JP2015514972A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 前記流体を受け取る流入口と、
   前記流体が通過する流路と、
   前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
   前記流路内の地点における圧力を測定する、前記流路に結合された圧力トランスデューサーと、
   ツールコントローラーと通信する通信インターフェースと、
   少なくとも１つの処理構成要素とを具備し、
   前記少なくとも１つの処理構成要素が、
   元の位置での減衰速度測定を実行する命令と、
   前記減衰速度測定に基づいて第１のバルブ漏れ値を求める命令と、
   前記元の位置での減衰速度測定を実行している間、前記流量センサーを用いて流量測定を実行する命令と、
   前記流量センサーによって測定された第２のバルブ漏れ値を求める命令と、
   前記第１のバルブ漏れ値と前記第２のバルブ漏れ値との差に基づいてセンサーオフセット補正値を求める命令と、
   前記流量センサーをゼロ調整する際に前記センサーオフセット補正値を適用する命令とを実行する装置。
2. 請求項１に記載の装置であって、該装置の特性が所与の時間期間に或る特定の量だけ変化したことを前記減衰速度測定が示したとき、前記少なくとも１つの処理構成要素は、アラームを生成する命令を実行するように更に構成されている装置。
3. 元の位置での減衰速度測定を実行することと、
   前記減衰速度測定に基づいて第１のバルブ漏れ値をプロセッサを用いて求めることと、
   前記元の位置での減衰速度測定を実行している間、流量センサーを用いて流量測定を実行することと、
   前記流量センサーによって測定された第２のバルブ漏れ値を求めることと、
   前記第１のバルブ漏れ値と前記第２のバルブ漏れ値との差に基づいてセンサーオフセット補正値を求めることと、
   前記流量センサーをゼロ調整する際に前記センサーオフセット補正値を適用することとを含む、バルブ漏れが存在する状況でゼロドリフトをもたらす感知された流量測定値の前記リアルタイム補正のための装置によって元の位置で実行される自己確認方法。