KR20150130933A - 유량 센서의 검사 방법, 검사 시스템 및 검사 시스템용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체 - Google Patents

Abstract

검사 대상의 유량 센서에 따라 유로 내에 적절한 압력을 충전할 수 있음과 아울러, 검사의 개시까지의 대기 시간을 큰 폭으로 단축할 수 있는 유량 센서의 검사 시스템을 제공하기 위해서, 상기 검사 대상의 유량 센서가 마련된 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 각 유체 저항 보다도 상류측에 적어도 일부가 마련되고, 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서와, 상기 검사 대상의 유량 센서를 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하도록 구성된 밸브 개폐 제어부를 구비했다.

Description

유량 센서의 검사 방법, 검사 시스템 및 검사 시스템용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체{INSPECTION METHOD OF FLOW SENSOR, INSPECTION SYSTEM AND PROGRAM RECORDING MEDIUM WITH PROGRAM FOR INSPECTION SYSTEM RECORDED THEREON}

본 발명은, 유량 센서에서 측정되는 유량값에 포함되는 적어도 시간 지연에 대해서 검사하기 위한 유량 센서의 검사 방법, 검사 시스템 및 검사 시스템용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체에 관한 것이다.

유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값에는, 실(實)유량값에 대해서 시간 지연이 발생하고 있는 경우가 있다. 이와 같은 시간 지연의 유무에 대해 검정(檢定)하거나, 혹은, 시간 지연이 없게 되도록 유량 센서를 조정한다고 하는 유량 센서의 검사 작업이 행해져 있다(특허 문헌 1 참조).

유량 센서의 시간 지연에 관한 검사는 구체적으로는 이하와 같이 행해져 있다. 먼저 검사 대상의 유량 센서, 기준이 되는 유량 센서, 유로 내에 소정의 압력을 발생시키기 위한 유체 저항을 동일한 유로 상에 마련하여 검사 시스템을 구성하고, 그 유로에 흐르는 유체의 유량을 변화시킨다. 다음으로 유량이 변화하고 있을 때에 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터와, 기준이 되는 유량 센서에서 측정되는 기준 유량값의 시계열 데이터를 비교하고, 위상차의 유무로 검정을 행하거나, 각 시계열 데이터의 위상차가 없게 되도록 예를 들면 상기 검사 대상의 유량 센서에 설정되어 있는 미분 계수 등의 파라미터가 조정되거나 한다.

그런데, 상술한 바와 같은 검사를 행하는 경우에는, 각 유량 센서의 출력과는 관계없는 노이즈 등을 포함하지 않도록 하기 위해서, 유로 내에 압력이 충분히 충전되어 유로 내의 유체가 안정된 상태로 된 다음에 검사가 개시된다.

그렇지만, 상기 검사 대상의 유량 센서의 측정 레인지(range)가 소(小)유량 영역으로 설정된 경우, 해당 검사 대상의 유량 센서를 통하여 상기 유로 내에 유입시킬 수 있는 유체의 유량은 유로의 용적과 비교하여 매우 작다. 이 때문에 유로 내의 압력을 시간 지연의 검사를 개시하는데 적합한 압력까지 충전하는데 시간이 걸린다.

또, 상기 검사 대상의 유량 센서가 안정적으로 동작 가능한 유로의 압력은, 그 측정 레인지에 의해서 차이가 있지만, 현재 상태의 검사 시스템에서는 검사 대상의 유량 센서에 의하지 않고, 대략 동일 압력으로 충전한 다음에 검사가 되고 있어, 상기 검사 대상의 유량 센서에 따라 최적화되어 있다고는 말하기 어렵다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 평9－16268호 공보

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 검사 대상의 유량 센서에 따라 유로 내에 적절한 압력을 충전할 수 있음과 아울러, 검사의 개시까지의 대기 시간을 큰 폭으로 단축할 수 있는 유량 센서의 검사 방법, 검사 시스템 및 검사 시스템용 프로그램 기록한 프로그램 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

즉, 본 발명은 상류측 유로 및 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로를 구비하는 유로 구조에 마련된 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위한 검사 방법으로서, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서를 구비한 검사 시스템을 이용하며, 상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하는 밸브 제어 스텝을 구비한 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명은, 상류측 유로 및 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로를 구비하는 유로 구조에 마련된 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위해서 이용되는 검사 시스템으로서, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서와, 상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하도록 구성된 밸브 개폐 제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.

이와 같은 것이면, 상기 각 분기 유로 상에는 각각 유체 저항과 밸브가 마련되어 있으므로, 상기 검사 대상의 유량 센서를 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하는 것으로, 상기 유로 구조에 흐르는 유체의 유량이 소량이었다고 해도, 단시간에 검사를 개시하는데 적합한 압력까지 충전할 수 있다.

보다 구체적으로는, 상기 각 분기 유로에 마련된 각 밸브를 복수 개방하여, 상기 상류측 유로에 대한 유로 저항을 작게 하면, 상기 유로 구조에서의 유체의 상태를 낮은 압력으로 안정시킬 수 있다.

따라서, 예를 들면 상기 검사 대상의 유량 센서의 측정 레인지가 소유량 영역의 것이며, 설정 유량값이 작고 상기 상류측 유로에 유입하는 유량이 유로의 용적과 비교하여 작은 경우에는, 상기 밸브 개폐 제어부는, 상기 유로 저항이 작게 되도록 각 밸브 중 개방되어 있는 밸브의 수를 많게 하여, 저압으로 유체가 안정되도록 하여 시간 지연의 검사를 개시할 수 있는 압력이 상기 유로 구조에서 충전되는 시간을 단축할 수 있다.

상기 검사 대상의 유량 센서의 측정 레인지가 어떤 것이었다고 해도 단시간에 시간 지연의 검사를 개시할 수 있도록 하려면, 상기 밸브 개폐 제어부는, 적어도 상기 유로 구조로 흘려보내는 유체의 유량의 목표값인 설정 유량값에 따라서, 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성된 것이면 좋다.

