KR101444964B1 - 유량제어장치의 검정방법 - Google Patents

유량제어장치의 검정방법 Download PDF

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Abstract

대기시간도 포함 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 줄여, 정밀도 좋은 검정(檢定)을 실시할 수 있는 유량제어장치의 검정방법을 제공한다. 이를 위해, 유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로상에, 검정대상이 되는 유량제어장치(4) 및|기준이 되는 유량제어장치(5)를, 상류로부터 이 순서로 직렬로 설치해 두고, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치(4)를 그 밸브가 대략 전개(全開)상태에 있는 유량 비(非)제어상태로 함과 동시에, 상기 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의해서 유체유량을 소정유량으로 제어한 상태에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치(4)에 의한 실측유량이, 상기 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의한 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 했다.

Description

유량제어장치의 검정방법{FLOW CONTROLLER, FLOW MEASURING DEVICE TESTING METHOD, FLOW CONTROLLER TESTING SYSTEM, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS}
본 발명은 반도체제조 프로세스 등에서 가스나 액체 등의 유체의 유량을 제어하는 유량제어장치의 검정(檢定)방법 등에 관한 것이다.
종래, 반도체 웨이퍼 등의 제조에서 챔버에 공급하는 가스의 유량을 제어하는 유량제어장치가 이용되고 있다. 이 유량제어장치의 유량제어 정밀도에 문제가 있으면, 반도체 웨이퍼에 제품불량이 발생되기 때문에, 유량제어장치가 설계대로 유량을 제어할 수 있는지 여부를 검증하기 위해, 정기적 혹은 부정기적으로 유량검정이 실시되고 있다.
구체적으로 이 검정은 다음과 같이 하여 실시된다.
예를 들면, 센서부(101a), 컨트롤 밸브(101b) 등을 구비하는 열식(熱式) 질량유량 제어장치(이하, '열식 MFC(101)'라고 칭함)에 대해서 유량검정을 실시하는 경우는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 그 검정대상이 되는 열식 MFC(101)의 하류 측에 기준이 되는 차압식(差壓式) 매스 플로우 미터(mass flow meter)(이하, '차압식 MFM(102)'라고 칭함)를, 상류 측에 레귤레이터(regulator)를, 각각 직렬로 설치 한다. 여기서, 차압식 MFM(102)는 차압식 매스 플로우 컨트롤러(103)의 밸브(103V)는 동작시키지 않고, 매스 플로우 미터 기능만을 동작시킴으로써 실현되고 있다.
그리고, 검정대상이 되는 열식 MFC(101)의 컨트롤 밸브(101b)에서 이 컨트롤 밸브(101b)와 차압식 MFM(102)와의 사이의 유로에서의 유량이 일정유량이 되도록 제어하고, 차압식 MFM(102)의 동작이 안정되는 목표압력에 이르고 나서, 검정대상이 되는 열식 MFC(101)의 센서부의 출력값과, 기준의 차압식 MFM(102)의 출력값을 비교하는 것에 의해 검정을 실시하도록 하고 있다.
또한, 상술한 바와 같은 종래기술은 검정현장에서 적의(適宜)실시되는 것으로, 특허문헌 등으로서 개시되고 있는 것은 발견되지 않는다.
<발명이 해결하고자 하는 과제>
그렇지만, 종래의 구성에서는 열식 MFC(101)가 해당 열식 MFC(101)로부터 차압식 MFM(102)까지의 유로(데드 볼륨(dead volume))를 일정유량으로 제어하기 위해, 차압식 MFM(102)에서의 압력상승은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 일정한 기울기가 되어 상기 목표압력에 이르기까지 시간을 필요로 한다. 이 때문에, 검정의 개시까지의 긴 대기시간이 발생하고, 나아가서는 검정시간이 길어지는 문제점이 있다.
이와 같은 대기시간의 발생은, 압력, 온도, 용적, 시간을 이용한 ROR(Rate of rise)형 및 층류(層流)소자 저항체의 질량유량 적산(積算)값과 기체상태 방정식에 의한 진단(診斷)형(Gas Law check of Integrated Flow Equation("G-LIFE")형)의 양쪽에서 발생한다.
본 발명은 이와 같은 과제를 착안하여 이루어진 것으로, 주된 목적은 대기시간도 포함하여 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 적게 하고, 정밀도 좋은 검정을 실시할 수 있는 유량제어장치의 검정방법을 제공하는 것이다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
즉, 본 발명에 관한 유량제어장치의 검정방법은, 밸브와, 그 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 그 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 유량제어장치의 검정방법으로서, 유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로상에 검정대상이 되는 유량제어장치 및 기준이 되는 유량제어장치를 상류로부터 이 순서로 직렬로 설치해 두고, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치를 그 밸브가 대략 전개(全開)상태에 있는 유량 비(非)제어상태로 함과 동시에, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체유량을 소정유량으로 제어한 상태에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 한 것을 특징으로 한다.
이와 같은 것에 의하면, 검정대상이 되는 유량제어장치를 그 밸브가 대략 전개상태에 있는 유량 비제어상태로 함으로써, 검정대상이 되는 유량제어장치로부터 기준이 되는 유량제어장치까지의 유로(데드 볼륨)의 압력을 단번에 상승시킬 수 있어, 기준이 되는 유량제어장치를 그 동작이 안정되는 목표압력으로 순간적으로 상승시킬 수 있다. 따라서, 대기시간도 포함하여 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 적게 하고, 정밀도 좋은 검정을 실시할 수 있다.
또한, 보다 정확한 판정을 실시할 수 있도록 하려면, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체의 유량을 복수 포인트에서 제어하도록 하고, 각 포인트에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치의 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 각각 판정하도록 하고 있는 것이 바람직하다.
