中央部にダイヤフラム部５０が設けられ
ている。図８（Ｂ）に示した検出素子は長方形タイプで
あり、長方形の端部にダイヤフラム部５１が設けられて
いる。また、図８（Ｃ）に示した検出素子も長方形タイ
プであり、長方形の中央部にダイヤフラム部５２が設け
られている。

【００６２】［実施例４］本発明の実施例４として、本
発明による測定装置に用いられる分流管の種々の形態を
示す。なお、本発明の実施例４に係る測定装置が、前記
実施例１に係る測定装置と同様な点については、適宜前
記実施例１又は前記実施例２の記載を参照するものとす
る。

【００６３】［実施例４−１］図９は、本発明の実施例
４−１に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明図であ
る。図９を参照して、この分流管１６２は、流路面１６
２ｅ，１６２ｆ及び対向面１６２ｄが多角形状の面に形
成されている以外は、前記実施例２に係る分流管４２
（図４参照）と同様の構成を有している。すなわち、こ
の分流管１６２は、上流側の直流部に縮径部１６２ｇ及
び溜まり１６２Ｉを備え、下流側の直流部に拡径部１６
２ｈ及び溜まり１６２Ｊを備えている。そして、検出素
子１６５が、接着層１６６を介して支持体１６４の凹部
底面に、支持体１６４表面より突出した状態で固着され
ている。支持体１６４は、検出素子１６５の検出面が分
流管１６２内に曝されるよう分流管１６２の底面に取り
付けられている。詳細には、変曲部１６２ｃの底側にお
いて、検出素子１６５の検出面が分流管１６２内に曝さ
れている。検出素子１６５の両側には、管壁が内側に向
かって凹状に隆起した隆起部１６２ａ，１６２ｂが形成
されている。隆起部１６２ａ，１６２ｂの流路面１６２
ｅ，１６２ｆは多角形状の面に形成されている。対向面
１６２ｄは、検出素子１６５に向かって凸な多角形状に
形成されている。

【００６４】ここで、分流管１６２内の流れを説明す
る。主流管１の流れ１０から分流管１６２に流れ１６３
が導入される。変曲部１６２ｃにおいて、検出素子１６
５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１６４が
発生する。その後、分流管１６２内の流れは主流管１の
流れ１０と再び合流する。

【００６５】［実施例４−２］図１０（Ａ）は本発明の
実施例４−２に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明
図である。この分流管６２においては、変曲部６２ｃの
両側に隆起部６２ａ，６２ｂが設けられている。変曲部
６２ｃの両側すなわち隆起部６２ａ，６２ｂの流路面６
２ｅ，６２ｆは多角形状に形成されている。支持体６４
に固着された検出素子６５に対向する対向面６２ｄは検
出素子６５に向かって突出する多角形状に形成されてい
る。流れ１０の一部が分流管６２に導入されてなる流れ
６６から、検出素子６５の検出面に対して斜めに当たる
ダウンフロー６７が生じる。

【００６６】［実施例４−３］図１０（Ｂ）は本発明の
実施例４−３に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明
図である。この分流管７２においては、変曲部７２ｃの
両側に隆起部７２ａ，７２ｂが設けられている。変曲部
７２ｃの両側すなわち隆起部７２ａ，７２ｂの流路面７
２ｅ，７２ｆは多角形状に形成されている。支持体７４
に固着された検出素子７５に対向する対向面７２ｄは検
出素子７５に向かって凸曲面状に形成されている。流れ
１０の一部が分流管７２に導入されてなる流れ７６か
ら、検出素子７５の検出面に対して斜めに当たるダウン
フロー７７が生じる。

【００６７】［実施例４−４］図１１（Ａ）は本発明の
実施例４−４に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明
図である。この分流管８２内の流れの中には、変曲部８
２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に隆起部の一
種である弧状部をそれぞれ備えた、支持体８４が位置さ
れている。これら弧状部の検出素子８５側の流路面８４
ｅ，８４ｆは凹曲面状に形成されている。検出素子８５
の背後において、分流管８２の隆起部８２ａ，８２ｂの
流路面も凹曲面状に形成されている。検出素子８５は、
支持体８４に形成された凹部底面に固着され、その検出
面は流れ断面方向略中央部の流れに曝されている。検出
素子８５に対向する対向面８２ｄは検出素子８５に向か
って突出する凸曲面状に形成されている。測定対象であ
る流れ１０の一部が分流管８２内に導入されてなる流れ
８６から、検出素子８５の検出面に対して斜めに当たる
ダウンフロー８７が生じる。

