JP7270988B2 - 流量制御装置および流量制御方法 - Google Patents
流量制御装置および流量制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7270988B2 JP7270988B2 JP2020501733A JP2020501733A JP7270988B2 JP 7270988 B2 JP7270988 B2 JP 7270988B2 JP 2020501733 A JP2020501733 A JP 2020501733A JP 2020501733 A JP2020501733 A JP 2020501733A JP 7270988 B2 JP7270988 B2 JP 7270988B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- control
- integral
- control valve
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 38
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 28
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 16
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 45
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000541 pulsatile effect Effects 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0623—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the set value given to the control element
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B15/00—Systems controlled by a computer
- G05B15/02—Systems controlled by a computer electric
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/363—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction with electrical or electro-mechanical indication
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
。
2 絞り部
3 上流圧力センサ
4 下流圧力センサ
5 温度センサ
6 コントロール弁
7 制御器
9 下流弁
10 プロセスチャンバ
11 真空ポンプ
12 外部制御装置
70 制御器
72 算出部
74 比較部
76 弁動作制御部
100 流量制御装置
Cc 閉命令
Sr 制御流量信号
Ss 設定流量信号
Vd 既知積分流量
Vn 演算積分流量
Vs 目標積分流量
Claims (13)
- 流路に設けられたコントロール弁と、前記コントロール弁によって制御された流体の流量を測定する流量測定部と、制御器とを備え、
前記制御器は、前記流量測定部から出力された信号に基づく測定積分流量と目標積分流量とが一致するように、前記コントロール弁の開閉動作を制御するように構成されており、
前記測定積分流量は、前記流量測定部から出力された信号から求められる演算積分流量と、前記コントロール弁を閉止した後の流量立ち下げ期間における既知積分流量とを含む、流量制御装置。 - 前記流量測定部は、所定期間ごとに流量値を出力するように構成されており、
前記制御器は、
前記流量測定部から出力された流量値に基づいて、前記所定期間の積分流量の総和に対応する演算積分流量を算出する算出部と、
前記目標積分流量から前記既知積分流量を減算した値と、前記算出部で算出された前記演算積分流量との差を求める比較部と、
前記比較部で求められた前記差が所定範囲内になった時に前記コントロール弁の閉動作を開始する弁動作制御部と
を含む、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記流量測定部は、所定期間ごとに流量値を出力するように構成されており、
前記制御器は、
前記流量測定部から出力された流量値に基づいて、前記所定期間の積分流量の総和に対応する演算積分流量を算出し、前記演算積分流量と前記既知積分流量とを加算して前記測定積分流量を算出する算出部と、
前記目標積分流量と前記測定積分流量との差を求める比較部と、
前記比較部で求められた前記差が所定範囲内になった時に前記コントロール弁の閉動作を開始する弁動作制御部と
を含む、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記制御器は、
入力された設定流量信号と前記流量測定部から出力された信号との差の総和である積分流量差を算出する差分算出部と、
前記差分算出部の出力が所定値または所定範囲内に収束したか否かを判定する判定部と、
前記差分算出部の出力が収束したと前記判定部が判定したときに前記コントロール弁の閉動作を開始する弁動作制御部と
を含む、請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記制御器は、前記目標積分流量から前記既知積分流量を減じた値に前記演算積分流量が達したタイミングで、前記コントロール弁の閉止を開始するように構成されている、請求項1に記載の流量制御装置。
- 前記流量測定部は、前記コントロール弁の下流側に設けられた絞り部と、前記コントロール弁と前記絞り部との間の圧力を測定する圧力センサとを備え、前記圧力センサの出力に基づいて前記絞り部の下流側の流量を測定する、請求項1から5のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記コントロール弁の閉止は、一次遅れ制御によって行われる、請求項1から6のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記コントロール弁は、ノーマルクローズ型の圧電素子駆動式バルブである、請求項1から7のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記制御器には、設定流量信号として矩形波の連続パルス信号が入力される、請求項1から8のいずれかに記載の流量制御装置。
