TWI731177B

TWI731177B - 流體感測器、具備該流體感測器的流體控制裝置以及調整方法

Info

Publication number: TWI731177B
Application number: TW106134479A
Authority: TW
Inventors: 岡野浩之
Original assignee: 日商堀場Ｓｔｅｃ股份有限公司
Priority date: 2016-10-13
Filing date: 2017-10-06
Publication date: 2021-06-21
Also published as: JP6943868B2; JPWO2018070287A1; WO2018070287A1; TW201814253A

Abstract

本發明提供一種流體感測器、流體控制裝置以及調整方法。該流體感測器包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部。

Description

流體感測器、具備該流體感測器的流體控制裝置以及調整方法

本發明是有關於一種用以對流體的物理量進行測定的流體感測器、具備該流體感測器的流體控制裝置、所述流體感測器的調整方法。

作為對流體的一種物理量即流量進行測定的流體感測器，例如已存在熱式流量感測器。如專利文獻1所示，已知有如下熱式流量感測器，其於從流體所流經的主流路分支且再次返回至主流路的感測器流路的兩處，分別捲繞有作為加熱器兼溫度感測器的線繞電阻器(wire wound resistor)，根據使固定電流流入至各線繞電阻器時的溫度差或使各線繞電阻器中的溫度差保持固定時的各線繞電阻器的消耗電力差，算出流體的流量。

而且，對於此種流體感測器而言，由於每個個體的製造精度或組件精度的不均一等，例如會導致零點輸出的初始變動、與穩定後的漂移(drift)發生變化。因此，於生產現場，以使流體感測器中的各種組件的尺寸或物性值等處於預定的允許範圍內的方式，適當進行調整作業。

例如，對於所述熱式流量感測器而言，預先對線繞電阻器的電阻值決定允許範圍，對於電阻值超過允許範圍的上限的線繞電阻器，利用手工作業將線繞電阻器的一部分切除而使其變短，減小電阻值，藉此進行調整。如此，在測定了某流體的物理量的情況下，以所需的水準，抑制了來自每個流體感測器的感測器體的輸出的不均一。

然而，此種方法中的例如電阻值的調整的高精度化已大致達到極限，難以實現能夠對應於近年來的半導體製造過程的微細化的對於測定誤差的不均一的進一步抑制。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利特開2009-300403號公報

本發明是鑒於如上所述的問題而成的發明，其目的在於能夠使調整作業容易，且提供精度較以往更高的流體感測器以及具備該流體感測器的流體控制裝置，所述調整作業用以對於流體的物理量，抑制來自感測器體的輸出的不均一。

即，本發明的流體感測器的特徵在於包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部(lead out)，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案(pattern)，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部。

如此，例如在所述感測器體的電阻值超過設計允許值的上限，導致產生測定誤差的情況下，能夠利用導電體來封堵所述圖案的缺損部，使從所述感測器體至所述轉換電路為止的電阻值降低，由此進行調整。而且，即使不使用測定器，亦易於根據缺損部的封堵個數，在感覺上掌握能夠使電阻值以何程度降低。因此，能夠使依賴於生產現場的技術者的經驗或直覺、或者技能的微調整標準化，而且能夠高精度化。因此，與以往相比較，能夠大幅度減少與流體感測器的每個個體的測定誤差相關的不均一，例如能夠推進半導體製造過程中的進一步的微細化。

為了在流體感測器的生產步驟中，能夠在用以將所述感測器體與所述轉換電路電性連接的作業途中亦一併調整所述感測器體的電阻值，提高生產效率，只要進而包括以封堵所述多個缺損部中的至少一個缺損部且與所述導通部接觸的方式設置的導電體即可。

例如為了易於確認藉由焊料等導電體封堵的缺損部的個數，且更易於瞭解使從所述感測器體至轉換電路為止的電阻值以何程度降低，只要呈一列地並排形成有所述多個缺損部即可。

為了使從所述感測器體至所述轉換電路為止的電阻值的降低量、與藉由導電體封堵的缺損部的個數之間的關係實質上成為比例關係，且易於進行調整，只要所述感測器體的所述多個缺損部為相同形狀，且等間隔地並排形成即可。