【００６８】［実施例４−５］図１１（Ｂ）は本発明の
実施例４−５に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示
す説明図である。この分流管は、図１１（Ａ）に示した
分流管８２と、検出素子８５の支持形態が異なってい
る。すなわち、支持体８４内の一側面及び他側面にそれ
ぞれ開口する二つの切欠き（窓）が形成されている。二
つの切欠きは、段差をもって互いに連通している。幅の
大きな切欠きに回路基板８４ａが嵌合され、幅の小さな
切欠きの方に検出素子８５が嵌合されている。

【００６９】［実施例４−６］図１１（Ｃ）は本発明の
実施例４−６に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示
す説明図である。この分流管９２内の流れの中には、変
曲部９２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に隆起
部の一種である三角コーナ部をそれぞれ備えた、支持体
９４が位置されている。これら三角コーナ部の検出素子
９５側の流路面９４ｅ，９４ｆは凹曲面状に形成されて
いる。検出素子９５の背後において、分流管９２の流路
面は矩形状に形成されている。検出素子９５は、支持体
９４に形成された凹部底面に固着され、その検出面は流
れ断面方向略中央部の流れに曝されている。検出素子９
５に対向する一方の対向面９２ｄは検出素子９５に向か
って突出する凸曲面状に形成されている。測定対象であ
る流れ１０の一部が分流管９２内に導入されてなる流れ
９６から、検出素子９５の検出面に対して斜めに当たる
ダウンフロー９７が生じる。

【００７０】［実施例４−７］図１２（Ａ）は本発明の
実施例４−７に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示
す説明図である。この分流管１０２内の流れの中には、
変曲部１０２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に
隆起部の一種であって上流側及び下流側に向かってそれ
ぞれ延在する延在部を備えた、支持体１０４が位置され
ている。これら延在部の検出素子１０５側の流路面１０
４ｅ，１０４ｆは検出素子１０５に向かって傾斜してい
く傾斜面とされている。変曲部１０２ｃの両側であって
検出素子１０５の背後には、隆起部１０２ａ，１０２ｂ
が形成されている。隆起部１０２ａ，１０２ｂの流路面
は、支持体１０４側に向かって突出し、かつ、流路面１
０４ｅ，１０４ｆと略平行な傾斜面とされている。検出
素子１０５は、支持体１０４に形成された凹部底面に固
着され、その検出面は流れ断面方向略中央部の流れに曝
されている。検出素子１０５に対向する一方の対向面１
０２ｄは検出素子１０５に向かって突出した多角形状に
形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流
管１０２内に導入されてなる流れ１０６から、検出素子
１０５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１０
７が生じる。

【００７１】［実施例４−８］図１２（Ｂ）は本発明の
実施例４−８に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示
す説明図である。この分流管１１２内の流れの中には、
変曲部１１２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に
隆起部の一種であって上流側及び下流側に向かってそれ
ぞれ延在する三角コーナ部を備えた、支持体１１４が位
置されている。これら三角コーナ部の検出素子１１５側
の流路面１１４ｅ，１１４ｆは検出素子１１５に向かっ
て傾斜していく傾斜面とされている。変曲部１１２ｃの
両側であって検出素子１１５の背後には、矩形状の流路
面が形成されている。検出素子１１５は、支持体１１４
に形成された凹部底面に固着され、その検出面は流れ断
面方向略中央部の流れに曝されている。検出素子１１５
に対向する対向面１１２ｄは検出素子１１５に向かって
突出した多角形状に形成されている。測定対象である流
れ１０の一部が分流管１１２内に導入されてなる流れ１
１６から、検出素子１１５の検出面に対して斜めに当た
るダウンフロー１１７が生じる。

