KR101714786B1 - 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템, 검정 방법, 검정용 프로그램을 수록한 기록 매체 - Google Patents

매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템, 검정 방법, 검정용 프로그램을 수록한 기록 매체 Download PDF

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Abstract

반도체 제조 프로세스 등에 사용되고 있는 기존의 가스 배관계에 어떠한 배관 등의 설계 변경을 행하는 일 없이 염가로 도입할 수 있고, 단시간에 정확한 기준 용적에 기초한 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행할 수 있는 검정 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
해결 수단으로서, 상기 지류 가스 라인(SL)과 병렬로 마련되어 있고, 상기 합류 후 가스 라인(ML)에 합류하는 검정용 가스 라인(KL)과, 가스 배관계(GS)의 배관 자체로 규정되는 기준 용적을 산출하는 기준 용적 산출부(32)와, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 의한 유량 제어가 행해지고 있는 동안에 있어서 압력 측정 수단(213)으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출부(33)와, 상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교부(33)를 마련하였다.

Description

매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템, 검정 방법, 검정용 프로그램을 수록한 기록 매체{MASS FLOW CONTROLLER VERIFYING SYSTEM, VERIFYING METHOD AND RECORDING MEDIUM HAVING VERIFYING PROGRAM}
본 발명은 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류(支流) 가스 라인이 복수 병렬로 마련되어 있고, 각 지류 가스 라인이 합류하여 1개의 합류 후 가스 라인이 되는 가스 배관계(配管系)에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정(檢定) 방법에 관한 것이다.
반도체의 제조 공정 등에 있어서 프로세스 챔버에 혼합 가스를 공급하기 위해, 가스 공급원에 접속되고, 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류 가스 라인이 복수 병렬로 마련되어 있고, 각 지류 가스 라인을 합류시켜 프로세스 챔버에 접속시키는 1개의 합류 가스 라인으로 이루어진 가스 배관계가 형성되어 있다.
이와 같은 가스 배관계에 있어서, 각 지류 가스 라인 상에 마련되어 있는 매스 플로우 컨트롤러가 설정 유량(流量)대로 유량 제어를 행하는 것이 가능한지의 여부를 검정하기 위한 진단 시스템이 특허 문헌 1에 개시되어 있다.
이것은 도 1에 나타낸 바와 같이 합류 후 가스 라인(ML)에 병렬로 분기 유로(分岐 流路; BL)가 형성되고, 그 분기 유로(BL) 상에 미리 용적을 알고 있는 대용량의 탱크(A1)와, 그 하류측에 압력 센서(A2)가 마련되어 있고, 상기 압력 센서(A2)로 측정된 압력에 기초하여 매스 플로우 컨트롤러(1)의 검정을 행하는 것이다. 또, 상기 합류 후 가스 라인(ML)에 있어서 상기 분기 유로(BL)의 접속점 사이와, 상기 분기 유로(BL)의 입구와 출구 근방에는 개폐 밸브가 각각 마련되어 있다.
이와 같은 검정 시스템(A100)에 의해 ROR 방식이라 불리는 매스 플로우 컨트롤러의 검정 방법이 사용된다. 구체적인 검정 순서에 대해 설명하면, 매스 플로우 컨트롤러의 검정시에는 분기 유로의 입구측의 개폐 밸브만이 개방되고, 그 외의 개폐 밸브는 폐지(閉止)되며, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)가 있는 지류 가스 라인(SL) 이외의 지류 가스 라인(SL)도 폐지된다. 그 후, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 소정의 설정 유량을 설정하고, 상기 탱크에 가스가 유입하도록 하여, 압력을 상승시킨다. 그 사이의 압력 변화를 상기 압력 센서에 의해 측정하고, 그 압력 변화로부터 탱크(A1)의 용적인 검정용 용적을 산출한다. 이어서, 상기 검정용 용적과, 이미 알고 있는 탱크 용적과 검정되는 매스 플로우 컨트롤러로부터 상기 탱크까지의 개산(槪算) 용적의 합인 기준 용적을 비교한다. 이 때, 일치하는 경우에는 설정 유량대로 매스 플로우 컨트롤러는 유량 제어를 행하고 있다고 판단되고, 일치하지 않는 경우에는 매스 플로우 컨트롤러 내의 유로의 막힘 등에 의해 설정 유량대로 유량 제어를 행하고 있지 않다고 판단된다.
선행 기술 문헌
특허 문헌
특허 문헌 1: 일본 특표 2007－525726호 공보
그러나 특허 문헌 1에 나타난 바와 같은 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템에서는 이하에 기술하는 것과 같은 복수의 문제점이 있다.
(a) 반도체 제조 프로세스 등에 사용되고 있는 기존의 가스 배관계에 이 검정 시스템을 도입하기 위해서는 합류 후 배관에 새롭게 분기 유로와 같은 배관을 형성하고, 기준 용적을 구성하기 위한 탱크를 마련할 필요가 있다. 공장의 레이아웃 등에 따라서는 새로운 배관이나 탱크를 마련하는 것이 곤란한 경우도 있고, 기존의 배관계에 맞추어 검정 시스템의 배관을 설계하거나, 새로운 배관이나 탱크를 부설하는 만큼 비용이 증대해 버린다.
