JP6032140B2 - 流量測定装置 - Google Patents
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Description
そして、吸気の流量を計測する流量センサ、および、吸気の温度を計測する温度センサからのセンサ出力信号は、エンジン制御用の電子制御装置に送られて、燃料噴射制御、点火時期制御等の各種エンジン制御の演算に使用される。
この従来例の流量測定装置には、流量センサと外部回路とを電気接続する外部接続端子(流量センサターミナル)が、温度センサと外部回路とを電気接続する外部接続端子(温度センサターミナル)に対して独立して設置されている。
また、流量センサおよび温度センサと外部回路とを相互に接続する電線(ワイヤハーネス)、外部接続端子(流量センサターミナル、温度センサターミナル)が各々必要となるので、部品点数の増加や部品組付工数の増加に伴ってコストが高くなるという問題がある。
また、ワイヤハーネスが長い程、電気ノイズが乗り易いため、電気ノイズの影響を受け易くなるので、高応答で、且つ高精度に吸気の温度を計測することができなくなるという問題がある。
を流れる空気の流量を計測(検出)する流量センサが副流路内に設置され、ダクト内を流れる空気の温度を計測(検出)する温度センサが主流路内に設置されているので、温度センサの近傍(または周辺)を空気が通過する際に空気の流れが乱れても、流量センサの近傍(または周辺)への空気の流れの影響が生じない。
これによって、流量センサが設置される流路を通過する空気の流れが安定するため、高
応答で、且つ高精度に空気の流量を計測することができる。
また、温度センサが空気の流れのある箇所に設置されているので、高応答で、且つ高精度に空気の温度を計測することができる。
これにより、流量センサの計測値(検出値)である空気の流量、および温度センサの計測値(検出値)である空気の温度を考慮して内燃機関(エンジン)の制御を実施することで、内燃機関(エンジン)の制御性の向上を図ることができる。
図1ないし図3は、本発明の流量測定装置を適用したエアフロメータ(実施例を示したものである。
流量測定装置は、吸入空気(吸気)の流量に対応したセンサ出力信号を、外部回路であるエンジン制御ユニット(電子制御装置:ECU)に対して出力する熱式の空気流量計(以下エアフロメータ1)を備えている。
また、ECUは、エアフロメータ1より出力されるセンサ出力信号に基づいて吸気流量だけでなく、吸気の流れ方向も検出する。
ここで、エンジン制御では、例えば検出した流量測定値に基づいて、インジェクタの噴孔からエンジンに噴射供給する燃料噴射量を演算する。そして、この演算された燃料噴射量に応じてインジェクタの通電時間(開弁期間)を可変制御する。
なお、センサケース7は、予め流量センサ4に温度センサ5を一体化すると共に、モールド樹脂により一体的にモールド成形されたセンササブアッセンブリの状態で流量センサ4を組み付けるセンサハウジングを構成している。
センサケース7の流路形成部の内部には、バイパス流路8、9が形成されている。バイパス流路8、9は、吸気ダクト2の吸気通路3を流れる吸気の一部が取り込まれる第1、第2副流路を構成している。
ここで、第1〜第4センサターミナル11〜14は、外部接続用コネクタの第1〜第4コネクタターミナル(外部のターミナル:図示せず)にそれぞれ電気接続および機械接続されている。
なお、流量センサ4、温度センサ5および第1〜第4センサターミナル11〜14の詳細は、後述する。
流路形成部の内部には、吸気通路3の上流側に向いて開口する流路入口21から吸気の一部を取り込み、この取り込んだ吸気を吸気通路3の下流側へ排出する流路出口22を有するバイパス流路8、9が形成されている。
バイパス流路8、9の流路出口22は、センサケース7の下流端面で開口している。
バイパス流路8は、吸気ダクト2の吸気通路3を流通する吸気の流れ方向に平行となるように形成され、吸気ダクト2の吸気通路3を迂回する空気流路(直線流路)である。また、バイパス流路8の上流部から分岐するバイパス流路9の分岐部23よりも吸気の流れ方向の下流側で、且つバイパス流路8の下流部へ合流するバイパス流路9の合流部24よりも吸気の流れ方向の上流側には、バイパス流路8の吸気の流れ方向の下流側に向かう程、流路断面積が減少するテーパ状の流路絞り部25が設けられている。