이와 같은 것이면, 상기 밸브 개폐 제어부는, 그 개폐 상태의 조합을 변경함으로써, 상기 상류측 유로에 대한 유로 저항의 크기를 자유롭게 변경하고, 유체의 상태가 안정되며, 검사를 개시할 수 있는 압력을 변화시킬 수 있다.

예를 들면, 상기 검사 대상의 유량 센서의 측정 레인지가 대(大)유량 영역의 것이며, 설정 유량값이 큰 경우에는, 상기 검사 대상의 유량 센서의 출력이 안정되는 고압으로 유체가 안정되도록 상기 상류측 유로에 대한 유로 저항이 커지도록 각 밸브 중 폐지(閉止)되어 있는 밸브의 수를 많게 하면 된다. 한편, 상기 검사 대상의 유량 센서의 측정 레인지가 소유량 영역의 경우에는, 개방되어 있는 상기 각 밸브의 수를 많게 하여, 상기 유로 구조가 저압으로 유체의 상태가 안정되도록 할 수도 있다.

그리고, 상기 유로 구조에서 시간 지연의 검사에 필요한 압력이 충전되어 있으므로, 상기 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 유량값의 시계열 데이터와, 상기 유체 센서로부터 출력되는 유량 또는 압력의 측정값의 시계열 데이터를 비교함으로써, 상기 검사 대상의 유량 센서에서의 시간 지연을 파악하고, 정밀도 좋게 조정할 수 있다.

이와 같이, 시간 지연에 관한 검사를 개시 가능할 때까지의 대기 시간을 단축함과 아울러, 유량 센서의 출력이 안정되는 압력으로 조정할 수 있으면, 전(全)유량 영역에 대해서 단시간에 정밀도가 좋은 시간 지연의 검사를 실현할 수 있다.

시간 지연의 검사를 개시하기까지 걸리는 시간을 종래와 비교하여 단축할 수 있음과 아울러, 검사 정밀도도 담보할 수 있도록 하려면, 상기 밸브 개폐 제어부는, 설정 유량이 작을수록, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력이 작아지도록 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성되어 있으면 좋다.

시간 지연의 검사는, 기준이 되는 상기 유체 센서로부터 출력되는 측정값이 실제의 값과 조름도 다르지 않게 일치하고 있을 필요는 없고, 실제의 유량의 변화와 동일한 거동을 나타내고 있으면 된다. 여기서, 시간 지연의 검사를 실행하는데 필요 충분한 출력이 상기 유체 센서로부터 얻어지는 압력까지 충전하도록 하고, 시간 지연의 검사를 개시하기까지 걸리는 시간을 필요 최소한으로 하여 검사에 걸리는 전체의 검사 시간을 단축할 수 있도록 하려면, 상기 밸브 개폐 제어부가, 상기 유로 구조에서의 압력이, 상기 유체 센서가 유체의 실(實)압력 또는 실유량과 대략 동일 측정값을 출력할 수 있는 추천 사용 압력 보다도 낮은 압력이 되도록 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성되어 있으면 좋다.

예를 들면, 상기 밸브 개폐 제어부에 의해 시간 지연의 검사에 적절한 압력이 충전된 다음에, 자동적으로 상기 검사 대상의 유량 센서의 시간 지연을 검사할 수 있도록 하려면, 상기 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터와, 상기 유체 센서로부터 출력되는 압력 또는 유량의 측정값의 시계열 데이터에 근거하여 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하는 유량 센서 조정부를 더 구비한 것이면 좋다.

상기 검사 대상의 유량 센서의 시간 지연을 조정하기 위한 구체적인 실시 형태로서는, 상기 검사 대상의 유량 센서가, 유체의 유량에 따른 전기 신호를 출력하는 센싱 기구와, 상기 센싱 기구로부터 출력되는 전기 신호가 나타내는 값 및 소정의 유량 산출식에 근거하여 측정 유량값을 출력하는 유량 출력부를 구비하며, 상기 유량 산출식이, 상기 센싱 기구로부터 출력되는 전기 신호가 나타내는 값의 미분값과, 해당 미분값에 대해서 곱해지는 계수인 미분 계수와의 적(積)의 항을 가지고 있으며, 상기 유량 센서 조정부가, 상기 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터와, 상기 유체 센서에서 측정되는 측정값의 시계열 데이터와의 사이의 위상차가 제로가 되도록 상기 미분 계수를 변경하도록 구성되어 있는 것을 들 수 있다.

상기 검사 대상의 유량 센서의 근방에서 상기 상류측 유로를 흐르는 유체의 유량을 제어하고, 시간 지연의 검사를 위해서 필요한 유량의 변화를 실현할 수 있도록 하며, 시간 지연의 검사의 정밀도를 보다 높일 수 있도록 하려면, 상기 검사 대상의 유량 센서와, 상기 유로 구조 상에 마련된 유량 제어 밸브와, 설정 유량값과 상기 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값과의 편차가 작게 되도록 상기 유량 제어 밸브를 제어하는 유량 제어부가 유량 제어 장치를 구성하고 있으면 좋다.

유량 뿐만 아니라, 흐르고 있는 유체의 특성까지 고려하여 시간 지연의 검사를 행할 수 있도록 하면서, 검사를 개시하기까지 걸리는 시간을 단축할 수 있도록 하려면, 상기 밸브 개폐 제어부가, 설정 유량값과 유로를 흐르는 유체의 가스 종류에 따라 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성되어 있으면 좋다.

상기 검사 대상의 유량 센서로는 시간 지연이 발생하기 쉬운 것으로 하고, 기준이 되는 상기 유체 센서로는 시간 지연이 없고, 거의 실유량의 변화를 반영하는 것으로 하며, 시간 지연의 검사를 정밀도 좋게 행할 수 있도록 하려면, 상기 검사 대상의 유량 센서가, 열식(熱式)의 유량 센서이고, 상기 유체 센서가, 압력식(壓力式)의 유량 센서이면 좋다.