(b) ROR 방식 등의 검정 방법에 있어서 정밀도 좋게 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행하기 위해서는 상기 기준 용적을 정확하게 알고 있을 필요가 있다. 이 검정 시스템에서는 검정되는 매스 플로우 컨트롤러로부터 탱크까지의 배관 용적과 탱크의 이미 알고 있는 용적의 합을 기준 용적으로 하고 있지만, 통상, 배관 용적은 배관 길이 등에 기초하여 개산되고 있을 뿐, 배관이 구부러져 있는 부분이나 개폐 밸브 등의 내부 용적에 대해 정확한 값을 산출하는 것은 어렵기 때문에, 기준 용적이 그다지 신뢰할 수 있는 값으로 되어 있지 않다. 또, 이와 같은 배관 용적에 관한 오차를 흡수할 수 있도록 하려고 하면, 탱크의 용적을 어느 정도 큰 것으로 해야 한다.
(c) 탱크의 용적이 커지거나 기준 용적이 크면, 검정하기 위해 필요한 양의 압력 변화가 장시간 경과하지 않으면 측정할 수 없게 된다. 이 때문에, 각 매스 플로우 컨트롤러의 검정에 걸리는 시간이 길어져 버린다.
본 발명은 상술한 것과 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 반도체 제조 프로세스 등에 사용되고 있는 기존의 가스 배관계에 어떠한 배관 등의 설계 변경을 행하는 일 없이 염가로 도입할 수 있고, 단시간에 정확한 기준 용적에 기초한 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행할 수 있는 검정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
즉, 본 발명의 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템은, 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류 가스 라인이 하나 또는 복수 마련되어 있고, 상기 지류 가스 라인을 포함하는 복수의 가스 라인이 합류한 후의 합류 후 가스 라인에 합류 후 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템으로서, 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도(開度)가 제어되는 유량 가변 밸브와, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 구비하고, 상기 지류 가스 라인과 병렬로 마련되어 있고, 상기 합류 후 가스 라인에 합류하는 검정용 가스 라인과; 각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소(箇所)와, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출부와; 검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 기준 용적 산출 단계에 있어서 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출부와; 상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교부를 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 매스 플로우 컨트롤러의 검정 방법은, 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류 가스 라인이 하나 또는 복수 병렬로 마련되어 있고, 상기 지류 가스 라인을 포함하는 복수의 가스 라인이 합류한 후의 합류 후 가스 라인에 합류 후 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 방법으로서, 상기 지류 가스 라인과 병렬로 마련되어 있고, 상기 합류 후 가스 라인에 합류하는 검정용 가스 라인에, 당해 검정용 가스 라인에 흐르는 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도가 제어되는 유량 가변 밸브와, 상기 검정용 가스 라인에 있어서 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 마련하는 검정용 가스 라인 설정 단계와; 각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소와, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출 단계와; 검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 기준 용적 산출 단계에 있어서 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출 단계와; 상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 본 발명의 매스 플로우 컨트롤러의 검정에 사용되는 프로그램이 수록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체는, 매스 플로우 컨트롤러를 구비하고, 하나 또는 복수 마련되어 있는 지류 가스 라인과, 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도가 제어되는 유량 가변 밸브와, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 구비하는 검정용 가스 라인이 병렬로 마련되어 있고, 각 지류 가스 라인 및 상기 검정용 가스 라인이 합류한 후의 합류 후 가스 라인에 합류 후 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서, 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행하기 위한 프로그램이 수록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체로서, 컴퓨터에, 각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소와, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출 단계와; 검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 기준 용적 산출 단계에 있어서 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러에 설정 유량을 설정하고, 당해 검정되는 매스 플로우 컨트롤러에 의한 유량 제어가 행해지고 있는 동안에 있어서 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출 단계와; 상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교 단계를 실행하기 위한 프로그램이 수록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체이다.
이와 같은 것이면, 반도체 제조 프로세스 등에 있는 기존의 가스 배관계에 대해, 예를 들어 지류 가스 라인 중의 하나에 상기 유량 측정 수단, 상기 유량 가변 밸브, 상기 압력 측정 수단을 마련하여 검정용 가스 라인으로 대치할 수 있고, 새로운 배관의 설계나 부설을 행할 필요가 없기 때문에 검정 시스템의 도입 비용을 큰 폭으로 낮출 수 있다. 또, 상기 기준 용적 산출부에 의해, 상기 유량 가변 밸브, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소, 상기 합류 후 밸브에 의해 규정되는 배관 내의 용적을 산출할 수 있고, 그 용적을 기준 용적으로 할 수 있으므로, 종래와 같이 기준 용적의 기초가 되는 탱크 등을 가스 배관계에 새롭게 마련할 필요가 없다. 또한, 상기 검정 가스 라인에 있어서 유량 제어의 정밀도 및 압력 측정 정밀도를 신뢰할 수 있는 것으로 하는 것에 의해, 정확한 값의 기준 용적을 산출하여 매스 플로우 컨트롤러의 검정에 사용할 수 있다. 바꾸어 말하면, 기준 용적에 대해 자기(自己) 검정을 행하면서 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행할 수 있기 때문에, 상기 비교부는 그 신뢰할 수 있는 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 검정용 파라미터를 비교하는 것에 의해, 항상 신뢰성이 높은 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행할 수 있게 된다.
