KR101861369B1 - 진단기구 - Google Patents

Abstract

열식 유량센서를 이용하고 있는 경우에, 메인유로 또는 센서유로 중 어느 쪽에서 막힘이 발생하고 있는지를 진단할 수 있는 진단기구이며, 유로(7, 8)를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량센서(2, 9)에 관한 이상을 진단하는 진단기구(200)로서, 상기 유량센서(2, 9)가 출력하는 측정유량값이 목표유량값이 되도록 상기 유로에 마련된 유량제어밸브의 개도를 제어하는 유량제어부(41)와, 상기 유량센서(2, 9)보다도 상류에서 상기 유로(7, 8)가 폐지되고 나서, 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 종료할 때까지의 적어도 일부의 기간을 진단기간으로 하여 상기 진단기간에서의 상기 측정유량값의 시간적분에 관련하는 값인 검정값을 출력하는 검정값 출력부(42)와, 상기 검정값과 미리 정한 규정값을 비교하여, 상기 유량센서(2, 9)에 관한 이상의 유무를 진단하는 진단부(43)를 구비했다.

Description

진단기구 {DIAGNOSTIC MECHANISM}

본 발명은 반도체 프로세스 등에서 액체나 기체 등의 유체의 유량제어를 행하기 위한 매스플로우 콘트롤러나 유량센서 등에 대해서, 그 이상의 유무를 진단하기 위한 진단기구에 관한 것이다.

압력식 매스플로우 콘트롤러에서는, 예를 들면 유체 중에 포함되는 파티클이 노즐이나 구멍 등의 차압발생체에서 막혀 버려, 목표유량값대로 유체제어를 행할 수 없게 되는 경우가 있다. 이와 같은 문제점을 방지하기 위해서, 유체가 흐르는 유로나 상술한 차압발생체에 막힘이 있는지 여부를 매스플로우 콘트롤러 자신으로 자기진단할 수 있도록 한 진단기구(특허문헌 1)가 알려져 있다.

예를 들면, 상기 진단기구는 매스플로우 콘트롤러 내의 유량제어밸브 또는 별도로 마련된 개폐밸브를 전폐(全閉)함으로써, 1차 측으로부터 새로운 유체가 매스플로우 콘트롤러 내로 공급되지 않도록 한 상태에서, 도 10의 그래프에 나타내는 바와 같이 매스플로우 콘트롤러 내로부터 유체가 유출해 나가는데 따르는 유체의 압력저하량이나 압력저하에 걸리는 시간을 측정하여, 막힘이 존재하지 않는 정상시에 측정된 규정값과 비교하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 1차 측에서의 유체의 공급이 차단되어, 유량제어밸브에 의한 유량제어가 행해지지 않은 상태에서는 정상이면 실선으로 나타내는 압력저하가 발생한다. 한편, 유로 내 등에 막힘이 존재하는 경우에는, 점선으로 나타내는 바와 같이 정상인 경우에 비해 압력저하가 늦어지거나, 어느 압력값으로 저하하기까지 걸리는 시간이 바뀌거나 한다. 이와 같은 차이를 검출함으로써, 상기 진단기구는 유로 내 등에 막힘이 있는지 여부를 진단하도록 구성되어 있다.

[특허 문헌 1] 국제공개공보 WO2008-053839호

그런데, 상술한 같은 매스플로우 콘트롤러나 유량센서의 진단방법에서는, 유로 등의 이상을 잘 검출하기 위해서는, 예를 들면, 압력저하량, 압력의 저하시간 중 중 어느 하나에 주목하거나, 진단기간의 개시시점과 종료시점을 언제로 하는가 라고 하는 각종 파라미터를 적절히 검정자가 설정할 필요가 있다.

이와 같이 검정자가 설정해야 하는 파라미터가 너무 많으므로, 예를 들면 각종 구성기기나 유로구성의 차이를 고려하기 시작하면 바로 그때 진단 알고리즘이 복잡화해 버려, 그 결과, 실제로 진단을 하는 현장에서는 사용하기 어려운 것으로 되어 버린다.

본 발명은 상술한 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 진단 알고리즘을 간단화할 수 있음과 아울러, 유량센서의 측정유량값의 이상이나, 그 원인을 정밀도 좋게 진단할 수 있는 진단기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

즉 본 발명의 진단기구는, 유로를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량센서에 관련하는 이상을 진단하는 진단기구로서, 상기 유량센서가 출력하는 측정유량값이 목표유량값이 되도록 상기 유로에 마련된 유량제어밸브의 개도를 제어하는 유량제어부와, 상기 유량센서보다도 상류에서 상기 유로가 폐지(閉止)된 시점 또는 그 시점 이후부터, 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 종료한 시점 또는 그 시점보다 전까지의 기간을 진단기간으로 하여, 상기 진단기간에서의 상기 측정유량값의 시간적분에 관련하는 값인 검정값을 출력하는 검정값 출력부와, 상기 검정값과 미리 정한 규정값을 비교하여, 상기 유량센서에 관한 이상의 유무를 진단하는 진단부를 구비한 것을 특징으로 한다.

여기서, 「상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태」란, 상기 측정유량값 및 상기 목표유량값에 차이가 있었다고 해도 무시할 수 있는 또는 검출 불능인 정도로 작은 것을 의미한다.

이와 같은 것이면, 상기 유량센서보다도 상류에서 상기 유로가 폐지되고 나서, 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 종료할 때까지의 적어도 일부의 기간을 진단기간으로 하고 있으므로, 검정자가 재차 파라미터를 설정할 필요가 없고, 진단 알고리즘을 간단화할 수 있다. 또한, 상기 유로가 폐지되고 나서, 목표유량값에 측정유량값이 추종(追從)하고 있는 기간만이 진단기간으로 설정되어 있으므로, 측정유량값의 오차와 실제로 유로를 흐르는 유량값의 오차의 양쪽을 포함한 검정값이 되어, 진단 정밀도도 좋은 것으로 할 수 있다. 이에 더하여, 예를 들면 진단기간이 개시되는 것을 상기 유로가 폐지된 시점으로부터로 할 수도 있으며, 이 경우에는 진단을 개시하는데 대기하는 시간을 없앨 수 있어, 보다 빨리 진단결과를 얻을 수 있다.

