JP6064022B2 - 熱式空気流量計 - Google Patents
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Description
本発明の熱式空気流量計の一実施例である第1実施例について説明する。図1に示すように、センサアセンブリ10はリードフレーム1、ガラスプレート2、LSI3、センサチップ4を備えており、これらが第1樹脂7で覆われている。リードフレーム1にガラスプレート2を樹脂フィルム5を用いて接着し、このガラスプレート2にLSI3とセンサチップ4を樹脂フィルム6を用いて接着する。LSI3とセンサチップ4との間、LSI3とリードフレーム1との間は、金線8、9によってワイヤボンデングにより結線することで電気的に接続される。これらを熱硬化性の第1樹脂7によりモールドし、センサアセンブリ10を製作する。なお、LSI3は、流量検出部となるセンサチップ4からのアナログ信号をデジタル信号に変換し、制御、出力する。
熱式空気流量計の第2実施例について説明する。なお、センサアセンブリ10及びハウジング11の構造は上記実施例1と同様の構造である。
熱式空気流量計の第3の実施例について説明する。センサアセンブリ10及びハウジング11の構造は上記実施例1と同様の構造である。実施例3では、図7に示すように、LSI3内部の拡散抵抗体をポリシリコン抵抗18に変更したものである。
2…ガラスプレート
3…LSI
4…センサチップ
5…樹脂フィルム
6…樹脂フィルム
7…第1樹脂
8…金線
9…金線
10…センサアセンブリ
11…ハウジング
12…副通路溝
13…センサアセンブリ保持部
14…リードフレーム保持部
15…拡散抵抗体
16…Si結晶軸<100>方向
17…回路
18…ポリシリコン抵抗
Claims (5)
- 流量検出部と、前記流量検出部が配置される副通路と、前記流量検出部から得られる信号を入力し外部に信号を出力するLSIと、を有し、
前記副通路の側壁は、前記流量検出部と前記LSIとの間、もしくは、前記LSI上に配置され、
前記LSIの内部に設けられた拡散抵抗のうち、一部あるいは全部を、ピエゾ抵抗係数が平均化されたポリシリコン膜で形成したことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
前記LSIの内部に設けられた拡散抵抗は、A/D変換回路を構成する複数の抵抗であって、
当該複数の抵抗は、前記副通路の側壁から一定の距離に配置されたことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1または2に記載の熱式空気流量計において、
前記流量検出部および前記LSIは、樹脂で覆われていることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項3に記載の熱式空気流量計において、
前記樹脂は、熱硬化性樹脂であることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の熱式空気流量計において、
前記副通路は、熱可塑性樹脂で成型したことを特徴とする熱式空気流量計。
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