- 前記制御器は、流量立ち上げ期間において、設定流量信号に基づく内部指令信号としてのランプ制御信号と前記流量測定部から出力された信号との差の総和である積分流量差を算出する差分算出部を有し、前記差分算出部の出力に基づき、前記ランプ制御信号における傾きを途中で変化させる、請求項1に記載の流量制御装置。
- 前記ランプ制御信号の傾きを、500msecで100%流量に達するときの傾きである第1の傾きから、300msecで100%流量に達するときの傾きである第2の傾きに変化させる、請求項10に記載の流量制御装置。
- 流路に設けられたコントロール弁と、前記コントロール弁によって制御された流体の流量を測定する流量測定部と、制御器とを備え、
前記制御器は、前記流量測定部から出力された信号に基づく測定積分流量と目標積分流量とが一致するように、前記コントロール弁の開閉動作を制御するように構成されており、
前記流量測定部は、前記コントロール弁の下流側に設けられた絞り部と、前記コントロール弁と前記絞り部との間の圧力を測定する圧力センサとを備え、前記圧力センサの出力に基づいて前記絞り部の下流側の流量を測定する、流量制御装置。 - 流路に設けられたコントロール弁と、前記コントロール弁によって制御された流体の流量を測定する流量測定部とを備えた流量制御装置の流量制御方法であって、
前記流量測定部は、前記コントロール弁の下流側に設けられた絞り部と、前記コントロール弁と前記絞り部との間の圧力を測定する圧力センサとを備え、前記圧力センサの出力に基づいて前記絞り部の下流側の流量を測定するように構成されており、
目標積分流量から前記コントロール弁を閉止した後の流量立ち下げ期間における既知積分流量を減じた値に前記流量測定部から出力された信号から求められる演算積分流量が達したタイミングで、前記コントロール弁の閉止を開始する工程を含む、流量制御方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018032604 | 2018-02-26 | ||
JP2018032604 | 2018-02-26 | ||
PCT/JP2019/005638 WO2019163676A1 (ja) | 2018-02-26 | 2019-02-15 | 流量制御装置および流量制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019163676A1 JPWO2019163676A1 (ja) | 2021-02-04 |
JP7270988B2 true JP7270988B2 (ja) | 2023-05-11 |
Family
ID=67687422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020501733A Active JP7270988B2 (ja) | 2018-02-26 | 2019-02-15 | 流量制御装置および流量制御方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11733721B2 (ja) |
JP (1) | JP7270988B2 (ja) |
KR (1) | KR102412788B1 (ja) |
CN (1) | CN111788534A (ja) |
TW (1) | TWI709013B (ja) |
WO (1) | WO2019163676A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111971636B (zh) * | 2018-04-19 | 2023-12-12 | 株式会社堀场Stec | 流量控制装置、诊断方法和存储介质 |
JP7197943B2 (ja) * | 2019-12-27 | 2022-12-28 | 株式会社フジキン | 流量制御装置および流量制御方法 |
JP7169034B2 (ja) * | 2020-03-05 | 2022-11-10 | 株式会社フジキン | 流量制御装置および流量制御方法 |
JP7224089B1 (ja) * | 2022-05-16 | 2023-02-17 | 東フロコーポレーション株式会社 | 流量制御装置 |
NO20220718A1 (en) * | 2022-06-23 | 2023-12-25 | Beyonder As | Method for manufacturing an energy storage device |
CN115452312B (zh) * | 2022-10-26 | 2023-02-03 | 中国空气动力研究与发展中心低速空气动力研究所 | 一种热气流量测量与控制方法、系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002310773A (ja) | 2001-04-09 | 2002-10-23 | Toshiba Corp | 注入量制御装置及び方法 |
JP4197648B2 (ja) | 2001-10-18 | 2008-12-17 | シーケーディ株式会社 | パルスショット式流量調整装置とパルスショット式流量調整方法 |
JP2009265988A (ja) | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Fujikin Inc | 流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用駆動回路 |
JP2017215726A (ja) | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5054650A (en) * | 1986-10-30 | 1991-10-08 | Nordson Corporation | Method of compensating for changes in the flow characteristics of a dispensed fluid to maintain the volume of dispensed fluid at a setpoint |
JPH06348342A (ja) * | 1993-06-04 | 1994-12-22 | Kitz Corp | 定量バッチ装置の制御方法 |
TW392810U (en) * | 1997-10-16 | 2000-06-01 | Ind Tech Res Inst | Integrated miniature thermo-resist type flow control module |
EP2028577A2 (en) * | 1999-04-16 | 2009-02-25 | Fujikin Incorporated | Parallel bypass type fluid feeding device, and method and device for controlling fluid variable type pressure system flow rate used for the device |