曲がり流路の途中には、流量センサ4の流量測定素子をバイパス流路9内に露出するように配置する流量センサ配置部31が設けられている。この流量センサ配置部31よりも吸気の流れ方向の上流側には、所定の曲率半径で湾曲する、あるいは略直角に屈曲する上流側曲がり部(屈曲部)が設けられている。また、流量センサ配置部31よりも吸気の流れ方向の下流側には、所定の曲率半径で湾曲する、あるいは略直角に屈曲する下流側曲がり部(屈曲部)が設けられている。
また、センサチップ41の基端側(流量検出部以外の部位)には、ボンディングワイヤ46を介して、処理回路チップ42の電極部(電極パッド群)と電気接続するための電極部(電極パッド群)が形成されている。
流量検出部は、センサチップ41のメンブレン45の中央に配置されて、加熱電流を供給すると高温に発熱する発熱抵抗体(ヒータ抵抗体:図示せず)と、このヒータ抵抗体を中心にして吸気の流れ方向に沿った上下流側に配置されて、センサチップ41のメンブレン45の上下流の空気温度を検出する複数の第1〜第4空気温度検出抵抗体(図示せず)とを備えている。
流量検出部は、ヒータ抵抗体の発熱によりバイパス流路9における吸気の流れ方向に温度分布を形成し、この温度分布に基づいて吸気流量に対応したセンサ出力信号(第1〜第4空気温度検出抵抗体の抵抗値変化)を電圧変換してECUに対して出力する。
第1〜第4空気温度検出抵抗体は、ヒータ抵抗体と同様に、真空蒸着やスパッタリング等によって形成された白金膜(Pt)、ポリシリコン膜(Poly−Si)や単結晶シリコン膜等の薄膜抵抗体である。
回路部は、ヒータ抵抗体の駆動を制御するヒータ駆動回路部、流量センサ4のセンサチップ41から出力される流量信号(例えばアナログ電圧信号)に各種の処理を施してECUに対して出力する第1信号処理回路部(集積回路部)、温度センサ5のサーミスタ素子から出力される温度信号に各種の処理を施してECUに対して出力する第2信号処理回路部(集積回路部)、および処理回路チップ42の入出力信号に含まれるノイズを除去するためのチップコンデンサ(半導体素子)を備えている。
ここで、ヒータ抵抗体の加熱温度は、吸気温度検出抵抗体の抵抗値に基づいて決定され、ヒータ駆動回路部により周囲の温度(吸気温度検出抵抗体によって検出される吸気温度)に対してほぼ一定の温度差(ΔT)となるように通電制御される。具体的には、例えば温度差(ΔT)が150度に設定されている場合、周囲の温度(吸気温度)が20℃のとき、ヒータ抵抗体の加熱温度が約170℃となるように通電制御され、また、周囲の温度(吸気温度)が40℃のとき、ヒータ抵抗体の加熱温度が約190℃となるように通電制御される。
なお、吸気脈動等を要因として吸気の流れ方向が逆流した場合は、センサチップ41のメンブレン45上の上下流の温度分布が逆になり、算出される温度差の符号も逆転するため、吸気の流れ方向も判別できる。
EEPROMには、流量センサ4の感度やオフセットの調整値、工場出荷時のセンサ出力特性値等が記憶されている。
第2信号処理回路部は、信号増幅器(オペアンプ)等を有し、温度センサ5のサーミスタ素子から出力される温度信号(例えばアナログ電圧信号)を所定の信号増幅率で増幅してECUへ出力する。
リードフレーム43は、流量センサ4のセンサチップ41を搭載支持する第1センサ支持部51、温度センサ5を搭載支持する第2センサ支持部52、および流量センサ4と温度センサ5の処理回路チップ42を搭載支持する処理回路支持部54を備えている。
また、リードフレーム43は、温度センサ5と処理回路チップ42の電極パッドとを電気接続する一対の金属導体55、56を備えている。これらの金属導体55、56は、第2センサ支持部52により構成されている。
モールド樹脂ケース44は、センサチップ41の流量検出部がバイパス流路9内に露出するように、センサチップ41を収容する収容凹部43を有している。このモールド樹脂ケース44は、センサチップ41を搭載するだけでなく、処理回路チップ42も搭載している。
また、モールド樹脂ケース44は、センサチップ41および処理回路チップ42を搭載した状態で、センサケース7の所定の取付箇所に取り付けられている。