그런데, 열식 유량센서인 경우, 유량측정을 위해서 메인유로로부터 분기해 다시 당해 메인유로에 합류하는 센서유로가 형성되어 있고, 메인유로로부터 센서유로에 소정의 비율로 유체가 분류되고 있다. 이 때문에, 메인유로 또는 센서유로 중 어느 하나에서도 막힘이 발생할 가능성이 있어, 단지 막힘이 존재하는지 여부만이 아니라, 어느 쪽의 유로에 막힘이 있는지를 진단하고자 하는 경우가 있다.

예를 들면, 본 발명의 진단기구가 적용되고 있는 것이, 상기 유로가 메인유로와, 상기 메인유로로부터 분기하여 다시 당해 메인유로에 합류하는 센서유로를 구비하고 있고, 상기 유량센서가 상기 센서유로에 상기 유체의 유량을 측정하는 유량측정기구를 구비하는 열식 유량센서이면, 상기 유량제어밸브에 의해 유량제어를 행할 수 있는 기간만이 진단기간으로 설정되어 있으므로, 메인유로를 흐르는 실제의 유량값의 오차뿐만이 아니라, 센서유로의 막힘에 의한 측정유량값의 오차를 검정값에 반영시킬 수 있어, 검정값으로부터 어느 쪽의 유로에 막힘이 발생하고 있는지를 판별하는 것이 가능하게 된다.

보다 구체적으로는, 메인유로가 막혀 있는 경우이면, 측정유량값과 목표유량값이 일치하고 있었다고 해도 실제로 유량제어밸브를 통과하는 유량은 측정유량값보다도 작아지므로, 진단기간은 정상시보다도 길어지게 된다. 따라서, 상기 측정유량값을 진단기간에서 시간적분한 값은 정상시보다 커지므로, 검정값도 보다 큰 값이 된다.

한편, 센서유로가 막혀 있는 경우이면, 측정유량값에 오차가 발생하므로 측정유량값에 메인유로를 흐르는 실제의 유량에 비해 작은 값을 나타내게 되어, 목표유량값과 측정유량값이 일치하고 있었다고 해도 실제로 유량제어밸브를 통과하는 유량값은 측정유량값보다 커져, 진단기간은 정상시보다 짧아지게 된다. 따라서, 상기 측정유량값을 진단기간에서 시간적분한 값은 정상시보다도 작아지므로, 검정값도 보다 작은 값이 된다.

이와 같이, 메인유로가 막혀 있는 경우의 검정값은, 센서유로가 막혀 있는 경우의 검정값보다도 큰 값이 되므로, 각 검정값의 사이의 값이 되는 규정값을 정해 둠으로써, 어느 쪽의 유로에 막힘이 발생하고 있는지에 대해서 진단할 수 있다.

한편, 상기 유량센서가 차압식 유량센서라도 본 발명의 진단기구에 의해 간편한 알고리즘으로 정밀도 좋게 이상의 유무를 진단할 수 있다.

진단기간의 전에서의 유체상태, 예를 들면 압력값이나 목표유량값의 영향을 받기 어렵게 함과 아울러, 정밀도 좋게 막힘을 진단하기 위해서는, 상기 검정값이 상기 진단기간에서 상기 측정유량값을 시간적분한 유량적분값이면 된다.

상기 검정값의 다른 형태로서는, 상기 검정값이 상기 진단기간의 길이로 하여도 된다. 이와 같은 것이라도, 예를 들면, 진단을 행하는 경우의 목표유량값을 동일한 값으로 맞추도록 해 두면, 실질적으로 유량적분값을 평가하는 것과 동일한 것으로 되어, 동일한 결과를 얻을 수 있다.

상기 진단기간이 종료했는지 여부를 판단하기 위한 구체적인 실시형태로서는, 상기 검정값 출력부가 상기 진단기간의 종료시점을 상기 측정유량값과 상기 목표유량값의 편차에 근거하여 검출하는 것을 들 수 있다.

상기 진단기간의 종료시점을 검출하는 다른 구체적인 실시형태로서는, 상기 검정값 출력부가 상기 진단기간의 종료시점을 상기 유량제어밸브의 개도가 전개 또는 소정의 진단종료개도로 되었던 것에 근거하여 검출하는 것도 들 수 있다.

상기 진단기간을 결정하기 위한 구체적인 하나의 형태로서는, 상기 진단종료개도가 상기 유량제어밸브의 전개의 개도로부터 소정량만큼 작은 개도로서, 상기 검정값 출력부가 상기 유량제어밸브의 개도에 근거하여 상기 진단기간의 종료시점을 검출하는 것이다. 이와 같이 설정하면, 진단을 위해서 완전하게 유량제어를 할 수 없게 될 때까지 대기할 필요가 없다. 또, 유량제어가 계속되고 있는 상태이기 때문에 상기 유량센서의 값에 큰 변화가 아니라도, 상기 유량제어밸브의 개도 그 자체를 트리거로 하고 있으므로, 진단종료시점을 확실히 검출할 수 있다.

상기 유량제어부에 의한 상기 유량제어밸브의 제어에 의해서 유로에 유체의 유량을 목표유량으로 대략 유지하고, 유량제어를 중단되지 않게 상기 유량센서의 이상의 유무를 진단할 수 있도록 하는 데에는, 상기 검정값 출력부가 상기 유량센서의 상류에 마련된 개폐밸브의 개폐를 제어 가능하게 구성되어 있고, 당해 검정값 출력부가 상기 유량제어밸브의 개도가 상기 진단종료개도가 된 시점에서 상기 개폐밸브를 개방하도록 구성되어 있으면 된다. 이와 같이 하면, 상기 진단종료개도가 전개의 개도보다 작고, 진단기간이 종료한 시점에서 곧바로 새로운 유체가 상류로부터 유입하므로, 유량제어를 계속해서 이어나갈 수 있다. 즉, 순서변경 등의 사이 등이 아니라, 실제로 유량제어를 행하고 있는 사용 상태 중에 상기 진단기간을 설정했다고 해도, 정상적인 유량제어를 계속해 가면서 진단도 행할 수 있어, 이른바 리얼타임으로의 진단이 가능하게 된다.