作為易於進行電阻值的調整作業的所述圖案的具體例，可列舉如下例子，即，所述缺損部相對於所述導通部形成為缺口狀，所述圖案是以形成蜿蜒圖案的方式構成。

作為所述圖案的其他具體例，可列舉如下例子，即，所述缺損部相對於所述導通部形成於中央部，所述圖案是以形成梯子狀圖案的方式構成。

作為由於包括具有所述圖案的所述引出部，故而能夠提高從所述感測器體至所述轉換電路為止的電阻值的調整精度，從而能夠大幅度減少每個個體的零點誤差的不均一的流體感測器，可列舉如下流體感測器，該流體感測器的所述感測器體為相對於流體所流經的流路沿著流動方向並排設置的一對線繞電阻器，且輸出所述一對線繞電阻器的電阻值或所施加的電壓值，所述轉換電路是以將所述感測器體的輸出轉換為流量的方式構成。

若相對於所述一對線繞電阻器，分別各設置有至少一個所述引出部，則即使在任一個線繞電阻器的電阻值均大於設計值的情況下，亦能夠進行調整，易於對各線繞電阻器的電阻值差進行調整。

若所述導電體為焊料，則能夠對於引出部進行用以將感測器體與轉換電路電性連接的焊接作業，且對電阻值進行調整。

例如，為了減小熱虹吸(thermal siphon)現象的影響，需要對於流路設置發熱體來進行溫度補償，所述熱虹吸現象是指沿著流體感測器的安裝方向產生上下方向，導致零點因流體的熱對流而發生變化。此時，若發熱體與電源之間的電阻值不均一，則無法獲得預想的發熱量，因此，有可能無法完全消除熱虹吸現象的影響。為了能夠解決此種問題，只要為如下流體感測器即可，該流體感測器的特徵在於包括：發熱體，其設置於流體所流經的流路；電源，其對所述發熱體供給電流；以及引出部，其介於所述發熱體與所述電源之間，對所述發熱體與所述電源之間進行橋接，所述引出部具備：第1端部，其連接所述發熱體；第2端部，其連接所述電源；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部。

若為包括本發明的流體感測器、設置於流路的閥門、及基於所述流體感測器的輸出而對所述閥門的開度進行控制的閥門控制部的流體控制裝置，則能夠抑制與流體控制裝置的每個個體的控制精度相關的不均一。

本發明的調整方法是流體感測器的調整方法，所述流體感測器包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部，所述調整方法的特徵在於：包括以與所述導通部接觸的方式，利用焊料來封堵所述多個缺損部中的至少一個缺損部的步驟。

若為此種方法，則即使在使從所述感測器體至所述轉換電路為止的電阻值發生微小變化的情況下，亦能夠正確地掌握其減少量且進行調整。

若為如下調整方法，則能夠大幅度減少熱式的流量感測器中產生的零點誤差的每個個體的不均一，在所述調整方法中，所述感測器體為相對於流體所流經的流路沿著流動方向並排設置的一對線繞電阻器，且輸出所述一對線繞電阻器的電阻值或所施加的電壓值，所述轉換電路是以將所述感測器體的輸出轉換為流量的方式構成，相對於所述一對線繞電阻器，分別各設置有至少一個所述引出部，所述調整方法進而包括以使所述一對線繞電阻器的電阻值差減小的方式，決定封堵各引出部的所述多個缺損部的個數差的步驟。即，本申請案發明人等進行仔細研究的結果是首次發現：熱式的流量感測器中的零點誤差的不均一儘管會受到各種設計參數的影響，但所述感測器體即一對線繞電阻器的電阻值之差施加了大影響。

若為本發明的流體感測器，則利用導電體來逐步封堵所述引出部中的所述缺損部，藉此，從所述感測器體至所述轉換電路為止的電阻值的誤差小，能夠容易地接近於設計值。因此，能夠減少與流體感測器的每個個體的測定誤差相關的不均一，從而能夠實現高精度化。

1:塊體

2:主流路

3:層流元件

4:閥門

5:殼體

6:感測器流路

7:感測器體

8:引出部

9:轉換電路

71:上游側線繞電阻器

72:下游側線繞電阻器

81:圖案

82:導通部

83:缺損部

91:橋接電路

92:放大電路

93:補償電路

100:流量感測器(流體感測器)

