JP2003254807A - 熱式センサおよびその設置方法ならびにマスフローメータ - Google Patents
熱式センサおよびその設置方法ならびにマスフローメータInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャピラリへの設置のための熟練が不要で、
かつ、巻線に関連したノウハウを不要にできるととも
に、巻線に用いるＮｉ−Ｆｅ等の線材の抵抗値や抵抗温
度係数のバラツキ等を軽減できる熱式センサおよびその
設置方法ならびにマスフローメータを提供すること。 【解決手段】 絶縁性シート２上に二つの抵抗体配線パ
ターン３，４を形成してなり、更に、前記絶縁性シート
２は、内部に流体が流れる測定管路５における上流側お
よび下流側に適宜の間隔をおいて前記二つの抵抗体配線
パターン３，４を位置させるべく前記測定管路５の外周
に巻き付け可能なように変形する薄膜よりなる。
かつ、巻線に関連したノウハウを不要にできるととも
に、巻線に用いるＮｉ−Ｆｅ等の線材の抵抗値や抵抗温
度係数のバラツキ等を軽減できる熱式センサおよびその
設置方法ならびにマスフローメータを提供すること。 【解決手段】 絶縁性シート２上に二つの抵抗体配線パ
ターン３，４を形成してなり、更に、前記絶縁性シート
２は、内部に流体が流れる測定管路５における上流側お
よび下流側に適宜の間隔をおいて前記二つの抵抗体配線
パターン３，４を位置させるべく前記測定管路５の外周
に巻き付け可能なように変形する薄膜よりなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、熱式センサおよ
びその設置方法ならびにマスフローメータに関するもの
である。
びその設置方法ならびにマスフローメータに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図６に示すように、例えばマスフローメ
ータに用いられる従来の熱式センサ５０は、内部にガス
や液体等の流体が流れる内径が０．２ｍｍ〜０．７ｍｍ
のキャピラリ５１の外周にポリイミド樹脂などの絶縁膜
５２を介して抵抗温度係数の大きいＮｉ−Ｆｅ等の線材
５３を上流側および下流側に適宜の間隔をおいて巻設さ
れる。そして、上流側の巻線５４ａと下流側の巻線５４
ｂによってキャピラリ５１を加熱した状態で、キャピラ
リ５１の内部に例えばガスが流れることによって、上流
側の巻線５４ａは、ガス流によって熱を奪われ、下流側
の巻線５４ｂは、ガス流によって運ばれる熱によって温
められる。この熱バランスによってガス流量を測定でき
る。
ータに用いられる従来の熱式センサ５０は、内部にガス
や液体等の流体が流れる内径が０．２ｍｍ〜０．７ｍｍ
のキャピラリ５１の外周にポリイミド樹脂などの絶縁膜
５２を介して抵抗温度係数の大きいＮｉ−Ｆｅ等の線材
５３を上流側および下流側に適宜の間隔をおいて巻設さ
れる。そして、上流側の巻線５４ａと下流側の巻線５４
ｂによってキャピラリ５１を加熱した状態で、キャピラ
リ５１の内部に例えばガスが流れることによって、上流
側の巻線５４ａは、ガス流によって熱を奪われ、下流側
の巻線５４ｂは、ガス流によって運ばれる熱によって温
められる。この熱バランスによってガス流量を測定でき
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、Ｎｉ−Ｆｅ等
の線材５３は、径が十数μｍ（例えば１５μｍ程度）と
細い線のため切れ易く、熱式センサ５０のキャピラリ５
１への設置にあたり巻線５４ａ，巻線５４ｂのテンショ
ン管理も微妙な管理を要する。更に、Ｎｉ−Ｆｅ等の線
材５３自体の抵抗値や抵抗温度係数のバラツキ等もあ
り、生産には熟練とノウハウが必要であった。
の線材５３は、径が十数μｍ（例えば１５μｍ程度）と
細い線のため切れ易く、熱式センサ５０のキャピラリ５
１への設置にあたり巻線５４ａ，巻線５４ｂのテンショ
ン管理も微妙な管理を要する。更に、Ｎｉ−Ｆｅ等の線
材５３自体の抵抗値や抵抗温度係数のバラツキ等もあ
