KR20200109258A

KR20200109258A - 유체 제어 장치, 진단 방법, 및 유체 제어 장치용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체

Info

Publication number: KR20200109258A
Application number: KR1020200029203A
Authority: KR
Inventors: 소타 마츠모토; 겐타로 나가이; 유코 이마사토
Original assignee: 가부시키가이샤 호리바 에스텍
Priority date: 2019-03-12
Filing date: 2020-03-09
Publication date: 2020-09-22
Also published as: CN111693230A; TW202033904A; JP7437980B2; JP2021005361A; US20200292407A1; TWI829886B; US11609146B2

Abstract

　2개의 밸브에 대해 단시간에 정확하게 시트 리크의 유무를 판정할 수 있는 유체 제어 장치를 제공하기 위해서, 유로에 마련된 유체 저항(R)과, 상기 유체 저항(R)의 상류측에 마련된 제1 밸브(V1), 상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브(V1)와 상기 유체 저항(R)의 사이에 있는 제1 용적(VL1) 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서(P1)와, 상기 유체 저항(R)의 하류측에 마련된 제2 밸브(V2)와, 상기 유로에 있어서 상기 유체 저항(R)과 상기 제2 밸브(V2)의 사이에 있는 제2 용적(VL1)의 압력을 측정하는 제2 압력 센서(P1)와, 상기 제1 밸브(V1) 또는 상기 제2 밸브(V2)를 제어하는 밸브 제어기(4)와, 상기 밸브 제어기(4)가 상기 제1 밸브(V1) 및 상기 제2 밸브(V2)를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서(P1) 및 상기 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브(V1) 및 상기 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정부(52)를 구비했다.

Description

유체 제어 장치, 진단 방법, 및 유체 제어 장치용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체{Fluid control apparatus, diagnostic method and program record medium for recording programs of fluid control apparatus}

본 발명은 유체 저항의 상류측과 하류측의 각각에 밸브가 마련된 유체 제어 장치에 관한 것이다.

예를 들면 원자 한층분을 성막하는 ALD 프로세스와 같은 반도체 제조 프로세스에서는, 챔버에 대해서 가스의 공급과 정지가 극히 짧은 사이클로 반복된다(특허 문헌 1 참조).

이러한 용도에서는 가스의 유량을 단시간에 설정 유량에 추종시키기 위해서, 2개의 밸브를 구비하고, 각각으로 가스의 압력과 유량을 개별로 제어하는 유체 제어 장치가 이용되는 경우가 있다.

그런데, 전술한 유체 제어 장치는 밸브가 닫혀 있는 상태에서는 확실히 하류측에 가스가 흐르지 않는 것도 요구된다. 이 때문에, 2개의 밸브의 각각에 대해서 시트 리크(seat leak)에 대해 정기적으로 진단을 행할 필요가 있다.

특허 문헌 1: 일본 특개 2012－99765호 공보

본 발명은 상술한 것 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 2개의 밸브에 대해 단시간에 정확하게 시트 리크의 유무를 판정할 수 있는 유체 제어 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

즉, 본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 유로에 마련된 유체 저항과, 상기 유체 저항의 상류측에 마련된 제1 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브와 상기 유체 저항의 사이에 있는 제1 용적 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와, 상기 유체 저항의 하류측에 마련된 제2 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 유체 저항과 상기 제2 밸브의 사이에 있는 제2 용적의 압력을 측정하는 제2 압력 센서와, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브를 제어하는 밸브 제어기와, 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 전폐(全閉)하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정부를 구비한 것을 특징으로 한다.

이러한 것이면, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있는 경우에는, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서에 의해 상기 제1 용적으로의 유체의 유입, 혹은 상기 제2 용적으로부터 유체의 유출에 기인하는 압력 변화로서 시트 리크를 검지할 수 있다.

또, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브의 시트 리크를 검지하기 위해서 각각 별개로 진단용 동작을 행할 필요가 없기 때문에, 단시간에 진단을 종료할 수 있다.

상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브 중 어느 것에 시트 리크가 발생하고 있는지까지 판정할 수 있도록 하려면, 상기 시트 리크 판정부가 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 거의 일치한 이후의 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력의 변화 경향에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 것이면 된다. 또, 변화 경향에 기초하여 시트 리크의 유무가 판정되므로, 만일 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서가 나타내는 측정 압력에 제로점 시프트 등의 오차가 포함되어 있었다고 해도 판정 결과에 대해서 영향이 없도록 할 수 있다.

상기 제1 밸브의 시트 리크를 검출하기 위한 구체적인 구성예로서는, 상기 시트 리크 판정부가 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 상승하고 있는 경우에는, 상기 제1 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는 것을 들 수 있다. 이러한 것이면, 상기 제1 밸브에 시트 리크가 발생하여, 상기 제1 용적에 상류측으로부터 유체가 유입되고 있는 것을 검지할 수 있다.

상기 제2 밸브의 시트 리크를 검출하기 위한 구체적인 구성예로서는, 상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 저하되고 있는 경우에는, 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는 것을 들 수 있다. 이러한 것이면, 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하여, 상기 제2 용적으로부터 유체가 하류측으로 유출되고 있는 것을 검지할 수 있다.

상기 제2 압력 센서에 있어서 예를 들면 측정 압력에 오차가 발생하고 있는지 여부를 진단할 수 있도록 하려면, 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브를 전폐하고, 상기 제2 밸브를 개방하고 있는 상태에 있어서, 상기 제2 압력 센서의 측정 압력과 그 시간 변화율에 기초하여 상기 제2 압력 센서를 진단하는 진단부를 추가로 구비한 것이면 된다.

상기 제2 압력 센서를 진단하기 위한 구체적인 구성예로서는, 상기 진단부가 상기 제2 압력 센서의 측정 압력의 시간 변화율이 거의 제로로, 측정 압력이 소정치로 유지되고 있는 경우에 상기 제2 압력 센서에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단하는 것을 들 수 있다.

상기 제1 압력 센서에 있어서 예를 들면 측정 압력에 오차가 발생하고 있는지 여부에 대해서 진단할 수 있도록 하려면, 상기 진단부가 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브를 개방하고, 상기 제2 밸브를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서와 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 압력 센서를 진단하는 것이면 된다.

상기 제1 압력 센서를 진단하기 위한 구체적인 구성예로서는, 상기 진단부가, 상기 제1 압력 센서와 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력이 거의 같은 경우에 상기 제1 압력 센서에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단하는 것을 들 수 있다.

상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있지 않은 것이 보증된 상태에서, 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 진단이 행해지도록 하여, 진단의 신뢰성을 높일 수 있도록 하려면, 상기 시트 리크 판정부가 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있지 않다고 판정하고 있는 경우만, 상기 진단부에 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 진단을 실행시키는 진단 트리거를 추가로 구비한 것이면 된다.

복수의 압력 센서에 대해 각각에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않은지 여부에 대해서 동시에 진단할 수 있도록 하려면, 상기 제1 밸브의 상류측의 압력을 측정하는 공급압 센서를 추가로 구비하고, 상기 밸브 제어기가 적어도 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 개방하고, 상기 공급압 센서의 상류측에 마련되어 있는 전단(前段) 밸브가 전폐되어 있는 상태에 있어서, 상기 진단부가 상기 공급압 센서, 상기 제1 압력 센서, 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력이 거의 같은 경우에 상기 공급압 센서, 상기 제1 압력 센서, 및 상기 제2 압력 센서의 각각에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단하는 것이면 된다.