예를 들면 기존의 반도체 제조 시스템 등의 분기 유로 상에 각각 마련되어 있는 유량 제어 장치 등을 이용하여, 본 발명의 유량 센서의 검사 시스템을 덧붙여 구축하려면, 상류측 유로 및 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로를 구비하는 유로 구조에 마련된 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위해서 이용되는 것이며, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서를 구비한 유량 센서의 검사 시스템에 이용되는 프로그램으로서, 상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하도록 구성된 밸브 개폐 제어부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 검사 시스템용 프로그램을, 기존의 시스템에 인스톨(install)하면 좋다. 또, 이 프로그램은 전자적으로 전송되는 것이라도 좋고, CD, DVD, 플래쉬 메모리 등의 프로그램 기록 매체에 기록된 것이라도 괜찮다.

이와 같이 본 발명에 의하면, 검사 대상의 유량 센서에 대해 시간 지연의 검사를 행할 때에, 복수의 분기 유로 상에 마련된 각 밸브를 복수 개방하여 상기 상류측 유로에 대한 유체 저항을 작게 하고, 시간 지연에 관한 검사를 개시하는데 필요한 유체의 안정 상태에서의 압력을 작게 설정할 수 있다. 따라서, 상기 유로 구조에 흐르는 유량이 작은 경우에도, 유체가 안정 상태가 되는 압력이 낮으므로, 압력의 충전이 완료하고 시간 지연의 검사를 개시할 수 있게 되기까지 걸리는 시간을 큰 폭으로 단축할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 반도체 제조 시스템 및 검사 시스템의 전체를 나타내는 모식도.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에서의 상기 반도체 제조 시스템 내에 구성된 유량 센서의 검사 시스템 부분을 나타내는 모식도.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에서의 시간 지연의 조정전과 조정후의 상태를 나타내는 모식적 그래프.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에서의 유량 센서의 검사 시스템의 동작에 대해 나타내는 플로우 차트.
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 반도체 제조 시스템의 전체 및 검사 시스템을 나타내는 모식도.
도 6은 상기 다른 실시 형태에서의 상기 반도체 제조 시스템 내에 구성된 유량 센서의 검사 시스템 부분을 나타내는 모식도.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 유량 센서의 검사 시스템(100)에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

본 실시 형태의 유량 센서의 검사 시스템(100)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, 반도체 제조 장치(P)의 일부로서, 그 프로세스 챔버(C)에 공급하는 각종 가스의 유량 제어를 행하는 유량 제어 장치 중의 유량 센서의 시간 지연에 관한 검사에 이용되는 것이다.

구체적으로 이 반도체 제조 장치(P)는, 예를 들면 프로세스 가스나 에칭 가스 등의 반도체 제조용의 각종 가스가 흐르는 가스 공급 라인(1a, 1b, …)(이하, 「가스 공급 라인(1)」이라고 총칭함)과, 이 가스 공급 라인(1)이 합류하는 합류점보다 하류측에 병렬하여 분기시켜 마련된 챔버용 라인(CL) 및 검사용 라인(3a, 3b, 3c)(이하, 「검사용 라인(3)」이라고 총칭함)과, 가스 공급 라인(1) 상에 각각 마련한 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)를 가지는 유량 제어 장치(2a, 2b, …)(이하, 「검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2)」라고 총칭함)와, 검사용 라인(3) 상에 각각 마련된 기준이 되는 유량 제어 장치(4a, 4b, 4c)(이하, 「기준이 되는 유량 제어 장치(4)」라고도 총칭함)와, 각 유량 제어 장치를 소정 동작시켜 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)의 시간 지연에 관한 검사를 실행하는 정보 처리 장치(5)를 구비하고 있는 것이다. 또, 검사용 라인(3) 및 기준이 되는 유량 제어 장치(4)는, 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2)에서 정확한 유량 제어가 행해지고 있는지 어떤지, 또는 유량 제어 장치(2)의 유량 센서(FS)가 정확한 유량의 값을 나타내고 있는지 어떤지에 대해서 검정(檢定) 또는 교정(校正)하기 위해서도 이용된다. 이와 같은 유량의 값에 관한 검정이나 교정시에는, 상기 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2) 중 하나와, 상기 기준이 되는 유량 제어 장치(4) 중 하나만이, 1대1로 접속되어 한 개의 유로를 이루도록 한 상태에서 행해진다.

상기 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2)는 이른바 열식(熱式)의 매스 플로우 컨트롤러이며, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)는 열식의 유량 센서이다.

또, 상기 기준이 되는 유량 제어 장치(4)는 이른바 압력식(壓力式)의 매스 플로우 컨트롤러로서, 밸브(Va, Vb, Vc), 유체 저항인 층류 소자(Ra, Rb, Rc), 층류 소자(Ra, Rb, Rc)의 상류측에 마련된 상류측 압력 센서(P1), 층류 소자(Ra, Rb, Rc)의 하류측에 마련된 하류측 압력 센서(P2)를 구비하고 있다. 또, 도 2에서는 압력 센서에 대해서는, 시간 지연의 검사에 사용되는 것만을 도시하고 있지만, 실제로는 각 검사용 라인(3)에는 각각 2개의 압력 센서가 상기 각 층류 소자(Ra, Rb, Rc)의 상류측과 하류측에 마련되어 있다.

그리고, 상기 유량 센서의 검사 시스템(100)은, 각 기준이 되는 유량 제어 장치(4a, 4b, 4c)를 이용하여, 상기 가스 공급 라인(1)에 대한 유로 저항 조정 기구(FR)로서 구성되어 있다. 환언하면, 유량 센서의 검사 시스템(100)은, 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2) 및 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)를 포함하지 않고, 시간 지연의 검사시에는 상기 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2a, 2b, 2c, 2d, 2e) 중 하나만이 상기 각 기준이 되는 유량 제어 장치(4a, 4b, 4c)가 접속되도록 상기 정보 처리 장치(5)가 도시하지 않은 유로 접속 전환용의 개폐 밸브의 제어를 행한다.