り、生産には熟練とノウハウが必要であった。
【０００４】この発明は、キャピラリへの設置のための
熟練が不要で、かつ、巻線に関連したノウハウを不要に
できるとともに、巻線に用いるＮｉ−Ｆｅ等の線材の抵
抗値や抵抗温度係数のバラツキ等を軽減できる熱式セン
サおよびその設置方法ならびにマスフローメータを提供
することを目的とする。
熟練が不要で、かつ、巻線に関連したノウハウを不要に
できるとともに、巻線に用いるＮｉ−Ｆｅ等の線材の抵
抗値や抵抗温度係数のバラツキ等を軽減できる熱式セン
サおよびその設置方法ならびにマスフローメータを提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願の請求項１に係る熱式センサは、絶縁性シート
上に二つの抵抗体配線パターンを形成してなり、更に、
前記絶縁性シートは、内部に流体が流れる測定管路にお
ける上流側および下流側に適宜の間隔をおいて前記二つ
の抵抗体配線パターンを位置させるべく前記測定管路の
外周に巻き付け可能なように変形する薄膜よりなる。
に、本願の請求項１に係る熱式センサは、絶縁性シート
上に二つの抵抗体配線パターンを形成してなり、更に、
前記絶縁性シートは、内部に流体が流れる測定管路にお
ける上流側および下流側に適宜の間隔をおいて前記二つ
の抵抗体配線パターンを位置させるべく前記測定管路の
外周に巻き付け可能なように変形する薄膜よりなる。
【０００６】また、本願の請求項３に係る熱式センサの
設置方法は、請求項１に記載の熱式センサを、内部に流
体が流れる測定管路の外周に巻き付けることにより前記
各抵抗体配線パターンを前記測定管路における上流側お
よび下流側に位置させるようにしたことを特徴とする。
設置方法は、請求項１に記載の熱式センサを、内部に流
体が流れる測定管路の外周に巻き付けることにより前記
各抵抗体配線パターンを前記測定管路における上流側お
よび下流側に位置させるようにしたことを特徴とする。
【０００７】更に、本願の請求項４に係るマスフローメ
ータは、請求項１に記載の熱式センサを、内部に流体が
流れる測定管路の外周に巻き付け、前記各抵抗体配線パ
ターンを前記測定管路における上流側および下流側に位
置させてなることを特徴とする。
ータは、請求項１に記載の熱式センサを、内部に流体が
流れる測定管路の外周に巻き付け、前記各抵抗体配線パ
ターンを前記測定管路における上流側および下流側に位
置させてなることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態につ
いて説明する。なお、この発明はそれによって限定され
るものではない。
いて説明する。なお、この発明はそれによって限定され
るものではない。
【０００９】図１、図２は、この発明の第１の実施形態
を示す。図１は、内部に流体が流れる測定管路と、この
測定管路の外周に設置する前の熱式センサを示し、図２
は、測定管路の外周に設置された熱式センサを示す。
を示す。図１は、内部に流体が流れる測定管路と、この
測定管路の外周に設置する前の熱式センサを示し、図２
は、測定管路の外周に設置された熱式センサを示す。
【００１０】図１、図２において、１は、熱式センサ
で、一枚の平面視矩形の絶縁性シート２上に二つの抵抗
体配線パターン３，４を形成してなる。これら配線パタ
ーン３，４は、絶縁性シート２の一方の面２ａに形成さ
れている。２ｂは、絶縁性シート２の他方の面である。
５は、内部にガスや液体等の流体が例えばＡ方向に流れ
る測定管路としてのキャピラリである。このキャピラリ
５は、例えばステンレス製であり、０．２ｍｍ〜０．７
ｍｍの内径を有する。キャピラリ５は、図３に示すよう
に、マスフローメータ２０のセンサ固定ベース２７およ
び本体ブロック２１に垂直かつ逆Ｕ字状に立設されてい
る。
で、一枚の平面視矩形の絶縁性シート２上に二つの抵抗
体配線パターン３，４を形成してなる。これら配線パタ
ーン３，４は、絶縁性シート２の一方の面２ａに形成さ