또한, 상기 유량 가변 밸브, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적을 기준 용적으로 하고 있기 때문에, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러와 기준 용적 사이의 거리를 최소한으로 억제할 수 있으므로, 가스의 온도가 변화하는 것을 막을 수 있고, 매스 플로우 컨트롤러로의 검정의 영향을 작게 할 수 있다. 또, 기준 용적이 가스 배관에 의해 구성되어 있는 것으로 인하여, 탱크 등을 사용한 경우에 비해 용적에 대한 표면적을 크게 할 수 있고, 가스의 온도 치환성을 좋게 할 수 있으므로, 가스의 온도 등의 측정 환경을 측정마다 동일하게 하기 쉽다.
추가로, 기준 용적을 가스 배관에 의해 구성하고 있기 때문에, 예를 들어 합류 후 가스 라인 상에 있는 임의의 개폐 밸브를 합류 후 개폐 밸브로서 사용하는 것에 의해 기준 용적을 가변으로 할 수 있다. 보다 구체적으로는 배관뿐만 아니라, 프로세스 챔버까지 포함한 용적을 기준 용적으로 하여 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행할 수도 있고, 검정의 목적에 맞추어 자유롭게 기준 용적을 설정할 수 있다.
반대로, 기준 용적을 압력 측정값의 시계열 데이터로부터 측정할 수 있으므로, 필요 최소한의 기준 용적으로 할 수 있고, 한정된 시간에 검정에 필요한 압력 변화량을 발생시킬 수 있다. 즉, 단시간에 검정을 행할 수도 있고, 저유량(低流量)의 매스 플로우 컨트롤러를 검정하는 경우에서도, 미소하게 밖에 유량이 변화하고 있지 않는 경우에서도 그러한 변화를 검출하기 쉬워진다.
또, 기존의 가스 배관계에 대해, 지류 가스 라인과 병렬이 되도록 1개 가스 라인을 최종적으로 그 흐르는 가스가 합류 후 가스 라인에 합류하도록 추가하고, 검정용 가스 라인으로도, 기존의 가스 배관계에 있어서 치환에 의해 검정용 가스 라인을 마련한 경우와 동양(同樣)으로, 기준 용적을 산출하여, 그 정확한 기준 용적에 기초하여 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 정밀도 좋게 행할 수 있다.
기존의 가스 배관계에 대해, 검정용 가스 라인을 설정하는 것을 보다 간단하게 하려면, 상기 검정용 가스 라인에는 상기 유량 측정 수단과 상기 유량 가변 밸브와 상기 압력 측정 수단을 구비한 차압식 매스 플로우 컨트롤러를 마련하고 있고, 상기 압력 측정 수단이 상기 유량 측정 수단을 겸하는 것이면 된다.
예를 들어 ROF식 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행하는 경우에는, 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류 가스 라인이 하나 또는 복수 병렬로 마련되어 있고, 각 지류 가스 라인이 분류하기 전의 분류 전 가스 라인에 분류 전 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템으로서, 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도가 제어되는 유량 가변 밸브와, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 구비하고, 상기 분류 전 가스 라인과 접속되고 상기 지류 가스 라인과 병렬로 마련되어 있는 검정용 가스 라인과; 각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 분류 전 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소와, 상기 분류 전 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출부와; 검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 기준 용적 산출 단계에 있어서 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 분류 전 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출부와; 상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교부를 구비한 것을 특징으로 하는 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템이면 된다. 이와 같은 것이어도, 상술한 검정 시스템의 동양인 효과를 달성하는 것이 가능하다.
이와 같이, 본 발명의 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템, 방법, 및 그것들에 사용되는 프로그램에 의하면, 기존의 복수인 지류 가스 라인 중의 하나에, 상기 유량 측정 수단, 상기 유량 가변 밸브, 상기 압력 측정 수단을 마련하여 검정용 가스 라인으로 할 수 있고, 그와 같은 간단한 치환 또는 검정용 가스 라인의 추가에 의해 각 지류 가스 라인 상의 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행할 수 있게 된다. 또한, 상기 지류 가스 라인 상의 기기로부터 검정에 사용되는 기준 용적을 산출할 수 있기 때문에, 기준 용적을 별도로 마련할 필요가 없다. 즉, 기존의 가스 배관계에 대해, 새로운 배관이나 탱크 등의 설계나 설치를 행할 필요가 없기 때문에, 도입 비용을 억제할 수 있다. 또, 기준 용적은 배관으로 구성되므로, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러와의 거리가 가까워, 검정에 대한 열의 영향을 가능한 작게 하는 것도 가능하게 된다. 또, 기준 용적은 예를 들어 기존의 가스 배관계에 미리 설치되어 있는 임의의 개폐 밸브를 닫는 것에 의해 자유롭게 설정할 수 있으므로, 목적에 따른 기준 용적을 그때마다 설정하거나, 필요 최소한의 용적으로 하여 검정 시간을 짧게 하거나, 미소 유량에서도 압력 변화가 크게 생기도록 하여 이상을 검출하기 쉽게 할 수도 있다.
도 1은 종래의 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템을 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 관한 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템을 나타내는 모식도이다.
도 3은 동 실시 형태에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템을 나타내는 모식도이다.
도 4는 동 실시 형태에 있어서 차압식 매스 플로우 컨트롤러의 모식적 단면도이다.
도 5는 동 실시 형태에 있어서 컨트롤 박스의 기능 블록도를 나타내는 모식도이다.
도 6은 동 실시 형태에 있어서 ROR식의 검정 개념을 나타내는 그래프이다.
도 7은 동 실시 형태에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정의 흐름을 나타내는 플로차트이다.
도 8은 별도의 실시 형태에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템을 나타내는 모식도이다.