즉, 도 1에서의 반도체 제조 시스템(P)으로부터, 1개의 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)와, 상기 유량 센서의 검사 시스템(100)만을 뽑아내어 기재하면 도 2와 같이 된다. 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이 본 실시 형태의 유량 센서의 검사 시스템(100)은, 상류측 유로인 가스 공급 라인(1)과, 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로인 검사용 라인(3a, 3b, 3c)을 구비하는 유로 구조(FM)에 마련된 검사 대상의 유량 센서(FS)를 검사하기 위한 것이다. 그리고, 상기 유로 구조(FM)에 시간 지연의 검사 이외의 목적으로 마련된 각 기기를 공용하면서, 시간 지연을 바람직하게 실시할 수 있도록 본 실시 형태의 검사 시스템(100)을 구성하고 있다.

다른 표현을 하면, 도 2에 나타내는 바와 같이 상기 검사 시스템(100)은, 상류측 유로인 가스 공급 라인(1) 중 하나에 마련된 열식의 유량 제어 장치(2)에서의 열식의 유량 센서(FS)에 대해 시간 지연에 관한 검사를 하기 위한 것이다. 이 유량 제어 장치(2)는, 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)와, 가스 공급 라인(1)에 흐르는 유체의 유량을 제어하기 위한 유량 제어 밸브(24)와, 상기 유량 센서(FS)로부터 출력되는 측정 유량값과, 상기 가스 공급 라인(1)에 흐르는 유체의 유량의 목표값인 설정 유량값(Set)과의 편차가 작게 되도록 상기 유량 제어 밸브(24)의 개도(開度)를 제어하는 유량 제어부(23)로 이루어진다. 이 유량 제어부(23)는, 시간 지연의 검사시에 필요한 유체의 유량 변화를 형성하기 위해서 상기 유량 제어 밸브(24)의 개도를 제어하는 것이다. 또, 유량 출력부(22) 및 유량 제어부(23)는 예를 들면 마이크로 컴퓨터 등에 의해 프로그램이 실행되는 것으로 그 기능이 실현되는 것이다.

또, 상기 검사 대상의 유량 센서(FS)는, 유체의 유량에 따른 전기 신호를 출력하는 센싱 기구(21)와, 상기 센싱 기구(21)로부터 출력되는 전기 신호의 값과, 미리 설정되어 있는 유량 산출식에 근거하여 측정 유량값을 출력하는 유량 출력부(22)로 이루어진다. 상기 센싱 기구(21)는, 도시하지 않지만 유로로부터 분기하도록 마련된 U자 모양의 세관(細管)에 2개의 감열(感熱) 저항 소자를 돌려 감아 두고, 각 감열 저항 소자의 온도가 일정하게 되도록 전압을 인가하는 2개의 브릿지(bridge) 회로로 이루어지며, 유체의 유량에 따라 변화하는 각 감열 저항 소자에 인가되는 전압값을 상기 유량 출력부(22)로 출력하도록 구성되어 있다.

상기 유량 출력부(22)는, 상기 센싱 기구(21)로부터의 출력인 각 전압값에 근거하여 소정의 유량 산출식에 의해, 유량을 출력하는 것이다. 상기 센싱 기구(21)로부터 출력되는 전압값과 유체의 실유량과의 사이에는 큰 시간 지연이 존재하기 때문에, 현 시점에서 얻어지는 전압값을 그대로 측정 유량값으로 변환하는 것이 아니라, 현시점에서 얻어지는 값으로부터 현재의 실유량값에 가까운 값을 예측하여 출력할 수 있도록 구성하고 있다.

즉, 상기 유량 출력부(22)에서 사용되는 유량 산출식은, 미분항(微分項)을 가지고 있고, 시간 지연이 회복되도록 되어 있다. 보다 구체적으로는, 상기 유량 산출식이, 상기 센싱 기구(21)로부터 출력되는 전기 신호가 나타내는 값의 미분값과, 해당 미분값에 대해서 곱해지는 계수인 미분 계수와의 적(積)의 항을 가지고 있다. 본 실시 형태의 검사 시스템(100)에서는 이 미분 계수가 적절한 값으로 설정되도록 구성되어 있다.

그리고, 본 실시 형태에서의 상기 검사 시스템(100)은, 상기 가스 공급 라인(1)의 하류측에서 분기하는 복수의 분기 유로인 각 검사용 라인(3a, 3b, 3c) 상에 마련된 상기 각 밸브(Va, Vb, Vc), 상기 각 층류 소자(Ra, Rb, Rc), 상기 상류측 압력 센서(P1) 중 적어도 1개, 상기 하류측 압력 센서(P2) 중 적어도 1개, 상기 정보 처리 장치(5)를 구비한 것이다. 또, 본 실시 형태에서는 도 2에 나타내는 상류측 압력 센서(P1)가 청구항에서의 유체 센서에 상당한다.

상기 정보 처리 장치(5)는, CPU, 메모리, 입출력 수단, A/D, D/A 컨버터 등을 구비한 이른바 컴퓨터로서, 상기 메모리에 격납되어 있는 유량 센서의 검사 시스템용 프로그램이 실행되는 것에 의해, 도 2에 나타내는 바와 같이 밸브 개폐 제어부(51), 기준 유량 산출부(52), 유량 센서 조정부(53)로서의 기능을 적어도 발휘하도록 구성되어 있다.

