KR100782155B1 - 유량계 교정용 기체유량측정장치 - Google Patents

유량계 교정용 기체유량측정장치 Download PDF

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KR100782155B1 KR1020060058299A KR20060058299A KR100782155B1 KR 100782155 B1 KR100782155 B1 KR 100782155B1 KR 1020060058299 A KR1020060058299 A KR 1020060058299A KR 20060058299 A KR20060058299 A KR 20060058299A KR 100782155 B1 KR100782155 B1 KR 100782155B1
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Abstract

본 발명은 보다 정확한 정체 온도 및 압력을 감지하고 측정된 정체 온도와 정체 압력과 선택한 소닉노즐로부터 기체의 유량을 측정할 수 있게 함으로써 고가의 유량 측정기를 사용하지 않고 구성할 수 있어 보다 저렴하고, 자동으로 유량계를 조정할 수 있는 이동성이 좋은 유량계 교정용 기체유량측정장치에 관한 것이다.
본 발명은 유량을 측정할 유체 장치의 유관과 연결되고, 압력센서와 온도센서를 구비한 분기 뱅크와; 상기 분기 뱅크의 측벽에 소정 간격으로 설치된 소닉노즐과 연결되고, 중간에는 공압밸브가 설치된 다수의 유량 분기관과; 상기 각 유량 분기관의 단부에 연결되어 각 유량 분기관으로 이송된 기체를 합류시키는 합류 뱅크와; 상기 밸브들 및 유량계을 제어하고 이들로부터 감지된 정보를 전달받아 분석하여 교정값을 산출하는 제어수단을 포함함을 특징으로 한다.
유량계, 교정, 유량 측정, 정체 온도, 정체 압력, 소닉 노즐

Description

유량계 교정용 기체유량측정장치{Gas flow measuring device for flow meter calibration}
도 1은 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치의 일예를 도시한 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치의 일부를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치를 구성하는 뱅크의 일예를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치에 설치된 확산필터의 일예를 도시한 사시도.
도 5는 종래의 유량계 교정용 기체유량측정장치를 이용한 교정 시스템의 구성도.
도 6은 종래의 유량계 교정용 기체유량측정장치의 일예를 도시한 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
1 : 분기 뱅크
11 : 압력센서
12 : 온도센서
13 : 유관
2 : 헤더
21 : 확산필터
22 : 전자밸브
3 : 유량 분기관
31 : 소닉노즐
32 : 공압밸브
33 : 솔레노이드밸브
4 : 합류 뱅크
5 : 제어수단
51 : 정보수집 및 제어기
52 : 컴퓨터
53 : 유량계 제어기
6 : 유량계
본 발명은 유량계의 교정을 위한 기체유량측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전체적인 크기를 축소시킬 수 있어 이동이 용이할 뿐만 아니라, 보다 정확한 정체 온도 및 정체 압력을 감지하고 측정된 정체 온도와 정체 압력으로부터 기체의 유량을 측정할 수 있게 함으로써 고가의 유량 측정기를 사용하지 않고 구성할 수 있어 보다 저렴하고, 이동성이 좋은 유량계의 교정을 위한 기체유량측정장치에 관한 것이다.
더욱이, 본 발명은 공압밸브를 이용하여 각 유량 분기관의 공기 흐름을 제어함으로써 미리 설정한 유량 범위에서 자동으로 유량계를 교정할 수 있는 유량계 교정을 위한 기체유량측정장치에 관한 것이다.
일반적으로 유체 시스템의 유량을 측정하기 위하여 유체가 흐르는 도관 등에 장착되어 유량을 측정하기 위한 수단으로 유량계가 사용되고 있다. 이러한 종래의 유량계는 유량을 측정만 할 뿐 유량을 제어하지 못하고 있으며, 이러한 단점을 보완한 장치 즉, 유량 측정 및 유량 제어 수단으로 유량계(이하, "유량계'로 통칭한다.)가 사용되고 있다. 이러한 유량계는 동일한 것을 사용한다 하더라도 사용압력이나 유동 범위가 다르면 오차가 발생될 수 있으므로 정확한 유량측정을 위해서는 유량계를 해당 현장의 사용조건에 맞도록 교정한 후 사용하게 된다. 특히, 가스 유량계를 교정하기 위해서는 정확도가 높으면서 측정범위가 넓은 유량측정장치가 구비되어야 한다.