200:質量流量控制器(流體控制裝置)

B:焊料

C:流體控制裝置

H:發熱體

PS:電源

R1:第1端部

R2:第2端部

圖1是表示本發明的具備流體感測器的流體控制裝置的模式性立體圖。

圖2是本發明中的流體控制裝置的模式性剖面圖。

圖3是表示本發明中的流體感測器的構成的模式圖。

圖4是表示本發明中的流體感測器的引出部的模式圖。

圖5是表示本發明中的電阻值的調整方法的順序的模式圖。

圖6是表示本發明中的缺損部的封堵個數與電阻值的降低量之間的關係的實驗資料。

圖7是表示本發明的流體感測器的另一實施形態中的引出部的模式圖。

圖8是表示本發明的流體感測器的又一實施形態中的引出部的模式圖。

圖9是表示本發明的流體感測器的不同實施形態的模式圖。

本實施形態的流體感測器為熱式的流量感測器100。而且，流體控制裝置C為熱式的質量流量控制器(mass flow controller)200，該熱式的質量流量控制器200基於熱式的流量感測器100的輸出來進行流量控制，以使流體以目標流量流動。

更具體而言，本實施形態的質量流量控制器200例如針對半導體製造裝置的真空室，以達到目標流量的方式對成分氣體的流量進行控制。如圖1所示，所述質量流量控制器200呈大致薄型長方體狀的形狀，且連接於成分氣體所流經的管路(line)而被使用。如圖2所示，所述質量流量控制器200連接於成分氣體所流經的管路，且包括：塊體1，其形成有構成所述管路的一部分的主流路2；熱式的所述流量感測器100，其安裝於所述塊體1的上表面的組件安裝面；閥門4，其安裝於所述流量感測器100的下游側；以及控制裝置C。所述控制裝置C為包括中央處理單元(Central Processing Unit，CPU)、記憶體、A/D．D/A轉換器、各種輸入輸出單元的所謂的電腦，其執行所述記憶體中所儲存的質量流量控制器用程式而使各設備協作，藉此，發揮作為閥門控制部的功能。所述閥門控制部是以如下方式構成，即，以使目標流量與所述流量感測器100所測定的實測流量之間的偏差減小的方式，對所述閥門4的開度進行反饋控制。即，以在實測流量大於目標流量的情況下，使所述閥門4的開度小於當前開度，在實測流量小於目標流量的情況下，使所述閥門4的開度大於當前開度的方式，對向所述閥門4施加的施加電壓進行控制。

其次，對所述流量感測器100的詳情進行說明。

如圖2、圖3所示，該熱式流量感測器100具備：成分氣體所流經的主流路2；感測器流路6，其設定為分支流路的一部分，該分支流路從該主流路2分支，且於較該分支點更靠下游側的匯流點返回至主流路2；流量檢測機構，其對成分氣體的流量進行檢測；以及作為阻力體的層流元件3，其設置於主流路2中的所述分支點與所述匯流點之間。層流元件3使主流路2及感測器流路6的分流比達到規定的設計值，且包含具有恆流特性的旁通元件等阻力構件。該層流元件3能夠使用將多根細管插入至外管的內部而形成的元件、或積層多塊形成有多個貫通孔的薄圓板而形成的元件等。

如圖2、圖3所示，感測器流路6是由金屬製(例如不鏽鋼製)的細管形成，且以通過殼體5內的方式收容於該殼體5。

如圖3所示，流量檢測機構包括：感測器體7，其用以對分流至感測器流路6的流量進行檢測；轉換電路9，其取得來自該感測器體7的輸出信號，將該輸出信號至少轉換為在主流路2中流動的成分氣體的質量流量；以及引出部8，其介於所述感測器體7與所述轉換電路9之間，將所述感測器體7的輸出橋接至所述轉換電路9。

所述感測器體7包含將發熱電阻線纏繞於所述細管的外周面而成的上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72，該發熱電阻線的電阻值會隨著溫度的變化而增減。所述上游側線繞電阻器71及下游側線繞電阻器72兼作為加熱器與溫度感測器。