어느 유로가 막혀 있는지에 대해서 진단하기 위한 구체적인 구성으로서는, 상기 진단부가 상기 검정값이 상기 규정값보다도 큰 경우에는, 상기 메인유로의 막힘에 의한 이상이다라고 진단하고, 상기 검정값이 상기 규정값보다도 작은 경우에는, 상기 센서유로의 막힘에 의한 이상이다라고 진단하도록 구성된 것이면 된다.

진단기간에서의 압력저하에 의한 유량측정에의 영향을 작게 하여, 막힘의 평가를 고정밀도로 행하는 데에는, 상기 유체의 압력을 측정하여, 얻어진 측정압력값을 출력하는 압력센서를 더 구비하고, 상기 검정값 출력부가 상기 측정압력값에 근거하여 상기 검정값을 보정하도록(측정유량값을 보정하도록) 구성되어 있으면 된다. 이와 같은 것이면, 예를 들면, 진단기간에서의 압력값의 변화에 의한 영향을 작게 할 수 있어, 막힘의 유무나 어느 쪽의 유로에 막힘이 생기고 있는지에 대해서 보다 정밀도 좋게 진단할 수 있다.

진단기간에서의 온도를 맞추는 수고를 생략함과 아울러, 정밀도 좋게 막힘의 진단을 행할 수 있도록 하는 데에는, 상기 유체의 온도를 측정하여, 얻어진 측정온도를 출력하는 온도센서를 더 구비하고, 상기 검정값 출력부가 상기 측정온도에 근거하여 상기 검정값을 보정하도록 구성된 것이면 된다.

상기 규정값으로서, 정밀도가 보다 좋은 진단으로 하기 위한 구체적인 값으로서는, 상기 규정값이 상기 열식 유량센서의 측정출력값이 정상인 때에 있어서 상기 검정값 출력부가 출력한 검정값인 값을 들 수 있다.

이와 같이 본 발명의 진단기구에 의하면, 간편한 알고리즘으로 유량센서나 유로의 이상에 대해서 정밀도 좋게 진단할 수 있다. 특히 열식 유량센서 등과 같이 메인유로와 센서유로를 구비한 것인 경우, 진단기간이 메인유로를 폐지하고 나서 유량제어밸브에 의해 유량제어가 가능한 기간으로 설정되어 있음과 아울러, 그 진단기간에서의 측정유량값의 시간적분에 관련한 값을 검정값으로 하고 있으므로, 메인유로의 막힘의 영향은 검정값이 증가하는 방향으로 나타내며, 센서유로의 막힘의 영향은 검정값이 감소하는 방향으로 나타내도록 할 수 있다. 따라서, 각 유로에서의 막힘은 각각 역방향으로 나타내지므로, 어느 쪽의 유로에 막힘이 발생하고 있는지까지 진단할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 진단기구를 나타내는 모식도.
도 2는 같은 실시형태에서의 열식 유량센서 및 센서유로를 확대한 모식적 확대도.
도 3은 같은 실시형태에서의 제어기구의 구성을 나타내는 기능 블럭도.
도 4는 같은 실시형태에서의 진단시의 측정유량값의 경시변화를 나타내는 모식적 그래프.
도 5는 같은 실시형태에서의 진단시간의 흐름을 나타내는 플로우차트.
도 6은 본 발명의 다른 실시형태에 관한 진단기구에서의 동작을 나타내는 모식적 그래프.
도 7은 본 발명의 다른 실시형태에서의 이상시의 검정값의 변화를 나타내는 모식적 그래프.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시형태에 관한 진단기구의 적용예를 나타내는 모식도.
도 9는 본 발명의 그 외의 실시형태에 관한 진단기구의 적용예를 나타내는 모식도.
도 10은 종래의 압력저하량에 의해 막힘의 진단방법을 나타내는 개념적 그래프.

이하, 본 발명의 일실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시형태에서의 진단기구(200)는 도 1에 나타내는 바와 같이 반도체 제조공정에서 각종 성분가스의 유량을 제어하기 위한 매스플로우 콘트롤러(100)의 부재를 이용하여 구성되어 있다. 이 매스플로우 콘트롤러(100)는 열식 유량센서(2)를 이용한 소위, 열식 매스플로우 콘트롤러(100)이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 이 진단기구(200)를 구성하기 위해서, 성분가스나 질소가스가 도입되는 상류 측으로부터 메인유로(7)를 따라서 제1 개폐밸브(5), 열식 매스플로우 콘트롤러(100), 제2 개폐밸브(6)가 이 순서로 마련되어 있다. 또한, 각 개폐밸브 및 매스플로우 콘트롤러(100)는 가스패널(G)로 불리는 판 모양의 부재로 배관접속되어 있다. 가스패널(G)은 판 모양의 부재이며, 그 면판부(面板部)에 접속구가 형성되어 있고, 각 접속구 사이를 잇도록 판의 내부에 공동을 형성해 둠으로써, 메인유로(7)의 일부를 형성하도록 되어 있다.

상기 열식 매스플로우 콘트롤러(100)는 상류로부터 상기 메인유로(7)를 따라서, 압력센서(1), 열식 유량센서(2), 유량제어밸브(3)가 이 순서로 마련되어 있으며, 이들 기기가 케이싱 내에 수용되고, 패키지화된 1개의 유체제어기기로 하고 있다. 또한, 이 케이싱 내에는 매스플로우 콘트롤러(100) 내에서의 이상을 진단하기 위한 연산이나, 상기 유량제어밸브(3)의 제어 등의 각종 제어를 행하는 제어기구(4)를 구비하고 있다.

상기 압력센서(1)는 메인유로(7)를 흐르는 유체의 압력을 측정하는 것으로, 얻어진 측정압력값을 상기 제어기구(4)로 출력하도록 구성되어 있다.

상기 열식 유량센서(2)는 도 2의 확대도에 나타내는 바와 같이 상기 메인유로(7)로부터 분기시켜 다시 당해 메인유로(7)에 합류하도록 형성한 센서유로(8)에, 상기 센서유로(8)에 마련된 유량을 측정하기 위한 유량측정기구(21)와, 상기 센서유로(8)의 분기점과 합류점의 사이에서 상기 메인유로(7)에 마련되어 있는 층류(層流)소자(23)를 구비한 것이다. 즉, 메인유로(7)를 흐르는 유체의 일부를 센서유로(8)에서 측정함으로써, 전체의 유량을 측정할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 열식 유량센서(2)는 질량유량을 측정하는 것이지만, 체적유량을 출력하도록 구성되어 있어도 상관없다.