제1 밸브의 시트 리크의 유무에 대해 판정 결과의 신뢰성이 담보되도록 하려면, 상기 밸브 제어기가 적어도 상기 제1 밸브와 상기 제2 밸브를 전폐하고, 상기 전단 밸브가 개방되어 있는 상태에 있어서, 상기 시트 리크 판정부가 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 상승하고 있는 경우에 상기 제1 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는 것이면 된다. 이러한 것이면, 상기 제1 밸브의 전후에는 시트 리크의 유무를 판정하기 위한 차압을 발생시키면서, 상기 제2 밸브의 전후에 대해서는 압력을 거의 일치시킬 수 있다. 따라서, 제2 밸브에 시트 리크가 있었다고 해도 상기 제1 밸브와 상기 제2 밸브 사이의 용적 내로부터 상기 제2 밸브를 통해서 유출되는 유체의 양은 매우 미소한 것으로 할 수 있어, 상기 제1 밸브의 시트 리크의 판정 결과에 대한 영향은 무시할 수 있다. 또, 전술한 각 압력 센서의 제로점 시프트에 관한 진단을 미리 행해 둠으로써, 상기 제1 밸브의 시트 리크의 판정 결과에 대해 기초가 되는 각 압력 센서의 오류가 영향을 주고 있지 않은 것도 보증할 수 있다.

예를 들면 상기 제1 밸브의 시트 리크가 발생하고 있지 않은 것을 이용하여 상기 제2 밸브에 있어서의 시트 리크의 유무의 판정 결과에 관한 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하려면, 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브를 개방하고, 상기 제2 밸브를 전폐한 상태에서 소정 시간 경과한 후에 상기 제1 밸브와 상기 제2 밸브를 전폐한 상태에 있어서, 상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 저하되고 있는 경우에 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는 것이면 된다. 또 이러한 것이면, 상기 제2 밸브의 전후에는 시트 리크의 유무를 판정하기 위한 차압을 발생시키면서, 상기 제1 밸브의 전후에 대해서는 압력을 거의 일치시킬 수 있다. 따라서, 만일 상기 제1 밸브에 시트 리크가 있었다고 해도, 혹은 상기 제1 밸브에는 시트 리크가 발생하고 있다고 판정되지 않는 정도의 임계치 이하의 흘러나옴이 있는 경우에도, 상기 제1 밸브와 상기 제2 밸브 사이의 용적 내에 상류측으로부터 유입되는 유체의 양은 매우 미소한 것으로 할 수 있어, 상기 제2 밸브의 판정 결과에 대한 영향은 무시할 수 있다.

예를 들면 각 압력 센서의 진단과 각 밸브에 있어서 시트 리크의 유무의 판정을 행한 후의 유체 제어 장치 내의 압력을 이용하여, 유체 제어 장치 내의 유량의 검정(檢定)을 행할 수 있도록 하려면, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 유체 저항을 흐르는 유체의 유량인 저항 유량을 산출하는 저항 유량 산출부를 추가로 구비하고, 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브를 전폐하고, 상기 제2 밸브를 개방한 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서의 측정 압력의 변화에 기초하여 상기 저항 유량 산출부에서 산출되는 저항 유량을 검정하는 것을 들 수 있다.

예를 들면 시트 리크의 유무와 같은 이상(異常)의 유무뿐만이 아니라, 이상이 발생하고 있지 않은 경우에도, 어느 정도 이상에 가까운 상태에 있는지를 표시하는 것을 가능하게 하려면, 상기 시트 리크 판정부가 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력에 기초하여, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브의 시트 리크량을 산출하는 시트 리크 산출부와, 상기 시트 리크 산출부에서 산출되는 시트 리크량과, 미리 정해진 기준치를 비교하여, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무에 관한 판정 결과를 출력하는 시트 리크 비교부로 이루어지고, 적어도 상기 시트 리크 산출부를 구비하고, 이상의 정도를 나타내는 이상량을 출력하는 이상량 산출부와, 적어도 상기 시트 리크 비교부를 구비하고, 이상의 유무를 출력하는 이상 판정부를 추가로 구비한 것이면 된다.

유체 제어 장치를 구성하는 각 기기에 있어서의 이상의 진행도를 외부에 표시할 수 있게 되는 구체적인 양태로서는, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 유체 저항을 흐르는 유체의 유량인 저항 유량을 산출하는 저항 유량 산출부를 추가로 구비하고, 상기 이상량 산출부가 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력에 기초하여, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 제로점 시프트량을 산출하는 센서 시프트 산출부와, 상기 저항 유량 산출부가 산출하는 저항 유량과, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력에 기초하여 산출되는 기준 유량에 기초하여 저항 유량의 유량 정밀도를 산출하는 유량 정밀도 산출부를 추가로 구비한 것을 들 수 있다.

본 발명에 따른 복수의 유체 제어 장치와, 복수의 상기 유체 제어 장치의 각 이상량 산출부로부터 출력되는 이상량, 또는 각 이상 판정부로부터 출력되는 이상의 유무를 취득하여, 각 유체 제어 장치에 대해 이상량 또는 이상의 유무를 일람 표시하는 상태 표시부를 구비한 유체 제어 시스템이면, 복수의 유체 제어 장치로 이루어지는 유체 제어 시스템에 있어서, 어느 유체 제어 장치에 이상이 발생하고 있는지 뿐만 아니라, 어느 정도 이상이 진행되고 있는지에 대해서도 유저는 상태 표시부의 출력을 참조함으로써 간단하게 파악할 수 있다.

본 발명에 따른 진단 방법은, 유로에 마련된 유체 저항과, 상기 유체 저항의 상류측에 마련된 제1 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브와 상기 유체 저항의 사이에 있는 제1 용적 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와, 상기 유체 저항의 하류측에 마련된 제2 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 유체 저항과 상기 제2 밸브의 사이에 있는 제2 용적의 압력을 측정하는 제2 압력 센서를 구비한 유체 제어 장치의 진단 방법으로서, 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 전폐하는 밸브 제어 스텝과, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정 스텝을 구비한 방법이다. 이러한 방법이면, 단시간에 정확하게 각 밸브의 시트 리크의 유무를 판정할 수 있다.

기존의 유체 제어 장치에 있어서 예를 들면 프로그램을 갱신함으로써, 본 발명에 따른 유체 제어 장치와 같은 효과를 누릴 수 있도록 하려면, 유로에 마련된 유체 저항과, 상기 유체 저항의 상류측에 마련된 제1 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브와 상기 유체 저항의 사이에 있는 제1 용적 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와, 상기 유체 저항의 하류측에 마련된 제2 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 유체 저항과 상기 제2 밸브의 사이에 있는 제2 용적의 압력을 측정하는 제2 압력 센서를 구비한 유체 제어 장치에 이용되는 프로그램으로서, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브를 제어하는 밸브 제어기와, 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 유체 제어 장치용 프로그램을 이용하면 된다.

덧붙여, 유체 제어 장치용 프로그램은 전자적으로 배포되는 것이어도 되고, CD, DVD, 플래쉬 메모리 등의 프로그램 기록 매체에 기록되는 것이어도 된다.

이와 같이 본 발명에 따른 유체 제어 장치이면, 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브에 대해 시트 리크가 발생했을 경우에 발생하는 압력 변화를 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서로 검지하여, 2개의 밸브에 대해 시트 리크의 유무를 단시간에 판정할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 유체 제어 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 시트 리크의 판정예를 나타내는 모식도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 각 압력 센서의 진단 절차를 나타내는 순서도이다.
도 4는 제1 실시 형태에 있어서의 제2 압력 센서의 진단시에 있어서의 유체 제어 장치의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 5는 제1 실시 형태에 있어서의 제1 압력 센서의 진단시에 있어서의 유체 제어 장치의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 6은 제2 실시 형태에 있어서의 진단 및 판정 절차를 나타내는 순서도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 각 압력 센서의 진단시에 있어서의 유체 제어 장치의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 제1 밸브의 진단시에 있어서의 유체 제어 장치의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 제2 밸브의 진단시에 있어서의 유체 제어 장치의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 저항 유량의 검정시에 있어서의 유체 제어 장치의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 11은 제2 실시 형태에 있어서의 일련의 진단 및 검정에 있어서의 유체 제어 장치 내의 압력 변화를 나타내는 모식도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시 형태에 있어서의 자기 진단 기구의 구성을 나타내는 모식적 블록도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시 형태에 있어서의 진단 및 판정 절차를 나타내는 순서도이다.
도 14는 본 발명의 제4 실시 형태에 있어서의 유체 제어 시스템을 나타내는 모식도이다.