상기 유로의 압력을 일정하게 제어하는 압력제어장치를 검정대상이 되는 유량제어장치의 더욱 상류 또는 유량제어장치의 사이에 설치하도록 하고 있으면, 검정대상이 되는 유량제어장치의 동작을 안정시켜 검정을 원활히 실시할 수 있다.
본 발명의 바람직한 형태로서는, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 상기 검정대상이 되는 유량제어장치와는 유량측정원리가 다른 것을 이용하도록 한 것을 들 수 있다. 예를 들면, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치에 열식의 유량측정원리를 이용하고, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 차압식의 유량측정원리를 이용하도록 하고 있으면, 압력식(壓力式)은 열식에 비해 안정성이 뛰어나고, 하류 측을 부압(負壓)(진공압)으로 함으로써 그 기능을 충분히 발휘할 수 있다. 한편, 열식은 압력식에 비해, 가격이나 동작 조건에서 우수하다. 이 때문에, 이들을 조합시킴으로써, 양(兩) 방식의 장점을 살려 낮은 가격으로 고성능인 가스시스템의 구축이 가능하게 된다.
상기 기준이 되는 유량제어장치에 그 유량측정부보다 상류에 밸브가 배치된 것을 이용하도록 하고 있으면, 밸브를 하류 측에 설치한 경우는 압력의 변화범위가 광범위하게 되어 높은 정밀도의 교정이 곤란하게 되지만, 밸브를 상류 측에 설치하여 유량측정부를 챔버 측(진공 측)으로 함으로써 압력변화범위를 한정할 수 있어, 보다 높은 정밀도의 검정이 가능하게 된다.
상기 기준이 되는 유량제어장치가 상기 유로상에 설치된 비선형(非線型) 저항체와, 그 비선형 저항체의 차압을 측정하는 압력센서를 구비하고, 상기 압력센서에서 측정된 압력에 근거하여 유량을 측정하는 차압식의 유량제어장치이며, 게다가, 상기 비선형 저항체가 그 양단 사이의 차압이 작아질수록 해당 저항체를 흐르는 유량의 차압미분값이 작아지는 특성을 가진, 예를 들면 층류소자이면, 소유량영역에서 높은 정밀도로 유량검정을 실시할 수 있다. 또한, 상기 압력센서로서는, 엄밀하게는, 비선형 저항체의 상류 측 및 하류 측의 양단의 절대압을 측정하고, 그곳에서부터 차압을 구하도록 한 것이 바람직하지만, 하류 측이 진공인 경우와 같이 고정압인 경우는 상류 측에만 압력센서를 배치한 구성이어도 된다. 또 반대로 상류 측이 고정압인 경우는 하류 측에만 압력센서를 배치한 구성으로도 상관없다.
한편, 이와 같은 비선형 저항체의 경우, 대유량영역에서의 오차가 크게 되기 때문에, 대유량영역에서는 내부를 흐르는 유량과 양단 사이의 차압과의 관계가 선형으로서, 유효유량용량이 상기 비선형 저항체보다 큰 오리피스(orifice) 등의 선형 저항체를 이용하여 검정을 실시하는 것이 바람직하다.
그러나, 대유량영역의 검정에서 기준이 되는 오리피스 등의 선형 저항체의 특성은 유체의 종류 변경이나, 부식성 가스의 영향 등에 의한 경시(經時)변화 등에 의해서 변화하기 때문에, 예를 들면, 단순하게 소유량영역과 대유량영역을 조합한 넓은 유량 레인지(range)에서의 검정을 실시하는 경우에는 검정할 때마다, 선형 저항체의 교정을 실시할 필요가 생겨 검정의 수고가 매우 번잡하게 된다.
그래서, 이 수고를 해소하여 단시간에 와이드 레인지(wide range) 검정을 가능하게 하기 위해서는 소유량영역에서의 검정시에, 동시에 선형 저항체의 교정(또는 유량특성의 파악)을 실시해 두면 좋다.
즉, 상기 기준이 되는 유량제어장치의 하류에 선형 저항체를 설치해 두고, 상기 각 포인트에서의 판정시에 상기 선형 저항체의 양단 사이의 차압도 측정하는 것에 의해, 그들 각 차압과 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량과의 대응 관계로부터 해당 선형 저항체의 유량특성을 산출해 둔다.
그리고, 상기 기준이 되는 유량제어장치의 규정유량을 넘은 영역, 즉 대유량영역에서는 상기 검정대상이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량이 상기 선형 저항체의 유량특성으로부터 산출되는 산출유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 하면 된다.
본 발명의 유량제어장치의 검정시스템의 바람직한 형태로서는, 밸브와, 그 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 그 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 유량제어장치의 검정시스템으로서, 유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로와, 그 유로상에 설치한 검정대상이 되는 유량제어장치와, 해당 유로상에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 하류 측에 직렬로 설치한 기준이 되는 유량제어장치와, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 밸브가 대략 전개상태로 고정된 유량 비제어상태로 있고, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체유량이 소정유량으로 제어되고 있는 상태에서, 각 유량제어장치로부터 출력되는 유량측정신호를 수신하고, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정 가능하게 출력하는 정보처리장치를 구비하고 있는 것을 들 수 있다.
본 발명의 반도체 제조장치의 바람직한 형태로서는, 밸브와, 그 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 그 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 유량제어장치의 검정을 실시할 수 있도록 구성한 반도체 제조장치로서, 반도체제조를 위한 프로세스 챔버와, 상기 프로세스 챔버에 반도체제조용 유체를 공급하는 유로와, 상기 유로상에 설치한 검정대상이 되는 유량제어장치와, 해당 유로상에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 하류 측에 직렬로 설치한 기준이 되는 유량제어장치와, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 밸브가 대략 전개상태로 고정된 유량 비제어상태에 있고, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체유량이 소정유량으로 제어되고 있는 상태에서 각 유량제어장치로부터 출력되는 유량측정신호를 수신하고, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 기준이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정 가능하게 출력하는 정보처리장치를 구비하고 있는 것을 들 수 있다.