れている。２ｂは、絶縁性シート２の他方の面である。
５は、内部にガスや液体等の流体が例えばＡ方向に流れ
る測定管路としてのキャピラリである。このキャピラリ
５は、例えばステンレス製であり、０．２ｍｍ〜０．７
ｍｍの内径を有する。キャピラリ５は、図３に示すよう
に、マスフローメータ２０のセンサ固定ベース２７およ
び本体ブロック２１に垂直かつ逆Ｕ字状に立設されてい
る。
【００１１】更に、前記絶縁性シート２は、キャピラリ
５の外周に巻き付け可能なように自在に変形するポリイ
ミドの薄膜よりなる。このポリイミド薄膜２の膜厚は、
３μｍ〜５０μｍの範囲が適当で、この実施形態では
７．５μｍである。ポリイミド薄膜２の膜厚の下限を前
記３μｍに設定したのは、これより薄い場合は絶縁不良
となる不都合があるからで、また、ポリイミド薄膜２の
膜厚の上限を前記５０μｍに設定したのは、これより厚
い場合は熱伝導性及び巻き付けの点で不具合の可能性が
あるからである。
５の外周に巻き付け可能なように自在に変形するポリイ
ミドの薄膜よりなる。このポリイミド薄膜２の膜厚は、
３μｍ〜５０μｍの範囲が適当で、この実施形態では
７．５μｍである。ポリイミド薄膜２の膜厚の下限を前
記３μｍに設定したのは、これより薄い場合は絶縁不良
となる不都合があるからで、また、ポリイミド薄膜２の
膜厚の上限を前記５０μｍに設定したのは、これより厚
い場合は熱伝導性及び巻き付けの点で不具合の可能性が
あるからである。
【００１２】また、前記配線パターン３，４は、ヒータ
としての機能を有し、キャピラリ５における上流側領域
Ｂおよび下流側領域Ｃに適宜の間隔Ｄをおいて位置され
るものである。配線パターン３は、両矢印Ｅで示す方向
に沿って櫛型に形成されている捲き込み部１０と、Ｅ方
向に沿って左右一対の引出し線１１，１１で構成され
る。一方、配線パターン４も、両矢印Ｅで示す方向に沿
って櫛型に形成されている捲き込み部１０’と、Ｅ方向
に沿って左右一対の引出し線１１’，１１’で構成され
る。
としての機能を有し、キャピラリ５における上流側領域
Ｂおよび下流側領域Ｃに適宜の間隔Ｄをおいて位置され
るものである。配線パターン３は、両矢印Ｅで示す方向
に沿って櫛型に形成されている捲き込み部１０と、Ｅ方
向に沿って左右一対の引出し線１１，１１で構成され
る。一方、配線パターン４も、両矢印Ｅで示す方向に沿
って櫛型に形成されている捲き込み部１０’と、Ｅ方向
に沿って左右一対の引出し線１１’，１１’で構成され
る。
【００１３】そして、二つの抵抗体配線パターン３，４
を被覆するポリイミドの被覆絶縁膜１２がポリイミド薄
膜２の一方の面２ａ上に設けられている。すなわち、二
つの抵抗体配線パターン３，４は、ポリイミド被覆絶縁
膜１２によって被覆されている。このポリイミド被覆絶
縁膜１２は、ポリイミド薄膜２の前記膜厚よりも薄い膜
厚を有する。そして、抵抗体配線パターン３，４を構成
する各抵抗体１８は、Ｔｉ（チタン）膜上にＮｉ（ニッ
ケル）膜が積層された二層構造よりなる。例えば、スパ
ッタあるいは真空蒸着等の公知の金属膜形成手段を用い
てシート状のポリイミド薄膜２に抵抗体１８，１８を形
成してある。抵抗体１８の厚みは、例えば０．３μｍで
ある。前記ポリイミド被覆絶縁膜１２は、前記抵抗体１
８を空気と遮断することで経時変化による抵抗体１８の
抵抗変動を小さくする機能を有する。
を被覆するポリイミドの被覆絶縁膜１２がポリイミド薄
膜２の一方の面２ａ上に設けられている。すなわち、二
つの抵抗体配線パターン３，４は、ポリイミド被覆絶縁
膜１２によって被覆されている。このポリイミド被覆絶
縁膜１２は、ポリイミド薄膜２の前記膜厚よりも薄い膜
厚を有する。そして、抵抗体配線パターン３，４を構成
する各抵抗体１８は、Ｔｉ（チタン）膜上にＮｉ（ニッ
ケル）膜が積層された二層構造よりなる。例えば、スパ
ッタあるいは真空蒸着等の公知の金属膜形成手段を用い
てシート状のポリイミド薄膜２に抵抗体１８，１８を形
成してある。抵抗体１８の厚みは、例えば０．３μｍで
