JP6096070B2 - 熱式流量計の製造方法 - Google Patents
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Description
一方の基板面側から他方の基板面側に向けて前記基板面に垂直な断面が縮小するように前記基板面に対して傾斜した基板傾斜部によって囲まれた空洞部と、前記他方の基板面側で前記空洞部を覆うダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに形成された電気抵抗体とを有する気体流量測定素子を支持部材上に支持し、前記気体流量測定素子と前記支持部材とをモールドにより形成された樹脂部で被覆した回路パッケージを備え、前記回路パッケージの前記ダイヤフラムを気体を取り込む副通路に配置し、前記電気抵抗体を使用して気体の流量を測定する熱式流量計の製造方法において、
前記支持部材を、第1の支持部材と、前記第1の支持部材に接着テープを介して接着される第2の支持部材と、を備えた構成とし、
前記気体流量測定素子を、前記接着テープの厚さ寸法よりも厚さ寸法の小さい接着層を介して、前記第2の支持部材に接着し、
前記樹脂部をモールドする金型による押圧力の作用部が、前記ダイヤフラムの全周において、前記基板傾斜部の外側に位置するように、前記金型を設定する。
Claims (6)
- 一方の基板面側から他方の基板面側に向けて前記基板面に垂直な断面が縮小するように前記基板面に対して傾斜した基板傾斜部によって囲まれた空洞部と、前記他方の基板面側で前記空洞部を覆うダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに形成された電気抵抗体とを有する気体流量測定素子を支持部材上に支持し、前記気体流量測定素子と前記支持部材とをモールドにより形成された樹脂部で被覆した回路パッケージを備え、前記回路パッケージの前記ダイヤフラムを気体を取り込む副通路に配置し、前記電気抵抗体を使用して気体の流量を測定する熱式流量計の製造方法において、
前記支持部材を、第1の支持部材と、前記第1の支持部材に接着テープを介して接着される第2の支持部材と、を備えた構成とし、
前記気体流量測定素子を、前記接着テープの厚さ寸法よりも厚さ寸法の小さい接着層を介して、前記第2の支持部材に接着し、
前記樹脂部をモールドする金型による押圧力の作用部が、前記ダイヤフラムの全周において、前記基板傾斜部の外側に位置するように、前記金型を設定することを特徴とする熱式流量計の製造方法。 - 請求項1に記載の熱式流量計の製造方法において、
前記接着テープ及び前記接着層は、前記気体流量測定素子の前記基板面を構成する基板よりもヤング率が低いことを特徴とする熱式流量計の製造方法。 - 請求項2に記載の熱式流量計の製造方法において、
前記接着層は、接着テープによって構成されることを特徴とする熱式流量計の製造方法。 - 請求項3に記載の熱式流量計の製造方法において、
前記第1の支持部材は、前記回路パッケージの配線部材を兼ねる金属製のリード部材であることを特徴とする熱式流量計の製造方法。 - 請求項4に記載の熱式流量計の製造方法において、
前記金型は、前記支持部材に対して前記気体流量測定素子が設けられる側を覆う上金型と、反対側を覆う下金型と、前記上金型の前記ダイヤフラムに対向する部分に設けられた開口部に組み付けられて前記ダイヤフラムを覆う入れ駒とを備え、
前記入れ駒は、前記ダイヤフラムに対向する部分に凹部が形成され、前記ダイヤフラムに対向する部分とダイヤフラムとが非接触状態であり、前記凹部の周囲に形成されて前記気体流量測定素子に押圧力を加える突出部における内周側の縁が前記基板傾斜部の外側に配置され、
前記入れ駒が当接する位置の反対側から、前記リード部材に金型を当接させることを特徴とする熱式流量計の製造方法。 - 請求項5に記載の熱式流量計の製造方法において、
前記入れ駒の前記凹部と前記突出部の表面に樹脂フィルムが設けられ、
前記突出部の表面に設けられた樹脂フィルムの前記気体流量測定素子との接触部を、前記基板傾斜部の外側に配置することを特徴とする熱式流量計の製造方法。
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