실시예
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태에 있어서 매스 플로우 컨트롤러(1)의 검정 시스템(100)은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 반도체의 제조 프로세스 등에 있어서, 가스 공급 수단인 복수의 가스 봄베(도시하지 않음)로부터 프로세스 챔버(C)로 각종 가스를 공급하기 위한 기존의 가스 배관계(GS)에 마련되어 있는 복수의 매스 플로우 컨트롤러(1)의 검정을 개별로 행하기 위해 사용되는 것이다. 이 가스 배관계(GS)는 가스봄베에 접속되어 있고, 적어도 매스 플로우 컨트롤러(1)와 그 하류에 2차측 개폐 밸브(SV)를 구비하는 지류 가스 라인(SL)이 복수 병렬로 마련되어 있는 가스 박스와, 각 지류 가스 라인(SL)이 1개로 합류한 후의 가스 라인이며, 합류 후 개폐 밸브(MV)를 구비하고, 그 하류에 있어서 상기 프로세스 챔버(C)와 접속되는 합류 후 가스 라인(ML)으로 이루어진 것이다. 또한, 합류 후 개폐 밸브(MV)는 각 지류 가스 라인(SL)이 합류한 후의 합류 후 라인(ML)의 어디에 장착되어 있는 것이어도 상관없다. 예를 들어 상기 프로세스 챔버(C)와 가스 배관계(GS)를 착탈 가능하게 장착하고 있는 가스 패널 등에 마련되는 밸브를 합류 후 밸브로 해도 된다. 여기서, 「병렬로 마련되어 있다」라는 것은 독립한 가스 라인이 최종적으로 1개의 가스 라인에 통합되거나 또는 1개의 가스 라인으로부터 복수의 독립된 가스 라인으로 나누어지는 설치 방법을 말한다.
상기 검정 시스템(100)은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 상술한 가스 배관계(GS)에 있어서 상기 지류 가스 라인(SL) 중의 하나인 매스 플로우 컨트롤러(1)를 기준이 되는 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)와 바꿔 넣은 검정용 가스 라인(KL)과, 상기 차압식 컨트롤러와 및 각 지류 가스 라인(SL) 상의 매스 플로우 컨트롤러(1)로부터 각종 측정 정보를 취득함과 아울러, 설정 유량의 설정을 하는 컨트롤 박스(3)를 구비한 것이다.
상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)는 상류로부터, 유량 가변 밸브(22)와, 유로를 흐르는 가스의 차압으로부터 유량을 측정하는 유량 측정 수단(21)을 이 순서로 구비한 것이다.
상기 유량 가변 밸브(22)는 도 4에 나타낸 바와 같이 상기 유량 측정 수단(21)에 의해 측정된 검정용 가스 라인(KL)을 흐르는 가스의 측정 유량이, 설정되어 있는 설정 유량으로 되도록 그 개도가 제어되는 것이다.
상기 유량 측정 수단(21)은 상류로부터 제1 압력 센서(211), 저항체(213), 제2 압력 센서(212)로 구성되어 있는 것이며, 상기 저항체(213)의 전후에 있어서 유체의 압력 변화에 기초하여 유체의 질량 유량을 측정하는 것이다. 여기서, 상기 제1 압력 센서(211)보다 상기 제2 압력 센서(212)의 쪽이 측정 정밀도가 높은 것이며, 상기 제2 압력 센서(212)가 청구항에서의 압력 측정 수단에 상당한다.
또, 이 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)에는 내부 유로가 형성되어 있는 블록체 내에 온도 센서(23)가 마련되어 있고, 이 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2) 내의 유로를 흐르는 가스의 온도를 측정할 수 있도록 되어 있고, 측정 유량의 온도 보정을 행하도록 구성되어 있다. 또, 상기 유량 가변 밸브(22)의 상류에는 추가로 전단(前段) 압력 센서(214)가 마련되어 있고, 후술하는 ROF형의 검정인 경우에 사용하도록 하고 있다.
상기 컨트롤 박스(3)는 CPU, 메모리, I／O 채널, 디스플레이 등의 출력 기기, 키보드 등의 입력 기기, AD 컨버터 등을 가진 이른바 컴퓨터이며, 상기 메모리에 격납한 프로그램에 따라서 CPU나 그 주변 기기가 동작하는 것에 의해, 적어도 도 5의 기능 블록도에 나타낸 바와 같이, 밸브 개폐 설정부(31), 기준 용적 산출부(32), 검정용 파라미터 산출부(33), 비교부(34)로서의 기능을 발휘하는 것이다. 또, 각 매스 플로우 컨트롤러(1) 및 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)와 전기적으로 접속되고 있고, 각 매스 플로우 컨트롤러(1)에 설정 유량을 설정하거나, 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)의 상기 제2 압력 센서(212)로부터 측정된 측정 압력과 그 측정된 시간의 세트인 시계열 데이터를 취득할 수 있도록 되어 있다.
각 부에 대해 설명한다.
밸브 개폐 설정부(31)는 기준 용적으로 하는 가스 배관의 용적을 규정하기 위해 상기 2차측 개폐 밸브(SV), 상기 합류 후 밸브(MV), 상기 유량 가변 밸브(22), 상기 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1) 내의 밸브에 대해 개폐를 설정하는 것이다.