상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 각 검사용 라인(3a, 3b, 3c)에 마련되어 있는 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개폐를 제어하는 것이며, 상기 가스 공급 라인(1)에 대해서 유체 저항으로서 작용하는 층류 소자(Ra, Rb, Rc)의 수(數)를 제어하는 것이다. 여기서, 각 층류 소자(Ra, Rb, Rc)의 유체 저항으로서의 특성은 적어도 1개는 다르게 하고 있고, 여러 가지 측정 레인지를 가진 검사 대상이 되는 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값 자체의 검정이나 교정에도 대응할 수 있도록 되어 있다.

보다 구체적으로는, 시간 지연의 검사시에 상기 가스 공급 라인에 흐르는 유체의 유량의 목표값인 설정 유량값(Set)과, 유로를 흐르는 가스의 종류에 따라 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 상기 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성되어 있다. 환언하면, 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 상기 각 밸브(Va, Vb, Vc)가 개폐 상태의 조합을 제어하는 것에 의해, 상기 각 층류 소자(Ra, Rb, Rc) 중 상기 가스 공급 라인에 유체 저항으로서 작용하는 층류 소자(Ra, Rb, Rc)의 조합을 변경하고, 상기 가스 공급 라인에 대해서 작용하는 유체 저항의 크기를 변경하고 있다. 본 실시 형태에서는, 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 설정 유량값(Set)과 가스 종류에 대응하는 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개폐 상태의 조합에 대해서 미리 설정한 테이블을 가지고 있으며, 이 테이블을 참조하여 어느 밸브(Va, Vb, Vc)를 개방할지, 혹은, 폐지할지를 결정하고 있다.

설정 유량값(Set)에 주목한 경우, 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 시간 지연의 검사를 위한 설정 유량값(Set)이 작을수록, 상기 가스 공급 라인(1)에 작용하는 유체 저항을 작게 하고, 저압으로 가스 공급 라인 내의 유체의 상태가 안정되도록 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개폐 상태를 제어하도록 되어 있다. 여기서, 유체의 상태가 안정된다는 것은, 예를 들면 상기 유량 제어 밸브(24)의 개도 변화와 유체의 실유량이 소정의 상관 관계를 가지고 있고, 소망의 파형(波形)으로 실유량을 변화시킬 수 있는 것을 말한다. 이 때, 실유량이 설정 유량값(Set)으로 정확하게 추종하고 있을 필요는 없고, 어디까지나 밸브 개도와 실유량의 시간 변화를 그래프로 한 경우의 형상이 동일, 혹은, 시간축 방향으로의 평행 이동과, 출력축 방향으로의 확대 축소로 그래프가 일치하는 것이면 좋다.

상기 기준 유량 산출부(52)는, 상류측 압력 센서(P1)와 하류측 압력 센서(P2)로부터 출력되는 압력값에 근거하여 압력식의 유량 산출식에 의해, 상기 가스 공급 라인에 흐르고 있는 유체의 유량을 산출하는 것이다. 이 유량 산출식은 압력에 근거한 것이기 때문에, 거의 시간 지연이 발생하고 있지 않고, 실유량에 대해서 위상차는 발생하고 있지 않다고 볼 수 있다.

상기 유량 센서 조정부(53)는, 상기 기준 유량 산출부(52)에서 산출되는 기준 유량값과, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)로부터 출력되는 측정 유량값을 비교하고, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)의 시간 지연을 검출하고, 그 시간 지연이 제로가 되도록 조정을 행하는 것이다. 보다 구체적으로는, 상기 유량 센서 조정부(53)는 도 3의 그래프에 나타내는 바와 같이, 상기 검사 대상의 유량 센서(FS)로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터와, 상기 유체 센서에서 측정되는 측정값의 시계열 데이터와의 사이의 위상차가 제로가 되도록 상기 미분 계수를 변경하도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 유량 센서의 검사 시스템(100)에 의한 상기 검사 대상의 유량 센서(FS)에서의 미분 계수의 조정시의 동작에 대해 도 4의 플로우 차트를 참조하면서 설명한다.

먼저, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)의 측정 레인지에 따른 설정 유량값(Set)이 설정된다. 이 설정 유량값(Set)은 유저가 설정해도 괜찮고, 예를 들면 유량 센서의 형식 등을 취득하여 상기 정보 처리 장치(5)가 자동적으로 설정하도록 해도 괜찮다(스텝 ST1).

다음으로 상기 밸브 개폐 제어부(51)가, 설정되어 있는 설정 유량값(Set)의 크기 및 유로에 흐르는 유체의 종류에 따라서, 상기 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개폐 상태의 조합을 결정하고, 변경한다. 예를 들면, 설정 유량값(Set)이 작은 소(小)유량 영역 내로 설정되어 있는 경우에는, 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 모든 밸브(Va, Vb, Vc)를 개방하여 각 검사 라인에 유체가 흐르도록 하여, 상기 가스 공급 라인에 대한 유체 저항의 크기를 가장 작게 한다. 또, 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 설정 유량값(Set)이 중(中)유량 영역 내로 설정되어 있는 경우에는 밸브(Va, Vb, Vc) 중 2개를 개방하고, 설정 유량값(Set)이 대(大)유량 영역으로 설정되어 있는 경우에는 밸브(Va, Vb, Vc) 중 1개만을 개방하여, 유체 저항이 크게 되도록 하고 있다. 이 결과, 설정 유량값(Set)에 따라 유체가 안정 상태가 되는 압력의 크기가 조절된다(스텝 ST2).

상기 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)와 각 층류 소자(Ra, Rb, Rc)와의 사이에 유체가 유입하여, 압력이 충전되고, 유체가 안정 상태가 될 때까지 대기하며(스텝 ST3), 유체가 안정 상태가 된 후에는, 정현파(正弦波) 모양의 설정 유량에 추종하도록 상기 유량 제어 밸브(24)에 의한 유량 제어가 개시된다(스텝 ST4).

