JP6289997B2 - 流量センサの検査方法、検査システム、及び、検査システム用プログラム - Google Patents
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Description
より具体的には、前記各分岐流路に設けられた各バルブを複数開放して、前記上流側流路に対する流路抵抗を小さくすると、前記流路構造における流体の状態を低い圧力で安定させることができる。
このようなものであれば、前記バルブ開閉制御部が、その開閉状態の組み合わせを変更することで、前記上流側流路に対する流路抵抗の大きさを自由に変更し、流体の状態が安定し、検査を開始できる圧力を変化させることができる。
1・・・ガス供給ライン(上流側流路)
2・・・検査対象となる流量制御装置
FS・・・検査対象となる流量センサ
21・・・センシング機構
22・・・流量出力部
23・・・流量制御部
24・・・流量制御バルブ
3・・・検査用ライン(分岐流路)
4・・・基準となる流量制御装置
P1・・・上流側圧力センサ
V・・・バルブ
R・・・層流素子(流体抵抗)
P2・・・下流側圧力センサ
FR・・・流体抵抗調整機構
Claims (7)
- 上流側流路、及び、前記上流側流路の下流において分岐した複数の分岐流路を具備する流路構造に設けられた検査対象の流量センサから出力される測定流量値の時間遅れを検査するための検査方法であって、
前記各分岐流路に対してそれぞれ設けられた層流素子又は分流素子である流体抵抗と、前記各分岐流路に対してそれぞれ設けられたバルブと、前記流路構造における流体の圧力又は流量を測定する流体センサと、を用い、
前記検査対象の流量センサを前記流体センサの出力に基づいて検査する際に前記各バルブを複数開放した状態にするバルブ制御ステップを備え、
前記バルブ制御ステップが、設定流量値が小さいほど、前記流路構造の圧力が小さくなるように前記各バルブの開閉状態の組み合わせを変更することを特徴とする流量センサの検査方法。 - 上流側流路、及び、前記上流側流路の下流において分岐した複数の分岐流路を具備する流路構造に設けられた検査対象の流量センサから出力される測定流量値の時間遅れを検査するために用いられる検査システムであって、
前記各分岐流路に対してそれぞれ設けられた層流素子又は分流素子である流体抵抗と、
前記各分岐流路に対してそれぞれ設けられたバルブと、
前記流路構造における流体の圧力又は流量を測定する流体センサと、
前記検査対象の流量センサを前記流体センサの出力に基づいて検査する際に前記各バルブを複数開放した状態にするように構成されたバルブ開閉制御部と、を備え、
前記バルブ開閉制御部が、設定流量値が小さいほど、前記流路構造の圧力が小さくなるように前記各バルブの開閉状態の組み合わせを変更するように構成されたことを特徴とする流量センサの検査システム。 - 前記バルブ開閉制御部は、少なくとも前記流路構造に流す流体の流量の目標値である設定流量値に応じて、前記各バルブの開閉状態の組み合わせを変更するように構成された請求項2記載の流量センサの検査システム。
- 前記検査対象の流量センサから出力される測定流量値の時系列データと、前記流体センサから出力される圧力又は流量の測定値の時系列データと、に基づいて検査対象の流量センサから出力される測定流量値の時間遅れを検査する流量センサ調整部をさらに備えた請求項2又は3いずれかに記載の流量センサの検査システム。
- 前記検査対象の流量センサが、流体の流量に応じた電気信号を出力するセンシング機構と、前記センシング機構から出力される電気信号の示す値、及び、所定の流量算出式に基づいて測定流量値を出力する流量出力部と、を具備し、
前記流量算出式が、前記センシング機構から出力される電気信号の示す値の微分値と、当該微分値に対して乗じられる係数である微分係数との積の項を有しており、
前記流量センサ調整部が、前記検査対象の流量センサから出力される測定流量値の時系列データと、前記流体センサで測定される測定値の時系列データとの間の位相差がゼロとなるように前記微分係数を変更するように構成されている請求項4記載の流量センサの検査システム。 - 前記検査対象の流量センサが、熱式の流量センサであり、
前記流体センサが、圧力式の流量センサである請求項2乃至5いずれかに記載の流量センサの検査システム。 - 流側流路、及び、前記上流側流路の下流において分岐した複数の分岐流路を具備する流路構造に設けられた検査対象の流量センサから出力される測定流量値の時間遅れを検査するために用いられるものであり、前記各分岐流路に対してそれぞれ設けられた層流素子又は分流素子である流体抵抗と、前記各分岐流路に対してそれぞれ設けられたバルブと、前記流路構造における流体の圧力又は流量を測定する流体センサと、を備えた流量センサの検査システムに用いられるプログラムであって、
前記検査対象の流量センサを前記流体センサの出力に基づいて検査する際に前記各バルブを複数開放した状態にするように構成されたバルブ開閉制御部としてのコンピュータに発揮させ、
前記バルブ開閉制御部が、設定流量値が小さいほど、前記流路構造の圧力が小さくなるように前記各バルブの開閉状態の組み合わせを変更するように構成されていることを特徴とする流量センサの検査システム用プログラム。
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