본 발명의 유량측정장치의 검정방법의 바람직한 형태로서는, 밸브와, 그 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 그 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 기준의 유량제어장치를 이용하여, 유체유량을 측정하는 유량측정부를 구비한 검정대상의 유량측정장치를 검정하는 검정방법으로서, 유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로상에 상기 검정대상의 유량측정장치 및 상기 기준의 유량제어장치를 상류로부터 이 순서로 직렬로 설치해 두고, 상기 기준의 유량제어장치에 의해서 유체유량을 소정유량으로 제어한 상태에서 상기 검정대상의 유량측정장치에 의한 실측유량이 상기 기준의 유량제어장치에 의한 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 한 것을 들 수 있다.
<발명의 효과>
이상에서 설명한 것 같은 본 발명에 의하면, 검정대상이 되는 유량제어장치를 그 밸브가 대략 전개상태에 있는 유량 비제어상태로 함으로써, 검정대상이 되는 유량제어장치로부터 기준이 되는 유량제어장치까지의 데드 볼륨의 압력을 단번에 상승시킬 수 있고, 기준이 되는 유량제어장치를 그 동작이 안정되는 목표압력으로 순간적으로 만들 수 있다. 따라서, 대기시간도 포함한 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 적게 하고, 정밀도 좋은 검정을 실시할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 검정시스템을 구비한 반도체 제조장치를 나타내는 모식도.
도 2는 동일한 실시형태에서의 검정시스템의 기기 구성도.
도 3은 동일한 실시형태에서의 비선형 저항체의 유량과 차압과의 관계를 나타내는 유량특성도.
도 4는 동일한 실시형태에서의 검정시스템의 정보처리장치의 기능 구성도.
도 5는 동일한 실시형태에서의 정보처리장치의 검정에 관한 동작을 설명하기 위한 플로우챠트.
도 6은 동일한 실시형태에서의 검정시스템을 동작시켰을 때의 압력상태를 설명하기 위한 도.
도 7은 본 발명의 제2 실시형태에서의 검정시스템의 기기 구성도.
도 8은 동일한 실시형태에서의 선형 저항체의 유량과 차압과의 관계를 나타내는 유량특성도.
도 9는 동일한 실시형태에서의 검정시스템의 정보처리장치의 기능 구성도.
도 10은 본 발명의 다른 실시형태에 관한 검정시스템을 나타내는 모식도.
도 11은 종래의 검정시스템의 기기 구성도.
도 12는 종래의 검정시스템을 동작시켰을 때의 압력 상태를 설명하기 위한 도.
<발명을 실시하기 위한 바람직한 형태>
이하, 본 발명의 여러 가지의 실시형태에 관한 유량제어장치의 검정시스템(A)에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
<제1 실시형태>
본 실시형태의 유량제어장치의 검정시스템(A)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, 반도체 제조장치(P)의 일부로서, 그 프로세스 챔버(C)에 공급하는 각종 가스의 유량제어를 실시하는 유량제어장치의 검정에 이용되는 것이다. 구체적으로 이 검정시스템(A)은, 예를 들면 프로세스 가스나 에칭 가스 등의 반도체제조용의 각종 가스가 흐르는 가스공급라인(1a, 1b, … (이하, 「가스공급라인(1)」라고 총칭(總稱)함))과, 이 가스공급라인(1)이 합류되는 합류점보다 하류 측에 병렬하여 설치한 챔버용 라인(2) 및 검정용 라인(3a, 3b, 3c(이하, 「검정용 라인(3)」으로 총칭함))과, 가스공급라인(1)상에 각각 설치한 검정대상이 되는 유량제어장치(4a, 4b, … (이하, 「검정대상이 되는 유량제어장치(4)」로 총칭함))와, 검정용 라인(3)상에 각각 설치한 기준이 되는 유량제어장치(5a, 5b, 5c(이하, 「기준이 되는 유량제어장치(5)」로 총칭함))와, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 상류 측의 가스공급라인(1)상에 설치한 압력제어장치(6a, 6b, … (이하, 「압력제어장치(6)」로 총칭함))와, 각 유량제어장치를 소정동작시켜 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 실측유량이 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의한 실측유량의 소정범위에 있는지 여부를 판정하는 정보처리장치(7)를 구비하여 이루어지는 것이다.
이하, 각부(各部)를 상세히 설명한다.
가스공급라인(1)은 상류 측을 각종 가스를 수용하는 도시하지 않은 가스 봄베(bombe)에 각각 접속하고, 하류 측을 합류부(1x)에서 합류한 것이며, 단독의 가스 또는 혼합 가스를 프로세스 챔버(C)에 공급할 수 있도록 구성되어 있다.
챔버용 라인(2)은 가스공급라인(1)으로부터 흘러 나오는 각종 가스를 프로세 스 챔버(C)에 공급하기 위한 라인이다. 검정시에는 이 챔버용 라인(2)에 각종 가스가 흐르지 않도록 하는 밸브(2V)를 설치하고 있다. 이 밸브(2V)는 정보처리장치(7)에 의해서 개폐 제어되도록 하고 있다.
