JP2016011887A - 熱式空気流量計 - Google Patents
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
Abstract
Description
2…プレート
3…LSI
4…センサチップ
5…接着テープ
6…接着テープ
7…接着テープ
8…金線
9…金線
10…センサアセンブリ
11…筐体
12…副通路
13…空気通路
14…保持部
15…下金型
16…上金型
17…出口開口
20…保持部
21…保持部
24…第1樹脂
26…空気
27…ダイアフラム部
28…空洞部
29…センサチップ搭載領域
30…減肉部
Claims (8)
- リードフレームと、前記リードフレーム上に設けられるプレートと、前記プレート上に設けられるセンサチップと、前記センサチップのダイアフラム部を露出するよう設けられる樹脂と、を有するセンサアセンブリと、を備え、
前記ダイアフラム部が副通路内に位置するように設けられる熱式空気流量計において、
前記プレートは、前記センサチップ搭載領域に対して前記プレートの短手方向外側に、減肉部を有することを特徴とする熱式空気流量計。 - 前記減肉部は、プレートに設けられた溝であることを特徴とする請求項1に記載の熱式空気流量計。
- 前記減肉部は、前記プレートの短手方向終端まで設けられていることを特徴とする請求項1に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートは、前記ダイアフラム部裏面を前記センサアセンブリ外部と連通するための空気通路を有することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の熱式空気流量計。
- 前記減肉部と前記空気通路とを連通することを特徴とする請求項4に記載の熱式空気流量計。
- 前記プレートと前記リードフレームとを接着する接着シートの厚さtと、前記プレートの厚さTと、前記空気通路深さdとの関係が、t<d<T/2なる関係となることを特徴とする請求項4に記載の熱式空気流量計。
- 前記空気通路及び前記減肉部はフッ酸処理による表面処理が施されていることを特徴とする請求項4に記載の熱式空気流量計。
- リードフレームと、前記リードフレーム上に設けられるプレートと、前記プレート上に設けられるセンサチップと、前記センサチップのダイアフラム部を露出するよう設けられる樹脂と、を有するセンサアセンブリと、を備え、
前記ダイアフラム部が副通路内に位置するように設けられる熱式空気流量計において、
前記プレートの側面は、少なくとも前記センサチップ搭載領域において、前記センサチップの側面とほぼ面一になることを特徴とする熱式空気流量計。
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---|---|---|---|---|
JP2020079711A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-05-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 樹脂パッケージ並びにそれを備える流量測定装置 |
EP4310459A1 (en) * | 2022-07-21 | 2024-01-24 | Surpass Industry Co., Ltd. | Thermal type flowmeter and manufacturing method of thermal type flowmeter |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009036639A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Denso Corp | センサ装置 |
WO2013084259A1 (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-13 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 空気流量測定装置 |
JP2014010023A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式空気流量センサ |
-
2014
- 2014-06-30 JP JP2014133497A patent/JP6336833B2/ja active Active
-
2015
- 2015-06-08 WO PCT/JP2015/066423 patent/WO2016002439A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009036639A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Denso Corp | センサ装置 |
WO2013084259A1 (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-13 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 空気流量測定装置 |
JP2014010023A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式空気流量センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020079711A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-05-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 樹脂パッケージ並びにそれを備える流量測定装置 |
EP4310459A1 (en) * | 2022-07-21 | 2024-01-24 | Surpass Industry Co., Ltd. | Thermal type flowmeter and manufacturing method of thermal type flowmeter |
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