상기 센서유로(8)는 상기 메인유로(7)를 구성하는 배관에 대해서 대략 'U'자 모양의 중공세관(中空細管)을 세워 마련시킴으로써 형성되어 있다.

상기 유량측정기구(21)는 중공세관의 외측에 2개의 감열(感熱)저항체를 코일 모양으로 감아 형성한 상류 측 코일(211)과 하류 측 코일(212)과, 상기 상류 측 코일(211) 및 상기 하류 측 코일(212)로부터의 출력에 근거하여 흐르고 있는 유량을 산출하는 유량산출부(213)를 구비한 것이다.

구체적으로는, 중공세관은 감열저항체에 의해 가열되어 있고, 유체가 흐르지 않을 때는, 중공세관의 중심에 대해 대칭적인 온도분포로 되어 있다. 이것에 대해, 유체가 중공세관 내에 흐르고 있을 때는, 하류 측 코일(212)에는 상류 측 코일(211)에 의해서 따뜻하게 된 유체가 유입하기 때문에, 상류 측 코일(211)과 비교해서 온도가 높아져, 상류 측 코일(211) 및 하류 측 코일(212) 사이에 온도차가 형성되어 상기 온도분포가 비대칭이 된다. 상기 유량산출부(213)는 이 때의 온도차와 유체의 질량유량에는 일정한 관계가 성립되고 있는 것을 이용하여, 질량유량을 측정할 수 있도록 구성되어 있다.

상기 층류소자(23)로서는, 복수 개의 세관을 외관의 내부에 삽입하여 형성한 것 또는 다수의 관통구멍을 형성한 얇은 원판을 복수 매 적층하여 형성한 것 등을 이용할 수 있으며, 메인유로(7) 및 센서유로(8)의 분류비가 소정의 설계값이 되도록 하는 것이다.

상기 유량제어밸브(3)는 그 개도를 0%(전폐(全閉)) ~ 100%(전개(全開))의 범위에서 변경 가능한 것이며, 상기 제어기구(4)에 의해 피드백 제어되는 것이다.

상기 제어기구(4)는 CPU, 메모리, I/O채널, AD컨버터 등을 가진 이른바 연산장치이며, 도 3의 기능 블럭도에 나타내는 바와 같이 적어도 유량제어부(41), 검정값 출력부(42), 진단부(43)로서의 기능을 발휘하는 것이다.

상기 유량제어부(41)는 상기 열식 유량센서(2)가 출력하는 측정유량값이 목표유량값이 되도록 상기 유량제어밸브(3)의 개도를 제어하도록 구성되어 있다. 이 유량제어부(41)는 후술하는 진단기간에서도 상기 측정유량값과 상기 목표유량값의 편차가 제로가 되도록 상기 유량제어밸브(3)의 개도를 계속 제어하도록 구성되어 있다.

상기 검정값 출력부(42)는 상기 열식 유량센서(2) 및 상기 유량제어밸브(3)보다도 상류에서 상기 메인유로(7)가 폐지되고 나서, 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 종료할 때까지의 적어도 일부의 기간을 진단기간으로 하여, 상기 진단기간에서의 상기 측정유량값의 시간적분에 관련하는 값인 검정값을 출력하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 상기 진단종료개도는 전개의 개도로 설정해 두고, 상기 진단기간은 상기 제1 개폐밸브(5)를 전폐로 한 상태로부터 상기 측정유량값과 상기 목표유량값의 편차가 제로가 되지 않게 된 시점(일치하지 않게 된 시점)에서 진단기간을 종료하도록 설정해 둔다. 또, 검정값은 도 4의 그래프에서 사선으로 나타내는 면적을 이용하고 있으며, 상기 진단기간에서의 측정유량의 시간적분인 유량적분값을 이용하고 있다. 여기서, 시간적분의 연산 방법으로서는, 적분의 정의대로 행해도 되고, 유량적분값이 장방형의 면적인 것에 주목하여 측정유량값에 시간을 곱하여 유량적분값을 구하도록 해도 상관없다.

상기 진단부(43)는 상기 검정값과 미리 정한 규정값을 비교하여, 상기 열식 유량센서(2)에 관한 이상의 유무를 진단하는 것이다. 상기 규정값은, 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이 메인유로(7) 및 센서유로(8)에 막힘이 존재하지 않는 상태에서, 미리 측정해 둔 유량적분값이다. 보다 구체적으로는, 상기 진단부(43)는 상기 진단부(43)가 상기 검정값이 상기 미리 정한 값보다도 큰 경우에는, 상기 메인유로(7)의 막힘에 의한 이상이다라고 진단하고, 상기 검정값이 상기 미리 정한 값보다도 작은 경우에는, 상기 센서유로(8)의 막힘에 의한 이상이다라고 진단하도록 구성되어 있다.

다음으로, 상기 메인유로(7) 및 상기 센서유로(8)의 막힘이 있는지 여부에 대해서 자기진단을 행할 때의 동작에 대해서 도 5의 플로우차트를 참조하면서 설명한다. 또한, 이 진단방법은, 예를 들면, 반도체 제조장치에 성분가스를 소정 유량으로 계속 유입시킬 필요가 있는 택트(tact)와 택트와의 사이에 행해지는 것이다. 즉, 유량제어가 진단에 의해서 중단되어도 되는 기간에서 유량센서의 진단을 행하는 방법이다.

우선, 매스플로우 콘트롤러(100) 내에 성분가스 등이 잔류하고 있지 않도록 하기 위해서, 질소가스를 소정의 유량으로 도입하여 성분가스의 퍼지(purge)를 행한다(스텝 S1). 이 때, 매스플로우 콘트롤러(100)의 유량제어밸브(3)는 전폐상태로부터 어느 소정의 개도가 되도록 목표유량값이 설정된다. 이 퍼지시에서의 목표유량값은 후술하는 진단기간에서의 목표유량값보다도 크게 설정되어 있고, 퍼지 및 진단을 행하는데 충분한 양의 질소가스가 상기 열식 매스플로우 콘트롤러(100) 내에 도입되도록 되어 있다.