ある。前記ポリイミド被覆絶縁膜１２は、前記抵抗体１
８を空気と遮断することで経時変化による抵抗体１８の
抵抗変動を小さくする機能を有する。
【００１４】而して、シート状の熱式センサ１を、キャ
ピラリ５の外周に巻き付けることにより前記抵抗体配線
パターン３および４をキャピラリ５における上流側領域
Ｂおよび下流側領域Ｃに位置させることができる。ま
た、図２に示すように、キャピラリ５の外周に熱式セン
サ１を巻き込んだ状態で、ポリイミド被覆絶縁膜１２と
ポリイミド薄膜２の他方の面２ｂを適宜の手段で固定す
ることにより熱式センサ１をキャピラリ５の外周に固定
設置できる。
ピラリ５の外周に巻き付けることにより前記抵抗体配線
パターン３および４をキャピラリ５における上流側領域
Ｂおよび下流側領域Ｃに位置させることができる。ま
た、図２に示すように、キャピラリ５の外周に熱式セン
サ１を巻き込んだ状態で、ポリイミド被覆絶縁膜１２と
ポリイミド薄膜２の他方の面２ｂを適宜の手段で固定す
ることにより熱式センサ１をキャピラリ５の外周に固定
設置できる。
【００１５】このように、スパッタあるいは真空蒸着等
の公知の金属膜形成手段を用いてシート状のポリイミド
薄膜２に抵抗体１８，１８を形成し、このポリイミド薄
膜２をキャピラリ５の外周に巻き付けることで、従来熟
練と手間のかかっていた線材５３の巻線５４ａ，５４ｂ
を廃止できる。また、抵抗体１８，１８に抵抗体配線パ
ターン３，４を採用するとともに、抵抗体１８，１８の
抵抗値については抵抗体配線パターン３および４の形成
の中でレーザ等で調整できるので、抵抗体１８，１８の
抵抗値の調整が簡単にできるとともに、抵抗温度係数の
バラツキ等も軽減できる。
の公知の金属膜形成手段を用いてシート状のポリイミド
薄膜２に抵抗体１８，１８を形成し、このポリイミド薄
膜２をキャピラリ５の外周に巻き付けることで、従来熟
練と手間のかかっていた線材５３の巻線５４ａ，５４ｂ
を廃止できる。また、抵抗体１８，１８に抵抗体配線パ
ターン３，４を採用するとともに、抵抗体１８，１８の
抵抗値については抵抗体配線パターン３および４の形成
の中でレーザ等で調整できるので、抵抗体１８，１８の
抵抗値の調整が簡単にできるとともに、抵抗温度係数の
バラツキ等も軽減できる。
【００１６】図３は、前記熱式センサ１を、キャピラリ
５の外周に巻き付け、各抵抗体配線パターン３，４をキ
ャピラリ５における上流側領域Ｂおよび下流側領域Ｃに
位置させてなるマスフローメータの一例を示す。
５の外周に巻き付け、各抵抗体配線パターン３，４をキ
ャピラリ５における上流側領域Ｂおよび下流側領域Ｃに
位置させてなるマスフローメータの一例を示す。
【００１７】図３において、２１は、マスフローメータ
２０の本体ブロックで、その一端側には流体入口２２が
形成され、他端側には流体出口２３が形成されるととも
に、内部に流体入口２２と流体出口２３とを結ぶように
して流体流路２４が形成してあり、この流体流路２４に
は定流量特性を有するバイパス素子２５が設けてあっ
て、バイパス部６に構成されている。２７は、本体ブロ
ック２１の上部に設けられるセンサ固定ベースである。
このセンサ固定ベース２７には、本体ブロック２１内の
流路２４と連通路２８を介して連通する孔２９を備えた
スリーブ３０が着脱自在に設けてある。３１はシール部
材である。そして、キャピラリ５は、センサ固定ベース
２７および本体ブロック２１に垂直かつ逆Ｕ字状に立設
されている。また、３６はセンサ固定ベース２７の上面
に抵抗溶接などによって設けられるハーメチック端子
で、抵抗体配線パターン３，４は、ハーメチック端子３
６のリードピンを介して図外のブリッジ回路に接続され
る。３７は、熱式センサ１やハーメチック端子３６など
を収納しこれらをカバーするためのセンサケースであ
る。なお、本体ブロック２１、スリーブ３０などは、ス
テンレス、ニッケル、コバールなどの耐腐食性に優れた
金属よりなる。
２０の本体ブロックで、その一端側には流体入口２２が
形成され、他端側には流体出口２３が形成されるととも