リードフレーム43の第1、第2センサ支持部51、52および処理回路支持部54は、モールド樹脂ケース44を構成する同一の合成樹脂(EP製のモールド樹脂材)によって樹脂被覆されている。
にそれぞれ電気接続される一対のセンサリード線(図示せず)とを備えている。
サーミスタ素子は、例えば吸気の温度(吸気温)が高くなると抵抗値が小さくなる温度
−抵抗特性を有する温度抵抗素子(温度測定素子)である。このサーミスタ素子は、電気
絶縁性を有するボビンと、一対のセンサリード線に電気接続される感温抵抗体と、この感
温抵抗体および一対のセンサリード線を保護する保護膜とを備えている。
また、一対のセンサリード線の一端側(金属導体側)は、流量センサ4のモールド樹脂ケース44から図示斜め下方に突出した一対の金属導体(中継配線、中継ターミナル)55、56にそれぞれ電気接続および機械接続されている。
一対の金属導体55、56は、所定の距離を隔てて並列配置されている。温度センサ5は、一対のセンサリード線が各金属導体55、56にそれぞれ溶接されることにより、センサケース7の外側(温度センサ配置部32内)で保持固定されている。
第1センサターミナル11は、ECUの温度センサ入力部に電気接続されて、温度センサ5から出力される温度信号をECUに出力する温度センサ出力端子(中継配線)であって、処理回路チップ42の電極パッドおよび金属導体55と電気接続(導通接合)されている。また、第1センサターミナル11は、外部接続用コネクタの第1コネクタターミナル(温度センサ出力端子、第2出力端子)に電気接続されている。
第4センサターミナル14は、ECUのグランド(GND)側に電気接続されるGND端子(中継配線)であって、処理回路チップ42の電極パッドと電気接続(導通接合)されている。また、第4センサターミナル14は、外部接続用コネクタの第4コネクタターミナル(GND端子、接地端子)に電気接続されている。
以上のように、本実施例のエアフロメータ1においては、吸気ダクト2の吸気通路3内を流れる吸気の流量を検出する流量センサ4がセンサケース7のバイパス流路9の途中の流量センサ配置部31に設置され、吸気ダクト2の吸気通路3内を流れる吸気の温度を検出する温度センサ5が吸気ダクト2の吸気通路3に向けて開放された温度センサ配置部32に設置されているので、温度センサ5の近傍(または周辺)を吸気が通過する際に吸気の流れが乱れても、流量センサ4の近傍(または周辺)への吸気の流れの影響が生じない。
また、吸気ダクト2に形成される吸気通路3内に温度センサ5を設置することにより、温度センサ5が吸気の流れのある箇所に配置されているので、応答良く吸気温度を検出することができ、エンジンの制御性を向上することができる。
また、吸気ダクト2の吸気通路3内を流れる吸気流量に対応した流量信号を出力する流量センサ4と、吸気ダクト2の吸気通路3内を流れる吸気の温度に対応した温度信号を出力する温度センサ5とが、同一の合成樹脂によって一体的に形成されたモールド樹脂ケース44に保持されているので、エアフロメータ1全体の体格の小型化を図ることができ、且つ自動車等の車両や特に吸気ダクト2に対する実装コストが安価となる。
本実施例では、処理回路チップ42の第1信号処理回路部のDSPから出力されるデジタル値をアナログ値に変換してECUへ出力する例を示しているが、DSPに代えて、デジタル値をパルス信号の周波数信号に変換して出力するDFC(デジタル・フリークエンシー・コンバータ)を採用しても良い。
また、デジタル値をそのままECUへ出力するようにしても構わない。
なお、処理回路チップ42の第2信号処理回路部の構成も上記と同様に変更しても良い。
という目的で、流量センサ4と温度センサ5とを一体化することで、流量測定装置(エアフロメータ1)の外部接続用コネクタの外部接続端子(コネクタターミナルやセンサターミナル)を共用化して、自動車等の車両への部品組付工数の低減化や自動車等の車両のエンジンルーム内への電線(ワイヤハーネス)の配線作業の簡略化を図ることができる。
この場合には、第1〜第4センサターミナル11〜14が、外部接続用コネクタの外部接続端子を構成する。
2 吸気ダクト
3 吸気通路(主流路)