검정용 라인(3)은 상기 합류부(1x)의 하류 측에 병렬하여 복수(본 실시형태에서는 3개) 설치하고 있다. 각 검정용 라인(3)에는 검정할 수 있는 유량범위가 다른, 즉 유량제어 범위가 다른, 기준이 되는 유량제어장치(5)를 배치하고 있다. 구체적으로는, 검정용 라인(3a)에는 20 ~ 200 SCCM의 유량을 측정(제어)할 수 있는 기준이 되는 유량제어장치(5a)를 배치하고, 검정용 라인(3b)에는, 200 ~ 2,OOO SCCM의 유량을 측정(제어)할 수 있는 기준이 되는 유량제어장치(5b)를 배치하며, 검정용 라인(3c)에는 2,000 ~ 20,OOO SCCM의 유량을 측정(제어)할 수 있는 기준이 되는 유량제어장치(5c)를 배치하고 있다. 그리고, 이들 기준이 되는 유량제어장치(5)의 상류 측에는 밸브(3Va, 3Vb, 3Vc)를 설치하고 있다. 또한, 비검정시에는 이 검정용 라인(3)에 각종 가스가 흐르지 않도록 하는 밸브(3Vx)를 설치하고 있다. 이들 밸브(3Va ~ 3Vc 및 3Vx)는 정보처리장치(7)에 의해서 개폐 제어되도록 하고 있다.
검정대상이 되는 유량제어장치(4)는, 본 실시형태에서는 열식의 질량유량 제어장치이다. 이 검정대상이 되는 유량제어장치(4)는 외부로부터의 지령신호에 의해서 구동되는 것이며, 상기 지령신호로서 설정유량이 주어진 경우에는 내부에서 로컬 피드백 제어를 실시하여 그 설정유량이 되도록 밸브를 제어하는 것 외에, 같은 지령신호의 내용에 따라서는 오픈 루프(open loop) 제어를 실시하여 밸브를 전개 혹은 전폐(全閉)상태로 할 수도 있다. 내부 구성으로서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 내부유로(40)와, 그 내부유로(40) 내를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량센서부(41)와, 그 유량센서부(41)의 예를 들면 하류 측에 설치한 유량제어밸브(42)와, 유량제어 처리수단(43)을 구비하고 있다. 보다 구체적으로 각부를 설명한다.
내부유로(40)는 상세하게 도시하지 않지만, 가스공급라인(1)에 접속되는 도입포트 및 도출포트와, 이들 포트 사이에서 일단(一旦) 분기한 후 합류하는 중공세관(中空細管) 및 바이패스(bypass)부를 구비한 것이다.
유량센서부(41)는 역시 상세하게 도시하지 않지만, 예를 들면, 중공세관에 설치된 한 쌍의 감열(感熱)센서(서멀(thermal)센서)를 구비한 것으로서, 유체의 순시(瞬時)유량이 이 감열센서에 의해서 전기신호로서 검출되고, 내부전기회로에 의해서 그 전기신호가 증폭 등이 되어 검출유량에 따른 값을 가지는 유량측정신호로서 출력된다.
유량제어밸브(42)는 역시 상세하게 도시하지 않지만, 예를 들면, 그 밸브 개도(開度)를 피에조(piezo) 소자를 이용한 액츄에이터에 의해서 변화시킬 수 있도록 구성한 것이다. 액츄에이터는 유량제어 처리수단(43)으로부터의 개도제어신호에 의해서 구동되고, 밸브 개도는 그 개도제어신호의 값에 따른 개도로 조정된다.
유량제어 처리수단(43)는 도시하지 않은 CPU나 내부 메모리, A/D변환기, D/A변환기 등을 가진 디지털 내지 아날로그 전기회로, 유량제어밸브(42) 등과 통신하기 위한 통신 인터페이스, 입력 인터페이스 등으로 구성된 것이다. 그리고, 정보처리장치(7) 등의 외부로부터의 지령신호를 수신하여 그 내용을 해석하고, 예를 들 면, 지령신호가 설정유량을 나타내는 경우는 그 설정유량이 되도록 로컬 피드백 제어한다. 구체적으로는, 유량센서부(41)에서 검출하는 검출유량이 상기 설정유량이 되도록 편차로부터 유량제어밸브(42)의 밸브 개도를 제어하는 개도제어신호를 생성하고, 그 개도제어신호를 유량제어밸브(42)에 대해서 출력한다.
기준이 되는 유량제어장치(5)는 여기서는 차압식의 질량유량 제어장치이고, 도 2에 나타내는 바와 같이, 가스가 흐르는 내부유로(50)와, 이 내부유로(50)의 유로상에 설치한 유량제어밸브(51)와, 차압발생용 저항체(52)와, 그 저항체(52)의 각 단(端)의 압력을 각각 측정하는 압력센서(53, 54)와, 도입구 측의 내부유로(50) 내를 흐르는 가스의 온도를 검지하는 온도센서(55)와, 유량제어 처리수단(56)을 구비하여 이루어지는 것이다.
내부유로(50)는 상류단을 도입포트, 하류단을 도출포트로 하여 각각 개구하는 것으로, 도입포트에는 외부 배관을 통하여 공기압력밸브, 압력 레귤레이터 및 가스 봄베(모두 도시하지 않음)가 접속되어 있다.
유량제어밸브(51)는, 상세하게 도시하지 않지만, 예를 들면, 그 밸브 개도를 피에조 소자 등으로 이루어지는 액츄에이터에 의해서 변화시킬 수 있도록 구성한 것으로서, 유량제어 처리수단(56)으로부터 개도제어신호가 주어지는 것에 의해서 상기 액츄에이터를 구동하고, 그 개도제어신호의 값에 따른 밸브 개도로 조정하여 가스의 유량을 제어하는 것이다.
저항체(52)는 유량제어밸브(51)로부터 흘러 나오는 가스를 도입하는 도입구 및 도출하는 도출구를 구비하여 이루어지고, 이들 도입출구 사이에 차압을 발생시 키는 것이다. 이 실시형태에서는 저항체(52)로서, 예를 들면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 차압이 작아질수록 해당 저항체(52)를 흐르는 유량의 차압미분값이 작아지는 특성을 가진 층류소자 등의 비선형 저항체를 이용하고 있다.