상기 기준 용적 산출부(32)는 상기 밸브 개폐 설정부(31)가, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)가 있는 지류 가스 라인(SL) 상의 2차측 개폐 밸브(SV)는 개방하고, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1) 내의 밸브를 폐지하고, 그 이외의 각 지류 가스 라인(SL) 상의 2차측 개폐 밸브(SV)를 폐지하고, 상기 합류 후 밸브(MV)를 폐지하고 있는 상태에 있어서 기준 용적을 산출하는 것이다. 여기서, 기준 용적은 폐지되어 있는 상기 각 2차측 개폐 밸브(SV), 상기 합류 후 밸브(MV), 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1) 내의 밸브, 상기 차압식의 매스 플로우 컨트롤러(2) 내 상기 유량 가변 밸브(22)에 의해 규정되는 가스 배관계(GS)의 배관 용적에 상당한다. 바꾸어 말하면, 기준 용적은 밸브 등에 의해 배관 내의 거의 닫힌 공간을 말하며, 가스의 유입에 의해 압력 변화가 생기는 공간을 가리킨다. 이하의 설명에서는, 특별히 언급이 없는 한 이와 같은 배관 용적을 기준 용적이라고 부르는 것으로 한다. 보다 구체적으로, 상기 기준 용적 산출부(32)는 상기 검정 가스 라인 상의 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)에 설정 유량을 설정하고, 상기 유량 가변 밸브(22)에 의한 유량 제어가 행해지는 동안에 있어서, 상기 제2 압력 센서(212)로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 기준 용적을 산출하도록 구성되어 있다.
이 기준 용적의 산출에 대해 보다 자세하게 설명하면, 상기 기준 용적 산출부(32)는 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)에 설정 유량을 설정한 것을 트리거로 하고, 그 후, 예를 들어 상기 제2 압력 센서(212)로 측정되는 압력이 제1 압력(P1)이 된 타이밍으로부터, 추가로 제1 소정 시간 후에 오는 제2 압력(P2)이 된 타이밍까지의 기간에 있어서, 압력값의 상승량 ΔP를 구하도록 하고 있다. 예를 들어 도 6(a)의 경우에서는 구간 a－b에 있어서 상기 제2 압력 센서(212)의 압력 상승량 ΔP21을 구한다.
다음으로, 상기 기준 용적 산출부(32)는 구간 a－b에 있어서 측정한 질량 유량의 시계열 데이터로부터 산출되는 질량 유량 적분값과 상술한 압력 상승량 ΔP21을 기체(氣體)의 상태 방정식 (식 (1))에 대입하여 기준 체적을 산출한다.
V=nRT／ΔP21ㆍㆍㆍ(1)
여기서, n은 몰수(단위 시간당의 질량(질량 유량)을 시간으로 적분한 것, 즉, 질량 유량 적분값임), R은 기체 정수(제어 대상이 되는 기체로부터 알고 있음), T는 온도(온도 센서(236) 출력 등으로부터 알고 있음), ΔP21은 제2 압력 센서(212)에 있어서 압력 상승량이다.
상기 검정용 파라미터 산출부(33)는 상기 밸브 개폐 설정부(31)가, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)가 있는 지류 가스 라인(SL) 상 이외의 지류 가스 라인(SL) 상의 2차측 개폐 밸브(SV)는 폐지하고, 상기 합류 후 밸브(MV)를 폐지함과 아울러, 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2) 내의 유량 가변 밸브(22)를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 검정용의 파라미터를 산출하는 것이다. 구체적으로, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 설정 유량을 설정하고, 당해 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 의한 유량 제어가 행해지고 있는 동안에 있어서 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하도록 구성되어 있다.
검정용 파라미터의 산출에 대해 상세하게 설명하면, 상기 검정용 파라미터 산출부(33)는 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 설정 유량을 설정한 것을 트리거로 하고, 그 후 상기 제2 압력 센서(212)로 측정되는 압력이 상기 기준 용적 산출부(32)에 있어서 사용한 것과 같은 제1 압력(P1)이 된 타이밍으로부터, 추가로 제1 소정 시간 후에 오는 제3 압력(P3)이 된 타이밍까지의 기간에 있어서, 압력값의 상승량 ΔP를 구하도록 하고 있다. 예를 들어 도 6(b)의 경우에서는 구간 a－b에 있어서 상기 제2 압력 센서(212)의 압력 상승량 ΔP31을 구한다.
다음으로, 상기 검정용 파라미터 산출부(33)는 구간 a－b에 있어서 설정된 설정 유량과 경과 시간으로부터 산출되는 질량 유량 적분값과 상술한 압력 상승량 ΔP31을 기체의 상태 방정식(식 (2))에 대입하여 검정용 파라미터인 검정용 체적 Vtest를 산출한다.
Vtest=nRT／ΔP31ㆍㆍㆍ(2)
여기서, n은 몰수(단위 시간당의 질량(질량 유량)을 시간으로 적분한 것, 즉, 질량 유량 적분값임), R은 기체 정수(제어 대상이 되는 기체로부터 알고 있음), T는 온도(온도 센서(236) 출력 등으로부터 알고 있음), ΔP31은 제2 압력 센서(212)에 있어서 압력 상승량이다.
