JP2017020982A - 熱式空気流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板に形成された空洞部28と、空洞部を覆うように形成されたダイアフラム27とを有し、副通路に配置され被計測流体の流量を計測するセンサチップ4と、センサチップにより検出した流体流量を電気信号に変換する回路部3と、回路部と電気的に接続され外部に信号を出力するコネクタ部と、センサチップ及び回路部を支持する筐体と、センサチップが実装されるプレート2と、プレートが実装されるリードフレーム1を有する熱式空気流量計において、センサチップ及びプレートはセンサチップのダイアフラム及びプレートの一部が露出するように樹脂24でモールドされ、プレートは、ダイアフラム部裏面をセンサアセンブリ外部と連通するための空気通路13を有しており、空気通路はプレートの短手方向におけるセンサチップに押しつけられる箇所よりも内側に形成されている。
【選択図】図3
Description
2…プレート
3…LSI
4…センサチップ
5…接着テープ
6…接着テープ
7…接着テープ
8…金線
9…金線
10…センサアセンブリ
11…筐体
12…副通路
13…空気通路
14…保持部
15…下金型
16…上金型
17…出口開口
20…保持部
21…保持部
24…第1樹脂
26…空気
27…ダイアフラム部
28…空洞部
29…センサチップ搭載領域
30…減肉部
31…センサチップ押付け領域
Claims (8)
- リードフレームと、前記リードフレーム上に設けられるプレートと、前記プレート上に設けられるセンサチップと、前記センサチップのダイアフラム部を露出するよう設けられる樹脂と、を有するセンサアセンブリと、を備え、
前記ダイアフラム部が副通路内に位置するように設けられる熱式空気流量計において、
前記プレートは、前記ダイアフラム部裏面を前記センサアセンブリ外部と連通するための空気通路を有しており、
前記空気通路は、前記プレートの短手方向における前記センサチップに押しつけられる箇所よりも内側に形成されていることを特徴とする熱式空気流量計。 - 前記空気通路は、長手方向に延存する形状のみであることを特徴とする請求項1に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートと前記リードフレームとを接着する接着シートの厚さtと、前記プレートの厚さTと、前記空気通路深さdとの関係が、t<d<T/2なる関係となることを特徴とする請求項1乃至2に記載の熱式空気流量計。
- 前記空気通路及び前記減肉部はフッ酸処理による表面処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートの側面は、少なくとも前記センサチップ搭載領域において、前記センサチップの側面とほぼ面一になることを特徴とする請求項1乃至4に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートはシリコンであることを特徴とする請求項1乃至5に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートはガラスであることを特徴とする請求項1乃至5に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートは樹脂であることを特徴とする請求項1乃至5に記載の熱式空気流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015140954A JP2017020982A (ja) | 2015-07-15 | 2015-07-15 | 熱式空気流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015140954A Pending JP2017020982A (ja) | 2015-07-15 | 2015-07-15 | 熱式空気流量計 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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