KR20210018471A - 압력 둔감형 열식 유량계 - Google Patents

Abstract

본 발명은 열식 유량계에 관한 것으로, 해당 열식 유량계는 유동을 측정할 매질용 유동관; 상기 유동관에 연결된 입구와 출구를 갖는 센서관으로서, 유동을 결정하기 위한 온도차를 측정하기 위한 열 유동 센서를 포함하는 상기 센서관; 유동 압력을 측정하기 위해 상기 유동관에 제공된 압력 센서; 유동 온도를 측정하기 위해 상기 유동관에 제공된 온도 센서; 상기 압력 센서에 의해 측정된 압력, 상기 온도 센서에 의해 측정된 온도 및 고유 매체 데이터에 기초하여 실제 매체 속성을 결정하기 위한 처리 유닛; 및 상기 실제 매체 속성 및 교정 데이터를 사용하여 상기 열 유동 센서의 측정값을 보상하여 유동을 결정하기 위한 처리 유닛을 포함한다.

Description

압력 둔감형 열식 유량계

본 발명은, 열식 유량계(thermal type flow meter)로서, 유동을 결정할 매체용 유동관(flow tube); 및 제1 위치에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 입구 및 제2 하류 위치에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 출구를 갖는 센서관(sensor tube)을 포함하고, 상기 센서관은 유동을 결정하기 위해 상기 센서관 내의 온도 차이를 측정하기 위한 열 유동 센서(thermal flow sensor)를 포함하는, 상기 열식 유량계에 관한 것이다.

이러한 열식 유량계는 예를 들어 EP 1.867.962에 알려져 있다. 일반적으로, 열 유동 센서는 나아가 JP-S56 73317 A 및 WO 2012/057886에 알려져 있다. 모세관이 있는 센서관이 있는 유동 센서를 포함하는 열 유량계는 관 벽으로부터 관에서 유동하는 유체(가스 또는 액체)로의 열 전달이 질량 유량, 유체 온도와 벽 온도 사이의 차이, 및 유체의 비열용량의 함수라는 사실을 이용한다. 질량 유동 제어기에서는 매우 다양한 유동 센서 구성을 사용할 수 있다.

본 발명은 특히 열식 유량계로서,

- 유동관에 또는 유동관 근처에 제공된 압력 센서로서, 상기 압력 센서는 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 압력을 측정하기 위해, 예를 들어, 상기 유동관의 입구에 또는 일반적으로 센서관 입구의 상류 위치에 유체 이동 가능하게 연결된, 상기 압력 센서, 및

- 상기 유동관을 통과하는 매체 유동의 온도를 측정하기 위해 상기 유동관에 제공된 온도 센서를 더 포함하는, 상기 열식 유량계에 관한 것이다.

일반적으로 표준 열 질량 유량계(mass flow meter: MFM) 또는 질량 유동 제어기(mass flow controller: MFC)는 압력 및/또는 온도의 변화나 변동에 민감한 것으로 알려져 있다. 이들 기기는 지정된 동작 조건(압력 및 온도)에 따라 교정된다. 동작 조건이 변하면 변환 계수를 수정해야 한다. 이 새로운 변환 계수는 일반적으로 오프라인으로 계산되어 MFM 또는 MFC에 로드(load)된다.

현재 이용 가능한, 압력 둔감형(pressure-insensitive) MFM/MFC는 압력과 온도를 측정하고, 매체 속성의 룩업 테이블(look-up table) 또는 다항식 맞춤(polynomial fit)을 사용하여 보정 계수를 결정한다.

예를 들어, US 2017/0115150 A1은 유체의 온도 및 압력을 검출하도록 구성된 센서, 및 상기 온도 및 상기 압력에 기초하여 질량 유량을 보정하도록 구성된 보정 수단을 포함하는 모세관 가열형 열식 질량 유량계를 개시하고, 온도 및 압력에 대한 유체의 질량 유량의 변화율이 이전에 획득되었으며, 이러한 변화율뿐만 아니라 질량 유량은 상기 온도 및 상기 압력에 기초하여 보정된다.