압력센서로서는 입구 측 센서(53)와 출구 측 센서(54)의 2개가 있다. 입구 측 센서(53)는 저항체(52)의 1차 측, 즉 도입구 측의 내부유로(50)를 흐르는 가스의 압력을 검지하는 것이다. 출구 측 센서(54)는 저항체(52)의 2차 측, 즉 도출구 측의 내부유로(50)를 흐르는 가스의 압력을 검지하는 것이다. 본 실시형태에서는 이들 압력센서(53, 54)에 절대압형(絶對壓型) 압력센서를 이용하고 있다.
유량제어 처리수단(56)은 도시하지 않은 CPU나 내부 메모리, A/D변환기, D/A변환기등을 가진 디지털 내지 아날로그 전기회로, 유량제어밸브(51) 등과 통신하기 위한 통신 인터페이스, 입력 인터페이스 등으로 구성된 것이다. 그리고, 상기 내부 메모리에 기억되어 있는 프로그램에 따라서 CPU나 그 주변기기를 협동 동작시키는 것에 의해서, 이 유량제어 처리수단(56)이 각 센서(53, 54)가 검지한 압력값에 근거하여 가스의 질량유량을 산출하는 유량산출부(도시생략)와, 이 유량산출부에서 구한 가스의 질량유량과 유량설정값과의 편차(偏差)를 산출하는 편차산출부(도시생략)와, 이 편차산출부에서 구한 편차에 적어도 비례연산(그 외에 적분연산, 미분연산 등을 포함해도 됨)을 실시하여, 유량제어밸브(51)를 피드백 제어하는 피드백 제어값을 산출하는 제어값 산출부(도시생략)와, 이 제어값 산출부에서 구한 피드백 제어값에 근거하는 값을 가지는 개도제어신호를 생성하고, 그 개도제어신호를 유량제어밸브(51)에 대해서 출력하는 밸브 제어신호 출력부(도시생략)로서의 기능을 적 어도 발휘하도록 구성하고 있다.
압력제어장치(6)는, 예를 들면 레귤레이터로 이루어지고, 해당 압력제어장치(6)의 하류 측의 라인의 압력을 목표압력이 되도록 피드백 제어하는 것이다. 상기 목표압력의 값은 정보처리장치(7)로부터의 지령신호에 의해 설정할 수 있도록 하고 있다.
정보처리장치(7)는 도시하지 않은 CPU나 내부 메모리, A/D변환기, D/A변환기 등을 가진 디지털 내지 아날로그 전기회로, 검정대상이 되는 유량제어장치(4) 및 기준이 되는 유량제어장치(5)의 각부와 통신하기 위한 통신 인터페이스, 입력 인터페이스, 액정 디스플레이 등의 표시장치 등으로 구성된 것으로, 전용(專用)인 것이어도 되고, 일부 또는 전부에 PC 등의 범용 컴퓨터를 이용하도록 한 것이라도 된다. 또, CPU를 이용하지 않고, 아날로그 회로만으로 다음의 각부로서의 기능을 완수하도록 구성해도 되며, 그 일부의 기능을 반도체 제조장치(P)에서의 제어장치(도시생략)나 각 유량제어장치(4, 5)의 유량제어 처리수단과 겸용하는 등, 물리적으로 일체일 필요는 없으며, 유선 내지 무선에 의해서 서로 접속된 복수의 기기로 이루어진 것이어도 된다.
그러나 이 정보처리장치(7)는 상기 내부 메모리에 소정의 프로그램이 격납되어 있고, 그 프로그램에 따라서 CPU나 그 주변기기가 협동 동작하는 것에 의해, 도 4에 나타내는 바와 같이, 상태제어부(7a), 신호수신부(7b), 판정부(7c) 등으로서의 기능을 적어도 발휘한다. 이하, 각부를 상세히 설명한다.
상태제어부(7a)는 입력 인터페이스의 소정조작 등에 의한 검정개시명령을 트 리거(trigger)로서 검정을 위한 지령신호를 출력하고, 검정대상이 되는 유량제어장치(4), 기준이 되는 유량제어장치(5), 압력제어장치(6)에 각각 해당 지령신호에 근거하는 동작을 실시하게 하는 것이다. 구체적인 검정동작에 대해서는 후술한다.
신호수신부(7b)는 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 유량센서부(41)로부터 검정용 유량측정신호를 수신함과 동시에, 기준이 되는 유량제어장치(5)의 유량산출부로부터 기준의 유량측정신호를 수신하는 것이다.
판정부(7c)는 신호수신부(7b)에서 수신한 검정용 유량측정신호와 기준의 유량측정신호를 비교하여, 검정용 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 기준의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하고, 판정결과를 출력하는 것이다. 판정결과의 출력형태는 화면출력이나 인쇄출력 등 실시형태에 따라 적당하게 설정할 수 있다.
다음으로, 이상과 같이 구성되는 유량제어장치의 검정시스템(A)에 대해서, 그 검정을 실시하는 순서를, 도 5를 참조하여 설명한다.
우선, 정보처리장치(7)의 입력 인터페이스를 조작하는 등 검정을 개시한다. 그렇게 하면, 그 검정개시명령이 정보처리장치(7)의 상태제어부(7a)에 전달된다.
상태제어부(7a)는 이 검정개시명령을 트리거로서 지령신호를 출력하고, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)를 밸브(42)가 전개가 되는 유량 비제어상태로 한다(스텝 S1). 즉, 이 유량 비제어상태에서 검정대상이 되는 유량제어장치(4)는 매스 플로우 미터로서의 기능만을 담당한다.