4 流量センサ
5 温度センサ
7 センサケース(ハウジング)
8 バイパス流路(副流路)
9 バイパス流路(副流路)
Claims (5)
- 内燃機関に供給される空気の流量および温度を計測する流量測定装置(1)において、
(a)前記内燃機関に空気を供給するダクト(2)内に形成される主流路(3)に突き出し、この主流路(3)を流れる空気の一部を取り込んで通過させるための副流路(8、9)を有するハウジング(7)と、
(b)前記ダクト(2)内を流れる空気の流量を計測する流量センサ(4)と、
(c)前記ダクト(2)内を流れる空気の温度を計測する温度センサ(5)とを備え、
前記流量センサ(4)は、
空気の流量に対応した信号を出力する流量測定素子を具備するセンサチップ(41)、
前記流量センサ(4)および前記温度センサ(5)から出力される信号を処理する処理回路チップ(42)、
ならびに、前記流量測定素子が露出するように前記センサチップ(41)および前記処理回路チップ(42)を被覆するモールド樹脂ケース(44)を有し、
前記流量測定素子が前記副流路(9)の流れに露出するように前記ハウジング(7)に組み付けられ、
前記温度センサ(5)は、空気の温度に対応した信号を出力する温度測定素子を有し、
この温度測定素子は、前記ハウジング(7)の上流側で前記主流路(3)の流れに露出するように配置されるとともに金属導体(55、56)により前記処理回路チップ(42)に電気接続され、
前記ハウジング(7)は、前記ダクト(2)の外部に突出して、前記処理回路チップ(42)で処理された信号を外部回路に出力するための接続端子を収容するコネクタケース(16)を有し、
前記ダクト(2)の外部から内部に向かって前記ハウジング(7)が突き出す方向に関し、前記コネクタケース(16)、前記処理回路チップ(42)、および前記センサチップ(41)が、順次、並んでおり、
前記副流路(9)は曲がりを有し、前記センサチップ(41)は、前記副流路の中で、前記ハウジング(7)が突き出す方向に関する前記コネクタケース(16)との距離が最も小さい位置に存在し、
前記金属導体(55、56)は、前記モールド樹脂ケース(44)から突出しており、突出している部分に前記温度センサ(5)が電気接続され、
前記金属導体(55、56)が前記モールド樹脂ケース(44)から突出する根元の位置は、前記ハウジング(7)が突き出す方向に関し、前記流量測定素子の位置よりも、前記コネクタケース(16)に近いことを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1に記載の流量測定装置(1)において、
前記ハウジング(7)は、前記温度センサ(5)を保持すると共に、前記流量センサ(4)および前記温度センサ(5)と外部との接続を行う外部接続用コネクタを有していることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1または請求項2に記載の流量測定装置(1)において、
前記流量センサ(4)は、外部のターミナルに電気接続される複数の端子(11〜14)を有し、
前記複数の端子(11〜14)のうち少なくとも1つの端子(12、13)は、前記流量センサ(4)と前記温度センサ(5)とで共有する共通端子であることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載の流量測定装置(1)において、
前記ハウジング(7)は、前記流量測定素子を前記副流路(8、9)内に露出するように配置するセンサ配置部(32)を有していることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項4に記載の流量測定装置(1)において、
前記流量センサ(4)は、前記流量測定素子および前記温度センサ(5)を支持するセンサ支持体(33、51、52、54)と、
このセンサ支持体(33、51、52、54)を保護する合成樹脂ケース(34)とを備えたことを特徴とする流量測定装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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