위의 측정 방법 및 시스템에서 발생하는 문제는, 측정 신호의 부정확성이 여전히 상대적으로 널리 퍼져 있으며, 열 유동 센서로부터 얻어진 신호를 보정하는 위의 방법은 상대적으로 번거롭다는 것이다. 위에서 언급했듯이, US 2017/0115150 A1은 이전에 획득한 변화율 데이터를 이용하여 질량 유량을 보정한다. 보다 구체적으로, US 2017/0115150 A1의 단락 [0068]에 개시된 바와 같이, 기준 유체와 다른 종류의 유체의 질량 유량이 측정된다. 열식 질량 유량계를 사용하여 기준 유체의 열 물리적 속성(예를 들어, 열 용량 등)과 다른 열 물리적 속성을 갖는 유체의 질량 유량을 계산하기 위해, 실제 측정된 질량 유량은 유체의 열 물리적 속성에 따라 보정된다. 여기서, 질량 유량은 다른 종류의 유체에 대해 이전에 획득된 고유 보정 계수인 변환 계수(conversion factor: CF)를 사용하여 보정된다.

따라서, 본 발명의 목적은 전술한 바와 같은 열식 유량계를 제공하고, 측정 신호의 부정확성을 더욱 최소화하고 열 유동 센서로부터 획득된 신호를 보정하는 것이 덜 번거로운 측정/보정 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 유량계는,

- 압력 센서에 의해 측정된 압력, 온도 센서에 의해 측정된 온도, 및 고유 매체 데이터에 기초하여 실제 매체 속성을 결정하기 위한 처리 유닛으로서, 상기 고유 매체 데이터는 매체 또는 매체 혼합의 유형 및 기기 설정으로부터 결정되는, 상기 처리 유닛; 및

- 상기 실제 매질 속성 및 교정 데이터를 사용하여 열 유동 센서를 통해 실제 유동을 연속적으로 계산하여 유동을 결정하기 위한 처리 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 바람직한 실시예에서, 압력은 압력 센서에 의해 연속적으로 측정되고, 온도는 온도 센서에 의해 연속적으로 측정된다.

따라서, 압력, 온도 및 유동 신호는 실시간 및/또는 연속적으로 측정될 수 있으며, 그런 다음 처리 유닛으로 전송되고, 이 처리 유닛은 알려진 알고리즘을 사용하여 예를 들어 실제 밀도, 점도, 열 용량 및 열 전도율을 계산하고 이들로부터 실제 (즉, 보정/보상된) 가스 유동을 계산한다.

열 유동 센서에 의해 측정된 온도 차이(ΔT)와 실제 매질 속성을 사용하여, 압력 및 온도와의 독립성을 개선하여 실제 질량 유동을 (실시간으로 및/또는 연속적으로) 계산한다.

위의 유량계는 유량계가 더 이상 룩업 테이블에 포함되고 다항식 맞춤을 사용하여 계산된 보정 계수에 의존할 필요가 없으며 나아가 유량계의 사용자가 더 이상 변환 계수를 유량계에 다시 로드할 필요가 없어 유량계를 훨씬 더 쉽게 사용할 수 있기 때문에 훨씬 더 정확한 유동 결정 결과를 제공한다. 위의 유량계는 압력 변화(예를 들어, 기계식 시계 또는 가스통과 같은 알려진 시스템에서 발생하는 것) 및 이에 따라 측정 오류가 발생하는 것을 효과적으로 방지하여 위의 열식 유량계가 효과적으로 압력에 둔감하게 한다. 또한 위의 열식 유량계는 가스 또는 유체가 증기압 라인을 향해 이동할 때 시스템을 제한할 수 있다. 또한 위의 열식 유량계는 실제 압력을 사용하여 밸브 용량을 계산할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 유량계는 US 2017/0115150 A1에 개시된 유량계와 달리 질량 유량을 계산하기 위해 이전에 결정된 보정 계수를 사용할 필요가 없다. 본 발명에 따른 유량계는 고유 매체 데이터를 연속적으로 측정하여서 이전에 저장된 데이터를 사용할 필요가 없다. 또한, 본 발명에 따른 유량계는 바람직하게는 실시간으로 고유 매체 데이터를 측정한다.

유리한 실시예는 종속 청구항의 주제를 형성한다. 이들 실시예 중 일부는 이하에서 더 상세히 설명될 것이다.

