JP6795832B2 - 流量制御機器、流量制御機器の流量校正方法、流量測定機器および流量測定機器を用いた流量測定方法 - Google Patents
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Description
2 プロセスチャンバ
3 真空ポンプ
4 ガス供給源
10 流量制御機器
11 絞り部
12 圧力センサ
13 温度センサ
14 制御バルブ
15 駆動部
16 制御回路
20 基準容量
21 第1バルブ
22 第2バルブ
23 圧力センサ
24 温度センサ
25 演算制御装置
30 流量測定機器
Claims (8)
- 流量制御機器をガス供給システムに組み込む前において予め行う校正方法であり、流量基準器により計測された流量との比較のもとに流量校正を行う流量制御機器の校正方法であって、複数の流量設定に対して所定許容誤差範囲が設定され、前記複数の流量設定のうちの少なくとも1つの特定流量設定の許容誤差範囲が、前記所定許容誤差範囲よりも小さく設定されており、前記少なくとも1つの特定流量設定では、他の流量設定に比べて、前記流量基準器の流量との誤差がより低減されるまで校正動作が行われ、
前記所定許容誤差範囲は、流量が増加するほど許容誤差が同じかまたは大きくなるような連続的な境界線で規定される目標範囲として設定され、一方で、特定流量設定においては、前記所定許容誤差範囲で規定される許容誤差よりも小さく設定された許容誤差であって、前後の流量設定に比べて離散的に小さく設定された許容誤差に目標範囲が設定されている、流量制御機器の流量校正方法。 - 請求項1に記載の流量校正方法によって校正された流量制御機器。
- 記憶装置を有し、前記少なくとも1つの特定流量設定を識別する情報が前記記憶装置に格納されている、請求項2に記載の流量制御機器。
- 前記流量制御機器の下流側に接続された基準容量の体積を測定するために用いられる、請求項2または3に記載の流量制御機器。
- 請求項4に記載の流量制御機器の下流側に接続され、前記基準容量に流入するガスの流量を測定する流量測定機器であって、
前記基準容量の圧力を測定する圧力センサと、前記基準容量の温度を測定する温度センサとを備え、
前記流量制御機器から前記少なくとも1つの特定流量設定で前記基準容量にガスを流すことによって測定された前記基準容量の体積と、前記基準容量における圧力変化率と、前記基準容量の温度とに基づいて流量を測定するように構成されている、流量測定機器。 - 流量制御機器と、前記流量制御機器の下流側に設けられた基準容量と、前記基準容量に流入するガスの流量を測定する流量測定機器とを備えるガス供給システムにおいて行われる流量測定方法であって、
前記流量制御機器を前記ガス供給システムに組み込む前に、流量基準器により計測された流量との比較のもとに前記流量制御機器の流量校正を行うステップであって、複数の流量設定に対して所定許容誤差範囲が設定され、前記複数の流量設定のうちの少なくとも1つの特定流量設定の許容誤差範囲が、前記所定許容誤差範囲よりも小さく設定されており、前記少なくとも1つの特定流量設定では、他の流量設定に比べて、前記流量基準器の流量との誤差がより低減されるまで校正動作を行うステップと、
前記少なくとも1つの特定流量設定で前記流量制御機器から前記基準容量にガスを流すことによって前記基準容量の体積を測定するステップと、
前記流量測定機器において、前記基準容量にガスを流入させた時の前記基準容量の圧力変化率と、前記基準容量の温度と、前記測定された基準容量の体積とに基づいて流量を測定するステップと
を包含し、
前記流量校正を行うステップにおいて、前記所定許容誤差範囲は、流量が増加するほど許容誤差が同じかまたは大きくなるような連続的な境界線で規定される目標範囲として設定され、一方で、特定流量設定においては、前記所定許容誤差範囲で規定される許容誤差よりも小さく設定された許容誤差であって、前後の流量設定に比べて離散的に小さく設定された許容誤差に目標範囲が設定されている流量測定方法。 - 複数のガス供給源にそれぞれ接続された複数のガス供給ラインと、
前記複数のガス供給ラインにそれぞれ設けられた複数の流量制御機器と、
前記複数のガス供給ラインにそれぞれ設けられた複数の第1バルブと、