또 그 한편, 상태제어부(7a)는 압력제어장치(6)에도 지령신호를 출력하고, 이 압력제어장치(6)의 하류 측의 유로(3)의 압력을 상기 지령신호에 포함되는 일정한 목표압력이 되도록 압력제어장치(6)에 로컬 피드백 제어시킨다(스텝 S2).
그리고, 해당 상태제어부(7a)는 기준이 되는 유량제어장치(5)에 대해, 유량설정값을 포함한 지령신호를 출력하고, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 로컬 피드백 제어를 실시하게 하여, 이 기준이 되는 유량제어장치(5)를 유량 제어상태(지령신호가 나타내는 유량설정값과 실제로 측정된 유량측정값과의 편차에 근거하여 유량제어 처리수단(56)이 PID제어 등을 하는 상태)로 한다(스텝 S4).
다음으로, 신호수신부(7b)가 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 유량센서부(41)로부터 검정용 유량측정신호를 수신함과 동시에, 기준이 되는 유량제어장치(5)의 유량산출부로부터 기준의 유량측정신호를 수신하면, 판정부(7c)가 수신한 검정용 유량측정신호와 기준의 유량측정신호를 비교한다. 그리고, 검정용 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 기준의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하고, 판정결과를 출력한다(스텝 S5).
또한, 이 실시형태에서는 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의해서 유체의 유량을 다른 값의 복수 포인트에서 제어하도록 하고, 각 포인트에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치(5)의 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 상기 판정부(7c)가 각각 판정하도록 하고 있다(스텝 S3, S5, S7). 예를 들면, 검정대상이 되는 유량제어장치(4a)에 대해서, 100 SCCM 또는 50 SCCM의 유량검정을 하는 경우는 20 ~ 200 SCCM의 유량을 측정(제어)할 수 있는 기준이 되는 유량제어장치(5a)를 50% 또는 25%로 동작시켜 판정하면 된 다. 또, 그 검정대상이 되는 유량제어장치(4a)에 대해서, 1,OOO SCCM의 유량검정을 하는 경우는 200 ~ 2,OOO SCCM의 유량을 측정(제어)할 수 있는 기준이 되는 유량제어장치(5b)를 50%로 동작시켜 판정하면 된다. 이와 같이, 하나의 검정대상이 되는 유량제어장치에 대해서, 유량제어범위가 다른 복수의 기준이 되는 유량제어장치를 임의로 선택하여 유량검정을 실시할 수 있고, 복수 포인트에서 각 실측유량을 비교하는 것으로 보다 폭 넓은 유량 레인지에서 정확한 유량검정의 판정결과를 얻을 수 있다.
그러나, 이와 같이 구성한 유량제어장치의 검정시스템(A)에 의하면, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)를 유량 비제어상태로 하고, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의해서 유체유량을 소정유량으로 제어한 상태에서 유량검정을 실시하도록 하고 있기 때문에, 도 6에 나타내는 바와 같이, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)로부터 기준이 되는 유량제어장치(5)까지의 유로(데드 볼륨)의 압력을 단번에 상승시킬 수 있어, 기준이 되는 유량제어장치(5)를 그 동작이 안정되는 목표압력으로 순간적으로 만들 수 있다. 따라서, 대기시간도 포함하여 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 적게 하고, 정밀도 좋은 검정을 실시할 수 있다. 또, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)와 기준이 되는 유량제어장치(5)와의 사이의 압력을 압력제어장치(6)로 일정하게 제어하기 때문에, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 동작을 안정시켜 검정을 원활히 실시할 수 있다.
또, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의해서 유체의 유량을 복수 포인트에서 제어하도록 하고, 각 포인트에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치(4)의 실측유 량이 상기 기준이 되는 유량제어장치(5)의 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 각각 판정하도록 하고 있다. 따라서, 유량의 리니어러티(linearity) 및 제로점을 알 수 있게 되므로, 보다 정확한 판정을 실시할 수 있다.
또한, 검정대상이 되는 유량제어장치(4)에 열식인 것을 이용하고, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 차압식인 것을 이용하기 때문에, 낮은 가격으로 고성능인 가스 시스템의 구축이 가능하게 된다.
이에 더하여, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 그 압력센서(53, 54)보다 상류에 유량제어밸브(51)가 배치된 것을 이용하고, 센서(53, 54)를 챔버 측(진공 측)으로 하고 있기 때문에, 압력변화범위를 한정할 수 있어, 보다 높은 정밀도의 검정이 가능하게 된다.
또, 검정용 라인(3)을 복수 설치하고, 각각의 검정용 라인(3)에 검정할 수 있는 유량범위가 다른, 바꾸어 말하면 유량제어범위가 다른 기준이 되는 유량제어장치(5)를 배치하고 있기 때문에, 유저(user)가 검정하고자 하는 유량범위에서의 검정을 정밀도 좋게 실시할 수 있다.
<제2 실시형태>
다음으로 본 발명의 제2 실시형태에 대해 설명한다. 또한, 본 실시형태에 있어서, 상기 제1 실시형태에 대응하는 구성요소에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
이 제2 실시형태에서는 기준이 되는 유량제어장치(5)를 1개만 이용함과 동시에, 도 7에 나타내는 바와 같이, 기준이 되는 유량제어장치(5)의 하류에 선형 저항체(여기서는 오리피스)(8)를 설치하고 있다. 이 선형 저항체(8)는, 도 8에 나타내 는 바와 같이, 그 내부를 흐르는 유량과 양단 사이의 차압과의 관계가 선형으로서, 유효유량용량이 상기 비선형 저항체(52)보다 큰 것이다. 또한, 도 7중, 부호 BL은 선형 저항체(8)를 이용하여 검정을 실시할 때, 기준이 되는 유량제어장치를 통하지 않고 선형 저항체(8)로 유체를 유도하기 위한 바이패스 라인이다.