유량계의 일 실시예에서, 실제 매질 속성은 실제 밀도, 점도, 열 용량, 열 전도율 및/또는 증기압을 포함하고, 이들로부터 실제 매질 속성이 계산된다. 매체는 물론 유체, 기체 또는 액체를 포함할 수 있다.

유량계의 일 실시예에서, 압력 센서 및 온도 센서는 유동관에서 제1 위치의 하류 및 제2 위치의 상류에 제공된다.

고유 매체 데이터는 분자 질량, 임계 속성, 쌍극자 운동량 및/또는 비등점을 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 양태는 열식 유량계를 사용하여 매체의 유동을 결정하기 위한 방법으로서,

- 열식 유량계의 유동관을 통해 매질을 유동시키는 단계;

- 제1 위치에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 입구 및 제2 하류 위치에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 출구를 갖는 센서관을 통해 매체를 유동시키는 단계;

- 바람직하게는 연속적으로 유동을 결정하기 위해, 상기 센서관에 포함된 열 유동 센서를 사용하여 상기 센서관의 온도 차이를 측정하는 단계;

- 상기 유동관에 또는 유동관 근처에 제공된 압력 센서를 사용하여 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 압력을 바람직하게는 연속적으로 측정하는 단계;

- 상기 유동관에 제공된 온도 센서를 이용하여 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 온도를 바람직하게는 연속적으로 측정하는 단계;

- 상기 압력 센서에 의해 측정된 압력, 상기 온도 센서에 의해 측정된 온도, 및 고유 매체 데이터에 기초하여 실제 매체 속성을 결정하는 단계로서, 상기 고유 매체 데이터는 매체 유형, 기기 설정 및/또는 매체 혼합으로부터 결정되는, 상기 실제 매체 속성을 결정하는 단계; 및

- 상기 실제 매질 속성 및 교정 데이터를 사용하여 상기 열 유동 센서를 통해 실제 유동을 연속적으로 계산하여 유동을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 매체의 유동을 결정하기 위한 방법에 관한 것이다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유량계는 고유 매체 데이터를 연속적으로 및/또는 실시간으로 측정하여서 이전에 저장된 데이터를 사용할 필요가 없다.

방법의 일 실시예에서, 상기 실제 매질 속성은 실제 밀도, 점도, 열 용량, 열 전도율 및/또는 증기압을 포함한다.

바람직하게는, 앞서 언급한 바와 같이 상기 고유 매질 데이터는 분자 질량, 임계 속성, 쌍극자 운동량 및/또는 비등점을 포함한다.

이제 본 발명은 첨부된 도면에 도시된 몇 가지 바람직한 실시예를 참조하여 더 상세히 설명될 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 열식 유량계의 예시적인 실시예의 개략도; 및
도 2는 본 발명에 따른 방법의 예시적인 실시예를 도시하는 도면.