상기 유량 센서 조정부(53)는, 기준이 되는 유체 센서인 상기 상류측 압력 센서(P1)와, 상기 하류측 압력 센서(P2)에서 측정되는 압력에 근거하여 산출되는 기준 유량값의 시계열 데이터가 그리는 정현파와, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터가 그리는 정현파로부터 시간 지연을 나타내는 위상차를 취득한다(스텝 ST5).

다음으로 상기 유량 센서 조정부(53)는, 취득된 위상차가 제로가 되도록 상기 유량 출력부(22)에 설정되어 있는 미분 계수를 조절하고, 위상을 진행시켜 기준 유량값과 측정 유량값을 일치시킨다(스텝 ST6).

그리고, 각 가스 공급 라인(1a, 1b, 1c, 1d, 1e)에 마련되어 있는 모든 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)의 검사가 종료했는지 어떤지의 판정이 행해지고(스텝 ST7), 끝나지 않은 경우에는 다른 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)와 가스 공급 라인(1)이 접속되어(스텝 ST8), 스텝 ST1 ~ 스텝 ST7가 반복된다.

이와 같이 본 실시 형태의 유량 센서의 검사 시스템(100)에 의하면, 복수의 병렬로 마련된 분기 유로 상에 각각 밸브(Va, Vb, Vc)와, 층류 소자(Ra, Rb, Rc)가 마련된 유체 저항 조정 기구(FR)를 구성하고 있으므로, 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개폐의 조합을 변경함으로써, 유체가 안정 상태가 되는 압력을 변경할 수 있다.

또, 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)의 측정 레인지가 소유량 영역의 것이고, 설정 유량값(Set)이 작은 경우에는, 예를 들면 상기 각 밸브(Va, Vb, Vc)를 개방하여 저압으로 유체가 안정되도록 하고 있다. 이 때문에, 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)와 상기 각 층류 소자(Ra, Rb, Rc)와의 사이에 유입하는 유체의 유량이 작아도 검사를 개시할 수 있는 압력까지 단시간에 충전할 수 있어, 검사의 대기 시간을 큰 폭으로 단축할 수 있다.

한편, 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)의 측정 레인지가 대유량 영역의 것의 경우에는, 각 밸브(Va, Vb, Vc)의 개방수를 줄여, 유체 저항을 크게 하여, 유체가 안정되는 압력을 높게 하고 있다. 이와 같이 함으로써, 대유량 영역에서도 검사 대상이 되는 유량 센서(FS)로부터 출력되는 측정 유량값에 노이즈 등이 발생하기 어려워, 시간 지연의 검사를 정밀도 좋게 행할 수 있다.

그 외의 실시 형태에 대해 설명한다.

상기 실시 형태에서는, 분기 유로가 3개인 경우를 나타냈지만 분기 유로는 2개 이상이면 된다. 또, 유량 제어 장치가 구비되어 있는 구성을 이용하여 상기 검사 시스템을 구성했지만, 예를 들면, 복수의 병렬인 분기 유로와, 각 분기 유로에 밸브 및 유체 저항을 각각 구비한 유체 저항 조정 장치를 이용해도 상관없다. 또, 밸브에 대해서는 개폐만을 제어할 수 있는 것이라도 좋고, 그 개도를 자유롭게 조절할 수 있는 것이라도 괜찮다. 층류 소자에 대해서도 유체 저항으로서 작용하는 것이면, 다른 것을 이용해도 괜찮다.

상기 실시 형태에서는, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서의 시간 지연을 조정할 때까지 행하고 있었지만, 검사로서는 시간 지연이 있는지 어떤지만을 검정하는 것이라도 괜찮다. 즉, 본 명세서에서는 시간 지연의 검사란, 시간 지연의 검정, 또는, 시간 지연의 조정 중 적어도 일방을 행하는 것을 말한다. 또, 모든 검사를 자동화할 필요는 없고, 예를 들면 시간 지연의 검사시에 설정해야 할 각 밸브의 개폐 상태의 조합만의 결정 및 실행만 상기 정보 처리 장치에서 자동적으로 행해지도록 하고, 시간 지연의 유무의 판정이나 조정 작업에 대해서는 유저가 스스로 행하도록 해도 괜찮다.

상기 각 층류 소자의 특성에 대해서는 모두 일치하고 있어도 괜찮고, 차이가 있어도 괜찮다. 각 층류 소자의 특성이 차이가 있으면, 상기 각 밸브의 개폐 상태의 순열(順列)에 의해도 상기 상류측 유로인 가스 공급로에 대한 유체 저항의 크기를 변경할 수 있고, 시간 지연의 검사에서의 압력을 보다 미세하게 설정할 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서의 시간 지연을 조정하기 위해서 유량값끼리를 비교하고 있었지만, 유체 센서로서 압력 센서를 이용하고, 그 압력값의 시계열 데이터와, 상기 검사 대상이 되는 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터를 비교하여 시간 지연에 관한 조정을 행해도 괜찮다. 이와 같이 단위가 다른 것끼리를 비교해도 괜찮은 것은, 시간 지연에 대해서는, 각 시계열 데이터가 나타내는 파형을 알 수 있으면 되고, 위상차만 정확하게 취득할 수 있으면 시간 지연을 조정하는 것이 가능하기 때문이다. 동일한 이유로부터, 상기 기준이 되는 측정 유량값이나 압력값은, 유체의 실유량, 실압력과 일치하고 있을 필요는 없다. 따라서, 상기 밸브 개폐 제어부가, 상기 상류측 유로에서의 압력이, 상기 유체 센서가 유체의 실압력 또는 실유량과 대략 동일 측정값을 출력할 수 있는 추천 사용 압력 보다도 낮은 압력이 되도록 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성해도 괜찮다. 이와 같은 것이면, 압력이 충전될 때까지의 시간을 더 단축하고, 시간 지연의 검사에 걸리는 시간을 보다 단축할 수 있다.

