JP6130825B2 - 上流体積質量流量検証システムおよび方法 - Google Patents
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Description
本願は、2009年7月24日に出願された米国特許出願第12/508,799号の優先権を主張する。上述の出願をここで引用したことにより、その教示全体が本願にも含まれるものとする。
Vtは、次の節で説明するMFVシステムの全容積であり、
Rは、一般気体定数であり、
PおよびTは、それぞれ、気体の圧力および温度の測定値であり、
PstpおよびTstpは、それぞれ、標準圧力(1.01325e5 Pa)および標準温度(273.15K)定数である。
2.システムを所定の圧力レベルまで下げて、検査対象MFCの制御弁を閉じる。
4.MFVの下流弁を閉じ、MFVの上流弁を開いて、気体流をMFVチェンバに流入させる。
6.チェンバ圧力および気体温度が安定するまで待ち、チェンバ圧力をP1、気体温度をT1として記録する。
8.チェンバ圧力および気体温度が安定するまで待ち、チェンバ圧力をP2、気体温度をT2として記録する。
Claims (10)
- 質量流量コントローラの挙動を検査するための上流質量流量検証システムであって、
検査流体を貯蔵することができる質量流量コントローラの上流にある上流容積であって、前記質量流量コントローラは検査対象であり所与の隙間容積を有する、上流容積と、
前記上流容積内の温度を検知するよう構成された温度センサと、
前記上流容積内の流体圧力を検知するよう構成された圧力センサと、
前記温度センサと前記圧力センサからの温度および圧力の信号を受信し、前記システムが安定するのを待ち、前記受信された温度および圧力の信号に基づいて圧力の減衰率及び温度を決定し、該圧力を該温度で除した値(P/T)の減衰率に基づき前記質量流量コントローラを通過する検査流体の流量を決定し、前記質量流量コントローラ内部にある前記所与の隙間容積によって生ずる誤差を補償するように構成されているプロセッサと、
を備え、前記プロセッサは、前記質量流量コントローラを通過する前記検査流体の流量を決定する際に、(i)前記質量流量コントローラが圧力不感応である場合、または(ii)前記質量流量コントローラが圧力感応である場合のいずれかに対しても、前記所与の隙間容積を補償するよう構成されていることを特徴とする上流質量流量検証システム。 - 前記プロセッサにより前記隙間容積がゼロに設定されていることを特徴とする請求項1に記載の上流質量流量検証システム。
- 前記隙間容積が、前記システムのユーザによって入力されることを特徴とする請求項1に記載の上流質量流量検証システム。
- 検査流体の前記容積への流入を制御する入力弁と、
前記容積から前記質量流量コントローラを通って流出する流体を制御する出力弁と、
をさらに備え、
測定可能な圧力レベルに達するまで前記容積を満たすように前記出力弁を閉じ、前記入力弁を開き、次いで、流体が前記容積から前記質量流量コントローラを通過して流出することを可能にするように、前記入力弁を閉じ前記出力弁を開くことを特徴とする請求項1に記載の上流質量流量検証システム。 - 質量流量測定デバイスの挙動を検証する質量流量検証システムにより実行される方法であって、
一定容積内に検査流体の圧力を確定するステップと、
前記容積から所与の隙間容積を有する検査用質量流量測定デバイスを通過して検査流体を移送するために弁を開くステップと、
前記システムが安定するのを待って、前記圧力の減衰率及び温度をプロセッサにより決定するステップと、
前記検査流体の温度と、前記検査流体における前記確定された圧力からの該圧力を該温度で除した値(P/T)の減衰率とに応じて、検査対象の前記質量流量測定デバイスを通る質量流量(mass flow rate)をプロセッサにより決定するステップであって、前記決定は、前記検査対象の質量流量測定デバイス内にある前記所与の隙間容積によって生ずる誤差を補償する、ステップと、
を備え、
前記質量流量測定デバイスを通過する前記検査流体の流量を判定する際に、(i)前記質量流量測定デバイスが圧力不感応である場合、または(ii)前記質量流量測定デバイスが圧力感応である場合のいずれかに対しても、前記所与の隙間容積は前記プロセッサによって補償されることを特徴とする、方法。 - 前記検査対象の質量流量測定デバイスの製造業者から受け取った前記所与の隙間容積の値を入力するステップをさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記入力した値がゼロであることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記温度が安定した後に、前記流量を計算することを特徴とする請求項6に記載の方法。
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US9739655B2 (en) | 2012-03-07 | 2017-08-22 | Illinois Tool Works Inc. | System and method for using a rate of decay measurement for real time measurement and correction of zero offset and zero drift of a mass flow controller or mass flow meter |
WO2013134150A1 (en) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | Illinois Tool Works Inc. | System and method for improving the accuracy of a rate of decay measurement for real time correction in a mass flow controller or mass flow meter by using a thermal model to minimize thermally induced error in the rod measurement |
US9410834B2 (en) * | 2012-03-07 | 2016-08-09 | Illinois Tool Works Inc. | System and method for providing a self validating mass flow controller or a mass flow meter utilizing a software protocol |
US10048105B2 (en) | 2012-03-07 | 2018-08-14 | Illinois Tool Works Inc. | System and method for providing a self validating mass flow controller and mass flow meter |
US10031005B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-07-24 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for self verification of pressure-based mass flow controllers |