도 1은 유동(4)을 결정할 매체(3)용 유동관(2)을 포함하는 열식 유량계(1)를 도시한다. 제1 위치(7)에서 유동관(2)에 유체 이동 가능하게 연결된 입구(6) 및 제2 하류 위치(9)에서 유동관(2)에 유체 이동 가능하게 연결된 출구(8)를 갖는 센서관(5)이 도시되어 있다. 센서관(5)은 유동(4)을 결정하기 위해 센서관(5)의 온도 차이를 측정하기 위해 열 유동 센서(10)를 포함한다. 유동관(2)을 통과하는 매체(3)의 유동(4)의 압력을 측정하기 위해 유동관(2)에 또는 유동관 근처에 압력 센서(11)가 제공된다. 압력 센서(11)는 유동관(2) 근처에 제공될 수 있으며, 압력 센서(11)는 압력 감지 채널(미도시)을 통해 유동관(2)에 유체 이동 가능하게 연결된다. 바람직하게는, 압력 센서(11)는 유동관(2)의 입구와 같은 센서관 입구(6)의 상류 위치에서 압력을 측정하도록 배열된다. 추가적으로, 유동관(2)을 통과하는 매체(3)의 유동(4)의 온도를 측정하기 위해 유동관(2)에 온도 센서(12)가 제공된다. 압력 센서(11)는 물론 센서관 출구(8)의 하류 위치와 같은 다른 유동관(2) 위치에서 압력을 측정하도록 배열될 수도 있다. 다수의 압력 센서(11), 예를 들어, 하나의, 2개의 또는 이를 초과하는 개수의 압력 센서가 압력 측정을 위해 사용되는 것도 생각할 수 있다. 처리 유닛(13)은 (도 2에 도시된 바와 같이) 압력 센서(11)에 의해 측정된 압력, 온도 센서(12)에 의해 측정된 온도, 및 고유 매체 데이터(15)에 기초하여 실제 매체(3) 속성(14)을 결정하기 위해 표시된다. 처리 유닛(16)은 또한 실제 매질(3) 속성 및 교정 데이터(17)(도 2에 도시)를 사용하여 열 유동 센서(10)를 통해 실제 유동을 연속적으로 계산하여 유동(4)을 결정하는 것으로 도시되어 있다. 물론, 처리 유닛(13, 16)은 단일 처리 유닛 또는 CPU에 의해 구현될 수 있다. 바람직하게는, 센서관(5) 및/또는 처리 유닛(13, 16)은 열식 유량계(1)에 포함된 (바람직하게는 단일) 인쇄 회로 기판(PCB) 상에 배열된다. 압력 센서(11) 및 온도 센서(12)는 바람직하게는 유동관(2)에 배열되거나 유동관에 부착된다(바람직하게는 PCB 상에 있지 않음).

고유 매체 데이터(15)는 출원인의 FLUIDAT

소프트웨어 패키지의 일부로 이용 가능한 정규화된 유체 데이터베이스와 같은 데이터베이스로부터 검색될 수 있다. 이 데이터베이스는 공기, 아르곤 및 헬륨과 같은 가장 잘 알려진 무기 유체로 보완된 주로 탄화수소를 포함하는 800개의 유체를 포함한다. 본질적으로 3단계 프로세스가 여기서 사용되는 데, 즉 유체(즉, 가스, 액체 또는 플라즈마)의 신원 또는 유형이 입력으로 제공되고 (압력 센서(11)에 의해 획득된) 압력 및 (온도 센서(12)에 의해 획득된) 온도에 관한 센서 데이터와 결합된다. 그런 다음 이 정보는 출원인의 FLUIDAT

데이터베이스와 같은 정규화된 데이터베이스에 대한 입력으로 제공되며, 다른 것 중에서도 특히 열 전도율, 열 용량, 밀도 및 점도에 대해 보다 정확한 수치가 계산된다. 열 전도율, 열 용량, 밀도 및 점도에 대해 이전에 계산된 수치와 열 유동 센서(10)의 필터링되지 않은 신호는 질량 유량으로 변환된다.

유량계(1)의 구성의 특정 유형은 예를 들어 센서관(5)과 열 전도성으로 접촉하는 2개 이상의 저항 요소(미도시)를 갖는 스테인리스강 센서관(5)을 사용하는 것을 포함한다. 저항 요소는 전형적으로 높은 저항 온도 계수를 갖는 재료로 만들어진다. 각 요소는 가열기, 온도 검출기 또는 이 둘 다로서 기능할 수 있다. 적어도 하나의 저항 요소(가열기)가 센서관(5)에 열을 공급하기 위해 전기 전류로 통전된다. 일정한 전력을 가진 두 개의 가열기가 통전되면 센서관(5)을 통과하는 유체의 질량 유량은 저항 요소들 사이의 온도 차이로부터 도출될 수 있다. 그런 다음 이 온도 차이는 유동을 결정하기 위해 열 유동 센서(10)에 의해 감지된다.

다른 방법에서, 제1 위치에 있는 제1 저항 요소는 가열기 및 온도 검출기로서 기능하고, 제1 위치의 상류인 제2 위치에 배치된 제2 저항 요소는 온도 검출기로서 기능한다.

실제 매질(3) 속성은 실제 밀도, 점도, 열 용량, 열 전도율 및/또는 증기압을 포함할 수 있다. 고유 매체 데이터(15)는 매체/유체의 유형, 기기 설정 및/또는 매체/유체 혼합(18)으로부터 결정된다.