본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 유체 제어 장치(100)에 대해 각 도면을 참조하면서 설명한다.

이 유체 제어 장치(100)는, 예를 들면 반도체 제조 프로세스에 있어서 예를 들면 소정의 진공도로 유지된 챔버에 대해서 유체인 가스를 설정 유량으로 공급하기 위해서 이용되는 것이다. 여기서, 설정 유량은 어느 유량치로부터 다른 유량치로 계단 모양으로 상승 혹은 하강하는 스텝 신호이다. 이 스텝 신호에 대해서 예를 들면 제조되는 반도체의 품질을 만족하도록 소정 시간 내에 추종하도록 유체 제어 장치(100)는 구성되어 있다.

즉, 유체 제어 장치(100)는, 도 1에 나타내는 것처럼, 유로에 마련된 센서, 밸브로 이루어지는 유체 기기와, 당해 유체 기기의 제어를 담당하는 제어 연산기를 구비하고 있다.

유로에 대해서 상류측에서부터 차례로 공급압 센서(P0), 제1 밸브(V1), 제1 압력 센서(P1), 유체 저항(R), 제2 압력 센서(P2), 제2 밸브(V2)가 마련되어 있다. 여기서, 유체 저항(R)은 예를 들면 층류 소자이고, 그 전후에 차압에 따른 당해 유체 저항(R) 내에 흐르는 가스의 유량이 생긴다.

공급압 센서(P0)는 상류측으로부터 공급되는 가스의 압력을 모니터링하기 위한 것이다. 덧붙여, 공급압 센서(P0)에 대해서는 공급압이 안정되어 있는 것이 보증되어 있는 경우 등에는 생략해도 된다.

제1 압력 센서(P1)는 유로에 있어서 제1 밸브(V1)와 유체 저항(R)의 사이에 있어서의 용적인 제1 용적(VL1) 내에 차지되어 있는 가스의 압력(이하, 상류측 압력이라고도 말함.)을 측정하는 것이다.

제2 압력 센서(P2)는 유로에 있어서 유체 저항(R)과 제2 밸브(V2)의 사이에 있어서의 용적인 제2 용적(VL2)에 차지되어 있는 가스의 압력(이하, 하류측 압력이라고도 말함. )을 측정하는 것이다.

이와 같이 제1 압력 센서(P1)와 제2 압력 센서(P2)는, 제1 밸브(V1), 유체 저항(R), 제2 밸브(V2)로 형성되는 2개의 용적인 제1 용적(VL1), 제2 용적(VL2)의 압력을 각각 측정하고 있다. 또, 다른 표현을 하면, 제1 압력 센서(P1)와 제2 압력 센서(P2)는, 유체 저항(R)의 전후에 배치된 각각의 용적 내의 압력을 측정하는 것이다.

제1 밸브(V1), 및 제2 밸브(V2)는, 이 실시 형태에서는 같은 타입의 것이며, 예를 들면 피에조 소자에 의해서 밸브 몸체가 밸브 시트에 대해서 구동되는 피에조 밸브이다. 제1 밸브(V1)는 제1 압력 센서(P1)로 측정되는 상류측 압력과, 제2 압력 센서(P2)로 측정되는 하류측 압력으로부터 산출되는 저항 유량 Q_R에 기초하여 유량을 제어한다. 한편, 유체 제어 장치(100)가 구비하는 유체 기기에 있어서 가장 하류측에 마련되어 있는 제2 밸브(V2)는, 유체 제어 장치(100)로부터 유출되는 가스의 온 오프를 제어한다. 덧붙여, 이 실시 형태에서는 제2 밸브(V2)는, 전폐와 전개(全開) 중 어느 상태만을 취하도록 제어되지만, 제1 밸브(V1)와 마찬가지로 전폐 또는 전개뿐만이 아니라, 그들 사이의 임의의 개도가 되도록 제어되어도 된다.

다음에 제어 연산기(COM)에 대해 상술한다. 제어 연산기는, 예를 들면 CPU, 메모리, A/D·D/A 컨버터, 입출력 수단 등을 구비하는 이른바 컴퓨터로서, 메모리에 격납되어 있는 유체 제어 장치용 프로그램이 실행되어 각종 기기가 협업함으로써, 유량 제어 기능을 주로 담당하는 저항 유량 산출부(1), 제1 밸브 제어부(41) 및 제2 밸브 제어부(42)로 이루어지는 밸브 제어기(4)로서 기능을 발휘한다. 또, 이 제어 연산기는 진단 동작 지령부(51), 시트 리크 판정부(52), 진단 트리거(53), 진단부(54)로 구성되는 자기 진단 기구(5)로서의 기능도 발휘한다.

우선, 유량 제어에 관련된 각 부에 대해서 상술한다. 저항 유량 산출부(1)는 제1 압력 센서(P1), 유체 저항(R), 제2 압력 센서(P2)와 함께 이른바 압력식의 유량 센서인 유량 측정 기구(F)를 구성하는 것이다. 즉, 저항 유량 산출부(1)는, 제1 압력 센서(P1)로 측정되는 상류측 압력과, 제2 압력 센서(P2)로 측정되는 하류측 압력, 추가로는 온도 센서로 측정되는 유체 또는 주위의 환경 온도를 입력으로 하여, 유체 저항(R)을 흐르는 유체 유량인 저항 유량 Q_R을 산출하여, 출력하는 것이다. 여기서, 저항 유량 산출부(1)에서 이용되는 유량의 산출식은 기존의 것을 이용할 수 있다.

제1 밸브 제어부(41)는 적어도 통상 동작 시에 있어서는 유저에 의해서 설정되는 설정 유량과, 저항 유량 산출부(1)에서 산출되는 저항 유량 Q_R에 기초하여 제1 밸브(V1)를 제어한다. 즉, 제1 밸브 제어부(41)는 설정 유량과 저항 유량의 편차가 작아지도록 유량 피드백 제어를 행한다.

제2 밸브 제어부(42)는 적어도 통상 동작 시에는 유저에 의해서 설정되는 개폐 지령에 기초하여, 제2 밸브(V2)를 전폐 상태와 개방 상태 중 어느 것으로 전환한다. 예를 들면 개폐 지령 신호는, 제2 밸브(V2)를 개방하여 챔버에 대해서 가스를 공급하는 공급 기간을 나타내는 온 신호와, 제2 밸브(V2)를 닫아 챔버에 대한 가스의 공급을 정지하는 정지 기간을 나타내는 오프 신호가 교호로 주기적으로 반복되는 온 오프 신호이다. 개폐 지령 신호의 주기는 예를 들면 ALD 프로세스 등에 있어서의 가스 공급 기간과 정지 기간의 각각의 길이와 함께 설정된다. 덧붙여, 제1 밸브 제어부(41)에 설정되는 설정 유량은 개폐 지령 신호에 관계없이, 예를 들면 공급 기간에 있어서 챔버에 흘리고 싶은 유량치로 일정하게 유지되고 있다.

다음에, 자기 진단 기구(5)에 대해 설명한다. 이 자기 진단 기구(5)는 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 체크와, 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 진단을 행한다. 보다 구체적으로는 자기 진단 기구(5)는 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 존재하지 않는 경우만, 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 진단을 행하도록 구성되어 있다. 이하에서는 자기 진단 기구(5)의 각 부의 상세에 대하여 설명한다.