に、内部に流体入口２２と流体出口２３とを結ぶように
して流体流路２４が形成してあり、この流体流路２４に
は定流量特性を有するバイパス素子２５が設けてあっ
て、バイパス部６に構成されている。２７は、本体ブロ
ック２１の上部に設けられるセンサ固定ベースである。
このセンサ固定ベース２７には、本体ブロック２１内の
流路２４と連通路２８を介して連通する孔２９を備えた
スリーブ３０が着脱自在に設けてある。３１はシール部
材である。そして、キャピラリ５は、センサ固定ベース
２７および本体ブロック２１に垂直かつ逆Ｕ字状に立設
されている。また、３６はセンサ固定ベース２７の上面
に抵抗溶接などによって設けられるハーメチック端子
で、抵抗体配線パターン３，４は、ハーメチック端子３
６のリードピンを介して図外のブリッジ回路に接続され
る。３７は、熱式センサ１やハーメチック端子３６など
を収納しこれらをカバーするためのセンサケースであ
る。なお、本体ブロック２１、スリーブ３０などは、ス
テンレス、ニッケル、コバールなどの耐腐食性に優れた
金属よりなる。
【００１８】なお、この実施形態では抵抗体配線パター
ン３，４をスパッタあるいは真空蒸着等の公知の金属膜
形成手段を用いて作成したが、公知のエッチングを用い
て作成してもよい。この場合でも、抵抗体１８，１８や
抵抗温度係数のバラツキ等を軽減できる。
ン３，４をスパッタあるいは真空蒸着等の公知の金属膜
形成手段を用いて作成したが、公知のエッチングを用い
て作成してもよい。この場合でも、抵抗体１８，１８や
抵抗温度係数のバラツキ等を軽減できる。
【００１９】また、熱式センサ１の、キャピラリ５の外
周に巻き付けをポリイミド薄膜２の一方の面２ａの側か
ら行ったが、ポリイミド薄膜２の他方の面２ｂ側から行
ってもよい。
周に巻き付けをポリイミド薄膜２の一方の面２ａの側か
ら行ったが、ポリイミド薄膜２の他方の面２ｂ側から行
ってもよい。
【００２０】図４、図５は、上記第１の実施形態とは形
状が異なる絶縁性シート２’を用いたこの発明の第２の
実施形態を示す。なお、図４、図５において、図１〜図
３で用いた符号と同一のものは、同一または相当物であ
る。
状が異なる絶縁性シート２’を用いたこの発明の第２の
実施形態を示す。なお、図４、図５において、図１〜図
３で用いた符号と同一のものは、同一または相当物であ
る。
【００２１】図４、図５において、熱式センサ１’は、
一枚の絶縁性シートとしてのポリイミド薄膜２’上に二
つの抵抗体配線パターン３，４を形成してなる。そし
て、前記ポリイミド薄膜２’は、平面視で細長の形状を
している。具体的には、ポリイミド薄膜２’は、図５に
おいて斜めに配置された細い幅ｇの平面視ほぼ平行四辺
形の部分４０と、この平行四辺形の部分４０の上辺Ｍを
下辺とする平面視矩形部分４１と、前記平行四辺形の部
分４０の下辺Ｎを上辺とする平面視矩形部分４２とを有
する。ポリイミド薄膜２’の膜厚は、上記実施形態のポ
リイミド薄膜２と同一であり、例えば６μｍである。
一枚の絶縁性シートとしてのポリイミド薄膜２’上に二
つの抵抗体配線パターン３，４を形成してなる。そし
て、前記ポリイミド薄膜２’は、平面視で細長の形状を
している。具体的には、ポリイミド薄膜２’は、図５に
おいて斜めに配置された細い幅ｇの平面視ほぼ平行四辺
形の部分４０と、この平行四辺形の部分４０の上辺Ｍを
下辺とする平面視矩形部分４１と、前記平行四辺形の部
分４０の下辺Ｎを上辺とする平面視矩形部分４２とを有
する。ポリイミド薄膜２’の膜厚は、上記実施形態のポ
リイミド薄膜２と同一であり、例えば６μｍである。
【００２２】そして、ポリイミド薄膜２’は、一方の面
２ａにおける平行四辺形の部分４０に二つの抵抗体配線
パターン３，４を有する。この二つの抵抗体配線パター
ン３，４は、適宜の間隔Ｄ’を有する中間部分４４を介
して平行四辺形の部分４０の上下位置に設けられてい
る。
２ａにおける平行四辺形の部分４０に二つの抵抗体配線
パターン３，４を有する。この二つの抵抗体配線パター