다음으로, 상기 검정값 출력부(42)는 상기 제1 개폐밸브(5)에 대해서 전폐지령을 입력하고, 그 시점을 진단기간의 개시점으로서 기억한다(스텝 S2). 상기 유량제어부(41)는 진단기간용으로 미리 정해 어느 일정한 유량값으로 목표유량값을 변경하고, 목표유량값과 측정유량값이 계속 일치하도록 상기 유량제어밸브(3)의 개도를 제어한다(스텝 S3). 또한, 상기 목표유량값은 스텝 S1에서 질소가스에 의한 퍼지를 행할 때보다도 상기 유량제어밸브(3)의 개도가 작아지도록, 퍼지시에서의 목표유량값보다도 작은 값으로 설정되어 있다. 여기서, 스텝 S2와 스텝 S3과의 순서가 거꾸로 되어도 되지만, 상기 제1 개폐밸브(5)를 전폐한 시점에서 제어대상이 되는 유체는 상기 제1 개폐밸브(5)로부터 상기 유량제어밸브(3)의 사이에 있는 유체뿐이므로, 시간이 경과할 때마다 유출한 만큼만 그 압력이 저하되어 가게 된다. 따라서, 측정유량값을 목표유량값과 동일하도록 일정한 값을 유지하기 위해서는, 상기 유량제어부(41)는 상기 유량제어밸브(3)의 개도는 서서히 크게 제어해 나가게 된다. 최종적으로는, 유량제어밸브(3)의 개도가 전개(100%)가 되어 버리므로, 이 이후는 유체의 유량제어를 행하지 못하고, 도 4의 그래프에 나타내는 바와 같이 유량은 제로로 향해 감소해 나가게 된다. 즉, 유량제어밸브(3)의 개도가 전개가 된 시점에서 목표유량값과 측정유량값과의 사이에 편차가 발생하므로(편차가 제로가 되지 않게 됨)(스텝 S4), 상기 검정값 출력부(42)는 이 편차가 생긴 시점에서 진단기간이 종료한 것을 검출하여 그 기간의 길이(경과시간)를 기억한다(스텝 S5).

그리고, 상기 검정값 출력부(42)는 상기 진단기간에서의 측정유량값을 적분 한 값인 유량적분값을 산출하고, 그 값을 검정값으로서 진단부(43)로 출력한다(스텝 S6).

상기 진단부(43)는 산출된 검정값인 유량적분값이 규정값인 정상시의 유량적분값과 비교하여 그 대소에 의해서 메인유로(7) 또는 센서유로(8) 중 어느 하나가 막혀 있는지에 대해서 진단한다(스텝 S7). 구체적으로는, 검정값의 편이 규정값보다도 작은 경우에는, 센서유로(8)가 막혀 있다고 판단하고, 검정값의 편이 규정값보다도 큰 경우에는 메인유로(7)가 막혀 있다고 진단한다. 또한, 검정값이 정상시와 대략 동일한 경우에는 어느 쪽의 유로에도 막힘은 생기지 않다고 진단한다.

여기서, 왜 검정값의 대소에 의해 센서유로(8) 또는 메인유로(7) 중 어느 하나에서 막힘이 생기고 있다고 진단할 수 있는지에 대해서 설명한다.

센서유로(8)가 막혀 있고, 메인유로(7)는 막히지 않은 경우에는, 분류비가 소정대로가 되지 않고, 센서유로(8)에 흐르는 유량이 적게 되기 때문에, 측정유량값은 실제로 흐르고 있는 유량보다도 작은 값을 나타내게 된다. 그러면, 목표유량값에 대해서 측정유량값을 일치시키도록 유량제어밸브(3)가 제어되면, 실제로는 목표유량값보다도 많은 유량이 계속 유출하게 된다. 이 때문에, 진단기간에서의 상기 제1 개폐밸브(5)와 상기 유량제어밸브(3) 사이에 있던 유체의 단위시간당의 소비량은 측정유량값에 오차가 존재하지 않는 경우에 비해 커지므로, 진단기간도 짧아지게 된다. 따라서, 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이 측정유량값은 정상시와 동일한 값이라도, 진단기간은 짧아져 있으므로, 센서유로(8)가 막혀 있는 경우에는 유량적분값은 정상시보다도 작은 값이 된다.

반대로, 메인유로(7)가 막혀 있고, 센서유로(8)가 막히지 않은 경우에는 메인유로(7)만이 유체가 흐르기 어려워져 있으므로, 측정유량값은 실제로 흐르고 있는 유량보다도 큰 값을 나타내고 있게 된다. 따라서, 목표유량값에 측정유량값을 계속 일치시키고 있었다고 해도, 실제로 상기 유량제어밸브(3)로부터 유출하고 있는 유량은 정상시보다 적게 되므로, 진단기간은 반대로 길어진다. 이것으로부터, 방금 전과 동일하게 생각하면, 도 4의 (c)에 나타내는 바와 같이 메인유로(7)가 막혀 있는 경우에는 유량적분값은 정상시보다도 큰 값이 되는 것을 알 수 있다.

이와 같이 본 실시형태의 열식 매스플로우 콘트롤러(100)의 자기진단에 이용되는 진단기구(200)에 의하면, 막힘의 유무뿐만이 아니라, 메인유로(7) 또는 센서유로(8) 중 어느 하나에서 막힘이 생기고 있는지를 진단할 수 있다.

다른 실시형태에 대해서 설명한다.

이 실시형태는, 유량제어를 중단시키지 않고 계속시킨 채로 리얼타임으로 상기 유량센서(2)의 진단을 행할 수 있도록 한 것이다. 보다 구체적으로는, 하드웨어의 구성으로서는 도 1에 나타낸 것과 대략 동일하지만, 제어기구(4)의 구성이 변경되어 있기 때문에, 상기 진단종료개도의 설정과, 상기 검정값 출력부(42)의 구성이 상기 실시형태와는 약간 다르게 되어 있다.

즉, 상기 진단종료개도가 상기 유량제어밸브(3)의 전개의 개도보다도 소정량만큼 작은 개도로 설정되어 있고, 예를 들면, 전개의 개도에 대해서 80%의 개도 등으로 설정되어 있다. 여기서, 진단종료개도의 설정으로서는, 진단기간을 충분한 길이로 취할 수 있으면 어떠한 개도로 설정해도 상관없다.