【００７２】［実施例４−９］図１３（Ａ）は本発明の
実施例４−９に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示
す説明図である。この分流管１２２内には、その上流側
直流部に縮径部１２２ｇ及び溜まり１２２Ｉ、その下流
側直流部に拡径部１２２ｈ及び溜まり１２２Ｊが、互い
に対称的に形成されている。そして、分流管１２２内に
は、変曲部１２２ｃの両側に隆起部１２４ａ，１２４ｂ
が設けられている。変曲部１２２ｃの両側すなわち隆起
部１２４ａ，１２４ｂの流路面１２４ｅ，１２４ｆは凹
曲面状に形成されている。支持体１２４に固着された検
出素子１２５に対向する対向面１２２ｄは検出素子１２
５に向かって突出する凸曲面状に形成されている。測定
対象である流れ１０の一部が分流管１２２内に導入され
てなる流れ１２６から、検出素子１２５の検出面に対し
て斜めに当たるダウンフロー１２７が生じる。

【００７３】［実施例４−１０］図１３（Ｂ）は本発明
の実施例４−１０に係る分流管の縦断面の一部を概略的
に示す説明図である。この実施例４−１０に係る分流管
１７２は、前記実施例４−９に係る分流管１２２（図１
３（Ａ）参照）に対して、流路面が多角形である点で相
違し、その他の構成は同様である。詳細には、この分流
管１７２内には、その上流側直流部に縮径部１７２ｇ及
び溜まり１７２Ｉ、その下流側直流部に拡径部１７２ｈ
及び溜まり１７２Ｊが、互いに対称的に形成されてい
る。そして、分流管１７２内には、変曲部１７２ｃの両
側に隆起部１７４ａ，１７４ｂが設けられている。変曲
部１７２ｃの両側すなわち隆起部１７４ａ，１７４ｂの
流路面１２４ｅ，１２４ｆは多角形状（全体としては凹
状）に形成されている。支持体１７４に固着された検出
素子１７５に対向する対向面１７２ｄは検出素子１７５
に向かって突出する多角形状（全体としては凸状）に形
成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管
１７２内に導入されてなる流れ１７６から、検出素子１
７５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１７７
が生じる。

【００７４】以上説明した実施例４に係る測定装置らに
おいて、分流管が検出素子が位置する変曲部を中心とし
ておおよそ対称な流路形状を有するものは、順流及び逆
流の両方の測定に好適に用いることができる。また、分
流管の上流部に縮径部を有する測定装置によれば、微粒
子や粉塵等による検出素子の汚染が高度に防止される。
また、分流管の下流部に縮径部を有する測定装置によれ
ば、順流測定時、逆流の影響が抑制される。

【００７５】次に、本発明による測定装置を、種々の車
両のエンジンの吸気系に取り付けた適用例を説明する。

【００７６】［適用例１］適用例１は、本発明による測
定装置を、主として４輪の車両に搭載されるエンジンの
吸気系に取り付けた例である。図１４（Ａ）及び図１４
（Ｂ）は、本発明による測定装置の適用例１を説明する
ための図であって、図１４（Ａ）は全体図、図１４
（Ｂ）は本発明による測定装置が設置された部分の拡大
図である。

【００７７】図１４（Ａ）を参照して、この吸気系ない
し燃料噴射制御系の概略を説明すると、この系には、上
流から下流に向かって、吸気が導入されるエアクリーナ
１３０、吸気の流量ないし流速測定部１３１、スロット
ルバルブ１３２、インジェクタ１３３から燃料が噴射さ
れスパークプラグによって点火され、バルブを備えたシ
リンダ１３７、シリンダ１３７の下流側排気管内に設け
られた酸素センサ１３５、及び３元触媒１３６が、配管
を介し互いに連通可能とされて設けられている。

【００７８】本発明による測定装置は、エアクリーナ１
３０とスロットルバルブ１３２間に位置する測定部１３
１に設置される。特に、図１４（Ｂ）を参照して、この
測定装置は、図１や図４などに示したような形状の分流
管１４２が、図１４（Ａ）に示した吸気管に直交した状
態で接続されるよう、ケース１３９を介して吸気管に取
り付けられている。分流管１４２の変曲部底面には、シ
リコン素子と一体的に形成された検出素子１４５が配置
され、検出素子１４５はその裏面の素子一体型回路１４
１と電気的に接続されている。素子一体型回路１４１は
コネクタ１４０を介して、エンジンコントロールユニッ
ト１３８等に電気的に接続される。検出素子１４５及び
素子一体型回路１４１はケース１３９に対して脱着可能
に或いはケース１３９が上記吸気管に対して脱着可能に
取り付けられ、これによって検出素子１４５が交換可能
とされている。