JP4112900B2 (ja) * | 2002-05-21 | 2008-07-02 | 株式会社山武 | 制御方法及び制御装置 |
DE10392770B3 (de) * | 2002-06-24 | 2013-08-01 | Mks Instruments Inc. | Massenstrom-Sensor und Verfahren zur Druckschwankungs-unabhaengigen Massenstroemungs-Steuerung |
JP4669193B2 (ja) | 2002-10-16 | 2011-04-13 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置の温度測定装置 |
JP4376202B2 (ja) * | 2005-04-07 | 2009-12-02 | 本田技研工業株式会社 | 制御装置 |
JP4743763B2 (ja) | 2006-01-18 | 2011-08-10 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
WO2008053839A1 (fr) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Mécanisme de diagnostic dans un régulateur de débit massique à pression différentielle |
NZ571668A (en) * | 2008-09-30 | 2011-02-25 | David John Picton | Water management system using controlled valves each with pressure and flow sensors and a water bypass |
JP5346628B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2013-11-20 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラの検定システム、検定方法、検定用プログラム |
JP5538119B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-07-02 | 株式会社フジキン | ガス供給装置用流量制御器の校正方法及び流量計測方法 |
JP5058358B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-10-24 | 株式会社堀場エステック | 診断機構 |
JP5607501B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2014-10-15 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラ |
KR101599343B1 (ko) * | 2011-05-10 | 2016-03-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유량 모니터 부착 압력식 유량 제어 장치 |
US9057636B2 (en) * | 2012-09-21 | 2015-06-16 | Horiba Stec, Co. Ltd. | Self-calibrating mechanism and self-calibrating method for flow rate sensor, and diagnostic mechanism and diagnostic method for fluid sensor |
JP6081800B2 (ja) * | 2013-01-07 | 2017-02-15 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁及びマスフローコントローラ |
JP5847106B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2016-01-20 | 株式会社フジキン | 流量モニタ付圧力式流量制御装置。 |
JP6415889B2 (ja) * | 2014-08-01 | 2018-10-31 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置、流量制御装置用プログラム、及び、流量制御方法 |
US20160334119A1 (en) * | 2015-05-15 | 2016-11-17 | Lunatech, Llc | Integration of vaporized or nebulized air in medical environments |
US10054534B1 (en) * | 2015-07-08 | 2018-08-21 | Airviz Inc. | Group calibration of environmental sensors |
JP6771772B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2020-10-21 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置及びその異常検知方法 |
WO2017073038A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 株式会社フジキン | 流量信号補正方法およびこれを用いた流量制御装置 |
EP3176667B1 (de) * | 2015-12-04 | 2019-05-15 | Asco Numatics GmbH | Vorsteuereinheit, ventilanordnung und verfahren zur geregelten bereitstellung eines fluids |
WO2017155924A1 (en) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | Carrier Corporation | Calibration of an actuator |
KR102152048B1 (ko) * | 2016-03-29 | 2020-09-04 | 가부시키가이샤 후지킨 | 압력식 유량 제어 장치 및 유량 자기 진단 방법 |
CN105865550B (zh) * | 2016-06-12 | 2021-12-07 | 中国计量科学研究院 | 一种可在线校准的气体喷速管流量测量装置 |