또, 정보처리장치(7)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상태제어부(7a), 신호수신부(7b), 판정부(7c)에 더하여, 유량특성 산출부(7d)로서의 기능을 구비하고 있다.
다음으로, 이 제2 실시형태에서의 검정시의 정보처리장치(7)의 동작에 대해 설명한다.
우선, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의한 규정유량 내, 즉 검정을 위한 충분한 정밀도로 유량을 컨트롤할 수 있는 소유량영역에서는 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 정보처리장치(7)가 유량이 다른 각 포인트에서 검정용 유량측정신호와 기준의 유량측정신호를 비교하여, 검정용 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 기준의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정한다.
이 때, 정보처리장치(7)의 판정부(7c)에 의한 각 포인트에서의 판정과 동시에, 상기 유량특성 산출부(7d)가 상기 선형 저항체(8)의 양단 사이의 차압도 측정하는 것에 의해, 그들 각 차압과 상기 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의한 실측유량과의 대응 관계로부터 해당 선형 저항체(8)의 유량특성을 산출하여 메모리에 기억한다. 이 유량특성은 소유량영역에서 얻어진 것이지만, 지금부터 대유량영역에서의 해당 선형 저항체(8)를 흐르는 유량과 차압과의 관계를 유도할 수 있다.
또한, 이 실시형태에서는 선형 저항체(8)의 양단 사이의 차압은 그 2차 측 압력이 0(즉 진공)이기 때문에, 1차 측 압력을 측정하면 되고, 그 1차 측 압력을 측정하는 센서로서, 상기 기준이 되는 유량제어장치(5)의 출구 측 센서(54)를 이용하도록 하고 있다. 물론 선형 저항체(8)의 양단에 전용의 압력센서를 설치하여도 상관없다.
다음으로, 전환밸브(SV)를 전환하여, 유체가 바이패스 라인(BL)을 통하여 선형 저항체(8)로 유도되도록 한다.
그리고, 기준이 되는 유량제어장치(5)에 의한 제어규정유량을 넘은 영역, 즉 대유량영역에서의 검정을 실시한다. 구체적으로는 상기 검정대상이 되는 유량제어장치(4)에 의한 실측유량이 상기 선형 저항체(8)의 유량특성으로부터 산출되는 산출유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 상기 판정부(7c)가 판정한다. 판정은 상기 소유량영역과 마찬가지로, 복수의 다른 유량 포인트에서 실시한다.
또한, 바이패스 라인은 반드시 필요하지 않고, 대유량영역에서의 검정에서는 기준이 되는 유량제어장치(5)의 밸브(51)를 전개로 한 유량 비제어상태로 하며, 유체가 기준이 되는 유량제어장치(5)를 통하여 선형 저항체(8)로 유도되도록 구성하여도 상관없다.
그러나 이와 같은 것으로 하면, 선형 저항체(8)를 이용한 검정에서는 소유량영역에서 검정정밀도를 담보할 수 없지만, 상술한 유량특성을 가지는 비선형 저항체(52)를 이용하는 것에 의해, 소유량영역에서의 높은 정밀도로의 유량검정을 실시할 수 있다.
한편, 이와 같은 특성의 비선형 저항체(52)의 경우, 대유량영역에서의 오차가 커질 우려가 생기지만, 이 대유량영역에서는 선형 저항체(8)를 이용하고 있기 때문에, 대유량영역에서의 정밀도가 높은 검정도 담보할 수 있어, 결과적으로 매우 넓은 유량범위에 걸쳐 정밀도 좋게 검정을 실시할 수 있다.
게다가, 대유량영역의 검정을 기준으로 하여 이용되는 선형 저항체(8)는 유체의 종류 변경이나, 부식성 가스의 영향 등에 의한 경시변화 등에 의해서 그 유량특성이 변화하기 때문에, 본래라면, 교정할 때 마다, 유량특성을 별도 측정해야 하지만, 이 제2 실시형태에서는 상기 소유량영역에서의 검정시에 선형 저항체(8)의 유량특성의 산출·파악도 동시에 실시해 버리기 때문에, 단시간으로의 수고가 걸리지 않는 검정이 가능하게 된다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 검정대상이 되는 유량제어장치는 열식인 것으로 한정되지 않는다. 또, 기준이 되는 유량제어장치도 차압식인 것으로 한정되지 않는다.
상기 실시형태에서는 압력제어장치를 검정대상이 되는 유량제어장치의 상류에 설치하고 있지만, 검정대상이 되는 유량제어장치와 기준이 되는 유량제어장치와의 사이에 설치하도록 해도 된다.
또, 복수의 검정대상이 되는 유량제어장치를 가스공급라인상에 직렬로 배치할 수도 있다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 바와 같이, 가스공급라인(1)상에 동일한 검정대상이 되는 유량제어장치(4)를 복수(도 5에서는 3개) 직렬로 배치하고, 각 검정대상이 되는 유량제어장치(4)에서의 실측유량이 기준의 유량제어장치(5)가 나 타내는 실측유량의 소정의 범위 내에 있는지 여부를 한 번에 판정할 수 있다. 이와 같이 하는 것에 의해, 단위시간당 검정할 수 있는 개수를 증가시킬 수 있어, 예를 들면, 공장출하시의 검정에 유용하게 된다. 이 때, 가스공급라인상에 직렬로 배치하는 복수의 검정대상이 되는 유량제어장치(4)는 다른 것으로 하여도 된다.
검정용 라인을 복수 설치하고, 각각의 검정용 라인상에 검정할 수 있는 유량범위가 다른, 바꾸어 말하면 유량제어범위가 다른 기준이 되는 유량제어장치를 배치하고 있지만, 검정용 라인은 1개라도 된다.