또, 상기 검정값 출력부(42)는 매스플로우 콘트롤러(100)의 상류에 마련된 제1 개폐밸브(5)의 개폐를 제어 가능하게 구성된 것으로, 상기 유량제어밸브(3)의 개도가 진단종료개도가 된 시점에서 상기 제1 개폐밸브(5)를 개방하도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 진단기구(200)에서의 진단시의 동작에 대해서 설명한다.

도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 반도체 제조공정 등에서 매스플로우 콘트롤러(100)가 이용되고 있는 경우, 제조 스케줄에 따라 가스 종류의 변경 등을 위한 순서변경이 행해지기 때문에, 로트의 제조마다 가동기간과 휴지기간이 교대로 반복되고 있는 경우가 있다. 상기 실시형태의 진단방법에서는, 목표유량값과 측정유량값이 괴리(乖離)할 때까지 대기할 필요가 있었기 때문에, 제조 제품에 대해서 악영향을 주지 않도록 휴지기간 중에 진단을 행할 필요가 있다. 그렇지만, 휴지기간 중 마다 유량센서(2)의 진단을 행하게 되면, 휴지기간이 길어져 버려, 택트타임이 길어져 버린다고 하는 측면도 있었다. 또, 어느 로트의 제조가 끝나고 나서 진단이 행해지기 때문에, 어느 휴지기간에 유량센서의 이상이 발견되었을 경우, 직전의 가동기간 중에 제조된 로트의 모두가 불량품으로 되어 있을 가능성이 있어, 그 로트마다 폐기할 필요가 있다.

한편, 본 실시형태의 진단방법에서는, 가동기간 중에서 유량센서(2)의 진단을 리얼타임으로 행함과 아울러, 유량제어도 행할 수 있도록 하고 있다. 구체적으로는 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이 가동기간 중에서 상기 검정값 출력부(42)는, 우선, 상기 제1 개폐밸브(5)를 폐지하여, 상기 유량센서의 진단을 개시한다. 그러면, 매스플로우 콘트롤러(100)에 대해서 상류 측으로부터 새로운 유체가 유입하지 않기 때문에, 압력값은 저하하게 된다. 유입하는 유량이 저하하기 때문에, 상기 유량제어부(41)는 상기 유량제어밸브(3)의 개도를 크게 해 감으로써, 측정유량값을 목표유량값에 추종시킨다. 그리고, 상기 유량제어밸브(3)의 개도가 미리 정한 상기 진단종료개도가 된 시점에서 상기 검정값 출력부(42)는 진단기간을 종료하고, 당해 진단기간에서의 측정유량값의 적분값을 검정값으로서 산출한다. 또한 진단기간이 종료한 시점에서 상기 검정값 출력부(42)는 상기 제1 개폐밸브(5)를 개방하고, 다시 새로운 유체가 매스플로우 콘트롤러(100) 내에 유입하도록 한다. 그러면, 새로운 유체가 유입함으로써 압력값이 다시 상승함과 아울러, 유입하는 유량이 증가하기 때문에, 상기 유량제어부(41)는 측정유량값을 목표유량값에 추종시키도록 상기 유량제어밸브(3)의 개도를 상기 진단종료개도보다도 작은 개도로 변화시켜 가게 된다. 그리고, 상기 유량제어밸브(3)의 개도가 소정의 진단개시개도가 된 시점에서 상기 검정값 출력부(42)는 상기 제1 개폐밸브(5)를 폐지함과 아울러, 진단기간의 개시점으로서 기억한다. 이후는, 상술한 동작을 반복함으로써, 측정유량값이 목표유량값에 대략 추종하도록 유량제어를 계속하면서, 상기 검정값 출력부(42)는 검정값의 산출을 반복하게 된다. 또, 상기 진단부(43)는 상기 검정값 출력부(42)로부터 새로운 검정값이 출력될 때마다, 미리 정한 규정값과 비교하여 유량센서(2)에 대해서 이상의 유무를 판정한다. 따라서, 가동기간 중에서, 정상적인 경우이면 목표유량을 항상 흘리면서, 상기 유량센서(2)의 진단을 반복할 수 있다.

또한, 상기 실시형태와 동일한 이유로, 이 실시형태에서도 어느 쪽의 유로에 막힘이 있는지를 판정할 수 있다. 구체적으로는 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이 센서유로(8)에 막힘이 있는 경우에는, 진단기간이 짧아지기 때문에 검정값은 규정값보다도 작은 값이 출력되게 된다. 또, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이 메인유로(7)에 막힘이 있는 경우에는, 진단기간이 길어지기 때문에 검정값은 규정값보다도 큰 값이 출력되게 된다. 따라서, 상기 진단부(43)는 가동기간 중이라도 유량센서(2)의 이상, 특히 어느 쪽의 유로에 이상이 있는지에 대해서까지 진단할 수 있다.

이 실시형태의 진단기구(200)이면, 가동기간 중에 유량센서(2)가 정상인지 여부를 항상 모니터링 할 수 있어, 이상이 발생한 순간에 반도체의 제조를 멈출 수 있게 된다. 따라서, 휴지기간에 진단을 행하고 있었을 경우, 직전의 가동기간 중에 제조된 로트 모두를 폐기해야 하는 것에 대하여, 이 실시형태이면 이상이 발생하기까지 제조된 로트의 일부에 대해서는 그대로 그 후의 공정에 사용하는 등 할 수 있다.

그 외의 실시형태에 대해서 설명한다.

상기 실시형태에서는, 진단을 행하기 위해서 전폐하는 제1 개폐밸브(5)는 상기 매스플로우 콘트롤러(100)의 직전에 마련된 것을 이용하고 있었지만, 그 외의 배관상에 마련된 개폐밸브 등을 전폐함으로써, 상기 매스플로우 콘트롤러(100)에 새로 유체가 유입하지 않도록 함으로써 진단을 개시하도록 해도 상관없다.

