JP4705140B2 - 質量流量計及びマスフローコントローラ - Google Patents
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Description
本実施形態に係る質量流量計100は、熱式質量流量計であり、流体である試料ガス(例えばSF6等の半導体処理用ガス)Gが流れるメイン流路2と、前記メイン流路2から分岐して試料ガスGを分流させるものであり、前記試料ガスGの流量Qrawを検出するためのセンサ流路3と、試料ガスGの流量Qrawを検出する流量検出機構4と、前記メイン流路2における前記センサ流路3の分岐点BPと合流点MPの間に設けられ、複数の内部流路51を有する層流素子5と、を具備する。
このように構成した本実施形態に係る質量流量計100によれば、一次側圧力Pinを変更して使用したときに、当該変更後の一次側圧力に起因する測定流量Qrawの誤差を可及的に小さくできるだけでなく、試料ガスGの定圧比熱CPを加味して測定流量Qrawを補正するので、質量流量計100の流量測定精度を向上させることができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
G ・・・試料ガス
2 ・・・メイン流路
3 ・・・センサ流路
4 ・・・流量検出機構
411・・・上流側センサ部
412・・・下流側センサ部
41a・・・第1感熱抵抗体
41b・・・第2感熱抵抗体
42 ・・・流量算出部
43 ・・・圧力測定部
44 ・・・流量補正部
Pin ・・・一次側圧力
α ・・・ガス係数
Qraw・・・測定流量
Pbase・・・基準圧力
Qoffset・・・補正後の流量
Claims (5)
- 試料ガスが流れるメイン流路から分岐して前記試料ガスを分流させるセンサ流路と、
前記センサ流路に設けられた感熱抵抗体を有するセンサ部からの出力信号を取得し、前記試料ガスの測定流量を算出する流量算出部と、
前記メイン流路における一次側圧力を測定する圧力測定部と、
前記圧力測定部により得られた一次側圧力、及び前記試料ガスにより決まり、予め定められた基準圧力毎に固有のガス係数を用いて、前記メイン流路内の一次側圧力が前記基準圧力である状態と、前記メイン流路内の一次側圧力が基準圧力とは異なる一次側圧力である状態と、の違いにより生じる流量誤差をスパン補正する流量補正部と、を具備し、
前記流量補正部が、前記流量算出部により得られた測定流量に応じて前記流量誤差を補正する質量流量計。 - 前記流量補正部が、基準圧力と前記一次側圧力との差分の絶対値が大きくなるほど、補正前の測定流量と補正後の測定流量との差分の絶対値が大きくなるように前記流量算出部により得られた測定流量を補正する請求項1記載の質量流量計。
- 前記流量補正部は、前記流量算出部により得られた測定流量を、前記圧力測定部により得られた一次側圧力そのものによって補正する請求項1又は2記載の質量流量計。
- 前記流量補正部が、前記一次側圧力をPinとし、予め設定された基準圧力をPbaseとし、前記ガス係数をαとし、前記測定流量をQrawとしたときに、下記の式により、補正後の流量Qoffsetを算出する請求項1、2又は3記載の質量流量計。
- 請求項1、2、3又は4記載の質量流量計と、
前記流路に設けられた流量制御弁と、
前記質量流量計により得られる補正された測定流量値、及び目標流量である設定流量値に基づいて前記流量制御弁の弁開度を制御する弁制御部と、を具備するマスフローコントローラ。
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