JP2011064707A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 流量制御機器の下流側に配設されるガス流量検定ユニットにおいて、
   ガスを入力する入力部材と、
   前記ガスを出力する出力遮断弁と、
   前記入力部材と前記出力遮断弁とを連通させる連通部材と、
   前記入力部材と前記出力遮断弁との間に供給される前記ガスの圧力を検出する圧力検出器と、
   前記入力部材と前記出力遮断弁との間に供給される前記ガスの温度を検出する温度検出器と、
   前記圧力検出器が検出する圧力検出結果と、前記温度検出器が検出する温度検出結果を用いて前記流量制御機器を流れるガスの流量を検定する制御手段と、を有し、
   前記入力部材、前記圧力検出器、及び前記出力遮断弁が、直列に配置されていること、前記制御手段が、前記直列に配置された前記入力部材、前記圧力検出器、及び前記出力遮断弁と密着して配置されていること、
   を特徴とするガス流量検定ユニット。
2. 請求項１に記載するガス流量検定ユニットにおいて、
   前記温度検出器が棒状の温度センサであって、
   流路ブロックの側面には、前記温度センサを取り付ける取付部が設けられていることを特徴とするガス流量検定ユニット。
3. 請求項１又は請求項２に記載するガス流量検定ユニットにおいて、
   前記流量制御機器が搭載されたガスユニットを内蔵するガスボックスに内設されることを特徴とするガス流量検定ユニット。
4. 請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載するガス流量検定ユニットにおいて、
   前記制御手段は、
   前記流量制御機器と前記出力遮断弁との間にガスを目標圧力だけ封入するときに、前記圧力検出器が既定の初期圧力を検出した後、前記目標圧力を検出するまでの単位時間あたりの上昇圧力値を算出するとともに、圧力検出時のガス温度を前記温度検出器により検出し、前記上昇圧力値と前記ガス温度を用いて前記流量制御機器から前記出力遮断弁までのタンク体積を測定する体積測定手段を有することを特徴とするガス流量検定ユニット。
5. 請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するガス流量検定ユニットにおいて、
   前記制御手段は、
   前記圧力検出器が検出する圧力値を所定間隔でサンプリングして、新規にサンプリングした圧力値と直前にサンプリングした圧力値との傾きを算出し、算出した傾きが測定可能範囲内になったときに、ガスの流量を検定すること、
   を特徴とするガス流量検定ユニット。
6. 請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するガス流量検定ユニットにおいて、
   前記制御手段は、
   前記圧力検出器が検出する圧力値を所定間隔でサンプリングして、新規にサンプリングした圧力値の傾きに対する相関係数を算出し、算出した相関係数が測定可能範囲内になったときに、ガスの流量を検定すること、
   を特徴とするガス流量検定ユニット。