所述轉換電路9輸入有所述感測器體7的輸出，且將該輸出轉換為流體的一種物理量即流量而加以輸出。具體而言，所述轉換電路9是以如下方式構成，即，分別連接所述上游側線繞電阻器71及所述下游側線繞電阻器72而形成橋接電路91。而且，所述轉換電路9包括對所述橋接電路91的輸出進行放大的放大電路92、對該輸出進行修正的補償電路93等。就功能而言，該轉換電路9將成分氣體的瞬時流量作為來自上游側線繞電阻器71及下游側線繞電阻器72的電氣信號(電壓值)進行檢測，算出感測器流路6中的流量，並且基於主流路2與感測器流路6之間的分流比，算出主流路2中的成分氣體的流量，且根據該算出流量而輸出感測器輸出信號(流量測定信號)。具體的轉換電路9的電路構成會根據恆定溫度控制方式與恆定電流控制方式而有所不同，但由於該電路構成已知，故而省略詳細說明。

所述引出部8包含由金屬膜形成的部分、與未形成金屬膜的缺損部83，且焊接有所述上游側線繞電阻器71及所述下游側線繞電阻器72的兩端部。如圖3及圖4所示，引出部8共計有4條，於本實施形態中，包含分別針對上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72而各形成有一條規定的圖案81的引出部8。以下，對具有規定的圖案81的引出部8進行詳述。

具有規定的圖案81的各引出部8包括：第1端部R1，其連接所述感測器體7即上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72的端部；以及第2端部R2，其連接所述轉換電路9的橋接電路91的部分。而且，於所述第1端部R1與所述第2端部R2 之間形成有所述圖案81，所述圖案81包含利用金屬膜而形成為一列的導通部82、與多個缺損部83。此處，缺損部83是指如下部分，該部分於所述第1端部R1與所述第2端部R2之間，與所述導通部82鄰接且未形成金屬膜，不使電流流動。

於本實施形態中，所述引出部8整體上向一個方向延伸，以等間隔呈一列地並排形成多個缺損部83，藉此，僅將中央部分形成為蜿蜒圖案81(蛇形圖案81)。更具體而言，在從第1端部R1向第2端部R2前進而進行觀察的情況下，各缺損部83以等間隔形成為缺口狀，這些缺損部83的開口方向於圖式觀察時，左右交替地顯現。而且，如圖4所示，相對於蜿蜒圖案81的前進方向的導通部82的寬度尺寸、與缺損部83的寬度尺寸設定為大致相同的尺寸。

該蜿蜒圖案81用以進行調整，以使所述上游側線繞電阻器71與所述下游側線繞電阻器72之間的電阻值差處於預先設定的允許差內。更具體而言，以如下方式進行調整，即，藉由利用焊接來封堵各缺損部83，增大能夠導通的區域，藉此使從所述感測器體7至所述轉換電路9為止的電阻值降低，減小上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間的電阻值差。而且，由於各缺損部83為相同程度，故而能夠使電阻值的降低量與該缺損部83的封堵個數大致成比例。更具體而言，如圖5所示，在逐個增加利用焊接來封堵各引出部8的缺損部83的個數的情況下，如圖6的實驗資料所示，能夠使電阻值相對於缺損部83的封堵個數而大致直線性地減少。根據該實驗資料，亦已知調整作業者能夠根據以焊料B封堵缺損部83的個數，直觀地判斷使電阻值以何程度降低。此處，於圖5中，利用焊接來封堵缺損部83的順序並無特別限定，例如可從端部R2側依序封堵缺損部83，亦可從端部R1側依序進行封堵。

再者，在上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間存在電阻值差的情況下，進行調整作業之後，以封堵至少一部分的缺損部83且與導通部82接觸的方式設置的導電體即焊料存在於所述引出部8上。

其次，說明對所述流量感測器100的上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間的電阻值差進行調整的作業順序。

首先，使用電阻測定器來對上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72各自的電阻值進行測定。其次，算出上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間的電阻值差。進而，算出在封堵幾個缺損部83時，能夠使電阻值差最小。例如只要預先根據圖6的曲線圖所示的實驗資料，掌握藉由封堵一個缺損部83而產生的電阻值的降低量即可。最後，以達到算出的缺損部83的封堵個數的方式進行焊接。