ン３，４は、適宜の間隔Ｄ’を有する中間部分４４を介
して平行四辺形の部分４０の上下位置に設けられてい
る。
【００２３】配線パターン３，４は、ヒータとしての機
能を有し、キャピラリ５における上流側領域Ｂおよび下
流側領域Ｃに適宜の間隔をおいて位置されるものであ
る。配線パターン３は、両矢印Ｅ’で示す方向に沿って
櫛型に形成されている捲き込み部１０と、両矢印Ｈで示
す方向に沿って形成された左右一対の引出し線１１，１
１で構成される。一方、配線パターン４も、両矢印Ｅ’
で示す方向に沿って櫛型に形成されている捲き込み部１
０’と、両矢印Ｈで示す方向に沿って形成された左右一
対の引出し線１１’，１１’で構成される。
能を有し、キャピラリ５における上流側領域Ｂおよび下
流側領域Ｃに適宜の間隔をおいて位置されるものであ
る。配線パターン３は、両矢印Ｅ’で示す方向に沿って
櫛型に形成されている捲き込み部１０と、両矢印Ｈで示
す方向に沿って形成された左右一対の引出し線１１，１
１で構成される。一方、配線パターン４も、両矢印Ｅ’
で示す方向に沿って櫛型に形成されている捲き込み部１
０’と、両矢印Ｈで示す方向に沿って形成された左右一
対の引出し線１１’，１１’で構成される。
【００２４】而して、キャピラリ５の外周に対する熱式
センサ１’の巻き付けをポリイミド薄膜２’の一方の面
２ａの側から行う。この場合、ポリイミド薄膜２’の前
記中間部分４４をキャピラリ５の外周に当て、二つの抵
抗体配線パターン３，４の側がポリイミド被覆絶縁膜１
２を介してキャピラリ５の外周に接するようにポリイミ
ド薄膜２’の前記矩形部分４１と矩形部分４２をキャピ
ラリ５の外周のまわりに捲き込んで行く。これにより、
抵抗体配線パターン３および４をキャピラリ５における
上流側領域Ｂおよび下流側領域Ｃに位置させることがで
きる。また、熱式センサ１’のキャピラリ５の外周への
固定は、熱収縮チューブを用いて行うこともできる。
センサ１’の巻き付けをポリイミド薄膜２’の一方の面
２ａの側から行う。この場合、ポリイミド薄膜２’の前
記中間部分４４をキャピラリ５の外周に当て、二つの抵
抗体配線パターン３，４の側がポリイミド被覆絶縁膜１
２を介してキャピラリ５の外周に接するようにポリイミ
ド薄膜２’の前記矩形部分４１と矩形部分４２をキャピ
ラリ５の外周のまわりに捲き込んで行く。これにより、
抵抗体配線パターン３および４をキャピラリ５における
上流側領域Ｂおよび下流側領域Ｃに位置させることがで
きる。また、熱式センサ１’のキャピラリ５の外周への
固定は、熱収縮チューブを用いて行うこともできる。
【００２５】
【発明の効果】この発明では、絶縁性シート上に二つの
抵抗体配線パターンを形成して熱式センサを構成し、更
に、前記絶縁性シートを、内部に流体が流れる測定管路
における上流側および下流側に適宜の間隔をおいて前記
二つの抵抗体配線パターンを位置させるべく前記測定管
路の外周に巻き付け可能なように変形する薄膜より構成
したので、熱式センサを容易に製作できるとともに、熱
式センサのキャピラリへの設置のための熟練が不要で、
かつ、従来用いた巻線に関連したノウハウを不要にでき
る。
抵抗体配線パターンを形成して熱式センサを構成し、更
に、前記絶縁性シートを、内部に流体が流れる測定管路
における上流側および下流側に適宜の間隔をおいて前記
二つの抵抗体配線パターンを位置させるべく前記測定管
路の外周に巻き付け可能なように変形する薄膜より構成
したので、熱式センサを容易に製作できるとともに、熱
式センサのキャピラリへの設置のための熟練が不要で、
かつ、従来用いた巻線に関連したノウハウを不要にでき
る。
【００２６】また、抵抗体配線パターンを採用したこと
により、抵抗値、抵抗温度係数のバラツキ等も軽減でき
る。
により、抵抗値、抵抗温度係数のバラツキ等も軽減でき
る。
【図１】この発明の第１の実施形態に係る熱式センサを
測定管路の外周に設置する前の状態を示す図である。
測定管路の外周に設置する前の状態を示す図である。
【図２】上記実施形態において、熱式センサを測定管路
