JP7249030B2 - 流量測定装置内の容積測定方法および流量測定装置 - Google Patents
流量測定装置内の容積測定方法および流量測定装置 Download PDFInfo
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Description
V1=760・Q・R・Δt/22.4(PA/TA-PB/TB)
ここで、単位は、V1[ml]、Q[sccm]、Δt[min]、P[Torr]、T[K]である。
P1V1/T1=P2(V1+V2)/T2
V2=V1(P1-P2)/P2
Q=22.4・(V0+V2)・(PA/TA-PB/TB)/(R・Δt)
2 ガス供給源
3 流量制御器
4 第1バルブ
5 第2バルブ
6 第3バルブ
7 プロセスチャンバ
8 真空ポンプ
10 流量測定装置
11 真空ポンプ
12 上流側開閉弁
14 下流側開閉弁
16 圧力センサ
18 温度センサ
20 演算制御部
30 測定システム
31 不活性ガス供給源
32 出口側開閉弁
34 流路内圧力センサ
35 流路内温度センサ
36 恒温槽
38 真空ポンプ
V1 基準容積
V2 内部容積
Claims (5)
- 上流側開閉弁と、下流側開閉弁と、前記上流側開閉弁と前記下流側開閉弁との間の圧力を測定する圧力センサとを備えた流量測定装置において前記上流側開閉弁と前記下流側開閉弁との間の容積を測定する容積測定方法であって、
前記流量測定装置を、出口側開閉弁を介してガス供給源の下流側に接続するステップ(a)であって、前記出口側開閉弁と前記上流側開閉弁との間には、圧力および温度を測定する流路内圧力センサおよび流路内温度センサが接続されているステップ(a)と、
前記出口側開閉弁、前記上流側開閉弁および前記下流側開閉弁を開放した状態で前記ガス供給源から前記流量測定装置の下流側にガスを流すステップ(b)と、
前記ステップ(b)の状態から前記上流側開閉弁を閉鎖し、所定時間経過後に前記出口側開閉弁を閉鎖し、前記上流側開閉弁と前記出口側開閉弁とを閉鎖したまま前記上流側開閉弁と前記出口側開閉弁との間の流路内の第1圧力P1を測定するステップ(c)と、
前記ステップ(c)の状態から前記下流側開閉弁を閉鎖し、さらに前記上流側開閉弁を開放した後、前記出口側開閉弁と前記下流側開閉弁とを閉鎖したまま前記出口側開閉弁と前記下流側開閉弁との間の流路内の第2圧力P2を測定するステップ(d)と、
前記流量測定装置の前記上流側開閉弁から前記下流側開閉弁までの流路の容積をV2とし、前記出口側開閉弁から前記上流側開閉弁までの流路の容積をV1としたとき、予め求めておいた既知の容積V1を用いて、容積V2を、V1、P1、P2に基づいて求めるステップ(e)と
を含み、
前記容積V2として、複数の環境温度に対応付けられた複数の容積V2が求められる、流量測定装置内の容積測定方法。 - 前記ステップ(e)は、前記容積V2を、
V2=V1(P1-P2)/P2、または、
V2=V1(P1・T2-P2・T1)/P2・T1
のいずれかに従って求めるステップを含み、ここで、T1は前記ステップ(c)において前記第1圧力P1とともに測定される第1温度T1であり、T2は前記ステップ(d)において前記第2圧力P2とともに測定される第2温度T2である、請求項1に記載の流量測定装置内の容積測定方法。 - 前記容積V2として、3つ以上の環境温度に対応付けられた3つ以上の容積V2が求められる、請求項1または2に記載の流量測定装置内の容積測定方法。
- 前記流量測定装置を恒温槽内に設置するステップをさらに含み、前記恒温槽の温度を調整することによって設定された複数の環境温度に対応付けて、複数の容積V2が求められる、請求項1から3のいずれかに記載の流量測定装置内の容積測定方法。
- 流量制御器と接続される上流側開閉弁と、前記上流側開閉弁の下流側に設けられた圧力センサおよび温度センサと、前記圧力センサおよび温度センサの下流側に設けられた下流側開閉弁とを有する流量測定装置であって、
請求項1から4のいずれかに記載の容積測定方法によって求められた、複数の環境温度に対応付けられた複数の容積値が記憶された記憶部と、
前記圧力センサ及び温度センサによって計測した値と、前記記憶部に記憶された容積値とに基づいて、前記流量制御器の流量を測定する演算制御部と
を備える流量測定装置。
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JP2019139503A JP7249030B2 (ja) | 2019-07-30 | 2019-07-30 | 流量測定装置内の容積測定方法および流量測定装置 |
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JP2019045246A (ja) | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 流量測定システムを検査する方法 |
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