예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 상기 매스플로우 콘트롤러(100)에 가스를 도입하기 위한 라인이 질소가스를 도입하기 위한 질소가스라인(L1)과, 성분가스를 도입하기 위한 성분가스라인(L2)과, 상기 질소가스라인(L1)과 상기 성분가스라인(L2)이 합류한 후의 라인으로서, 상기 매스플로우 콘트롤러(100)에 접속되는 합류 후 라인(L3)으로 이루어지는 경우, 질소가스라인(L1) 또는 성분가스라인(L2)상에 마련된 개폐밸브(51, 52)를 폐지함으로써, 진단을 개시할 수 있도록 해도 상관없다. 이와 같은 구성에서의 진단시의 동작에 대해서 설명하면, 질소가스를 이용하여 진단을 행하는 경우에는, 우선, 성분가스라인(L2)상의 개폐밸브(52)를 미리 폐지해 두고, 질소가스라인(L1)상의 개폐밸브(51)를 개방해 두어, 상기 매스플로우 콘트롤러(100) 내의 성분가스의 퍼지를 행한다. 다음으로, 질소가스라인(L1)상의 개폐밸브(51)를 폐지하여, 질소가스가 도입되지 않도록 함과 아울러, 상기 매스플로우 콘트롤러(100)의 진단이 개시된다. 또한, 매스플로우 콘트롤러(100)의 유량제어밸브(3)의 동작은 상기 실시형태와 동일하게 하면 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 열식 유량센서 및 그것을 이용한 매스플로우 콘트롤러의 진단을 행하는 진단기구(200)이었지만, 예를 들면 도 9에 나타나는 차압식 유량센서(9) 및 그것을 이용한 매스플로우 콘트롤러(100)의 진단을 행하는 것이라도 상관없다. 보다 구체적으로는, 이 매스플로우 콘트롤러(100)는 메인유로(7)의 상류로부터 유량제어밸브(3), 차압식 유량센서(9)를 마련한 것으로, 상기 매스플로우 콘트롤러(100)의 전단에는 제1 개폐밸브(5)가 마련되어 있고, 상기 유량제어밸브(3) 및 제1 개폐밸브(5)의 제어 및 진단에 관한 각종 연산 등을 행하는 제어기구(4)를 구비한 것이다. 상기 차압식 유량센서(9)에 대해서 상세히 설명하면, 유체저항부재(93)의 전후에 각각 제1 압력센서(91), 제2 압력센서(92)가 마련되어 있고, 상기 유체저항부재(93)에 의해 발생하는 차압을 각 압력센서(91, 92)로 측정하여, 그 차압에 근거하여 메인유로(7)를 흐르는 유량을 측정하도록 구성되어 있다. 이 실시형태에서도, 상기 실시형태와 동일한 진단 알고리즘에 의해, 메인유로(7)에서의 막힘의 유무 등의 진단을 한다. 이와 같은 것으로서, 간편한 알고리즘에 의해 정밀도 좋게 유량센서 등의 진단을 행할 수 있다. 또, 본 발명의 진단기구는, 매스플로우 콘트롤러에 마련되어 있는 유량센서만을 대상으로 하는 것이 아니고, 예를 들면, 배관상에 마련되어 있는 단체의 유량센서에 대해서 진단을 행할 수 있도록 구성해도 상관없다. 이에 더하여, 유량센서에 관련하는 이상이란, 예를 들면, 상기 실시형태와 같이 유량센서가 마련된 유로의 막힘뿐만이 아니라, 유량센서를 구성하는 기기나 그것에 접속되는 배관에 발생하는 이상을 포함하는 개념이며, 상기 실시형태에서 기재한 이상에 한정되는 것은 아니다.

상기 실시형태의 진단기구에서는, 상기 측정유량값을 그대로 이용하여 검정값을 산출해, 막힘의 유무에 대한 진단을 행하고 있었지만, 상기 압력센서로부터 출력되는 압력측정값에 근거하여, 상기 측정유량값을 보정한 다음 검정값을 산출하도록 해도 상관없다. 최근, 압력의 과도기적인 또는 정적인 변화에 근거하여 유량측정오차 또는 유량제어오차를 보정하기 위해서, 유체의 압력을 측정하는 압력센서를 구비한 유체유량 측정장치 또는 유량측정장치가 알려져 있다. 이와 같은 것이면, 미리 마련된 압력센서를 진단시에도 사용하여, 통상의 측정 또는 유량제어시뿐만 아니라, 진단시의 압력저하에 의한 측정오차를 측정유량값으로부터 없애고, 막힘에 의한 영향만을 추출할 수 있게 되어, 보다 정밀도 좋게 진단을 행할 수 있게 된다.

또, 유체의 온도에 근거하여, 상기 측정유량값을 보정하도록 해도 상관없다. 예를 들면, 상기 유체의 온도를 측정하여, 얻어진 측정온도를 출력하는 온도센서를 더 구비해 두어도 되고, 상기 열식 유량센서에서의 감열저항체의 출력을 이용하여 온도측정을 행하도록 해도 상관없다. 이와 같이 하면, 진단의 개시시에서의 압력이나 온도 등이라고 하는 초기조건을 해당하는 조건에 엄밀하게 맞추지 않아도, 해당하는 조건으로 환산하여 진단을 행할 수 있어 진단 정밀도를 좋게 할 수 있다.

또한, 상기 진단기간의 종료시점을 검출하는 방법은, 목표유량값과 측정유량값과의 사이에 편차가 발생했는지 여부뿐만이 아니라, 상기 유량제어밸브의 개도로부터 판단하도록 해도 된다. 예를 들면, 상기 유량제어밸브의 개도 그 자체를 검출하도록 하여 전개가 된 시점에서 진단기간의 종료를 검출하도록 해도 되고, 솔레노이드 밸브 등이면 밸브에 입력되는 전압이 100%가 된 것을 가지고 진단기간이 종료했다고 판단하도록 해도 상관없다.

상기 검정값 출력부는 상기 유량센서보다도 상류에서 상기 유로가 폐지되고 나서, 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 종료할 때까지의 적어도 일부의 기간을 진단기간으로 하는 것이면 되기 때문에, 예를 들면, 진단기간의 개시점은 상기 유량센서보다도 상류에서 상기 유로가 폐지되고 나서 소정 시간 경과 후를 진단기간의 개시점으로 해도 된다.

또, 상기 검정값 출력부는 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 계속하고 있고, 또한, 상기 유량제어밸브의 개도가 소정의 진단종료개도가 될 때까지의 기간을 진단기간으로서, 상기 진단기간에서의 상기 측정유량값의 시간적분에 관련하는 값인 검정값을 출력하도록 구성되어 있는 것이라도 된다.