게다가, 시간 지연을 얻기 위해서 정현파 모양의 설정 유량값(Set)을 사용했지만, 그 외의 파형이라도 상관없다. 예를 들면 1차 응답의 시계열 데이터를 이용하여 시간 지연의 조정을 행해도 괜찮고, 설정 유량값(Set)이 계단 모양으로 변화하는 것이라도 상관없다. 요컨대 유량 변화가 있는 것이고, 시간 지연을 취득할 수 있는 것이면 상관없다. 또, 상기 실시 형태인 특정의 주파수의 정현파에서의 시간 지연을 조정하고 있지만, 예를 들면, 주파수 소인(掃引)을 행하고, 소정의 대역(帶域)에서의 위상 지연이 대략 없게 되도록 미분 계수 등의 조정 작업을 행해도 상관없다. 또, 상기 밸브 개폐 제어부가, 설정 유량값을 이용하지 않고 상기 검사 대상의 유량 센서의 측정 레인지에 따라 상기 각 밸브의 개방수(開放數), 또는, 폐지수를 제어하는 것이라도 괜찮다. 예를 들면, 측정 레인지가 큰 경우에는, 각 밸브의 개방수를 줄이고, 폐지수를 늘리도록 하여 고압으로 유체가 안정되도록 하며, 측정 레인지가 작은 경우에는 각 밸브의 개방수를 많이 하여 저압으로 유체가 안정되도록 하면 된다.

상기 실시 형태에서는, 시간 지연의 검사 대상이 되는 유량 센서는 상류측 유로에 마련되어 있고, 기준이 되는 유체 센서는 분기 유로 상에 마련되어 있었지만, 검사 대상이 되는 유량 센서가 분기 유로에 마련되어 있고, 기준이 되는 유체 센서가 상류측 유로에 마련되어 있어도 괜찮다. 요컨대, 검사 대상이 되는 유량 센서는 상기 유로 구조에 마련되어 있으면 좋고, 마찬가지로 상기 유체 센서도 상기 유로 구조에 마련되어 있으면 괜찮다.

보다 구체적으로는, 도 5에 나타내는 바와 같이 상기 실시 형태와는 검사 대상과 기준의 배치가 바뀌어 있는 것이라도 괜찮다. 즉, 기준이 되는 유량 제어 장치(4)가 상류측 유로인 가스 공급 라인(1) 상에 마련되어 있고, 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2)가 분기 유로인 검사용 라인(3)에 마련되어 있는 것으로서, 상기 검사 시스템(100)을 구성해도 괜찮다. 이하에서는, 이와 같은 검사 시스템(100)의 다른 실시 형태의 상세에 대하여 설명한다. 또, 상기 실시 형태에 대응하는 부재에는 동일 부호를 붙이는 것으로 한다.

도 5에서의 검사 시스템(100)만을 추출하여 기재한 도 6에 나타내는 바와 같이, 이 다른 실시 형태의 검사 시스템(100)에서는, 가스 공급 라인(1) 상에 기준이 되는 유량 제어 장치(4)인 압력식의 매스 플로우 컨트롤러가 배치되어 있고, 복수의 분기 유로로 되어 있는 검사용 라인(3) 상에는 각각 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2a, 2b, 2c, 2d, 2e)인 열식의 매스 플로우 컨트롤러가 마련되어 있다. 또, 도 6에서는 상기 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2a)의 열식의 유량 센서를 검사 대상의 유량 센서(FS)로 하고, 시간 지연에 대해서 검사하는 경우를 나타내고 있다.

이 다른 실시 형태에서의 밸브 개폐 제어부(51)는, 시간 지연의 검사를 개시하는 경우에 예를 들면 유량 센서(FS)의 측정 레인지에 따라서, 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2a, 2b, 2c, 2d, 2e)의 밸브(Va, Vb, Vc, Vd, Ve)의 개폐 상태의 조합을 제어하도록 구성되어 있다. 특히 측정 레인지가 작은 경우에는 상기 밸브 개폐 제어부(51)는, 밸브(Va, Vb, Vc, Vd, Ve) 중 적어도 2개 이상을 개방한다. 즉, 이 실시 형태에서는, 검사 대상이 되는 유량 제어 장치(2a, 2b, 2c, 2d, 2e)의 열식의 유량 센서에서의 권선이 마련된 세관이나 분류(分流) 소자(Ra, Rb, Rc, Rd, Re)를 유체 저항으로서 이용하고 있고, 밸브(Va, Vb, Vc, Vd, Ve) 모두를 개방할지에 따라서, 상기 유로 구조(FM)에서 작용하는 것을 바꿀 수 있도록 하고 있다.

또, 상기 밸브 개폐 제어부는 설정 유량값이나 가스 종류, 측정 레인지 등을 취득하지 않고, 검사 대상의 유량 센서에 대해 시간 지연의 검사를 행하는 경우에는, 상기 각 밸브를 2개 이상 개방하도록 구성한 것이라도 좋다. 게다가, 상기 밸브 개폐 제어부가, 가스 종류만을 따라서 상기 각 밸브의 개방수를 제어하도록 해도 상관없다.

상기 각 실시 형태에서는, 검사 대상의 유량 센서가 열식의 유량 센서이고, 기준이 되는 유체 센서가 압력식의 유량 센서이었지만, 검사 대상의 유량 센서가 압력식의 유량 센서이고, 기준이 되는 유체 센서가 열식의 유량 센서라도 상관없다. 또, 검사 대상이 되는 유량 센서 및 기준이 되는 유체 센서의 측정 원리는, 압력식, 열식에 한정되는 것이 아니라, 초음파식 등의 여러 가지 측정 원리를 이용한 센서라도 상관없다.