依照如上所述的順序進行調整，藉此，能夠將從上游側線繞電阻器71至所述轉換電路9為止的電阻值、與從下游側線繞電阻器72至所述轉換電路9為止的電阻值設為大致相同的值，從而能夠使電阻值差極小。

其次，說明由本實施形態的流量感測器100的構成產生的效果。

本實施形態的熱式的流量感測器100於引出部8等間隔配置有相同大小的缺損部83，因此，能夠藉由利用焊接來封堵該缺損部83而調整電阻值。

而且，能夠使電阻值的降低量與缺損部83的封堵個數大致成比例。因此，例如能夠適當調整缺損部83的寬度或大小，以封堵缺損部83時降低的電阻值的量達到與所需的允許差的精度大致相同的程度，並且達到調整作業者的作業精度所能夠實現的焊接大小的方式進行調整。換言之，若為大小或形狀經過調節後的缺損部83，則與由調整者進行切除而使線繞電阻器變短所能夠減小電阻值的最小單位相比較，能夠減小藉由封堵一個所述缺損部83而產生的電阻降低量。如此，能夠大幅度地緩和使電阻值降低所需的調整作業的精密度，因此，與以往相比較，能夠抑制各個流量感測器100中的上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間的電阻值差的不均一。

進而，本申請案發明人等首次發現上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間的電阻值差越小，則能夠使產生的流量感測器的零點輸出的初始變動、與輸出穩定後的漂移量的絕對值越小。因此，本實施形態的流量感測器100能夠藉由對利用了圖案81的缺損部83進行封堵的焊接，減小上游側線繞電阻器71與下游側線繞電阻器72之間的電阻值差，抑制零點漂移的各個體的不均一，所述圖案81形成於所述引出部8。因此，能夠使製品整體所能夠保證的流量測定精度的範圍更小，從而能夠實現高精度的流量測定與流量控制。

對其他實施形態進行說明。

形成於引出部的規定圖案不限於所述實施形態中所說明的蜿蜒圖案。例如，如圖7所示，多個缺損部亦可呈一列地並排設置於引出部的中央部，形成梯子狀圖案。即便如此，亦能夠與所述實施形態同樣地，利用焊接等來封堵缺損部，由此，對從感測器體至轉換電路為止的電阻值進行微調整。

而且，缺損部的大小亦可並非為全部相同的大小。例如，如圖8所示，缺損部的大小亦可逐步變大。如此，能夠採用如下的使用方法，減少調整作業的步驟數，從而減少與作業相關的時間，所述使用方法是指在欲增大電阻值的降低量的情況下，封堵大缺損部，在欲進行細緻調整的情況下，封堵小缺損部。

於所述實施形態中，具有規定圖案的引出部僅為配置於中央部的引出部，但可僅於配置於外側的引出部形成規定圖案，亦可於全部的引出部形成規定圖案。而且，引出部的條數並非如所述實施形態般，僅限定於4條，亦可進而形成數量大於4條的引出部。

引出部不限於直線狀的引出部，亦可為途中彎曲的引出部。總之，只要於連接感測器體的第1端部、與連接轉換電路的第2端部之間形成規定圖案即可。

封堵缺損部的方法不限於焊接。例如亦可以與鄰接的導通部接觸的方式，將銀等導電膏、導電片材塗佈至缺損部上，並燒結等。總之，只要能夠以使電流不通過的缺損部亦流動有電流的方式，利用導電體進行封堵即可。而且，亦可將本發明應用於多層基板構造，該多層基板構造不僅一層導通，而且多層之間亦導通。

於所述實施形態中，雖例舉了熱式的流量感測器作為流體感測器的一例，但能夠於壓力式的流量感測器、測定流體壓力的壓力感測器、測定流體溫度的溫度感測器等中，應用本發明的具有規定圖案的引出部。而且，雖例舉了質量流量控制器作為流體控制裝置的一例，但流體控制裝置亦可為流體的壓力控制裝置、流體的溫度控制裝置等。