상기 비교부(34)는 기준 용적과 상기 검정용 파라미터인 산출 용적 Vtest를 비교하고, 이것들이 일치하거나 또는 규정 범위의 값에 들어가 있는 경우에는 검정되어 있는 매스 플로우 컨트롤러(1)는 정상이라고 판단하고, 일치하지 않거나 또는 규정 범위 외의 값인 경우에는 검정되어 있는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 이상이 있다고 판단하고, 그 취지를 표시하도록 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는 기준 용적 그 자체를 검정용 파라미터로 하고 있으나, 기준 용적에 기초하여, 그 외의 실시 형태에 있어서 후술하는 파라미터나 검정 곡선을 설정하도록 해도 상관없다.
이와 같이 구성된 매스 플로우 컨트롤러(1)의 검정 시스템(100)에 있어서 검정 방법의 순서에 대해 도 7의 플로차트를 참조하면서 설명한다.
우선, 기존의 가스 배관계(GS)에 있어서 지류 가스 라인(SL)의 하나에 기준이 되는 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)를 마련하여 검정용 가스 라인(KL)으로 하고, 각 매스 플로우 컨트롤러(1)와 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)를 컨트롤 박스(3)와 접속하여, 유량 설정 및 데이터의 취득을 행할 수 있도록 셋업한다(단계 S1).
다음으로, 상기 밸브 개폐 설정부(31)에 의해, 상술한 바와 같이 각종 밸브를 폐지하고, 가스 배관 자체에 의해 기준 용적을 규정한다(단계 S2). 여기서, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)는 모두 닫혀 있고, 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)는 유량 제어를 행할 수 있도록 되어 있다.
그 후, 상기 기준 용적 산출부(32)는 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)에 설정 유량을 설정하고(단계 S3), 상기 제2 압력 센서(212)로 측정되는 압력 측정값의 시계열 데이터와, 제1 압력 센서(211)와 제2 압력 센서(212)의 차압으로부터 산출되는 질량 유량으로부터 산출되는 값을 기체의 상태 방정식에 대입하는 것에 의해 기준 용적을 산출한다(단계 S4).
다음으로, 상기 밸브 개폐 설정부(31)는 합류 후 밸브(MV)를 개방하고, 기준 용적 내의 압력을 저하시킨 후 다시 합류 후 밸브(MV)를 폐지한다. 또, 상기 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)의 상기 유량 가변 밸브(22)를 폐지함과 아울러, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)는 유량 제어를 행할 수 있는 상태로 한다(단계 S5).
그 후, 상기 검정용 파라미터 산출부(33)는 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)에 설정 유량을 설정하고(단계 S6), 상기 제2 압력 센서(212)로 측정되는 압력 측정값의 시계열 데이터와 설정 유량에 기초한 기준 용적의 값인 산출 용적을 기체의 상태 방정식에 의해 산출한다(단계 S7).
마지막으로, 비교부(34)가 기준 용적과 산출 용적을 비교하여, 검정되어 있는 매스 플로우 컨트롤러(1)가 정상적인지의 여부에 대해 판단한다(단계 S8).
이와 같이 본 실시 형태의 매스 플로우 컨트롤러(1)에 의하면, 기존의 가스 배관계(GS)에 대해 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)를 지류 가스 라인(SL) 상에 마련하고, 검정용 가스 라인(KL)으로 하는 것만으로, ROR식 매스 플로우 컨트롤러(1)의 검정 시스템(100)을 구축하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 종래와 같이 ROR식의 검정 시스템(100)을 도입하기 위해, 예를 들어 합류 후 배관에 새로운 유로나 탱크를 설계, 설치할 필요가 없기 때문에, 도입 비용을 큰 폭으로 억제하는 것이 가능하게 된다.
또한, 2차측 개폐 밸브(SV) 및 합류 후 밸브(MV)로 규정되는 배관 내의 용적을 기준 용적으로 하고 있기 때문에, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러(1)와, 기준 용적 사이의 거리를 최소한으로 억제할 수 있기 때문에, 가스의 온도가 변화하는 것을 막을 수 있고, 매스 플로우 컨트롤러(1)로의 검정 영향을 작게 할 수 있다. 또, 기준 용적이 가스 배관에 의해 구성되어 있는 것으로 인하여, 탱크 등을 사용한 경우에 비해 용적에 대한 표면적을 크게 할 수 있고, 가스의 온도 치환성을 좋게 할 수 있으므로, 가스의 온도 등의 측정 환경을 측정마다 동일하게 하기 쉽다.
또, 가스 배관 상의 각종 밸브를 적절히 폐지하는 것에 의해 기준 용적을 가스 배관 자체로 구성하고 있기 때문에, 예를 들어 어느 기존의 합류 후 개폐 밸브를 폐지할지를 적절히 선택하는 것에 의해, 기준 용적을 최소 한도로 하거나, 프로세스 챔버(C)까지의 유로를 포함한 검정을 행하게 할 수 있다.
예를 들어 기준 용적을 최소 한도로 하는 것에 의해, 매스 플로우 컨트롤러(1)를 제어할 수 있는 유량이 작은 경우에도, 단시간으로도 기준 용적 내의 압력 변화를 크게 할 수 있고, 소유량으로도 정밀도가 좋은 검정을 행할 수 있다.
추가로, 종래이면 개산으로 구해지고 있어, 그다지 신뢰할 수 없던 기준 용적의 값을 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)에 의해 자기 검정할 수 있기 때문에, 보다 정확한 값에 기초하여 검정을 행할 수 있다. 따라서, 매스 플로우 컨트롤러(1)의 검정 자체의 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있다.
그 외의 실시 형태에 대해 설명한다.