前記複数の第1バルブの下流側において前記複数のガス供給ラインに共通に接続された共通ガス供給ラインと、
前記共通ガス供給ラインに設けられた第2バルブと、
前記複数の第1バルブと前記第2バルブとの間の流路の圧力を測定する圧力センサと、
前記複数の第1バルブと前記第2バルブとの間の流路の温度を測定する温度センサとを備えるガス供給システムにおいて、
前記複数の第1バルブと前記第2バルブとの間の流路を基準容量として用い、前記第2バルブを閉じた状態で前記複数の流量制御機器のうちのいずれか1つを介して前記基準容量にガスを流したときの前記圧力センサが示す圧力変化および前記温度センサが示す温度に基づいてガスの流量を測定する流量測定方法であって、
前記複数の流量制御機器のうちの少なくとも1つの流量制御機器は、前記ガス供給システムに組み込まれる前に、流量基準器により計測された流量との比較のもとに流量校正が行われており、複数の流量設定に対して所定許容誤差範囲が設定され、前記複数の流量設定のうちの少なくとも1つの特定流量設定の許容誤差範囲が、前記所定許容誤差範囲よりも小さく設定されており、前記少なくとも1つの特定流量設定では、他の流量設定に比べて、前記流量基準器の流量との誤差がより低減されるまで校正動作が行われ、
前記所定許容誤差範囲は、流量が増加するほど許容誤差が同じかまたは大きくなるような連続的な境界線で規定される目標範囲として設定され、一方で、特定流量設定においては、前記所定許容誤差範囲で規定される許容誤差よりも小さく設定された許容誤差であって、前後の流量設定に比べて離散的に小さく設定された許容誤差に目標範囲が設定されており、
前記少なくとも1つの流量制御機器が前記ガス供給システムに組み込まれた後、前記少なくとも1つの特定流量設定でガスを流すことによって前記基準容量の体積の計測を行い、前記計測された体積を用いて流量を測定する、流量測定方法。 - 複数のガス供給源にそれぞれ接続された複数のガス供給ラインと、
前記複数のガス供給ラインにそれぞれ設けられた複数の流量制御機器と、
前記複数のガス供給ラインにそれぞれ設けられた複数の第1バルブと、
前記複数の第1バルブの下流側において前記複数のガス供給ラインに共通に接続された共通ガス供給ラインと、
前記共通ガス供給ラインに設けられた第2バルブと、
前記複数の第1バルブと前記第2バルブとの間の流路の圧力を測定する圧力センサと、
前記複数の第1バルブと前記第2バルブとの間の流路の温度を測定する温度センサとを備えるガス供給システムにおいて、
前記複数の第1バルブと前記第2バルブとの間の流路を基準容量として用い、前記第2バルブを閉じた状態で前記複数の流量制御機器のうちのいずれか1つを介して前記基準容量にガスを流したときの前記圧力センサが示す圧力変化および前記温度センサが示す温度に基づいてガスの流量を測定する方法であって、
前記複数の流量制御機器のうちの少なくとも1つの流量制御機器は、前記ガス供給システムに組み込まれる前に、流量基準器により計測された流量との比較のもとに流量校正が行われており、複数の流量設定に対して所定許容誤差範囲が設定され、前記複数の流量設定のうちの少なくとも1つの特定流量設定において、前記特定流量設定と、前記流量基準器からの計測流量との差が所定許容誤差範囲に収まるように校正され、そのときに前記流量基準器により計測された流量が、前記少なくとも1つの特定流量設定に関連付けて前記流量制御機器の記憶装置に記憶されており、
ここで、前記所定許容誤差範囲は、流量が増加するほど許容誤差が同じかまたは大きくなるような連続的な境界線で規定される目標範囲として設定され、一方で、特定流量設定においては、前記所定許容誤差範囲で規定される許容誤差よりも小さく設定された許容誤差であって、前後の流量設定に比べて離散的に小さく設定された許容誤差に目標範囲が設定されており、
前記少なくとも1つの流量制御機器が前記ガス供給システムに組み込まれた後、前記少なくとも1つの特定流量設定でガスを流すことによって前記基準容量の体積の計測を行うとき、前記流量制御機器の記憶装置に記憶された前記流量基準器により計測された流量を用いて前記基準容量の体積の計測を行い、前記計測された体積を用いて流量を測定する、流量測定方法。
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