若為壓力式的流量感測器、壓力感測器，則設置於流路且對以因流體壓力而變形的方式構成的隔膜的應變進行測定的應變計(strain gauge)相當於感測器體，用以將應變計的輸出轉換為壓力的電路相當於轉換電路。亦能夠於介於所述應變計及電路之間且將應變計的輸出橋接至轉換電路的引出部形成規定圖案，對電阻值進行調整。對於溫度感測器而言，同樣亦只要於輸出對應於流體溫度的電壓的溫度感測器、與將溫度感測器的輸出電壓轉換為溫度的轉換電路之間，設置本發明的具有規定圖案的引出部即可。

如圖9所示，亦能夠於用以補償熱虹吸現象的發熱體 H、與對發熱體H供給電流的電源PS之間，設置如所述實施形態所示的引出部8，對電阻值進行調整。即，於該實施形態中，兩個發熱體H分別設置於感測器流路6中的相對於設置有感測器體7的部分垂直的部分。預先於該發熱體H與電源PS之間設置引出部8，利用焊料來填埋引出部8的缺損部83，藉此，能夠對微小的電阻值進行調整。如此，即使在直至實際使用之前，未決定流量感測器100或質量流量控制器200的設置方向的情況下，亦能夠當場實施調整，使得熱虹吸現象的影響不會表現於來自感測器體7的輸出。

此外，只要不違反本發明的宗旨，則亦可進行各種實施形態的組合或變形。

[產業上的可利用性]

若為本發明，則能夠提供如下的流體感測器，該流體感測器利用導電體來逐步封堵所述引出部中的所述缺損部，藉此，從所述感測器體至所述轉換電路為止的電阻值的誤差小，能夠容易地接近於設計值。

200:質量流量控制器(流體控制裝置)

Claims

一種流體感測器，其特徵在於包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部，所述流體感測器進而包括以封堵所述多個缺損部中的至少一個缺損部且與所述導通部接觸的方式設置的導電體。
如申請專利範圍第1項所述的流體感測器，其中呈一列地並排形成有所述多個缺損部。
如申請專利範圍第2項所述的流體感測器，其中所述多個缺損部為相同形狀，且等間隔地並排形成。
如申請專利範圍第1項所述的流體感測器，其中所述缺損部相對於所述導通部形成為缺口狀，所述圖案是以形成蜿蜒圖案的方式構成。
如申請專利範圍第1項所述的流體感測器，其中所述缺損部相對於所述導通部形成於中央部，所述圖案是以形成梯子狀圖案的方式構成。
如申請專利範圍第1項所述的流體感測器，其中所述感測器體為相對於流體所流經的流路沿著流動方向並排設置的一對線繞電阻器，且輸出所述一對線繞電阻器的電阻值或所施加的電壓值，所述轉換電路是以將所述感測器體的輸出轉換為流量的方式構成。
如申請專利範圍第6項所述的流體感測器，其中相對於所述一對線繞電阻器，分別各設置有至少一個所述引出部。
如申請專利範圍第1項所述的流體感測器，其中所述導電體為焊料。
一種流體感測器，其特徵在於包括：發熱體，其設置於流體所流經的流路；電源，其對所述發熱體供給電流；以及引出部，其介於所述發熱體與所述電源之間，對所述發熱體與所述電源之間進行橋接，所述引出部具備：第1端部，其連接所述發熱體；第2端部，其連接所述電源；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部，所述流體感測器進而包括以封堵所述多個缺損部中的至少一個缺損部且與所述導通部接觸的方式設置的導電體。
一種流體控制裝置，其包括：如申請專利範圍第1項或第9項所述的流體感測器；閥門，其設置於流路；以及閥門控制部，其基於所述流體感測器的輸出來控制所述閥門的開度。
一種調整方法，其是流體感測器的調整方法，所述流體感測器包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部，所述調整方法的特徵在於：包括以與所述導通部接觸的方式，利用焊料來封堵所述多個缺損部中的至少一個缺損部的步驟。
如申請專利範圍第11項所述的調整方法，其中所述感測器體為相對於流體所流經的流路沿著流動方向並排設置的一對線繞電阻器，且輸出所述一對線繞電阻器的電阻值或所施加的電壓值，所述轉換電路是以將所述感測器體的輸出轉換為流量的方式構成，相對於所述一對線繞電阻器，分別各設置有至少一個所述引出部，所述調整方法進而包括以使所述一對線繞電阻器的電阻值差減小的方式，決定封堵各引出部的所述多個缺損部的個數差的步驟。