또한, 상기 유량센서보다도 상류에서 상기 유로가 폐지되는 것은 개폐밸브에 의하는 것이라도 되고, 개도가 제어 가능한 유량제어밸브 등에 의하는 것이라도 된다. 이 경우, 진단기간이 종료하고 나서 다시 유로를 개방할 때에는, 유량제어밸브의 개도를 전개로 해도 되고, 소정의 개도만 열도록 해도 상관없다.

상기 실시형태에서는, 검정값으로서 유량적분값을 이용하고 있었지만, 측정유량값을 시간적분한 것에 관련하는 값이면 그 외의 것이라도 된다. 예를 들면, 진단기간의 길이(경과시간)를 검정값으로 하여도 상관없다. 이와 같은 것이라도, 상기 실시형태에서 설명한 것과 같이, 센서유로가 막혀 있는 경우에는, 검정값은 작아지고, 메인유로가 막혀 있는 경우에는 검정값이 커진다고 하는 특성을 가지기 때문에, 어느 쪽의 유로가 막혀 있는지를 진단할 수 있다. 이에 더하여, 상기 진단기간에서 목표유량값은 항상 일정했지만, 경시적으로 변화하는 목표유량값이라도 된다. 이 경우에도, 진단기간이 개시되고 나서 유량제어밸브에 의한 유량제어가 불능이 될 때까지에 대해서, 측정유량으로부터 유량적분값을 산출하여 검정값으로 함으로써 진단을 행할 수 있다.

또, 상기 실시형태에서는 규정값은 정상시에서 산출된 유량적분값이었지만, 그 외의 값이라도 상관없다. 예를 들면, 정상시의 유량적분값에 소정의 값을 더하거나 곱하거나 한 것이라도 상관없다. 요컨데, 메인유로가 막혔을 때의 검정값과 센서유로가 막혔을 때의 검정값과의 사이의 크기가 되는 값을 규정값으로서 설정해도 된다.

진단을 개시할 때에 있어서, 상기 실시형태에서는 제1 개폐밸브를 전폐하고 있었지만, 상기 유량측정센서 및 상기 유량제어밸브의 상류에 마련되어 있는 밸브 등에 의해 전폐해도 상관없다.

그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에 있어서, 여러 가지 변형이나 실시형태의 조합을 행해도 상관없다.

본 발명의 진단기구에 의하면 간편한 알고리즘으로 유량센서나 유로의 이상에 대해서 정밀도 좋게 진단할 수 있다.

200 … 진단기구 2 … 열식 유량센서(유량센서)
3 … 유량제어밸브 41 … 유량제어부
42 … 검정값 출력부 43 … 진단부
7 … 메인유로(유로) 8 … 센서유로(유로)
9 … 차압식 유량센서

Claims (13)

1. 유로를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량센서에 관련하는 이상(異常)을 진단하는 진단기구로서,
   상기 유량센서가 출력하는 측정유량값이 목표유량값이 되도록 상기 유로에 마련된 유량제어밸브의 개도(開度)를 제어하는 유량제어부와,
   상기 유량센서보다도 상류에서 상기 유로가 폐지(閉止)된 시점 또는 그 시점 이후부터, 상기 측정유량값과 상기 목표유량값이 실질적으로 대략 동일한 상태가 종료한 시점 또는 그 시점보다 전까지의 기간을 진단기간으로 하여 상기 진단기간에서의 상기 측정유량값의 시간적분에 관련하는 값인 검정값을 출력하는 검정값 출력부와,
   상기 검정값과 미리 정한 규정값을 비교하여, 상기 유량센서에 관한 이상의 유무를 진단하는 진단부를 구비한 것을 특징으로 하는 진단기구.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 유로가 메인유로와, 상기 메인유로로부터 분기하여 다시 당해 메인유로에 합류하는 센서유로를 구비하고 있고, 상기 유량센서가 상기 센서유로에 상기 유체의 유량을 측정하는 유량측정기구를 구비하는 열식 유량센서인 진단기구.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 유량센서가 차압식 유량센서인 진단기구.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 검정값이 상기 진단기간에서 상기 측정유량값을 시간적분한 유량적분값인 진단기구.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 검정값이 상기 진단기간의 길이인 진단기구.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 검정값 출력부가 상기 진단기간의 종료시점을 상기 측정유량값과 상기 목표유량값의 편차에 근거하여 검출하는 진단기구.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 검정값 출력부가 상기 진단기간의 종료시점을 상기 유량제어밸브의 개도가 전개(全開) 또는 소정의 진단종료개도로 된 것에 근거하여 검출하는 진단기구.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 진단종료개도가 상기 유량제어밸브의 전개의 개도로부터 소정량만큼 작은 개도인 진단기구.
9. 청구항 7에 있어서,
   상기 검정값 출력부가 상기 유량센서의 상류에 마련된 밸브를 제어 가능하게 구성되어 있고,
   당해 검정값 출력부가 상기 유량제어밸브의 개도가 상기 진단종료개도가 된 시점에서 상기 밸브를 열도록 구성되어 있는 진단기구.
10. 청구항 2에 있어서,
    상기 진단부가 상기 검정값이 상기 규정값보다도 큰 경우에는, 상기 메인유로의 막힘에 의한 이상이다라고 진단하고, 상기 검정값이 상기 규정값보다도 작은 경우에는, 상기 센서유로의 막힘에 의한 이상이다라고 진단하도록 구성된 진단기구.
11. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체의 압력을 측정하여, 얻어진 측정압력값을 출력하는 압력센서를 더 구비하고,
    상기 검정값 출력부가 상기 측정압력값에 근거하여 상기 검정값을 보정하도록 구성된 진단기구.
12. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체의 온도를 측정하여, 얻어진 측정온도를 출력하는 온도센서를 더 구비하고,
    상기 검정값 출력부가 상기 측정온도에 근거하여 상기 검정값을 보정하도록 구성된 진단기구.
13. 청구항 1에 있어서,
    상기 규정값이 상기 유량센서의 측정출력값이 정상적인 때에 있어서 상기 검정값 출력부가 출력한 검정값인 진단기구.

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