진단 동작 지령부(51)는, 예를 들면 유저에 의해 입력되는 진단 개시 지령을 접수하면, 설정압력, 설정 유량과는 다른 지령인 전폐 지령 또는 개방 지령을 제1 밸브 제어부(41) 및 제2 밸브 제어부(42)에 대해서 입력한다. 전폐 지령 또는 개방 지령에 의해 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)는 온 오프 밸브와 거의 마찬가지로 동작한다. 진단 동작 지령부(51)는 우선 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 유무를 체크하기 위해서, 제1 밸브 제어부(41) 및 제2 밸브 제어부(42)에 대해서 각각 전폐 지령을 입력한다. 또, 진단 동작 지령부(51)는 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있지 않다고 판정되었을 경우에는, 제1 밸브 제어부(41) 또는 제2 밸브 제어부(42)의 한쪽에만 전폐 지령을 입력하고, 다른 쪽에는 개방 지령을 입력한다.

시트 리크 판정부(52)는 밸브 제어기(4)가 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력에 기초하여 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 유무를 판정한다. 본 실시 형태에서는, 도 2에 나타내는 것처럼 시트 리크 판정부(52)는, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)가 전폐되고 나서 소정 시간 대기한 후에 있어서의 제1 압력 센서(P1)와 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력의 시간 변화에 기초하여 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)에 있어서의 시트 리크의 유무의 판정이 행해진다. 여기서, 전폐되고 나서 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 체크가 개시되는 개시 시점의 판정은, 예를 들면 제1 압력 센서(P1)와 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 거의 일치한 것을 기준으로 해도 되고, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)가 전폐되고 나서의 경과 시간만으로 설정되어도 된다. 시트 리크 판정의 개시 시점을 경과 시점만으로 판정하면, 예를 들면 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2) 중 어느 것에 제로점 시프트 등이 발생하고 있어, 각 측정 압력이 일치하지 않아 시트 리크의 체크가 개시되지 않는 것과 같은 사태가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

구체적으로는 시트 리크 판정부(52)는, 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력이 상승하고 있는 경우에는, 제1 밸브(V1)에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정한다. 이것은 제1 밸브(V1)에 시트 리크가 발생하고 있는 경우에는, 상류측으로부터 제1 밸브(V1)를 통해서 제1 용적(VL1)에 대해서 가스가 유입되어, 제1 용적(VL1) 및 제2 용적(VL2)의 압력 상승이 발생하는 것에 기초하고 있다.

한편, 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력이 저하되고 있는 경우에는, 시트 리크 판정부(52)는 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정한다. 이것은 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있는 경우에는, 제2 용적(VL2)으로부터 제2 밸브(V2)를 통해서 하류측으로 가스가 유출되어, 제1 용적(VL1) 및 제2 용적(VL2)의 압력 저하가 발생하는 것에 기초하고 있다.

또, 시트 리크 판정부(52)는 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력이 거의 일치하고 나서 미리 정해진 레인지 내에서 밖에 추이하지 않는 경우에는 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)에는 시트 리크가 발생하고 있지 않다고 판정한다. 더하여, 시트 리크 판정부(52)는 판정 결과를 나타내는 데이터를 진단 트리거(53)에 대해서 송신한다.

진단 트리거(53)는 시트 리크 판정부(52)에 있어서 제1 밸브(V1) 또는 제2 밸브(V2) 중 어느 것에도 시트 리크가 발생하고 있지 않다고 판정하고 있는 경우에만, 후술하는 진단부(54)에 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 진단을 실행시키는 것이다.

진단부(54)는 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)에 대해 각 측정 압력에 기초하여 진단한다. 본 실시 형태에서는 진단부(54)는 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)에 제로점 시프트가 발생하지 않는지 여부를 각 측정 압력에 기초하여 진단한다.

이하에서는 진단 트리거(53) 및 진단부(54)의 상세에 대하여, 도 3의 순서도, 및 도 4, 도 5의 모식도를 참조하면서 설명한다.

진단 트리거(53)는 시트 리크 판정부(52)로부터 판정 결과에 관한 데이터를 취득하고, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있지 않은 경우에만, 진단 트리거(53)는 진단 허가 신호를 진단부(54)에 대해서 출력한다(스텝 S1). 한편, 판정 결과가 제1 밸브(V1) 또는 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있는 것을 나타내는 경우에는, 진단 트리거(53)는 진단 허가 신호를 출력하지 않는다. 따라서, 진단부(54)는 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 진단을 행하지 않는다(스텝 S2).

제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있지 않은 경우에는, 진단 트리거(53)는 진단 동작 지령부(51)에 밸브 제어기(4)에 대해서 진단 동작 지령을 출력시킨다. 덧붙여, 본 실시 형태에서는 제2 압력 센서(P2)의 진단이 행해진 후에, 제1 압력 센서(P1)의 진단이 행해진다. 즉, 도 4에 나타내는 것처럼 밸브 제어기(4)는 처음에 제2 밸브(V2)를 개방함과 아울러, 제1 밸브(V1)를 닫은 상태로 한다(스텝 S3).

이 상태에서 진단부(54)는 제2 압력 센서(P2)의 진단을 개시한다. 우선, 진단부(54)는 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력의 시간 변화율이 거의 제로가 되어, 어느 압력으로 안정되어 있는 상태인지 여부를 판정한다(스텝 S4). 제2 용적(VL2) 내의 압력이 안정된 후에, 진단부(54)는 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 챔버 내의 압력, 즉, 진공압과 거의 같은지 여부를 판정한다(스텝 S5). 여기서, 「거의 같음」이란 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 미리 정한 임계치 내의 차밖에 있지 않은상태를 말한다. 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 진공압과 거의 같은 경우에는, 진단부(54)는 제2 압력 센서(P2)가 정상이라고 진단한다(스텝 S6). 또, 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 진공압과 일치하지 않고, 예를 들면 미리 정한 임계치보다도 큰 경우에는 제2 압력 센서(P2)에 제로점 시프트가 발생하고 있다고 판정한다(스텝 S7). 덧붙여, 여기서 얻어지는 제로점 시프트량에 기초하여 제2 압력 센서(P2)의 제로점 교정을 행해도 상관없다.

제2 압력 센서(P2)의 진단이 완료되면, 진단 트리거(53)는 진단 동작 지령부에 밸브 제어기(4)에 대해서 제1 밸브(V1)를 개방하고, 제2 밸브(V2)를 닫도록 진단 동작 지령을 출력시켜, 도 5에 나타내는 상태를 실현한다(스텝 S8).

다음에 진단부(54)는 공급압 센서(P0), 제1 압력 센서(P1), 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력이 거의 같은지 여부를 판정한다(스텝 S9). 여기에서도 각 측정 압력의 차가 미리 정한 임계치 내인 경우에 거의 같다고 판정한다.

각 측정 압력이 거의 같은 경우에는, 진단부(54)는 제1 압력 센서(P1)가 정상이라고 진단하고(스텝 S10), 각 측정 압력이 동일하지 않은 경우에는 제1 압력 센서(P1)에 제로점 시프트가 발생하고 있다고 진단한다(스텝 S11).

이와 같이 구성된 본 실시 형태의 유체 제어 장치(100)에 의하면, 압력 제어용의 제1 밸브(V1)와, 유량 제어용의 제2 밸브(V2)에 대해 동시에 시트 리크의 유무를 판정할 수 있다.

또, 시트 리크의 유무는 제1 밸브(V1)로부터 제2 밸브(V2)까지의 용적 내의 압력이 안정되고 나서의 각 측정 압력의 변화 경향에 기초하여 판정되므로, 만일 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)에 제로점 시프트 등이 발생하고 있었다고 해도 그 영향을 받을 일이 없다.

또한, 진단부(54)는 제1 밸브(V1)와 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있지 않는 상태에서 밖에 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 진단을 행하지 않으므로, 시트 리크에 기인하여 진단 결과가 부정확한 것이 되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제1 압력 센서(P1), 제2 압력 센서(P2)의 쌍방에 대해 신뢰성의 높은 진단을 내릴 수 있다.

더하여, 시트 리크의 유무의 판정, 제1 압력 센서(P1)의 진단, 및 제2 압력 센서(P2)의 진단은 압력 제어 또는 유량 제어에 관련되는 유체 기기만을 이용하여 실시할 수 있다. 이 때문에, 진단을 위해서 별도 센서 등을 마련할 필요가 없다.