또한, 검정대상을, 유체유량을 측정하는 유량측정부를 구비한 유량측정장치로 할 수도 있다. 이 경우도 기준의 유량제어장치를 이용하여 상술한 검정방법과 같은 방법으로 검정을 실시하면, 대기시간도 포함하여 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 적게 하고, 정밀도 좋은 검정을 실시할 수 있다.
그 외, 각부의 구체적 구성에 대해서도 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형이 가능하다.
본 발명에 의하면, 검정대상이 되는 유량제어장치를 그 밸브가 대략 전개상태에 있는 유량 비제어상태로 함으로써, 검정대상이 되는 유량제어장치로부터 기준이 되는 유량제어장치까지의 데드 볼륨의 압력을 단번에 상승시킬 수 있고, 기준이 되는 유량제어장치를 그 동작이 안정되는 목표압력으로 순간적으로 만들 수 있다. 따라서, 대기시간도 포함하여 검정에 필요로 하는 시간을 가급적으로 적게 하고, 정밀도 좋은 검정을 실시할 수 있다.

Claims (10)

  1. 밸브와, 상기 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 상기 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 유량제어장치의 검정(檢定)방법으로서,
    유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로상에 검정대상이 되는 유량제어장치 및 기준이 되는 유량제어장치를 상류로부터 순서대로 직렬로 설치해 두고, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치를 상기 밸브가 전개(全開)상태로 있는 유량 비(非)제어상태로 함과 동시에, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체유량을 소정유량으로 제어한 상태에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체의 유량을 복수 포인트에서 제어하도록 하고, 각 포인트에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치의 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 각각 판정하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 유로의 압력을 일정하게 제어하는 압력제어장치를 검정대상이 되는 유량제어장치의 더욱 상류 또는 유량제어장치의 사이에 설치하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  4. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기준이 되는 유량제어장치에 상기 검정대상이 되는 유량제어장치와는 유량측정원리가 다른 것을 이용하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 검정대상이 되는 유량제어장치에 열식(熱式)의 유량측정원리를 이용하고, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 차압식(差壓式)의 유량측정원리를 이용하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 기준이 되는 유량제어장치에 상기 유량측정부보다도 상류에 밸브가 배치된 것을 이용하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 기준이 되는 유량제어장치가 양단 사이의 차압이 작아지는만큼 해당 저항체를 흐르는 유량의 차압미분값이 작아지는 특성을 가진 비선형(非線形) 저항체와, 상기 비선형 저항체에서 발생하는 상기 차압을 측정하는 압력센서를 구비하고, 상기 압력센서에서 측정된 차압에 근거하여 유량을 측정하는 차압식이며,
    상기 기준이 되는 유량제어장치의 하류에 내부를 흐르는 유량과 양단 사이의 차압과의 관계가 선형인 선형 저항체를 설치해 두고,
    상기 각 포인트에서의 판정시에 상기 선형 저항체의 양단 사이의 차압도 측정하는 것에 의해, 그들 각 차압과 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량과의 대응관계로부터 해당 선형 저항체의 유량특성을 산출하며,
    상기 기준이 되는 유량제어장치의 규정유량을 넘은 영역에서는 상기 검정대상이 되는 유량제어장치에 의한 실측유량이 상기 선형 저항체의 유량특성으로부터 산출되는 산출유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 한 유량제어장치의 검정방법.
  8. 밸브와, 상기 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 상기 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 유량제어장치의 검정시스템으로서,
    유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로와,
    상기 유로상에 설치한 검정대상이 되는 유량제어장치와,
    해당 유로상에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 하류 측에 직렬로 설치한 기준이 되는 유량제어장치와,
    상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 밸브가 전개상태로 고정된 유량 비제어상태에 있고, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체유량이 소정유량으로 제어되고 있는 상태에서, 각 유량제어장치로부터 출력되는 유량측정신호를 수신하고, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정 가능하게 출력하는 정보처리장치를 구비하고 있는 유량제어장치의 검정시스템.
  9. 밸브와, 상기 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 상기 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 유량제어장치의 검정을 실시할 수 있도록 구성한 반도체 제조장치로서,
    반도체제조를 위한 프로세스 챔버와,
    상기 프로세스 챔버에 반도체제조용 유체를 공급하는 유로와,
    상기 유로상에 설치한 검정대상이 되는 유량제어장치와,
    해당 유로상에서 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 하류 측에 직렬로 설치한 기준이 되는 유량제어장치와,
    상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 밸브가 전개상태로 고정된 유량 비제어상태에 있고, 상기 기준이 되는 유량제어장치에 의해서 유체유량이 소정유량으로 제어되고 있는 상태에서, 각 유량제어장치로부터 출력되는 유량측정신호를 수신하며, 상기 검정대상이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량이 상기 기준이 되는 유량제어장치의 유량측정신호가 나타내는 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정 가능하게 출력하는 정보처리장치를 구비하고 있는 반도체 제조장치.
  10. 밸브와, 상기 밸브를 통과하는 유체유량을 측정하는 유량측정부와, 상기 유량측정부에서 측정한 실측유량이 주어진 목표유량이 되도록 상기 밸브를 제어하는 밸브제어기구를 구비한 기준의 유량제어장치를 이용하여, 유체유량을 측정하는 유량측정부를 구비한 검정대상의 유량측정장치를 검정하는 유량측정장치의 검정방법으로서,
    유량제어대상이 되는 유체가 흐르는 유로상에 상기 검정대상의 유량측정장치 및 상기 기준의 유량제어장치를 상류로부터 순서대로 직렬로 설치해 두고, 상기 기준의 유량제어장치에 의해서 유체유량을 소정유량으로 제어한 상태에서 상기 검정대상의 유량측정장치에 의한 실측유량이 상기 기준의 유량제어장치에 의한 실측유량의 소정범위 내에 있는지 여부를 판정하도록 한 유량측정장치의 검정방법.
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