US20140196537A1 (en) * | 2013-01-14 | 2014-07-17 | Auto Industrial Co., Ltd. | Integrated measuring apparatus for measuring vapor pressure and liquid level of liquid tank |
DE102013209551A1 (de) * | 2013-05-23 | 2014-11-27 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Steuereinheit zur Bestimmung eines Massenstroms in einer Hochdruck-Abgas-Rückführung einer Brennkraftmaschine |
WO2015138085A1 (en) * | 2014-03-11 | 2015-09-17 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
CN103983317B (zh) * | 2014-06-04 | 2017-01-18 | 上海贝岭股份有限公司 | 一种燃气表 |
JP6481282B2 (ja) * | 2014-08-15 | 2019-03-13 | アルメックスコーセイ株式会社 | 気体流量制御装置および気体流量制御弁 |
US9664659B2 (en) * | 2014-11-05 | 2017-05-30 | Dresser, Inc. | Apparatus and method for testing gas meters |
DE102015011424A1 (de) * | 2015-09-01 | 2017-03-02 | Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung und / oder Überwachung eines Flusssensors |
CN105203190B (zh) * | 2015-10-30 | 2018-07-20 | 天津英利新能源有限公司 | 质量流量计的标定方法 |
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US20180111193A1 (en) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | Velo3D, Inc. | Operation of three-dimensional printer components |
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US10890475B2 (en) | 2017-03-14 | 2021-01-12 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Diagnostic system, diagnostic method, diagnostic program, and flow rate controller |
CN107830914B (zh) * | 2017-09-19 | 2020-02-14 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种双通道对称结构的微流量校准装置及方法 |
US10866135B2 (en) | 2018-03-26 | 2020-12-15 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on rate of pressure decay |
CN110864752A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-03-06 | 西安航天计量测试研究所 | 基于体积管和位移传感器的单脉冲流量测量装置与方法 |
CN111579013B (zh) * | 2020-05-26 | 2022-07-15 | 北京七星华创流量计有限公司 | 气体质量流量控制器及其流量标定方法 |
KR20230005977A (ko) * | 2020-06-29 | 2023-01-10 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치, 유체 공급 시스템 및 유체 공급 방법 |
CN112034083B (zh) * | 2020-07-30 | 2023-03-31 | 北京卫星制造厂有限公司 | 一种液相色谱泵流路超低死体积的标定方法及系统 |
WO2022186971A1 (en) | 2021-03-03 | 2022-09-09 | Ichor Systems, Inc. | Fluid flow control system comprising a manifold assembly |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7809473B2 (en) * | 2002-06-24 | 2010-10-05 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control |
GB2419420B8 (en) * | 2002-06-24 | 2008-09-03 | Mks Instr Inc | Mass flow controller |
US6868862B2 (en) | 2002-06-24 | 2005-03-22 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for mass flow controller with a plurality of closed loop control code sets |
CN1688948B (zh) | 2002-07-19 | 2010-05-26 | 布鲁克斯器具有限公司 | 在质量流动控制器中用于压力补偿的方法和装置 |
US6763731B1 (en) | 2003-01-22 | 2004-07-20 | Harvey Padden | Dynamic error correcting positive displacement piston flowmeter and method of measuring gas flow in a piston flowmeter |
GB2402675B (en) | 2003-05-12 | 2008-02-20 | Oxitec Ltd | Resistance dilution |
JP4086057B2 (ja) * | 2004-06-21 | 2008-05-14 | 日立金属株式会社 | 質量流量制御装置及びこの検定方法 |
US7757554B2 (en) * | 2005-03-25 | 2010-07-20 | Mks Instruments, Inc. | High accuracy mass flow verifier with multiple inlets |
US7403844B2 (en) | 2005-08-31 | 2008-07-22 | Invacare Corporation | Method and apparatus for programming parameters of a power driven wheelchair for a plurality of drive settings |
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