본 발명의 제2 실시 형태에 따른 유체 제어 장치(100)에 대해 도 6 내지도 11을 참조하면서 설명한다. 덧붙여, 제1 실시 형태에 대응하는 부재에는 같은 부호를 부여하는 것으로 한다.

제2 실시 형태의 유체 제어 장치(100)는, 도 1에 나타내는 유체 제어 장치(100)의 구성과 거의 같지만, 제1 실시 형태와 비교하여 진단부(54)가, 공급압 센서(P0)의 제로점 시프트에 관한 진단을 행하는 점, 산출되는 저항 유량에 관한 진단을 행하는 점에서 다르다. 또, 밸브 제어기(4)가 진단을 위해서 행하는 동작도 다르다.

구체적으로는, 도 6의 순서도에 나타내는 것처럼 제2 실시 형태의 유체 제어 장치(100)는 (a) 3개의 각 압력 센서에 있어서의 제로점 시프트의 진단, (b) 제1 밸브(V1)의 시트 리크의 판정, (c) 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 판정, (d) 저항 유량의 진단을 이 순서로 행한다. 이하에서는 각 4개의 공정에 대해 상술한다.

진단부(54)가 3개의 각 압력 센서에 있어서의 제로점 시프트의 진단을 행하기 전에, 도 6 및 도 7에 나타내는 것처럼 유체 제어 장치(100)의 상류측에 배치된 전단 밸브(AV1)가 전폐되어 있는 상태에 있어서, 밸브 제어기(4)는 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)를 개방한 상태로 하고, 유체 제어 장치(100) 내의 각 용적 내에 존재하고 있는 가스가 배출되어 진공이 될 때까지 소정 시간 대기한다(스텝 ST1). 여기서, 전단 밸브(AV1)의 개폐에 대해서는, 예를 들면 유저에 의한 전단 밸브(AV1)의 조작이나 프로세스 전체의 각종 기기를 제어하는 제어 장치의 지령에 의해서 제어된다. 또, 유체 제어 장치(100) 내의 가스는 예를 들면 제2 밸브(V2)의 하류측에 접속된 챔버 등의 진공원에 의해 흡인된다. 유체 저항(R)보다도 상류측의 공간에 대해서는, 챔버 등의 진공원으로부터 배기를 행하면 유체 저항(R)이 존재하기 때문에, 완전하게 배기될 때까지 시간이 걸리는 경우가 있다. 이 때문에, 유체 제어 장치(100)와 전단 밸브(AV1)의 사이로부터 분기하는 배기 유로(도시하지 않음) 등으로부터 유체 저항(R)보다도 상류측의 용적 내의 유체를 배기하도록 하여 시간을 단축해도 된다.

전단 밸브(AV1)와 유체 제어 장치(100) 사이의 용적, 및 유체 제어 장치(100) 내의 제1 용적(VL1) 및 제2 용적(VL2)으로부터 가스가 완전하게 배기되어 진공으로 된 후에, 진단부(54)는 공급압 센서(P0), 제1 압력 센서(P1), 제2 압력 센서(P2)의 각각의 측정 압력이 각각 거의 제로를 나타내고, 미리 정한 허용차 내에서 같은지 여부를 판정한다(스텝 ST2). 이와 같이 제1 밸브(V1)와 제2 밸브(V2)가 개방된 상태에서 제로점 시프트의 진단이 행해지므로, 이 진단 결과에는 각 밸브에 시트 리크가 발생하고 있었다고 해도 그 영향이 진단 결과에 나타나지 않도록 할 수 있다.

어느 압력 센서의 측정 압력이 허용차를 초과하여 다른 경우에는, 진단부(54)는 예를 들면 가장 큰 측정 압력을 출력하고 있는 압력 센서에 제로점 시프트가 발생하고 있다고 판정한다. 또, 진단 트리거(53)는 이후의 시트 리크의 판정이나 저항 유량의 진단을 허가하지 않고, 종료가 된다(스텝 ST3).

한편, 각 압력이 같은 경우에는, 진단부(54)는 공급압 센서(P0), 제1 압력 센서(P1), 제2 압력 센서(P2)에는 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단한다(스텝 ST4). 이 경우에는, 진단 트리거(53)가 제1 밸브(V1)에 대해 시트 리크의 판정의 개시를 허가한다.

진단 트리거(53)에 의해 다음의 제1 밸브(V1)에 있어서의 시트 리크의 판정이 허가되어 있는 경우에는, 밸브 제어기(4)는 도 6 및 도 8의 (a)에 나타내는 것처럼, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)를 전폐한다. 또, 전단 밸브(AV1)에 대해서는 유저에 의한 조작이나 프로세스 전체를 통괄하는 제어 장치의 지령에 의해서 개방된다(스텝 ST5). 즉, 유체 제어 장치(100) 내에 있어서의 제1 밸브(V1)부터 제2 밸브(V2)까지의 용적 내는 거의 진공으로 유지된 상태가 되어, 제1 밸브(V1)의 상류측에는 가스의 공급압이 걸리게 된다.

이 상태에서 시트 리크 판정부(52)는, 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 소정 시간 내에 상승하고 있는지 여부에 기초하여 제1 밸브(V1)의 시트 리크의 유무를 판정한다(스텝 ST6). 여기서, 제2 밸브(V2)의 전후에서는 거의 같은 진공 상태로 유지되고 있으므로, 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있었다고 해도, 제1 밸브(V1)로부터 제2 밸브(V2)로 유출되는 가스의 양은 매우 적다. 따라서, 제2 밸브(V2)에서의 시트 리크의 유무가 스텝 ST6에 있어서의 판정에 대해서 주는 영향은 실질적으로 무시할 수 있다.

시트 리크 판정부(52)는, 도 8의 (b)에 나타내는 것처럼 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)에 있어서 압력의 상승이 검지되었을 경우에는, 제1 밸브(V1)에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정한다(스텝 ST7). 이것은 제1 밸브(V1)에 시트 리크가 발생하고 있는 경우에는, 제1 밸브(V1)의 상류측으로부터 가스가 유체 제어 장치(100) 내에 유입되어 압력 상승이 발생하기 때문이다.

한편, 시트 리크 판정부(52)는 소정 시간 내에 있어서 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2) 중 어느 것에도 압력의 상승이 검지되지 않았을 경우에는, 제1 밸브(V1)에는 시트 리크가 발생하고 있지 않다고 판정한다(스텝 ST8). 이 경우, 진단 트리거(53)는 계속하여 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 판정 동작을 허가한다.

다음에 밸브 제어기(4)는, 도 6에 나타내는 것처럼 제1 밸브(V1)를 전폐 상태로부터 개방하고, 제2 밸브(V2)에 대해서는 전폐를 유지한 상태로 유체 제어 장치(100) 내의 용적에 가스가 소정 압력으로 차지될 때까지 소정 시간 대기한다(스텝 ST9). 그 후, 도 6 및 도 9의 (a)에 나타내는 것처럼 밸브 제어기(4)는 제1 밸브(V1)에 대해서도 다시 전폐한다(스텝 ST10).

그리고 시트 리크 판정부(52)는, 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)의 측정 압력이 저하되고 있는지 여부에 기초하여 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 유무를 판정한다(스텝 ST11). 여기서, 제2 밸브(V2)의 전후에는 시트 리크를 판정하는데 필요한 차압이 형성되어 있는 것에 대하여, 제1 밸브(V1)의 전후에 대해서는 소정 압력으로 거의 같은 압력으로 유지되고 있다. 따라서, 만일 스텝 ST6의 판정 후에 제1 밸브(V1)에 시트 리크가 발생했을 경우, 혹은 스텝 ST6의 판정 시에는 시트 리크는 없다고 판정되는 근소한 흘러나옴이 발생하고 있었을 경우에도, 용적 내에 유입되는 가스의 양을 매우 미소한 것으로 할 수 있어, 스텝 S11에 있어서의 판정으로의 영향은 무시할 수 있다.