현재까지 각종 유량계를 현장의 사용조건에 맞게 표준상태로 교정하기 위한 교정 장치가 사용되는데 종래의 유량측정장치로는 벨프루버(Bell Prover)와 피스톤프루버(Piston Prover)등이 있다.
도 5는 상기 벨프루버형 유량측정장치로서 도시한 바와 같이, 유량계(100)와 연결된 유관(101)을 따라 흐르는 유체의 유량을 정확히 측정할 수 있도록 표준화 교정하기 위한 대상으로서, 상기 유관(101)의 단부가 위치되어 상기 도관(101)을 통해 유동된 유량을 측정함과 아울러 그 유량 측정값을 기준하여 상기 가스제어기(100)의 유량 측정값에 대한 편차를 교정할 수 있도록 구성되어 있으며, 그 구체적인 구성은 오일 또는 유동파라핀 등의 유체(121)가 저장되고 상부가 개방된 유체 저장조(120)와, 하부가 개방된 통체 형상으로서 상기 유체 저장조(120)의 상부의 개방된 부분에 삽입 설치되고 내부에 상기 유관(101)의 단부가 위치되며 상부 일측에 각각 압력센서(P1)와 온도센서(T1)를 구비한 가스 저장조(110)와, 상기 가스 저장조(110)의 상승폭을 측정할 수 있도록 상기 유체 저장조(120)의 일측에 설치되고 눈금이 새겨진 스케일 바(130)로 구성된다.
이와 같이 구성된 벨프루버형 유량측정장치는 상기 유관(101)을 통해 상기 가스 저장조(110) 내부의 진공 영역(111)에 유입되는 기체에 의해 상기 기체 저장조(110)가 상승한 높이를 상기 스케일 바(130)로 측정하고 이 높이와 가스 저장조(110)의 단면적의 곱으로써 내부공간의 부피를 산출하여 유관(101)을 따라 흐르는 유체의 유량을 측정하고, 측정된 기체의 양과 상기 유량계(100)에서 측정한 측정값을 비교 분석하고, 그 편차가 허용 오차 내에 들도록 교정함으로써, 유량계(100)를 해당 현장의 사용조건에 맞는 표준상태로 교정할 수 있게 되는 것이다.
그러나, 이러한 벨프루버형 유량측정장치는 부피 측정방식을 기반으로 하기 때문에 크기가 크고 무거워 이동 측정이 거의 불가능할 뿐만 아니라 가격도 매우 높으므로 설비 투자에 막대한 비용이 소요되는 문제점이 있었으며, 또한, 측정범위가 넓지 않기 때문에 측정하고자 하는 범위에 따라 각기 용량이 다른 여러 대의 유 량측정장치를 사용하여야 하는 문제가 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 개발된 것이 특허등록 제0436972호로 공고된 "유량계의 표준화 교정용 기체유량측정장치"가 있다.
위의 기체유량측정장치는 도 6에 도시한 바와 같이, 유관(101)에 연결되어 상기 유관(101)을 통해 흐르는 유체가 수용될 수 있도록 밀폐공간을 이루는 유체유입본체(220)와, 상기 유관을 상기 유체유입본체(220)와 연결시켜주는 상류캡(210)과, 상기 유체유입본체(220)의 하류측 단부를 밀폐하는 노즐판 상에 배치되어 선택적으로 개폐 조작되면서 상기 유체유입본체 내에 수용된 유체를 원하는 관로로 통과시키기 위한 각기 다른 노즐목 직경을 갖는 복수의 노즐과 각각 결합되어 분기된 관로를 형성하고 각각 개폐 조작할 수 있는 개폐조작밸브(270, 280)가 구비된 복수의 유량측정 분기관(230)과, 상기 각 유량측정 분기관(230)의 단부에 결합되어 상기 각 유량측정 분기관을 하나의 밀폐된 공간으로 합류시키는 하류캡(240)을 포함하여 구성되고, 각각의 유량측정 분기관(230)에는 개폐조작밸브(270, 280)들 사이의 압력을 측정하여 기체의 누출을 감지하기 위한 압력센서를 구비하고 있다.
그러나 이와 같이 구성된 기체유량측장치는 도시한 바와 같이, 분기관을 유체유입본체의 길이 방향의 일측 단부에 연결하여 구성함으로써 전체 길이가 지나치게 길어지고, 분기관을 유체유입본체에 연결시키는 노즐을 한정된 유체유입본체의 단면적에 설치하여야 함으로써 유체유입본체의 직경이 커지는 단점이 있었다.
또한, 상기 개폐조작밸브가 수동 볼밸브로 구성되어 자동으로 개폐가 이루어지지 않아서 유량 범위를 자동으로 조절할 수 없는 문제가 발생하여 전체 교정 과 정을 자동화 할 수 없었다.
또한, 이러한 종래의 기체유량측장치는 온도 측정 수단을 유체유입본체의 길이 방향에 대하여 수직으로 설치함으로써 정체 온도를 감지해야 함에도 불구하고 기체가 흐르는 상태의 온도를 감지하고 이 감지된 온도와 압력으로부터 산출된 유량이 정확하지 못한 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전체 크기를 축소시켜 이동이 용이할 뿐만 아니라, 정확한 정체 온도 및 정체 압력을 감지하고 측정된 정체 온도와 정체 압력으로부터 기체의 유량을 측정할 수 있게 함으로써 고가의 유량측정기를 사용하지 않고 구성할 수 있어 보다 저렴하고, 이동성이 좋은 유량계의 교정을 위한 기체유량측정장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 공압밸브와 솔레노이드밸브를 이용하여 각 유량 분기관의 공기 흐름을 제어함으로써 전체 교정 과정을 자동화하여 인력 투입을 최소화시킨 유량계의 교정을 위한 기체유량측정장치를 제공함을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유량을 측정할 유체 장치의 유관과 연결되고, 압력센서와 온도센서를 구비한 분기 뱅크와; 상기 분기 뱅크의 측벽에 소정 간격으로 설치된 소닉노즐과 연결되고, 중간에는 공압밸브가 설치된 다수의 유량 분기관과; 상기 각 유량 분기관의 단부에 연결되어 각 유량 분기관으로 이송된 기체를 합류시키는 합류 뱅크와; 상기 공압밸브 및 유량계을 제어하고 이들로부터 감지된 정보를 전달받아 분석하여 교정값을 산출하는 제어수단을 포함함을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 추가적인 양상에 따르면, 본 발명은 상기 압력센서는 상기 분기 뱅크의 입구와 소닉노즐 사이에 설치되고, 상기 온도센서는 상기 분기 뱅크의 길이 방향으로 설치되며, 상기 공압밸브에는 공기의 양을 조절을 통해 공압밸브를 개폐하는 솔레노이드밸브가 더 설치됨을 특징으로 한다.
본 발명은 이와 같은, 또 추가적인 양상들은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 발명은 이러한 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치의 일예를 도시한 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치의 일부를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치를 구성하는 뱅크의 일예를 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치에 설치된 확산필터의 일예를 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 이에 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치는, 유량을 측정할 유체 장치의 유관(13)과 연결되고, 압력센서(11)와 온도센서(12)를 구비한 분기 뱅크(1)와, 상기 분기 뱅크(1)의 측벽에 소정 간격으로 설치된 소닉노즐(31)과 연결되고, 중간에는 공압밸브(32)가 설치된 다수의 유량 분기관(3)과, 상기 각 유량 분기관(3)의 단부에 연결되어 각 유량 분기관(3)으로 이송된 기체를 합류시키는 합류 뱅크(4)와, 상기 공압밸브(32) 및 유량계(6)을 제어하고 이들로부터 감지된 정보를 전달받아 분석하여 교정값을 산출하는 제어수단(5)을 포함함을 특징으로 한다.
그리고 상기 분기 탱크(1)는 소정의 유체장치로부터 유입되는 기체를 상기 다수의 유량 분기관(3)으로 분기시키는 수단으로서 도시한 바와 같이 원통형 통체 형상으로 일측 단부는 유체장치와 연결된 유관과 연결되고 타측 단부는 막혀있으며, 측벽에는 다수의 유량 분기관(3)이 설치되어 있다.
또한 상기 분기탱크(1)의 유체장치와 연결되는 단부에는 소정의 연결수단에 의해 헤드(2)가 구비되어 있다.
아울러 상기 분기 탱크(1)의 측벽에 설치된 다수의 유량 분기관(3)의 일측 단부 즉, 분기 탱크(1)와 연결되는 단부에는 소닉노즐(31)이 설치되어 있고, 상기 소닉노즐(31)은 전단 압력과 온도를 측정하기 위한 구멍이 구비되어 있으며, 소닉노즐(31)들은 서로 목직경이 다른 것을 설치하여 구성하였다.
그리고 상기 소닉노즐(31)은 총 5개를 설치하되 각각의 목직경이 60, 120, 200, 280, 400 ㎛인 것을 일예로 설치하여 구성하였다.
한편, 본 발명에 따른 실시예에 있어서, 상기 제어수단(5)은, 상기 유량계(6)의 구동을 제어하고 유량계(6)로부터 감지된 유량 정보를 수집하는 유량계 제어기(53)와, 상기 공압밸브(32), 솔레노이드밸브(33) 및 센서(11,12)들의 구동을 제어하고 각 센서(11,12)들에서 감지된 정체온도 및 정체압력을 수집하는 정보 수집 및 제어기(51)와, 상기 유량계 제어기(53)와 정보 수집 및 제어기(51)에서 전달되는 유량 정보나 정체온도 및 정체압력 정보를 비교 분석하여 교정값을 산출하고 교정 성적서를 출력하는 컴퓨터(52)로 구성됨을 특징으로 한다.
즉 본체 뱅크(1) 내부에 구비된 압력센서(11)와 온도센서(12)에서 측정된 정체 압력 및 정체 온도에서 측정된 기준유랑값과 상기 제어기가 유량계(6)로부터 감지한 유량정보를 상호 비교하여 얻은 교정값을 산출하여 교정 성적서를 컴퓨터에서 출력하는 것이다.
또한 상기 분기 탱크(1)에 설치된 압력센서(11)는 상기 분기 뱅크(1)의 입구와 소닉노즐(31)로부터 노즐 외경의 0.9~1.1배 정도의 거리만큼 이격된 위치에 설치한다. 이렇게 소닉노즐(31)의 전단에 압력센서(11)를 설치함으로서 기체가 흐르는 상태의 압력이 아닌 정체 압력을 감지할 수 있고, 감지된 압력의 손실 영향을 최소화할 수 있다.
상기 온도센서(12)는 도시한 바와 같이 분기 탱크(1)의 폐쇄된 일측 단부에 설치되데, 상기 분기 뱅크(1)의 길이 방향으로 설치되고, 온도를 감지하는 감지 단부가 상기 분기 뱅크(1)의 입구와 소닉노즐(31) 사이 위치되게 설치된다.
이렇게 온도센서(12)를 분기 탱크(1)의 길이 방향으로 설치함으로서 분기 탱크(1)의 내부로 유입된 기체가 온도 감지 단부에 접촉되었을 때 기체는 정체된 상태를 유지하게 되며 이때의 기체의 온도를 감지함으로서 기체의 정체 온도를 정확하게 감지할 수 있는 것이다.
더불어 유량 분기관(3)에 설치된 공압밸브(32)는 공기의 압력에 의해 유로가 개폐되는 유로 개폐 수단으로서 이 공압밸브(32)에는 그 내부에 공급되는 공기의 양을 조절하여 밸브를 개폐하는 솔레노이브밸브(33)가 더 설치되어 있다. 이와 같이 유량 분기관(3)에 직접 솔레노이드 밸브를 설치하지 않고 공기의 압력에 의해 개폐되는 공압밸브(32)를 설치한 것은 솔레노이드밸브를 유량 분기관(3)에 직접 연결하였을 경우 솔레노이드밸브에 공급되는 전원에 의해 솔레노이드 밸브가 가열되고 이에 따라 유량 분기관(3)의 내부에 흐르는 기체의 온도가 변하여 정확한 유량을 감지하지 못하는 것을 방지하기 위한 것이다.
즉, 유량 분기관(3)으로부터 이격되어 설치된 솔레노이드밸브(33)를 작동시켜 공압밸브(32)에 제공되는 공기의 양을 조절함으로서 공압밸브(32)가 작동되어 유량 분기관(3)의 유로를 개폐하고, 이렇게 공압밸브(32)에 의해 유로가 개폐되게 함으로서 종래의 수동 유량 개폐 볼밸브 또는 솔레노이드 밸브를 직접 설치하는 것보다 더 효율적이고, 솔레노이드밸브(33)의 개폐를 컴퓨터 시스템(52)으로 프로그램으로 제어함으로서 교정과정을 자동화시켜 교정인력 투입을 최소화시킬 수 있다. 또한, 정확한 정체 온도 및 정체 압력을 측정할 수 있는 것이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 실시예의 상기 분기 뱅크(1)의 유체 장치와 연결되는 단부에 설치된 헤드(2)에는 하나 이상의 확산필터(21)가 구비된다.
즉 상기 헤드(2)에 다수의 확산필터(21)가 더 구비됨으로써, 외부에서 유입된 공기의 흐름을 단속할 수 있어 분기 뱅크(1)의 내부로 유입된 공기의 흐름을 고르게 분포시켜 분기탱크(1)에 구비된 온도센서(12) 또는 압력센서(11)에서 측정되는 온도가 기체의 흐름이 정지된 상태의 정체 온도 및 정체 압력을 정확하게 측정 할 수 있는 것이다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 유량계 교정용 기체유량측정장치의 작동 관계를 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 먼저, 유관(13)에 연결된 전자밸브(22)의 작동에 의해 공급된 공기가 헤드(2)에 구비된 확산필터(21)를 통과하면서 공기의 흐름을 고르게 분포되게 한 후 분기 뱅크(1)에 유입된다.
그리고 상기 분기 뱅크(1)에 설치된 온도센서(12)와 압력센서(11)로 감지한 유체의 정체 온도와 정체 압력 측정값을 정보수집 및 제어기(51)로 전송한다. 이때 온도센서(12)의 단부가 분기 탱크(1)의 내부로 유입되는 기체와 부딛히는 형태로 설치되어 있으므로 온도센서(12)에서 감지된 온도는 기체의 흐름이 정지된 상태의 온도가 감지되며, 압력센서(11)에서 감지된 압력은 분기탱크(1) 내부의 정체압력이므로 정체온도 및 압력이 감지된다.
또한 유량계 제어기(53)에서 입력된 제어 신호에 의해 작동되는 유량계(6)에서 감지된 유량 값을 정보수집 및 제어기(51)에 전송하여 상호 분석하여 얻어진 교정값을 산출하여 교정 성적서를 컴퓨터(52)에서 작성하는 것이다.
한편, 분기 뱅크(1)의 측벽에 소정 간격으로 설치된 소닉노즐(31)을 통과한 공기는 솔레노이드밸브(33)가 공압밸브(32)를 제어하면 유량이 조절되어 상기 공압밸브(32)에 연결된 유량 분기관(3)을 통해 합류 뱅크(4)에 합류된다.
그리고 상기 합류 뱅크(4)의 상부에 구비된 유관(13)을 통해 기체가 유량계(6)로 배출되는 것이다.
그러므로, 전체적인 크기가 축소되어 이동이 용이할 뿐만 아니라, 보다 정확한 정체 온도 및 정체 압력을 감지하고 선택된 소닉노즐을 고려하여 유량을 계산하고 유량계의 지시된 유량과 비교 분석하여 정확한 교정값을 얻을 수 있는 것이다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 본 발명은, 전체 크기를 축소시켜 이동이 용이할 뿐만 아니라, 정확한 정체 온도 및 정체 압력을 감지하고 측정된 정체 온도와 정체 압력으로부터 기체의 유량을 측정할 수 있게 함으로써 고가의 유량측정기를 사용하지 않고 구성할 수 있어 보다 저렴하고, 이동성이 좋은 유량계의 교정을 위한 기체유량측정장치를 제공하는 효과가 있다.
또한, 공압밸브와 솔레노이드밸브를 이용하여 각 유량 분기관의 공기 흐름을 제어함으로써 공기의 온도 변화를 방지할 수 있어 공기 온도 변화에 따른 교정값의 변화를 방지할 수 있으며 컴퓨터 프로그램 제어로 교정 과정을 자동화시킬 수 있는 효과도 있다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

Claims (6)

  1. 유량을 측정할 유체 장치의 유관(13)과 연결되고, 압력센서(11)와 온도센서(12)를 구비한 분기 뱅크(1)와;
    상기 분기 뱅크(1)의 측벽에 소정 간격으로 설치된 소닉노즐(31)과 연결되고, 중간에는 공압밸브(32)가 설치된 다수의 유량 분기관(3)과;
    상기 각 유량 분기관(3)의 단부에 연결되어 각 유량 분기관(3)으로 이송된 기체를 합류시키는 합류 뱅크(4)와;
    상기 공압밸브(32) 및 유량계(6)을 제어하고 이들로부터 감지된 정보를 전달받아 분석하여 교정값을 산출하는 제어수단(5)을 포함하여 이루어지되,
    상기 온도센서(12)는 상기 분기 뱅크(1)의 길이 방향으로 설치되고, 온도를 감지하는 감지 단부가 상기 분기 뱅크(1)의 입구와 소닉노즐(31) 사이 위치되게 설치됨을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량측정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제어수단(5)은,
    상기 유량계(6)의 구동을 제어하고 유량계(6)로부터 감지된 유량 정보를 수집하는 유량계 제어기(53)와,
    상기 공압밸브(32) 및 센서(11,12)들의 구동을 제어하고 각 센서(11,12)들에서 감지된 정체온도 및 정체압력을 수집하는 정보 수집 및 제어기(51)와,
    상기 유량계 제어기(53)와 정보 수집 및 제어기(51)에서 전달되는 유량 정보나 정체온도 및 정체압력 정보를 비교 분석하여 교정값을 산출하고 교정 성적서를 출력하는 컴퓨터(52)로 구성됨을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량측정장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 압력센서(11)는 상기 분기 뱅크(1)의 입구와 소닉노즐(31) 사이에 설치되데, 첫 번째 소닉노즐(31)로부터 노즐 외경의 0.9~1.1배 정도의 거리만큼 이격된 위치에 형성된 측정구멍에 설치됨을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량측정장치.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 공압밸브(32)에는 그 내부에 공급되는 공기의 양을 조절하여 밸브를 개폐하는 솔레노이드밸브(33)가 더 설치됨을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량측정장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 분기 뱅크(1)의 유체 장치와 연결되는 단부에는 하나 이상의 확산필터(21)가 구비된 헤더(2)가 더 설치됨을 특징으로 하는 유량계 교정용 기체유량측정장치.
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