JP2015021953A - 熱式空気流量計 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、流量検出部の高い位置決め精度を確保しつつ、LSI内の抵抗体に発生する熱応力の影響を低減することで、計測精度の高い熱式空気流量計を提供することである。
【解決手段】
抵抗体7を有するLSI3と流量検出部4aとを、流量検出部4aの少なくとも一部が露出するようにインサートモールドして構成したセンサアセンブリ100と、副通路305i,305o,305sを有し流量検出部4aを副通路305s内に配置してセンサアセンブリ100を収容する筐体301とを備え、センサアセンブリ100が第一の樹脂でモールド成形され、筐体301が第二の樹脂でモールド成形された熱式空気流量計において、センサアセンブリ100は第二の樹脂で筐体301に固定されており、センサアセンブリ100に対して流量検出部4aの露出面に平行な引張応力を生じさせる樹脂構造20,21を備える。
【選択図】図4
Description
..このとき、回路部(LSI)の抵抗配置面側を表面とした場合に、センサアセンブリの表面側に形成され、センサアセンブリを被覆する筐体樹脂体積よりも、センサアセンブリの裏面側に形成され、センサアセンブリを被覆する筐体樹脂体積を大きくするとよい。或いは、LSIの抵抗配置面側を表面側とした場合に、LSIの表面側に形成されるセンサアセンブリ樹脂の厚みt1とLSIの裏面側に形成されるセンサアセンブリ樹脂の厚みt2の関係が、t1<t2となるようにするとよい。
Claims (8)
- 抵抗体を有する回路部と流量検出部とを、前記流量検出部の少なくとも一部が露出するようにインサートモールドして構成したセンサアセンブリと、副通路を有し前記流量検出部を前記副通路内に配置して前記センサアセンブリを収容する筐体とを備え、前記センサアセンブリが第一の樹脂でモールド成形され、前記筐体が第二の樹脂でモールド成形された熱式空気流量計において、
前記センサアセンブリは前記筐体を形成する前記第二の樹脂で前記筐体に固定されており、
前記センサアセンブリに対して前記流量検出部が露出する面に平行な方向の引張応力を生じさせる樹脂構造を備えたことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
前記樹脂構造は、前記回路部に対して前記流量検出部が露出する前記センサアセンブリの表面側に存在する樹脂の体積と前記センサアセンブリの裏面側に存在する樹脂の体積とを異ならせた構造であることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項2に記載の熱式空気流量計において、
前記引張応力は、前記樹脂構造が前記センサアセンブリに反り変形を生じさせることにより発生され、前記回路部の抵抗体は前記引張応力が作用する部分に位置することを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項3に記載の熱式空気流量計において、
前記樹脂構造は、前記センサアセンブリの表面側の表面に接触する前記第二の樹脂の体積と、前記センサアセンブリの裏面側の表面に接触する前記第二の樹脂の体積とを異ならせた構造であることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項4に記載の熱式空気流量計において、
前記センサアセンブリの表面側の表面に接触する前記第二の樹脂の体積よりも、前記センサアセンブリの裏面側の表面に接触する前記第二の樹脂の体積の方が大きいことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項5に記載の熱式空気流量計において、
前記回路部に対して前記センサアセンブリの裏面側に設けられた前記第一の樹脂の厚さを、前記回路部に対して前記センサアセンブリの表面側に設けられた前記第一の樹脂の厚さよりも厚くしたことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項3に記載の熱式空気流量計において、
前記樹脂構造は、前記回路部に対して前記センサアセンブリの裏面側に設けられた前記第一の樹脂の厚さを、前記回路部に対して前記センサアセンブリの表面側に設けられた前記第一の樹脂の厚さよりも厚くした構造であることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項5又は7に記載の熱式空気流量計において、
前記第一の樹脂は熱硬化性樹脂であり、前記第二の樹脂は熱可塑性樹脂であることを特徴とする熱式空気流量計。
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