の外周に設置した状態を示す図である。
の外周に設置した状態を示す図である。
【図３】上記実施形態の熱式センサを組み込んであるマ
スフローメータを示す構成説明図である。
スフローメータを示す構成説明図である。
【図４】この発明の第２の実施形態に係る熱式センサを
測定管路の外周に設置した状態を示す図である。
測定管路の外周に設置した状態を示す図である。
【図５】上記第２の実施形態において、熱式センサの測
定管路の外周への設置前の状態を示す図である。
定管路の外周への設置前の状態を示す図である。
【図６】従来例を示す正面図である。
１…熱式センサ、２…ポリイミド薄膜（絶縁性シー
ト）、３，４…抵抗体配線パターン、５…キャピラリ
（測定管路）。
ト）、３，４…抵抗体配線パターン、５…キャピラリ
（測定管路）。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 杉本 圭三
岐阜県大垣市神田町２丁目１番地 イビデ
ン株式会社内
Ｆターム(参考） 2F035 EA01 EA03 EA04 EA08
Claims (4)
- 【請求項１】 絶縁性シート上に二つの抵抗体配線パタ
ーンを形成してなり、更に、前記絶縁性シートは、内部
に流体が流れる測定管路における上流側および下流側に
適宜の間隔をおいて前記二つの抵抗体配線パターンを位
置させるべく前記測定管路の外周に巻き付け可能なよう
に変形する薄膜よりなることを特徴とする熱式センサ。 - 【請求項２】 前記二つの抵抗体配線パターンを被覆す
る絶縁膜を前記絶縁性シート上に設けてある請求項１に
記載の熱式センサ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の熱式センサを、内部に
流体が流れる測定管路の外周に巻き付けることにより前
記各抵抗体配線パターンを前記測定管路における上流側
および下流側に位置させるようにしたことを特徴とする
熱式センサの設置方法。 - 【請求項４】 請求項１に記載の熱式センサを、内部に
流体が流れる測定管路の外周に巻き付け、前記各抵抗体
配線パターンを前記測定管路における上流側および下流
側に位置させてなることを特徴とするマスフローメー
タ。
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| JP2002060650A JP4005823B2 (ja) | 2002-03-06 | 2002-03-06 | 熱式センサおよびその設置方法ならびにマスフローメータ |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005172451A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Almex Koosei Kk | 熱式流量計 |
| JP5479641B1 (ja) * | 2013-07-23 | 2014-04-23 | 株式会社テムテック研究所 | 熱式流量計 |
| WO2015041255A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | 日立金属株式会社 | 流量センサ、それを用いた質量流量計及び質量流量制御装置並びに流量センサの製造方法 |
| WO2018070287A1 (ja) * | 2016-10-13 | 2018-04-19 | 株式会社堀場エステック | 流体センサ、当該流体センサを備えた流体制御装置、及び、調整方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1038652A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Yokogawa Electric Corp | 熱式質量流量計 |