【００７９】エンジンコントロールユニット１３８は、
この素子一体型回路１４１からの測定信号及び酸素セン
サ１３５から出力される排気ガス中の酸素濃度信号を受
信し、これらの信号及びその他の受信信号に基づいて、
インジェクタ１３３の燃料噴射量及びタイミング、スパ
ークプラグ１３４の点火タイミングを制御する。なお、
エンジンコントロールユニット１３８は、エンジン回転
数、スロットル開度及びクランク角度等も演算してい
る。

【００８０】［適用例２］適用例２は、本発明による測
定装置を、主として２輪の車両に搭載されるエンジンの
吸気系に取り付けた例である。図１５（Ａ）及び図１５
（Ｂ）は、本発明による測定装置の適用例２を説明する
ための図であって、図１５（Ａ）は全体図、図１５
（Ｂ）は本発明による測定装置が設置された部分の拡大
図である。

【００８１】図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）を参照する
と、シリンダ１５１に接続する二輪車用吸気管（エアフ
ァンネル）１５４に、吸気の流量ないし流速等を測定す
るため、本発明による測定装置が付設されている。この
測定装置は、二輪車用吸気管１５４の管外に位置するケ
ース１５２と、二輪車用吸気管１５４の管内に突出して
いる分流路部１５３を有し、ケース１５２と分流路部１
５３は一体化されている。分流路部１５３にはこれに導
入される吸気に曝されるよう検出素子が設けられ、ケー
ス１５２にはこの検出素子を制御するための回路基板が
内蔵されている。

【００８２】このように、本発明による測定装置は、特
に、２輪用の流量及び流速等測定装置、特に２輪用エン
ジンの吸気を測定する装置として、好適に用いることが
できる。

【００８３】

【発明の効果】本発明によれば、製造が容易であって検
出精度が優れている、流量ないし流速等の流れに関する
量を測定する装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施例１に係る
装置の説明図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示した検出部
付近の拡大図である。

【図２】（Ａ）及び（Ｂ）は検出素子の説明図であっ
て、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）に示した検出素子
に形成されている薄膜抵抗体を説明するための断面図で
ある。

【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、本発明の実施例
１に係る装置で用いられる検出素子の測定原理の説明図
であり、図３（Ａ）は検出素子上のダイヤフラム位置に
よる温度分布を示す等温線図であり、図３（Ｂ）は同グ
ラフである。

【図４】本発明の実施例２に係る流量測定装置の説明図
である。

【図５】本発明の実施例２に係る流量測定装置を用いた
測定１における、段差量の定義を説明するための図であ
る。

【図６】測定１で用いた、比較例に係る流量測定装置の
説明図である。

【図７】測定１の結果を示すグラフである。

【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の実施例３に係り、本
発明による流量測定装置に適用される種々の検出素子の
説明図であり、それぞれ上図が平面図、下図が平面中央
部の断面図である。