도 9의 (b)에 나타내는 것처럼 소정 시간 내에 측정 압력의 저하가 검지되었을 경우에는, 시트 리크 판정부(52)는 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정한다(스텝 ST12). 소정 시간 내에 측정 압력의 저하가 검지되지 않았을 경우에는, 시트 리크 판정부(52)는 제2 밸브(V2)에 시트 리크는 발생하고 있지 않다고 판정한다(스텝 ST13).

제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있지 않은 경우만, 진단 트리거(53)는 다음의 저항 유량에 관한 진단을 허가한다. 이 경우, 도 6 및 도 10에 나타내는 것처럼 밸브 제어기(4)는 제1 밸브(V1)를 전폐로 한 채로, 제2 밸브(V2)를 개방하여, 유체 제어 장치(100) 내의 용적에 차지되어 있던 가스의 압력을 저하시킨다(스텝 ST14). 진단부(54)는 이 때에 생기는 압력 저하에 기초하여, 저항 유량 산출부(1)에 있어서 제1 압력과 제2 압력으로부터 산출되는 저항 유량의 진단을 행한다(스텝 ST15). 압력 저하를 이용한 진단 수법으로서는 예를 들면 ROF법 등 이미 알고 있는 다양한 방법을 이용할 수 있다. 예를 들면 제1 용적(VL1) 내에 생기는 소정 시간 내의 압력 저하 구간에 있어서, 저항 유량의 적분치와, 기체의 상태 방정식으로부터 산출되는 제1 용적(VL1)으로부터의 가스의 유출 체적을 비교함으로써, 저항 유량이 정상인지 여부를 판정할 수 있다.

이와 같이 제2 실시 형태의 유체 제어 장치(100)에서도, 각 압력 센서의 제로점 시프트에 대해 진단하거나, 각 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하거나 할 수 있다. 또, 제2 실시 형태에서는 추가로 유량 센서의 출력으로서 산출되는 저항 유량에 대해서도 이상이 있는지 여부를 진단할 수 있다. 그리고, 이들 복수의 진단이나 판정은 도 6의 순서도에 나타내는 절차로 실시함으로써, 유체 제어 장치(100) 내의 용적 내로의 가스의 차지나 개방을 효율 좋게 행할 수 있다. 즉, 도 11에 나타내는 것처럼 차례로 상류측의 밸브가 개방되어 유체 제어 장치(100)의 하류측으로 가스가 차지되어 가고, 마지막에 유체 제어 장치(100) 내에 차지된 가스를 배출 함으로써 저항 유량의 진단을 행할 수 있어, 가스를 낭비 없이 사용할 수 있다.

제2 실시 형태의 변형예에 대해 설명한다. 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 시트 리크의 유무의 판정에서는, 제1 압력 또는 제2 압력의 변화 경향이 아니라, 예를 들면 공급압 센서(P0)로 측정되는 공급압과 제1 압력 또는 제2 압력의 차나 차의 변화에 기초하여 시트 리크가 발생하고 있다고 판정해도 된다. 즉, 도 8의 (b), 도 9의 (b)에 나타내는 것처럼 밸브에 시트 리크가 발생하고 있는 경우에도 공급압 센서(P0)로 측정되는 공급압은 거의 일정하게 유지되므로, 제1 압력 또는 제2 압력과 비교할 때의 기준으로 할 수 있다.

본 발명의 제3 실시 형태에 따른 유체 제어 장치(100)에 대해 도 12 및 도 13을 참조하면서 설명한다. 덧붙여, 제2 실시 형태에 대응하는 부재에는 같은 부호를 부여하는 것으로 한다. 또, 도 12에서는 주로 하드웨어 부분에 대해서는 제1 실시 형태와 같기 때문에 생략하고 있다.

도 12에 나타내는 것처럼 제3 실시 형태의 유체 제어 장치(100)는, 제1 실시 형태와 비교하여 자기 진단 기구(5)의 구성이 다르다. 즉, 자기 진단 기구(5)는 공급압 센서(P0), 제1 압력 센서(P1), 제2 압력 센서(P2), 저항 유량 산출부(1)의 출력을 접수하고, 그러한 측정치 또는 산출치에 기초하여, 유체 제어 장치(100)의 각 부에 있어서의 이상의 진행 정도를 나타내는 이상량을 산출한다. 또, 자기 진단 기구(5)는 산출되는 이상량에 기초하여, 유체 제어 장치(100)의 각 부에 있어서의 이상의 유무에 대해서도 판정한다. 여기서, 이상이 있다는 것은, 예를 들면 원하는 제어 정밀도를 보증할 수 없는 정도로 시트 리크나 측정 오차가 발생하고 있는 상태를 말한다. 또, 이상이 없다는 것은 예를 들면 산출되는 이상량이 허용치 내의 값이며, 원하는 제어 정밀도가 보증되는 상태를 말한다.

보다 구체적으로는 자기 진단 기구(5)는 이상량 산출부(5A), 이상 판정부(5B), 진단 상태 관리부(5C), 진단 동작 지령부(51)로 이루어진다. 진단 상태 관리부(5C)는 제1 실시 형태의 진단 트리거(53)에 상당하고, 이상 판정부(5B)의 출력에 따라 이상량 산출부(5A) 및 진단 동작 지령부(51)의 동작을 제어한다.

이상량 산출부(5A)는 공급압 센서(P0)로부터 출력되는 공급 압력, 제1 압력 센서(P1)로부터 출력되는 상류측 압력, 제2 압력 센서(P2)로부터 출력되는 하류측 압력에 기초하여, 각 압력 센서나 제1 밸브(V1), 제2 밸브(V2)의 상태를 나타내는 이상량을 산출한다. 구체적으로는 이상량 산출부(5A)는 시트 리크 산출부(521), 센서 시프트 산출부(541), 유량 정밀도 산출부(543)로 이루어진다.

또, 이상 판정부(5B)는 이상량 산출부(5A)에서 산출되는 이상량과 미리 정해진 기준치를 비교하여 각 압력 센서나 각 밸브, 혹은 유량 센서에 있어서의 이상의 유무를 판정한다. 구체적으로는 이상 판정부(5B)는 시트 리크 비교부(522), 센서 시프트 비교부(542), 유량 정밀도 비교부(544)로 이루어진다.

이상량 산출부(5A), 및 이상 판정부(5B)의 상세에 대하여 설명한다.

시트 리크 산출부(521)는, 밸브 제어기(4)가 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력에 기초하여 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)의 시트 리크량을 산출한다. 예를 들면 각 밸브가 전폐되고 나서의 압력의 상승량 또는 저하량과 기체의 상태 방정식에 기초하여, 시트 리크 산출부(521)는 제1 용적(VL1) 및 제2 용적(VL2)에 유입 또는 유출되는 가스의 유량을 시트 리크량(sccm)으로서 산출한다. 즉, 시트 리크 산출부(521)는 압력의 상승이 있는 경우에는 제1 밸브(V1)의 시트 리크량으로서 산출하고, 압력의 저하가 있는 경우에는 제2 밸브(V2)의 시트 리크량으로서 산출한다.

또, 시트 리크 비교부(522)는 시트 리크 산출부(521)에서 산출된 시트 리크량과 기준치를 비교하여, 시트 리크량이 기준치를 초과하는 경우에는, 제1 밸브(V1) 또는 제2 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정한다. 덧붙여, 시트 리크 산출부(521) 및 시트 리크 비교부(522)는 제2 실시 형태에 있어서의 시트 리크 판정부(52)에 대응한다.