유리한 구성에서, 압력 센서(11) 및 온도 센서(12)는 유동관(2)에서 제1 위치(7)의 하류 및 제2 위치(9)의 상류에 제공된다.

도시된 고유 매체 데이터(15)는 분자 질량, 임계 속성, 쌍극자 운동량, 비등점 등을 포함한다.

도 2는 전술한 바와 같은 열식 유량계(1)를 사용하여 매체(3)의 유동(4)을 결정하기 위한 방법(20)을 개략적으로 도시한다. 매체(3)는 열식 유량계(1)의 유동관(2)을 통해 유동된다. 매체(3)는 또한 제1 위치(7)에서 유동관(2)에 유체 이동 가능하게 연결된 입구(6) 및 제2 하류 위치(9)에서 유동관(2)에 유체 이동 가능하게 연결된 출구(8)를 갖는 센서관(5)을 통해 유동된다. 유동(4)을 결정하기 위해 센서관(5)에 포함된 열 유동 센서(10)를 사용하여 센서관(5)에서 온도 차이가 측정된다. 유동관(2)을 통과하는 매체(3)의 유동(4)의 압력은 유동관(2)에 또는 유동관 근처에 제공된 압력 센서(11)를 사용하여 측정된다. 또한, 유동관(2)에 제공된 온도 센서(12)를 이용하여 유동관(2)을 통과하는 매체(3)의 유동(4)의 온도를 측정한다. 실제 매질 속성(14)은 압력 센서(11)에 의해 측정된 압력, 온도 센서(12)에 의해 측정된 온도, 및 고유 매질 데이터(15)에 기초하여 결정된다. 유동(4)은 실제 매체(3) 속성(14) 및 교정 데이터(17)를 사용하여 열 유동 센서(10)를 통과하는 실제 유동을 연속적으로 계산함으로써 결정된다.

전술한 바와 같이, 실제 매체(3) 속성(14)은 실제 밀도, 점도, 열 용량, 열 전도율 및/또는 증기압을 포함할 수 있다. 고유 매체 데이터(15)는 매체/유체의 유형, 기기 설정 및/또는 매체/유체 혼합(18)으로부터 결정된다. 고유 매체 데이터(15)는 분자 질량, 임계 속성, 쌍극자 운동량 및/또는 비등점을 포함할 수 있다.

실제로 출원인은 FLUIDAT

소프트웨어를 사용하여 위의 열 유량계 및 이와 관련된 방법을 사용하여 측정 정확도가 증가한다는 것을 인식하였다. 그러나, 정확도는 실제 온도 및 압력과 함께 사용되는 방법 및 계산할 유체의 유형과 관련이 있다. FLUIDAT

의 방법의 대부분은 특정 종류의 유체와 특정 범위의 압력 및/또는 온도에 최적화되어 있다. 따라서, FLUIDAT

계산 결과의 정확도에 대한 하나의 일반적인 값을 제공하기가 어렵다.

일부 물리적 속성의 정확도를 분류하면,

열 용량은 전형적으로 2% 미만이고, 종종 더 양호하게는 0.5% 이상이고;

밀도는 전형적으로 1% 미만이고, 종종 더 양호하게는 0.1% 이상이고;

열 전도율은 전형적으로 5% 미만이고, 종종 더 양호하게는 2% 이상이고;

점도는 전형적으로 5% 미만이고, 종종 더 양호하게는 2% 이상이고;

증기압은 전형적으로 2% 미만이고, 일부 영역에서는 오류가 더 크다.

이 기술 분야에 통상의 지식을 가진 자라면 앞서 본 발명이 몇 가지 바람직한 실시예를 참조하여 설명되었다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러나, 본 발명은 이들 실시예로 제한되지 않는다. 본 발명의 범위 내에서 많은 수정이 가능하다. 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해 결정된다.