도 8에 나타낸 바와 같이 매스 플로우 컨트롤러(1)를 구비하는 지류 가스 라인(SL)이 복수 병렬로 마련되어 있고, 각 지류 가스 라인(SL)이 분류하기 전의 분류 전 가스 라인에 분류 전 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계(GS)에 있어서도 본 발명을 적용하는 것은 가능하다. 구체적으로, 상기 지류 가스 라인(SL)에 병렬로 차압식 매스 플로우 컨트롤러(2)를 구비하는 검정용 가스 라인(KL)을 마련하고, 그 입구측을 상기 분류 전 가스 라인(NL)에 접속하면 된다.
이와 같은 것이어도, 상기 분류 전 가스 라인 상에 있는 분류 전 밸브, 상기 매스 플로우 컨트롤러(1)의 상류에 마련되어 있는 1차측 밸브(FV)에 의해 규정되는 배관의 용적을 기준 용적으로 하고, 전단 압력 센서(214)를 압력 측정 수단으로서 사용하면, ROF형의 검정 방법을 실시할 수 있고, 상기 실시 형태에 있어서 검정 시스템(100)과 거의 동양인 효과를 얻을 수 있다.
ROF형의 검정 방법에 대해 간단하게 설명하면, 상술한 ROR형의 검정 방법은 기준 용적에 대해 가스를 유입시키고, 기준 용적 내의 압력 상승에 기초하여 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행하는 것인데 비해, ROF형은 우선 기준 용적에 가스를 모아 넣어 두고, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러의 어느 지류 가스 라인을 개방하고 그 때의 압력 저하에 기초하여 검정을 행하는 방법이다. 구체적으로, 기준 용적 내를 소정의 압력으로 한 후에, 검정용 가스 라인을 개방하여 그 때의 압력 측정 수단으로 측정되는 압력 저하에 기초하여 기준 용적을 산출한다. 그 후, 기준 용적 내를 소정의 압력으로 승압하고, 이번은 검정되는 매스 플로우 컨트롤러의 어느 지류 가스 라인을 개방하고, 그 때의 압력 측정 수단으로 측정되는 압력 저하에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하고, 기준 용적에 기초한 기준 파라미터와 검정용 파라미터를 비교하여 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행한다.
상기 실시 형태에서, 비교부는 기준 용적의 값과 산출 용적의 값을 비교하는 것이지만, 그 외의 것이어도 상관없다. 예를 들어 어느 설정 유량을 설정했을 때의 소정 시간 경과 후의 기준 체적 내의 압력 상승값을 미리 기억시키고, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러에 그 설정 유량을 설정하여, 소정 시간 경과 후의 압력 상승값을 비교하는 것이어도 된다. 또, 압력 측정값의 시계열 데이터를 기준 용적에 기초하여 설정되는 검정 곡선과 비교하는 것에 의해 매스 플로우 컨트롤러의 정상, 이상을 판단하는 것이어도 된다.
상기 실시 형태에서는 기준 용적 내로 가능한 불필요한 가스가 유입하지 않게 하기 위해 2차측 개폐 밸브를 폐지하고 있지만, 다소의 유입을 허용한다면, 매스 플로우 컨트롤러 내의 밸브를 폐지하는 것에 의해 기준 용적을 규정해도 상관없다. 또, 상기 검정용 가스 라인에는 서멀식(thermal type)의 매스 플로우 컨트롤러를 마련함과 아울러, 별도로 압력 측정 수단을 마련하도록 해도 상관없다.
상기 실시 형태에서는 유량 가변 밸브에 일정 유량이 흐르도록 설정 유량을 설정하여 유량 제어를 행하고, 그 때의 기준 용적 내의 압력 상승에 기초하여 기준 용적을 산출하고 있으나, 정밀도가 그다지 요구되지 않는 경우에는 유량 가변 밸브를 개방시키고, 설정 유량을 설정하지 않고 그 때의 압력 변화로부터 기준 용적을 구하도록 해도 상관없다.
또, 검정되는 매스 플로우 컨트롤러에 일정 유량이 흐르도록 설정 유량을 설정하지 않고, 개방만 시키고, 그 때의 압력 변화에 기초하여 검정을 행하도록 해도 상관없다. 이 경우는 압력 변화로부터 산출되는 파라미터와 검정되는 매스 플로우 컨트롤러 내의 유량 측정 수단이 나타내는 유량을 비교하는 것에 의해, 그 유량 측정 수단의 교정(값 매김 등)을 행하는 것은 불가능하였으나, 정상인지의 여부를 판정할 수 있다.
아울러, 상술한 것과 같은 매스 플로우 컨트롤러뿐만 아니라, 지류 가스 라인 상에 매스 플로우 컨트롤러와는 별체로 마련된 유량 측정 수단(매스 플로우 미터, 유량계) 등을 검정하는 것도 가능하다.
또, 기준으로 한 검정용의 매스 플로우 컨트롤러의 내부 구조는 상기 실시 형태로 한정되지 않는다. 예를 들어 유량 가변 밸브보다 상류에 유량 측정 수단 또는 압력 측정 수단이 마련되어 있는 것이어도 상관없다.
상기 실시 형태에서는 검정용 가스 라인이 1개 라인만 마련되어 있으나, 검정용 가스 라인이 복수 라인 마련되어 있어도 상관없다.