센서 시프트 산출부(541)는, 예를 들면 밸브 제어기(4)가 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)를 전개로 하고 있는 상태에 있어서의 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 각 측정 압력에 기초하여 각각의 압력 센서의 제로점 시프트량을 산출한다. 센서 시프트 비교부(542)는 센서 시프트 산출부(541)에서 산출된 제로점 시프트량과 기준치를 비교하여, 제로점 시프트량이 기준치를 초과하는 경우에는 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)에 이상이 발생하고 있다고 출력한다.

유량 정밀도 산출부(543)는, 예를 들면 ROR법 등에 의해 제1 압력 센서(P1) 또는 제2 압력 센서(P2)의 측정치로부터 산출되는 유량과, ROR법을 행하고 있는 동안에 저항 유량 산출부(1)가 산출하는 저항 유량의 차를 유량 정밀도로서 산출한다. 유량 정밀도 비교부(544)는 유량 정밀도 산출부(543)에서 산출되는 유량 정밀도와 기준치를 비교하여, 유량 정밀도가 기준치를 초과하는 경우에는 유량 센서(F)에 이상이 발생하고 있다고 출력한다. 덧붙여, 센서 시프트 산출부(541), 센서 시프트 비교부(542), 유량 정밀도 산출부(543), 유량 정밀도 비교부(544)가 제2 실시 형태에 있어서의 진단부(54)에 상당한다.

이와 같이 구성된 제3 실시 형태의 진단 동작에 대해 도 13의 순서도에 나타낸다. 도 13의 순서도는 제2 실시 형태의 진단 동작을 나타내는 도 6의 순서도에 있어서의 스텝 ST2, 스텝 ST6, 스텝 ST11에 있어서의 동작이 다르다. 구체적으로는, 도 13에 있어서 파선의 테두리로 둘러싸여 있는 부분으로 나타내는 부분이 다르다. 구체적으로는, 스텝 ST1이 종료된 후, 이상량 산출부(A)는 제1 압력 센서(P1) 및 제2 압력 센서(P2)의 측정치로부터 각 압력 센서의 제로점 시프트량을 산출한다(스텝 ST2A). 다음에 이상 판정부(5B)는 산출된 각 제로점 시프트량이 기준치를 초과하지 않고, 거의 제로에 가까운 값인지 여부에 따라서 제로점 시프트의 유무를 판정한다(스텝 ST2B).

또, 스텝 ST5 및 스텝 ST10이 종료된 후는, 이상량 산출부(5A)는 제1 밸브(V1) 또는 제2 밸브(V2)의 시트 리크량을 각각 산출한다(스텝 ST6A, 스텝 ST11A). 다음에 이상 판정부(5B)는 산출된 시트 리크량이 기준치를 초과하지 않고, 거의 제로에 가까운 값인지 여부에 따라서 시트 리크의 유무를 판정한다(스텝 ST6B, 스텝 ST11B).

이와 같이 구성된 제3 실시 형태의 유체 제어 장치(100)에 의하면, 이상량 산출부(5A)에 있어서 각 압력 센서, 각 밸브의 이상의 진행도를 나타내는 이상량을 산출하고, 그 이상량의 값에 따라 제로점 시프트나 시트 리크의 유무를 판정할 수 있다.

다음에 제4 실시 형태의 유체 제어 시스템(200)에 대해 설명한다. 도 14에 나타내는 것처럼 제4 실시 형태의 유체 제어 시스템(200)은, 제3 실시 형태의 유체 제어 장치(100)를 복수 개 구비함과 아울러, 각 유체 제어 장치(100)의 적어도 진단에 관련된 제어를 담당하는 통합 제어 장치(6)를 구비한다.

통합 제어 장치(6)는 유저로부터 진단 요구를 접수하면, 각 유체 제어 장치(100)의 진단 동작 지령부(51)에 대해서 진단 입력을 입력한다. 각 유체 제어 장치(100)는 전술한 실시 형태에서 설명한 동작에 의해서 자기 진단 기구(5)가 밸브나 각종 센서의 자기 진단을 행한다. 각 유체 제어 장치(100)의 이상량 산출부(5A)로부터 출력되는 이상량, 및 이상 판정부(5B)로부터 출력되는 이상의 유무에 관한 데이터는, 통합 제어 장치(6)에 송신된다. 통합 제어 장치(6)는 각 유체 제어 장치(100)로부터 접수된 이상량 및 이상의 유무를 유저에 대해서 일람 표시하는 상태 표시부로서의 기능도 발휘한다.

이러한 제4 실시 형태의 유체 제어 시스템(200)이면, 복수의 유체 제어 장치(100)에 의해서 구성되어 있어도, 어느 유체 제어 장치(100)에 이상이 발생하고 있는지와, 이상이 발생하고 있는 유체 제어 장치(100)에 있어서 어느 부분에 이상이 발생하고 있는지에 대해서도 유저는 즉시 이해할 수 있다. 또, 이상이 발생하고 있지 않은 기기에 대해서도 이상 판정의 기초가 되는 이상량이 동시에 표시되고 있으므로, 이상의 진행도에 대해서 유저가 예측하는 것이 가능해진다.

그 외의 실시 형태에 대해 설명한다.

시트 리크 판정부는, 제1 압력 센서 또는 제2 압력 센서 중 어느 한쪽의 측정 압력의 변화 경향에 기초하여 시트 리크의 유무를 판정해도 된다. 예를 들면, 제1 밸브 및 제2 밸브가 닫히고 나서 제1 용적 및 제2 용적 내의 압력이 안정되는 소정 시간 경과 후를 판정 개시 시점으로서 설정하고, 그 이후에 있어서는 제1 압력 센서의 측정 압력 또는 제2 압력 센서의 측정 압력 중 어느 한쪽만이 감시되도록 해도 된다. 또, 측정 압력의 변화 경향에 대해서는 예를 들면 시간 변화율을 산출하거나, 미분치를 연산하는 등 다양한 산출 방법을 이용해도 된다. 또, 판정 개시 시점의 측정 압력과, 판정 개시부터 소정 시간 경과 후에 있어서의 측정 압력의 차의 절대치나 양음(陽陰)에 기초하여 제1 밸브 또는 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정해도 된다. 예를 들면 판정 개시 시점의 제1 압력 센서의 측정 압력이, 판정 개시 시점으로부터 소정 시간 경과 후의 제1 압력 센서의 측정 압력보다도 커져 있는 경우에는, 제1 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 시트 리크 판정부는 판정한다. 반대로 판정 개시 시점의 제2 압력 센서의 측정 압력이, 판정 개시 시점으로부터 소정 시간 경과 후의 제2 압력 센서의 측정 압력보다도 작아져 있는 경우에는 시트 리크 판정부는 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정한다.

진단부는 처음에 제1 압력 센서에 대해 진단하고, 그 후 제2 압력 센서에 대해 진단하도록 구성해도 된다. 또, 제1 압력 센서의 진단에 대해서는 예를 들면 공급압 센서의 측정 압력을 이용하지 않고, 제1 압력 센서와 제2 압력 센서의 측정 압력만을 이용해도 된다. 또, 압력 센서의 진단에 대해서는 제로점 시프트에만 한정되는 것이 아니고, 그 외의 오차 등에 대해 진단해도 된다. 또, 전술한 실시 형태에서는 시트 리크 체크가 행해지고, 제1 밸브 및 제2 밸브 중 어느 것에도 시트 리크가 발생하고 있지 않은 경우에 제1 압력 센서 및 제2 압력 센서의 진단이 행해지고 있었지만, 시트 리크의 체크 결과에 의존하지 않고, 항상 제1 압력 센서 및 제2 압력 센서의 진단을 행하도록 해도 된다. 또, 시트 리크의 체크를 행하지 않고, 제1 압력 센서 및 제2 압력 센서의 진단을 독립하여 행해도 상관없다.

유체 저항에 대해서는, 층류 소자로 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 열식의 유량 센서에 이용되는 분류 소자 등이어도 상관없다.