JP6795832B2 (ja) * | 2016-07-05 | 2020-12-02 | 株式会社フジキン | 流量制御機器、流量制御機器の流量校正方法、流量測定機器および流量測定機器を用いた流量測定方法 |
JP2018096848A (ja) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | 株式会社堀場エステック | 流量特性関数同定方法、流量特性関数同定装置、流量特性関数同定用プログラム、及び、これらを用いた流量センサ又は流量制御装置 |
JP6883325B2 (ja) * | 2017-08-09 | 2021-06-09 | アドバンス電気工業株式会社 | 液マイクロメータ |
JP7067910B2 (ja) * | 2017-12-12 | 2022-05-16 | 株式会社堀場エステック | 流体装置及び流体装置用プログラム |
JP7148302B2 (ja) * | 2018-07-17 | 2022-10-05 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置 |
-
2019
- 2019-02-15 US US16/970,278 patent/US11733721B2/en active Active
- 2019-02-15 KR KR1020207013917A patent/KR102412788B1/ko active IP Right Grant
- 2019-02-15 JP JP2020501733A patent/JP7270988B2/ja active Active
- 2019-02-15 WO PCT/JP2019/005638 patent/WO2019163676A1/ja active Application Filing
- 2019-02-15 CN CN201980008651.6A patent/CN111788534A/zh active Pending
- 2019-02-21 TW TW108105804A patent/TWI709013B/zh active
-
2023
- 2023-07-03 US US18/346,434 patent/US12007797B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002310773A (ja) | 2001-04-09 | 2002-10-23 | Toshiba Corp | 注入量制御装置及び方法 |
JP4197648B2 (ja) | 2001-10-18 | 2008-12-17 | シーケーディ株式会社 | パルスショット式流量調整装置とパルスショット式流量調整方法 |
JP2009265988A (ja) | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Fujikin Inc | 流量自己診断機能を備えた圧力式流量制御装置の圧力制御弁用駆動回路 |
JP2017215726A (ja) | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI709013B (zh) | 2020-11-01 |
KR20200065071A (ko) | 2020-06-08 |
US20210141399A1 (en) | 2021-05-13 |
US12007797B2 (en) | 2024-06-11 |
TW201937323A (zh) | 2019-09-16 |
WO2019163676A1 (ja) | 2019-08-29 |
CN111788534A (zh) | 2020-10-16 |
US20230359228A1 (en) | 2023-11-09 |
KR102412788B1 (ko) | 2022-06-24 |
JPWO2019163676A1 (ja) | 2021-02-04 |
US11733721B2 (en) | 2023-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7270988B2 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
US11269362B2 (en) | Flow rate control method and flow rate control device | |
KR102421587B1 (ko) | 유량 제어 방법 및 유량 제어 장치 | |
KR101360871B1 (ko) | 유체의 특정량을 방출하는 유량 조절기 | |
CN109207963B (zh) | 流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质 | |
KR20190119099A (ko) | 압력식 유량 제어 장치 및 유량 제어 방법 | |
JP7208634B2 (ja) | 流体制御システムおよび流量測定方法 | |
JP2022083102A (ja) | 流体制御装置、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム | |
JP7197943B2 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
JP6520945B2 (ja) | 流体の流量を制御する方法、当該方法を実行する質量流量制御装置及び当該質量流量制御装置を用いた質量流量制御システム | |
TWI770792B (zh) | 流量控制裝置以及流量控制方法 | |
JP7538535B2 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
US12098940B2 (en) | Pressure control system, pressure control method, and pressure control program | |
US20220228896A1 (en) | Pressure control system, pressure control method, and pressure control program | |
JP7495732B2 (ja) | 流量制御装置 | |
JP2023034564A (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230419 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7270988 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |