CN102506966B

CN102506966B - 一种流量系统校正装置

Info

Publication number: CN102506966B
Application number: CN201110393841.XA
Authority: CN
Inventors: 杨宇; 赵迪; 王瑞; 吴薇; 蒋兴东
Original assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Current assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority date: 2011-12-01
Filing date: 2011-12-01
Publication date: 2014-01-29
Anticipated expiration: 2031-12-01
Also published as: CN102506966A

Abstract

发明公开了一种流量系统校正装置，包括恒功率传感器、质量流量控制器；该系统通过以下方法对恒功率传感器进行校正：首先将恒功率传感器安装到质量流量控制器中，将恒功率传感器和质量流量控制器的控制单元连接电脑，将质量流量控制器的流量测量单元与流量检测设备连接；然后放到高低温交变试验箱中，将质量流量控制器通氮气；之后向质量流量控制器发送设定点指令，同时读取流量检测设备的流量值，此时任意调整高低温交变试验箱的温度，如果此时流量值不变或者流量值根据温度的变化发生变化，通过修改恒功率传感器的参数，能够将流量调整回正常范围内，说明传感器为合格产品。可以检验恒功率传感器是否可以满足真正实际的应用要求。

Description

一种流量系统校正装置

技术领域

本发明涉及一种数字式气体质量流量控制器的核心部件----传感器的检验技术，尤其涉及一种流量系统校正装置。

背景技术

质量流量控制器（MFC）用于对气体质量流量进行精密测量及控制。其测量及控制精度不受一定范围的气压及温度变化影响。

如图1所示，质量流量控制器（MFC）工作原理和控制原理是：

包括分流器1、传感器2、电路板3、调节阀4等，分流器、传感器及电路板的测量部分组成了质量流量控制器的流量测量单元（流量计），调节阀与电路板的控制部分组成了质量流量控制器的控制单元。质量流量控制器的控制单元接收到输入的设定信号后，根据收到的信号对调节阀进行控制，从而实现对流量大小的控制。

目前，质量流量控制器（MFC）中，传感器2都是采用恒功率传感器，对于恒功率传感器的检验方法十分简单，大多数采用专人进行数据采集控制和长时间老化恒功率传感器来进行检验。由于恒功率传感器的电路对应的计算公式相对复杂，目前的这种检验方法无法真正完全检验出恒功率传感器是否合格。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够简单、准确地检验出恒功率传感器是否合格的流量系统校正装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的一种流量系统校正装置，包括恒功率传感器、质量流量控制器；

该系统通过以下方法对恒功率传感器进行校正：

首先，将恒功率传感器安装到质量流量控制器中，将恒功率传感器和质量流量控制器的控制单元连接电脑，将质量流量控制器的流量测量单元与流量检测设备连接；

然后，将装有恒功率传感器的质量流量控制器放到高低温交变试验箱中，然后将质量流量控制器通氮气；

之后，向质量流量控制器发送设定点指令，同时读取流量检测设备的流量值，此时任意调整高低温交变试验箱的温度，如果此时流量值不变或者流量值根据温度的变化发生变化，通过修改恒功率传感器的参数，能够将流量调整回正常范围内，说明传感器为合格产品。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明提供的一种流量系统校正装置，由于通过设计一个模拟工艺系统，通过软件控制质量流量控制器，能够简单、准确地检验出恒功率传感器是否合格，可以检验恒功率传感器是否可以满足真正实际的应用要求。

附图说明

图1为现有技术中的质量流量控制器的原理示意图；

图2为传感器恒功率电路的原理示意图；

图3为本发明一种流量系统校正装置对恒功率传感器进行校正的流程图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。

本发明的一种流量系统校正装置，其较佳的具体实施方式包括恒功率传感器、质量流量控制器；

该系统通过以下方法对恒功率传感器进行校正：

所述恒功率传感器的参数根据以下公式确定：

V = \frac{V_{1} (r_{1} + {wr}_{3}) r_{1} r_{2}}{(r_{1} + r_{2} + r_{3}) (r_{1} + r_{2}) (\frac{r_{1} r_{2}}{r_{1} + r_{2}}) + r_{3} + &Integral; \frac{(r_{3} + r_{2} (1 + w)) (r_{2} + {wr}_{3})}{r_{1} + r_{2} + r_{3}})} - - - (1) .

根据现有技术中对质量流量控制器（MFC）工作原理和控制原理的描述可以看出，通过设定信号可以控制气体的流量，本发明根据这个特点，设计一个模拟工艺系统，通过软件控制质量流量控制器来检验恒功率传感器是否可以满足真正实际的应用要求。

如图2所示，是传感器恒功率技术的电路的原理图，根据以下公式（1）可以得到电压V（对应流量检测设备的流量值）：

V = \frac{V_{1} (r_{1} + {wr}_{3}) r_{1} r_{2}}{(r_{1} + r_{2} + r_{3}) (r_{1} + r_{2}) (\frac{r_{1} r_{2}}{r_{1} + r_{2}}) + r_{3} + &Integral; \frac{(r_{3} + r_{2} (1 + w)) (r_{2} + {wr}_{3})}{r_{1} + r_{2} + r_{3}})} - - - (1)

式中：V₁为初始电压，r₁为电阻，r₂为电阻，r₃为可调节电阻，w为调节系数，r₁、r₂、r₃分别对应图2中的R₁、R₂、R₃。

MFC使用环境温度通常在0℃-80℃之间，在这个温度变化过程中，要始终保持同一个设定点的流量稳定。通过计算机连接恒功率传感器和流量计，改变MFC所在环境温度，测得MFC的流量是否存在改变，如果MFC的流量发生改变，通过计算机修改恒功率传感器的参数，如果通过修改参数可以使MFC的流量稳定，说明恒功率传感器为合格产品。

具体实施例：

如图3所示，首先将恒功率传感器安装到质量流量控制器（MFC）中，将恒功率传感器和质量流量控制器（MFC）的控制单元连接电脑，将质量流量控制器的流量测量单元（流量计）与流量检测设备连接；

将装有恒功率传感器的质量流量控制器（MFC）放到高低温交变试验箱中，然后将质量流量控制器（MFC）通氮气；

接下来就是在向流量计发送设定点指令，同时读取流量检测设备的流量值，此时任意调整高低温交变试验箱的温度，如果此时流量根据温度的变化发生变化，通过修改恒功率传感器的参数，可以将流量调整回正常范围内，说明传感器为合格产品。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims

1.一种流量系统校正装置对恒功率传感器进行校正的方法，其特征在于，包括恒功率传感器、质量流量控制器，所述恒功率传感器设于所述质量流量控制器的流量测量单元中；

通过以下方法对恒功率传感器进行校正：

首先，将恒功率传感器安装到质量流量控制器中，将质量流量控制器的控制单元连接电脑，将质量流量控制器的流量测量单元与流量检测设备连接；

然后，将装有恒功率传感器的质量流量控制器放到高低温交变试验箱中，并将质量流量控制器通氮气；

2.根据权利要求1所述的流量系统校正装置对恒功率传感器进行校正的方法，其特征在于，所述恒功率传感器的参数根据以下公式确定：

式中：V为调节后的电压，V₁为初始电压，r₁为电阻，r₂为电阻，r₃为可调节电阻，w为调节系数。