JP2015045515A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 気体の濃度を計測する濃度センサと気体の圧力を計測する圧力センサとを備えたガスセンサ装置において、
   ハウジング内に空気流から遮蔽された計測室を設け、前記計測室に前記濃度センサと前記圧力センサとを配置し、前記圧力センサの圧力信号により前記濃度センサの濃度信号を調整する処理回路部を設けたことを特徴とするガスセンサ装置。
2. 請求項１に記載のガスセンサ装置において、
   前記処理回路部に前記圧力信号の応答速度を前記濃度信号の応答速度に近付ける応答速度調整部を設けたことを特徴とするガスセンサ装置。
3. 請求項２に記載のガスセンサ装置において、
   前記応答速度調整部は、前記圧力信号から前記濃度信号の応答速度に対応する周波数よりも高い高周波数信号成分を除去又は減衰する機能を有し、
   前記濃度信号は前記応答速度調整部によって調整された後の前記圧力信号に基づいて補正されることを特徴とするガスセンサ装置。
4. 請求項３に記載のガスセンサ装置において、
   前記処理回路部に、前記濃度信号を入力しデジタル値に変換する第１のＡ／Ｄ変換器と、前記圧力信号を入力しデジタル値に変換する第２のＡ／Ｄ変換器とを備え、
   前記応答速度調整部はデジタル値に変換された前記圧力信号から前記高周波数信号成分を除去又は減衰する機能を有し、
   前記応答速度調整部によって前記高周波数信号成分が除去又は減衰された後の前記圧力信号に基づいて、前記第１のＡ／Ｄ変換器でデジタル値に変換された前記濃度信号に対して補正演算する演算器を備えたことを特徴とするガスセンサ装置。
5. 請求項４に記載のガスセンサ装置において、
   前記計測室を測定対象となる気体が流れる外部空間に連通する連通路を設け、前記気体の流れに沿ったハウジング面に前記連通路を開口したことを特徴とするガスセンサ装置。
6. 請求項５に記載のガスセンサ装置において、
   前記濃度センサは、発熱抵抗体の放熱量が気体の濃度によって変化することを利用して、気体の濃度を計測することを特徴とするガスセンサ装置。
7. 請求項６に記載のガスセンサ装置において、
   前記濃度センサは、前記発熱抵抗体を半導体基板に形成した薄肉部上に形成したことを特徴とするガスセンサ装置。
8. 請求項１乃至７記載のいずれかに記載のガスセンサ装置において、
   流量センサ素子及び吸気温度センサ素子を前記ハウジングと一体化して備え、前記濃度信号または前記圧力信号を用いて前記流量センサ素子の流量信号に対し補正を加えることを特徴とするガスセンサ装置。