1: 열식 유량계
2: 유동관
3: 매체
4: 유동
5: 센서관
6: 센서관 입구
7: 제1 위치
8: 센서관 출구
9: 제2 위치
10: 열 유동 센서
11: 유동관에 제공된 압력 센서
12: 유동관에 제공된 온도 센서
13: 실제 매체 속성을 결정하기 위한 처리 유닛
14: 실제 매체 속성
15: 고유 매체 데이터
16: 유동을 결정하기 위한 처리 유닛
17: 교정 데이터
18: 유체 유형, 기기 설정 및/또는 유체 혼합에 관한 데이터
19: 결정된 유동
20: 유동을 결정하기 위한 방법

Claims (8)

1. 열식 유량계(1)로서,
   - 유동(4)을 결정할 매체(3)용 유동관(2);
   - 제1 위치(7)에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 입구(6) 및 제2 하류 위치(9)에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 출구(8)를 갖는 센서관(5)으로서, 상기 센서관은 유동을 결정하기 위해 상기 센서관의 온도 차이를 측정하기 위한 열 유동 센서(10)를 포함하는, 상기 센서관(5);
   - 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 압력을 측정하기 위해 상기 유동관에 또는 상기 유동관 근처에 제공된 압력 센서(11);
   - 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 온도를 측정하기 위해 상기 유동관에 제공된 온도 센서(12);
   - 상기 압력 센서에 의해 측정된 압력, 상기 온도 센서에 의해 측정된 온도, 및 고유 매체 데이터(15)에 기초하여 실제 매체 속성(14)을 결정하기 위한 처리 유닛(13)으로서, 상기 고유 매체 데이터는 매체 유형, 기기 설정 및/또는 매체 혼합(18)으로부터 결정되는, 상기 처리 유닛(13); 및
   - 상기 실제 매질 속성 및 교정 데이터(17)를 사용하여 상기 열 유동 센서를 통과하는 실제 유동을 연속적으로 계산함으로써 유동을 결정하는 처리 유닛(16)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계.
2. 제1항에 있어서, 상기 실제 매질 속성은 실제 밀도, 점도, 열 용량, 열 전도율 및/또는 증기압을 포함하는, 유량계.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 압력 센서 및 상기 온도 센서는 상기 유동관에서 상기 제1 위치의 하류 및 상기 제2 위치의 상류에 제공되는, 유량계.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고유 매질 데이터는 분자 질량, 임계 속성, 쌍극자 운동량 및/또는 비등점을 포함하는, 유량계.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압력 센서 및 상기 온도 센서는 연속적으로 측정하는, 유량계.
6. 열식 유량계(1)를 사용하여 매체(3)의 유동(4)을 결정하기 위한 방법(20)으로서,
   - 상기 열식 유량계의 유동관(2)을 통과하여 매체를 유동시키는 단계;
   - 제1 위치(7)에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 입구(6) 및 제2 하류 위치(9)에서 상기 유동관에 유체 이동 가능하게 연결된 출구(8)를 갖는 센서관(5)을 통과하여 매체를 유동시키는 단계;
   - 유동을 결정하기 위해 상기 센서관에 포함된 열 유동 센서(10)를 이용하여 상기 센서관의 온도 차이를 측정하는 단계;
   - 상기 유동관에 또는 상기 유동관 근처에 제공된 압력 센서(11)를 이용하여 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 압력을 측정하는 단계;
   - 상기 유동관에 제공된 온도 센서(12)를 이용하여 상기 유동관을 통과하는 매체의 유동 온도를 측정하는 단계;
   - 상기 압력 센서에 의해 측정된 압력, 상기 온도 센서에 의해 측정된 온도, 및 고유 매체 데이터(15)에 기초하여 실제 매체 속성(14)을 결정하는 단계로서, 상기 고유 매체 데이터는 매체 유형, 기기 설정 및/또는 매체 혼합(18)으로부터 결정되는, 상기 실제 매체 속성을 결정하는 단계; 및
   - 상기 실제 매질 속성 및 교정 데이터(17)를 사용하여 상기 열 유동 센서를 통해 실제 유동을 연속적으로 계산하여 유동을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 매체의 유동을 결정하기 위한 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 실제 매질 속성은 실제 밀도, 점도, 열 용량, 열 전도율 및/또는 증기압을 포함하는, 매체의 유동을 결정하기 위한 방법.
8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 고유 매질 데이터는 분자 질량, 임계 속성, 쌍극자 운동량 및/또는 비등점을 포함하는, 매체의 유동을 결정하기 위한 방법.

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