| JPH1151953A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Tokyo Gas Co Ltd | 可撓性フローセンサおよび該フローセンサを用いたフロー測定方法 |
-
2002
- 2002-03-06 JP JP2002060650A patent/JP4005823B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1038652A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Yokogawa Electric Corp | 熱式質量流量計 |
| JPH1151953A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Tokyo Gas Co Ltd | 可撓性フローセンサおよび該フローセンサを用いたフロー測定方法 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005172451A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Almex Koosei Kk | 熱式流量計 |
| JP5479641B1 (ja) * | 2013-07-23 | 2014-04-23 | 株式会社テムテック研究所 | 熱式流量計 |
| WO2015041255A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | 日立金属株式会社 | 流量センサ、それを用いた質量流量計及び質量流量制御装置並びに流量センサの製造方法 |
| CN105556257A (zh) * | 2013-09-18 | 2016-05-04 | 日立金属株式会社 | 流量传感器、使用该流量传感器的质量流量计及质量流量控制装置以及流量传感器的制造方法 |
| KR20160057394A (ko) * | 2013-09-18 | 2016-05-23 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 유량 센서, 그것을 사용한 질량 유량계 및 질량 유량 제어 장치 및 유량 센서의 제조 방법 |
| JPWO2015041255A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2017-03-02 | 日立金属株式会社 | 流量センサ、それを用いた質量流量計及び質量流量制御装置並びに流量センサの製造方法 |
| US10352746B2 (en) | 2013-09-18 | 2019-07-16 | Hitachi Metals, Ltd. | Mass flow meter including organic-material covering layers |
| KR102052463B1 (ko) | 2013-09-18 | 2019-12-05 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 유량 센서, 그것을 사용한 질량 유량계 및 질량 유량 제어 장치 및 유량 센서의 제조 방법 |
| WO2018070287A1 (ja) * | 2016-10-13 | 2018-04-19 | 株式会社堀場エステック | 流体センサ、当該流体センサを備えた流体制御装置、及び、調整方法 |
| JPWO2018070287A1 (ja) * | 2016-10-13 | 2019-08-08 | 株式会社堀場エステック | 流体センサ、当該流体センサを備えた流体制御装置、及び、調整方法 |
| TWI731177B (zh) * | 2016-10-13 | 2021-06-21 | 日商堀場Ｓｔｅｃ股份有限公司 | 流體感測器、具備該流體感測器的流體控制裝置以及調整方法 |
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