또, 기준 용적은 배관이 밸브 등에 의해 완전하게 폐지되어 있는 폐쇄 공간만으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 합류 후 밸브 대신에 음속(音速) 노즐 등의 일정 유량이 계속 흐르는 유체 저항을 폐지점으로 간주하고, 그와 같은 유체 저항 등에 의해 규정되는 용적 내의 압력이 상승, 또는 하강하는 것이면, ROR식이나 ROF식의 검정을 행할 수 있다.
그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에 있어서 여러 가지 변형이나 조합이 가능하다.
100ㆍㆍㆍ검정 시스템
1ㆍㆍㆍ매스 플로우 컨트롤러
2ㆍㆍㆍ차압식 매스 플로우 컨트롤러
21ㆍㆍㆍ유량 측정 수단
22ㆍㆍㆍ유량 가변 밸브
211, 213ㆍㆍㆍ압력 측정 수단
32ㆍㆍㆍ기준 용적 산출부
33ㆍㆍㆍ검정용 파라미터 산출부
34ㆍㆍㆍ비교부
GSㆍㆍㆍ가스 배관계
SLㆍㆍㆍ지류 가스 라인
MLㆍㆍㆍ합류 후 가스 라인
MVㆍㆍㆍ합류 후 밸브
NLㆍㆍㆍ분류 전 가스 라인

Claims (5)

  1. 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류(支流) 가스 라인이 하나 또는 복수 마련되어 있고, 상기 지류 가스 라인을 포함하는 복수의 가스 라인이 합류한 후의 합류 후 가스 라인에 합류 후 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계(配管系)에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정(檢定) 시스템으로서,
    가스의 유량(流量)을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도(開度)가 제어되는 유량 가변 밸브와, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 구비하고, 상기 지류 가스 라인과 병렬로 마련되어 있고, 상기 합류 후 가스 라인에 합류하는 검정용 가스 라인과,
    각 지류 가스 라인을 폐지(閉止)하고, 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소(箇所)와, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출부와,
    검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출부와,
    상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교부를 구비한 것을 특징으로 하는 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 검정용 가스 라인에는 상기 유량 측정 수단과, 상기 유량 가변 밸브와, 상기 압력 측정 수단을 구비한 차압식 매스 플로우 컨트롤러를 마련하고 있고, 상기 압력 측정 수단이 상기 유량 측정 수단을 겸하는 것인 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템.
  3. 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류 가스 라인이 하나 또는 복수 마련되어 있고, 상기 지류 가스 라인을 포함하는 가스 라인이 분류하기 전의 분류 전 가스 라인에 분류 전 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템으로서,
    가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도가 제어되는 유량 가변 밸브와, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 구비하고, 상기 분류 전 가스 라인과 접속되고, 상기 지류 가스 라인과 병렬로 마련되어 있는 검정용 가스 라인과,
    각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 분류 전 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소와, 상기 분류 전 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출부와,
    검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 분류 전 밸브가 폐지하고 있는 상태에 있어서, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출부와,
    상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교부를 구비한 것을 특징으로 하는 매스 플로우 컨트롤러의 검정 시스템.
  4. 매스 플로우 컨트롤러를 구비하는 지류 가스 라인이 하나 또는 복수 마련되어 있고, 상기 지류 가스 라인을 포함하는 가스 라인이 합류한 후의 합류 후 가스 라인에 합류 후 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서 매스 플로우 컨트롤러의 검정 방법으로서,
    상기 지류 가스 라인과 병렬로 마련되어 있고, 상기 합류 후 가스 라인에 합류하는 검정용 가스 라인에, 당해 검정용 가스 라인에 흐르는 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도가 제어되는 유량 가변 밸브와, 상기 검정용 가스 라인에 있어서 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 마련하는 검정용 가스 라인 설정 단계와,
    각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소와, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정되는 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출 단계와,
    검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 기준 용적 산출 단계에 있어서 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출 단계와,
    상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 매스 플로우 컨트롤러의 검정 방법.
  5. 매스 플로우 컨트롤러를 구비하고, 하나 또는 복수 마련되어 있는 지류 가스 라인과, 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 수단과, 상기 유량 측정 수단으로 측정되는 측정 유량이 설정 유량으로 되도록 개도가 제어되는 유량 가변 밸브와, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정 수단을 구비하는 검정용 가스 라인이 병렬로 마련되어 있고, 각 지류 가스 라인 및 상기 검정용 가스 라인이 합류한 후의 합류 후 가스 라인에 합류 후 밸브가 마련되어 있는 가스 배관계에 있어서, 매스 플로우 컨트롤러의 검정을 행하기 위한 프로그램이 수록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체로서,
    컴퓨터에,
    각 지류 가스 라인을 폐지하고, 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 유량 가변 밸브와, 각 지류 가스 라인의 폐지 개소와, 상기 합류 후 밸브에 기초하여 규정된 배관 내의 용적인 기준 용적을 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 산출하는 기준 용적 산출 단계와,
    검정되는 매스 플로우 컨트롤러가 있는 지류 가스 라인 이외의 지류 가스 라인을 상기 폐지 개소와 같은 개소에서 폐지하고, 상기 유량 가변 밸브 및 상기 합류 후 밸브를 폐지하고 있는 상태에 있어서, 상기 압력 측정 수단으로 측정되는 측정 압력의 시계열 데이터에 기초하여 검정용 파라미터를 산출하는 검정용 파라미터 산출 단계와,
    상기 기준 용적에 기초하여 설정되는 기준 파라미터와 상기 검정용 파라미터를 비교하는 비교 단계를 실행시키기 위한 프로그램이 수록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체.
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