【図９】本発明の実施例４−１に係る分流管の説明図で
ある。

【図１０】（Ａ）は本発明の実施例４−２及び（Ｂ）は
同４−３に係る分流管の説明図である。

【図１１】（Ａ）は本発明の実施例４−４に係る分流
管、（Ｂ）は同４−５に係る分流管の部分、及び（Ｃ）
は同４−６に係る分流管のそれぞれ説明図である。

【図１２】（Ａ）は本発明の実施例４−７及び（Ｂ）は
同４−８に係る分流管の説明図である。

【図１３】（Ａ）は本発明の実施例４−９及び（Ｂ）は
同４−１０に係る分流管の説明図である。

【図１４】本発明による測定装置の適用例１を説明する
ための図であり、（Ａ）は全体図、（Ｂ）は測定装置が
設置された部分の拡大図である。

【図１５】本発明による測定装置の適用例２を説明する
ための図であり、（Ａ）は全体図、（Ｂ）は測定装置が
設置された部分の拡大図である。

【符号の説明】

１ 主流管 ２ 分流管 ２ａ，２ｂ 隆起部 ２ｃ 変曲部 ２ｄ 対向面 ２ｅ，２ｆ 流路面 ３ 検出部 ４ 支持体 ５ 検出素子 ６ 接着層 １０ 主流管内の流れ １１ 分流管へ導入された流れ １２ 検出素子に対して斜めに当たる流れ（ダウンフロ
ー） ２０ ヒータ ２１ リム部 ２２ ダイヤフラム部 ２３ 上流温度センサ ２４ 下流温度センサ ２５ 雰囲気温度センサ ３０ 半導体層 ３１ 第１のＳｉＮ絶縁膜 ３２ 第２のＳｉＮ絶縁膜 ３３ 白金抵抗体 ３４ パッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 多喜男 名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊 陶業株式会社内 (72)発明者 葛谷 康寿 名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊 陶業株式会社内 (72)発明者 須田 正憲 名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊 陶業株式会社内 (72)発明者 大島 崇文 名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊 陶業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F030 CF09 2F035 EA08