시트 리크 판정부, 진단부, 혹은 자기 진단 기구에 대해서는, 유체 제어 장치에 내장되어 있는 컴퓨터나 제어 보드 등의 연산 장치에 의해서 그 기능이 실현되는 것으로 한정되지 않고, 예를 들면 유체 제어 장치와는 별개로 마련된 일반적인 컴퓨터 등에 의해서 그 기능이 실현되는 것이어도 된다.

제2 실시 형태에 기재한 개도 제어기는, 제1 밸브 및 제2 밸브의 개폐를 제어하는 것이었지만, 유체 제어 장치의 외부에 마련된 전단 밸브 등에 대해서도 개폐의 제어를 행하도록 구성해도 된다.

그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에 있어서, 실시 형태의 변형을 행해도 되고, 각 실시 형태의 일부 또는 전체를 각각 조합해도 상관없다.

100···유체 제어 장치
V1　···제1 밸브
P1　···제1 압력 센서
R　　···유체 저항
Vl1　···제1 용적
VL2　···제2 용적
P2　···제2 압력 센서
V2　···제2 밸브
F　　···유량 측정 기구
1　　···저항 유량 산출부
42　···제2 밸브 제어부
5　　···자기 진단 기구
51　···진단 동작 지령부
52　···시트 리크 판정부
53　···진단 트리거
54　···진단부

Claims

유로에 마련된 유체 저항과,
상기 유체 저항의 상류측에 마련된 제1 밸브와,
상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브와 상기 유체 저항의 사이에 있는 제1 용적 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와,
상기 유체 저항의 하류측에 마련된 제2 밸브와,
상기 유로에 있어서 상기 유체 저항과 상기 제2 밸브의 사이에 있는 제2 용적의 압력을 측정하는 제2 압력 센서와,
상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브를 제어하는 밸브 제어기와,
상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 전폐(全閉)하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정부를 구비한
유체 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 거의 일치한 이후의 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력의 변화 경향에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는
유체 제어 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 상승하고 있는 경우에는, 상기 제1 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는
유체 제어 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 저하되고 있는 경우에는, 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는
유체 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브를 전폐하고, 상기 제2 밸브를 개방하고 있는 상태에 있어서, 상기 제2 압력 센서의 측정 압력과 그 시간 변화율에 기초하여 상기 제2 압력 센서를 진단하는 진단부를 추가로 구비한
유체 제어 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 진단부가 상기 제2 압력 센서의 측정 압력의 시간 변화율이 거의 제로로, 측정 압력이 소정치로 유지되고 있는 경우에 상기 제2 압력 센서에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단하는
유체 제어 장치.
청구항 5에 있어서, 　
상기 진단부가, 상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브를 개방하고, 상기 제2 밸브를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서와 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 압력 센서를 진단하는
유체 제어 장치.
청구항 7에 있어서,
상기 진단부가, 상기 제1 압력 센서와 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력이 거의 같은 경우에 상기 제1 압력 센서에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단하는
유체 제어 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있지 않다고 판정하고 있는 경우만, 상기 진단부에 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 진단을 실행시키는 진단 트리거를 추가로 구비한
유체 제어 장치.
청구항 5에 있어서, 　
상기 제1 밸브의 상류측의 압력을 측정하는 공급압 센서를 추가로 구비하고,
상기 밸브 제어기가, 적어도 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 개방하고, 상기 공급압 센서의 상류측에 마련되어 있는 전단(前段) 밸브가 전폐되어 있는 상태에 있어서,
상기 진단부가, 상기 공급압 센서, 상기 제1 압력 센서, 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력이 거의 같은 경우에 상기 공급압 센서, 상기 제1 압력 센서, 및 상기 제2 압력 센서의 각각에 제로점 시프트가 발생하고 있지 않다고 진단하는
유체 제어 장치.
청구항 10에 있어서,
상기 밸브 제어기가, 적어도 상기 제1 밸브와 상기 제2 밸브를 전폐하고, 상기 전단 밸브가 개방되어 있는 상태에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 상승하고 있는 경우에 상기 제1 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는
유체 제어 장치.
청구항 11에 있어서, 　
상기 밸브 제어기가, 상기 제1 밸브를 개방하고, 상기 제2 밸브를 전폐한 상태에서 소정 시간 경과한 후에 상기 제1 밸브와 상기 제2 밸브를 전폐한 상태에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력이 저하되고 있는 경우에 상기 제2 밸브에 시트 리크가 발생하고 있다고 판정하는
유체 제어 장치.
청구항 12에 있어서,
상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 유체 저항을 흐르는 유체의 유량인 저항 유량을 산출하는 저항 유량 산출부를 추가로 구비하고,
상기 밸브 제어기가, 상기 제1 밸브를 전폐하고, 상기 제2 밸브를 개방한 상태에 있어서, 상기 진단부가, 상기 제1 압력 센서의 측정 압력의 변화에 기초하여 상기 저항 유량 산출부에서 산출되는 저항 유량을 검정하는
유체 제어 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 시트 리크 판정부가,
상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력에 기초하여, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브의 시트 리크량을 산출하는 시트 리크 산출부와,
상기 시트 리크 산출부에서 산출되는 시트 리크량과, 미리 정해진 기준치를 비교하여, 상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무에 관한 판정 결과를 출력하는 시트 리크 비교부로 이루어지고,
적어도 상기 시트 리크 산출부를 구비하고, 이상의 정도를 나타내는 이상량을 출력하는 이상량 산출부와,
적어도 상기 시트 리크 비교부를 구비하고, 이상의 유무를 출력하는 이상 판정부를 추가로 구비한
유체 제어 장치.
청구항 14에 있어서,
상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 유체 저항을 흐르는 유체의 유량인 저항 유량을 산출하는 저항 유량 산출부를 추가로 구비하고,
상기 이상량 산출부가,
상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력에 기초하여, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 제로점 시프트량을 산출하는 센서 시프트 산출부와,
상기 저항 유량 산출부가 산출하는 저항 유량과, 상기 제1 압력 센서 또는 상기 제2 압력 센서의 측정 압력에 기초하여 산출되는 기준 유량에 기초하여 저항 유량의 유량 정밀도를 산출하는 유량 정밀도 산출부를 추가로 구비한
유체 제어 장치.
청구항 14 또는 청구항 15에 기재된 복수의 유체 제어 장치와,
복수의 상기 유체 제어 장치의 각 이상량 산출부로부터 출력되는 이상량, 또는 각 이상 판정부로부터 출력되는 이상의 유무를 취득하여, 각 유체 제어 장치에 대해 이상량 또는 이상의 유무를 일람 표시하는 상태 표시부를 구비한
유체 제어 시스템.
유로에 마련된 유체 저항과, 상기 유체 저항의 상류측에 마련된 제1 밸브와,
상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브와 상기 유체 저항의 사이에 있는 제1 용적 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와, 상기 유체 저항의 하류측에 마련된 제2 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 유체 저항과 상기 제2 밸브의 사이에 있는 제2 용적의 압력을 측정하는 제2 압력 센서를 구비한 유체 제어 장치의 진단 방법으로서,
상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 전폐하는 밸브 제어 스텝과,
상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정 스텝을 구비한
진단 방법.
유로에 마련된 유체 저항과, 상기 유체 저항의 상류측에 마련된 제1 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 제1 밸브와 상기 유체 저항의 사이에 있는 제1 용적 내의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와, 상기 유체 저항의 하류측에 마련된 제2 밸브와, 상기 유로에 있어서 상기 유체 저항과 상기 제2 밸브의 사이에 있는 제2 용적의 압력을 측정하는 제2 압력 센서를 구비한 유체 제어 장치에 이용되는 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체로서,
상기 제1 밸브 또는 상기 제2 밸브를 제어하는 밸브 제어기와,
상기 밸브 제어기가 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브를 전폐하고 있는 상태에 있어서, 상기 제1 압력 센서 및 상기 제2 압력 센서의 각 측정 압력에 기초하여 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 시트 리크의 유무를 판정하는 시트 리크 판정부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는
유체 제어 장치용 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체.