또, 상기 분기 유로 상에 마련된 밸브와 유체 저항의 위치 관계는, 각 실시 형태에 나타낸 것에 한정되지 않는다. 즉, 유체 저항에 대해서 밸브는 상류측, 또는, 하류측 중 어느 곳에 마련되어 있어도 상관없다. 유체 저항은, 층류 소자나 분류 소자를 마련하고 있었던 수단에 의해 실현되는 것에 한정되지 않고, 예를 들면, 분기 유로 자체의 길이나 재질, 표면 형상 등에 의해 실현되는 저항을 이용해도 괜찮다. 즉, 유체 저항으로서 분기 유로 상에 부재를 배치하는 것이 아니라, 어느 것도 배치하지 않고 분기 유로 자체의 형상, 특성 등에 의해 소망의 유체 저항을 실현해도 상관없다.

본 명세서에서의 분기 유로란, 상기 밸브 및 상기 유체 저항이 적어도 한 쌍 마련되어 있는 것이면 좋고, 분기 유로와 병렬하여 상기 밸브 및 상기 유체 저항이 마련되어 있지 않은 통과 유로 등이 마련되어 있어도 상관없다. 즉, 상류측 유로의 하류에서 분기하고 있는 유로 전부에 밸브와 유체 저항이 마련되어 있을 필요는 없다.

이들과 같은 것이라도, 상기 유로 구조에 상류로부터 유입하는 유체의 유량이 적은 경우에도 저압으로 유체의 상태를 안정시킬 수 있어, 단시간에 시간 지연의 검사를 개시할 수 있다고 하는 효과를 나타낼 수 있다.

게다가, 상기 유로 구조 내에서의 유량 변화를 생기게 하는 것은, 상기 검사 대상의 유량 센서의 근방에 있는 밸브에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상류측 유로가 아니라, 분기 유로에 마련된 밸브에 의해서 유량 제어를 행하고, 검사 대상의 유량 센서에 대해 시간 지연의 검사를 행하도록 구성해도 상관없다.

또, 도 1에 나타낸 실시 형태에 대해 다른 표현을 하면, 본 발명은, 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위해서 이용되는 검사 시스템으로서, 상기 검사 대상의 유량 센서가 마련된 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 각 유체 저항 보다도 상류측에 적어도 일부가 마련되고, 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서와, 상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하도록 구성된 밸브 개폐 제어부를 구비한 것이다.

그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에서 여러 가지 실시 형태의 변형이나, 조합을 행해도 상관없다.

P - 반도체 제조 장치
1 - 가스 공급 라인(상류측 유로)
2 - 검사 대상이 되는 유량 제어 장치
FS - 검사 대상이 되는 유량 센서
21 - 센싱 기구 22 - 유량 출력부
23 - 유량 제어부 24 - 유량 제어 밸브
3 - 검사용 라인(분기 유로) 4 - 기준이 되는 유량 제어 장치
P1 - 상류측 압력 센서 V - 밸브
R - 층류 소자(유체 저항) P2 - 하류측 압력 센서
FR - 유체 저항 조정 기구

Claims (8)

1. 상류측 유로 및 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로를 구비하는 유로 구조에 마련된 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위한 검사 방법으로서,
   상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서를 이용하며,
   상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하는 밸브 제어 스텝을 구비한 것을 특징으로 하는 유량 센서의 검사 방법.
2. 상류측 유로 및 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로를 구비하는 유로 구조에 마련된 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위해서 이용되는 검사 시스템으로서,
   상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과,
   상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와,
   상기 유로 구조에서의 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서와,
   상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하도록 구성된 밸브 개폐 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 유량 센서의 검사 시스템.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 밸브 개폐 제어부는, 적어도 상기 유로 구조에 흘려보내는 유체의 유량의 목표값인 설정 유량값에 따라서, 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성된 유량 센서의 검사 시스템.
4. 청구항 2에 있어서,
   상기 밸브 개폐 제어부는, 설정 유량값이 작을수록, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력이 작게 되도록 상기 각 밸브의 개폐 상태의 조합을 변경하도록 구성된 유량 센서의 검사 시스템.
5. 청구항 2에 있어서,
   상기 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터와, 상기 유체 센서로부터 출력되는 압력 또는 유량의 측정값의 시계열 데이터에 근거하여 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하는 유량 센서 조정부를 더 구비한 유량 센서의 검사 시스템.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 검사 대상의 유량 센서는, 유체의 유량에 따른 전기 신호를 출력하는 센싱 기구와, 상기 센싱 기구로부터 출력되는 전기 신호가 나타내는 값 및 소정의 유량 산출식에 근거하여 측정 유량값을 출력하는 유량 출력부를 구비하며,
   상기 유량 산출식이, 상기 센싱 기구로부터 출력되는 전기 신호가 나타내는 값의 미분값과, 해당 미분값에 대해서 곱해지는 계수인 미분 계수와의 적(積)의 항(項)을 가지고 있고,
   상기 유량 센서 조정부는, 상기 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시계열 데이터와, 상기 유체 센서에서 측정되는 측정값의 시계열 데이터와의 사이의 위상차가 제로가 되도록 상기 미분 계수를 변경하도록 구성되어 있는 유량 센서의 검사 시스템.
7. 청구항 2에 있어서,
   상기 검사 대상의 유량 센서는, 열식(熱式)의 유량 센서이며,
   상기 유체 센서는, 압력식(壓力式)의 유량 센서인 유량 센서의 검사 시스템.
8. 상류측 유로 및 상기 상류측 유로의 하류에서 분기한 복수의 분기 유로를 구비하는 유로 구조에 마련된 검사 대상의 유량 센서로부터 출력되는 측정 유량값의 시간 지연을 검사하기 위해서 이용되는 것이며, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 유체 저항과, 상기 각 분기 유로에 대해서 각각 마련된 밸브와, 상기 유로 구조에서의 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 유체 센서를 구비한 유량 센서의 검사 시스템에 이용되는 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체로서,
   상기 검사 대상의 유량 센서를 상기 유체 센서의 출력에 근거하여 검사할 때에 상기 각 밸브를 복수 개방한 상태로 하도록 구성된 밸브 개폐 제어부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것을 특징으로 하는 유량 센서의 검사 시스템용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체.
   
   

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