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】検出対象である主流管内の流れが導入され
   る分流管と、 前記分流管内の流れに曝され、流れに関する量を検出す
   る検出素子と、 前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜め
   に当たるような流れを形成する流れ制御手段と、 を有することを特徴とする流れに関する測定装置。
2. 【請求項２】前記検出素子が、前記分流管内の流れ方向
   が変化する変曲部に配置されていることを特徴とする請
   求項１記載の流れに関する測定装置。
3. 【請求項３】前記変曲部の少なくとも上流部ないし該上
   流部近傍に、前記流れ制御手段が形成されていることを
   特徴とする請求項２記載の流れに関する測定装置。
4. 【請求項４】前記流れ制御手段として、前記検出素子の
   少なくとも上流側において、該検出素子の検出面より隆
   起している流路面が形成されていることを特徴とする請
   求項１〜３のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
5. 【請求項５】前記検出素子の流れ方向に沿って少なくと
   も上流側の流路面が、基本的に前記検出面に向かって傾
   斜している斜面又は凹曲面であることを特徴とする請求
   項１〜４のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
6. 【請求項６】前記分流管内において、前記検出素子の少
   なくとも上流側に、前記斜面又は前記凹曲面を備えた三
   角状のコーナ部、弧状部、又は直線状の延在部を配置し
   たことを特徴とする請求項５記載の流れに関する測定装
   置。
7. 【請求項７】前記検出素子が、前記分流管の管壁に配置
   されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一
   記載の流れに関する測定装置。
8. 【請求項８】前記検出素子が、前記分流管内の流れの中
   に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいず
   れか一記載の流れに関する測定装置。
9. 【請求項９】前記検出素子の検出面が、該検出面近傍の
   流路面と同一平面上にないことを特徴とする請求項１〜
   ８のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
10. 【請求項１０】前記検出素子の検出面が前記検出面近傍
    の流路面より突出していることを特徴とする請求項１〜
    ９のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
11. 【請求項１１】前記検出素子を前記分流管に対して取付
    けるための支持体を有し、 前記検出素子が前記支持体表面より突出して該支持体に
    支持されていることを特徴とする請求項１〜１０のいず
    れか一記載の流れに関する測定装置。
12. 【請求項１２】前記分流管の前記検出素子に対向する流
    路面が、該検出素子に向かって突出していることを特徴
    とする請求項１〜１１のいずれか一記載の流れに関する
    測定装置。
13. 【請求項１３】前記分流管の前記検出素子に対向する流
    路面が、前記検出素子に向かって曲面状又は多角形状に
    突出していることを特徴とする請求項１２記載の流れに
    関する測定装置。
14. 【請求項１４】前記検出素子の上流及び／又は下流にお
    いて、前記分流管の流れ断面径を拡大及び／又は縮小し
    たことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一記載の
    流れに関する測定装置。
15. 【請求項１５】前記分流管の導入口及び／又は導出口の
    近傍に、溜まりが形成されたことを特徴とする請求項１
    〜１４のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
16. 【請求項１６】前記分流管内の流れが速い部分に、前記
    検出素子の検出面が曝されていることを特徴とする請求
    項１〜１５のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
17. 【請求項１７】前記検出素子を中心として、該検出素子
    の上流側と下流側の流路が基本的に対称に形成されてい
    ることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一記載の
    流れに関する測定装置。
18. 【請求項１８】前記検出素子と前記分流管とが別体に形
    成され、該検出素子と該分流管が互いに対して脱着可能
    に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜１７
    のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
19. 【請求項１９】前記分流管の管壁に貫通窓が形成されて
    いること、 前記検出素子が前記分流管と別体の支持体に該支持体表
    面より突出して支持されていること、 前記貫通窓から前記検出素子が前記分流管内に突出する
    よう、前記支持体と前記分流管が互いに取り付けられて
    いることを特徴とする請求項１〜１８のいずれか一記載
    の流れに関する測定装置。
20. 【請求項２０】前記分流管内において流れが絞られる部
    分と、流れが変向する部分が形成され、 前記流れが絞られる部分の下流であって、前記流れが変
    向する部分又は該変向する部分の下流側近傍に前記検出
    素子が配置されていることを特徴とする請求項１〜１９
    のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
21. 【請求項２１】前記検出素子が温度に基づいて、流量及
    び／又は流速を少なくとも含む流れに関する量を測定す
    るものであることを特徴とする請求項１〜２０のいずれ
    か一記載の流れに関する測定装置。
22. 【請求項２２】前記検出素子の上流側及び下流側に前記
    流れ制御手段が設けられ、 前記分流管の入口から出口へ向かって流れる順流及び該
    出口から入口へ向かって流れる逆流の両方について、流
    れに関する量を検出することを特徴とする請求項１〜２
    １のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
23. 【請求項２３】検出対象である主流管内の流れが導入さ
    れる分流管と、 前記分流管の壁部において前記分流管内の流れに曝さ
    れ、流れに関する量を検出する検出素子と、 前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜め
    に当たるような流れを形成する流れ制御手段と、 を有することを特徴とする流れに関する測定装置。
24. 【請求項２４】検出対象である主流管内の流れを導入し
    て該流れを該主流管外に取り出す分流管と、 前記分流管の前記主流管外へ突出している部分に配置さ
    れ、流れに関する量を検出する検出素子と、 前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜め
    に当たるような流れを形成する流れ制御手段と、 を有することを特徴とする流れに関する測定装置。
25. 【請求項２５】検出対象である主流管内の流れが導入さ
    れる分流管と、 前記分流管内の流れに曝され、流れに関する量を検出す
    る検出素子と、 前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜め
    に当たるような流れを形成する流れ制御手段と、 を有し、 前記検出面が該検出面近傍の流路面より突出しているこ
    と、を特徴とする流れに関する測定装置。
26. 【請求項２６】検出対象である主流管内の流れが導入さ
    れる分流管と、 前記分流管内の流れに曝されるよう支持体を介して該分
    流管に対して取り付けられ、流れに関する量を検出する
    検出素子と、 前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜め
    に当たるような流れを形成する流れ制御手段と、 を有し、 前記検出面が前記検出素子の支持体表面より突出するよ
    う、該検出素子が該支持体に支持されていること、を特
    徴とする流れに関する測定装置。
27. 【請求項２７】測定対象管内の流れを検出管内に取り出
    すこと、 前記検出管内に取り入れた流れを該検出管内で変向させ
    ること、 前記検出管内の前記流れが変向する部分において、該検
    出管内に取り入れられた流れがその検出面に対して斜め
    に当たるよう検出素子が配置されていること、 を特徴とする流れに関する測定装置。
28. 【請求項２８】検出対象である主流管内の流れが導入さ
    れ、該導入した流れを変向する変曲部を備え、該変曲部
    に窓が形成されている分流管と、 前記窓内から前記分流管内の流れに曝されるよう支持体
    を介して該分流管に対して取り付けられ、流れに関する
    量を検出するための検出素子と、 前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜め
    に当たるような流れを形成する流れ制御手段と、 を有し、 前記支持体が前記検出素子を駆動ないし制御するための
    回路基板を含むこと、 前記支持体と前記分流管が互いに対して脱着可能に取り
    付けられていること、を特徴とする流れに関する測定装
    置。
29. 【請求項２９】２輪の車両に搭載される内燃機関に適用
    される流れに関する測定装置であることを特徴とする請
    求項１〜２８のいずれか一記載の流れに関する測定装
    置。