JPS6050289B2 - 熱式流量計 - Google Patents

熱式流量計

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JPS6050289B2
JPS6050289B2 JP54151185A JP15118579A JPS6050289B2 JP S6050289 B2 JPS6050289 B2 JP S6050289B2 JP 54151185 A JP54151185 A JP 54151185A JP 15118579 A JP15118579 A JP 15118579A JP S6050289 B2 JPS6050289 B2 JP S6050289B2
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JP
Japan
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pipe
coils
closed space
coil
fluid
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JP54151185A
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English (en)
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JPS5673317A (en
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元 加野
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Individual
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Publication of JPS6050289B2 publication Critical patent/JPS6050289B2/ja
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱式流量計の改良に関するものである。
従来この種流量計は第1図(一部実体中央縦断面図)に
例示する如く、被測定流体を流通せしめるパイプ1の外
周面に、該パイプと熱的に結合せしめて感熱抵抗線によ
るコイル2及び3を巻回し、更にその外側を熱絶縁体8
にて被覆している。
而して前記コイル2及び3は、他の抵抗4及び5とによ
つてホイートストンブリツジを形成するように結線し、
端子7a及び7bから適当な電流を与え、前記コイル2
及び3を例えば70℃程度に加熱せしめ、更にパイプ1
を流れる流体が停止している状態にて前記ブリッジが平
衡状態となるよう各辺の抵抗値が設定されている。従来
例は以上の如く構成されており、パイプ1を流れる被測
定流体が停止している状態では端子6には出力は現われ
ないが、流体が例えはA方向からB方向へ流れたとする
と、その流量に応じてコイル2の温度がコイル3のそれ
に比して低下することになる。
すなわちコイル2の抵抗値が低下し、従つてブリッジの
平衡が破れ、端子6には流量に応じた出力が現われる。
従来例は前記出力に基づいてパイプ1内の流量を求めよ
うとするものである。
然しながら斯かる構成の流量計に於いては、パイプ1は
露出部分イで外界温度の影響を受け易く、2つのコイル
2・3のそれぞれに不均等な温”度変化を与え、ブリッ
ジの作動を不安定ならして測定結果に誤差を与えること
になる。
本発明は新規な構成によつて従来形の欠点を除去し、測
定精度の高い熱式流量計を提供しようとするものである
以下本発明の実施例を第2図に示した中央縦断面図(一
部実体図)に従つて説明すると、1は被測定流体を流通
せしめるパイプであつて、該パイプに対し熱的に結合(
電気的には絶縁状態)せしめて感熱抵抗線によるコイル
2及び3が巻回され、これら2つのコイルとの間に適当
な第1の閉空間11を設けて熱良導体例えばアルミニウ
ム或いは銅等によつて作成した例えば有底円筒状の包囲
体9をバイブ1に装着する。
尚該包囲体9はバイブ1の例えば流入路口部と流出側ハ
部の温度差をなくすため、前記口部及びハ部に於いてバ
イブ1に熱結合されている。更に前記包囲体9に対し適
当な第2の閉空間12を設けて、例えば有底円筒状の外
囲体10をバイブ1に装着せしめる。
而して第1の閉空間11は、その内部で熱による対流が
生じないよう例えば真空にするとか、或いは耐熱性を有
する遮断材例えばグラスウール・石綿等を適宜量充填す
る等して空間11内での温度の安定化を計る。
更に第2の閉空間12は、外界からの温度変化が内部の
主要部である包囲体9或いはバイブ1の口・ハ部近傍に
影響を与えないよう、更に空間12内部で対流が生じな
いよう例えば真空にするとか、或いは適当な遮断材例え
ばグラスウール・発泡スチロール等を適宜量充填しその
内部の温度の安定化を計る。
斯かる実施例は感熱抵抗線によるコイル2及び3と他の
抵抗4及び5とによつてホイートストンブリツジを構成
し、端子7a及び7bに電流を与,え、従来と同様に作
動させ、端子6に現われる出力に基づいて被測定流体の
流速を求めるものである。
本実施例は感熱抵抗線によるコイル2及び3と他の抵抗
4及び5とによつてホイートストンブリ,ツジを構成し
、端子7a及び7bに電流を供給する。
このときバイブ1に流体を流通させない状態で端子6に
出力が現れないように抵抗4,5の抵抗値を調整してお
く。そしてバイブ1に流入ロロより流体を通過させれば
コイル2側で熱が流体に吸収され、コイル3側では流体
からコイル3に熱が放出されることとなる。従つてコイ
ル2の温度がコイル3より低下し、コイル2の抵抗値も
低下してブリッジの平衡が崩れる。従つて端子6に被測
定流体の流量に対応した出力を得ることができる。本発
明は以上に詳述した如く、感熱抵抗線コイル2及び3の
周辺に包囲体9を設け、且つ対流防止手段を構じた閉空
間11及び12を設ける事によつて、前記コイル2・3
周辺の熱的安定を計つたものであるから、外界温度に変
化が生じたとしてもそれがコイル2・3に及ぶことなく
、又流量計の装着時に多少の傾斜があつたとしても流量
計内部での熱の対流が防止出来、コイル2及び3は常に
安定な温度環境のもとで作動し、バイブ1内の流量の変
化にのみ応答し、正確な測定結果を得ることが出来るも
のである。
尚、本発明の実施に際し、第1の空間11及び第2の空
間12内の対流防止手段は、それぞれに最も効果的な手
段を適宜選択して採用すれはよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来例を示し、第2図は本発明の実施例を示す
。 両図に於いて、1はバイブ、2及び3は感熱抵抗線によ
るコイル、4及び5は抵抗、8は熱絶縁体、9は包囲体
、10は外囲体、11は第1の閉空間、12は第2の閉
空間をそれぞれ示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被測定流体を流通せしめるパイプ1の外周面に感熱
    抵抗線によつてコイル2及び3を巻回し、該コイル2・
    3及び抵抗4・5を夫々ブリッジの一片とするブリッジ
    回路を構成し、前記コイル2、3の外側に前記コイル2
    、3を含む第1の閉空間11を形成し熱良導体である包
    囲体9を前記パイプ1に熱結合せしめて装着し、更に該
    包囲体に対し第2の閉空間12を設けて外囲体10を前
    記パイプ1に装着し、前記第1及び第2の閉空間11及
    び12に対流防止手段を設け前記ブリッジ回路の平衡状
    態からの偏移に基づいて前記パイプ1を流通する流量を
    測定することを特徴とする熱式流量計。 2 前記第1の閉空間11は真空としたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の熱式流量計。 3 前記第2の閉空間12は真空としたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の熱式流量計。
JP54151185A 1979-11-20 1979-11-20 熱式流量計 Expired JPS6050289B2 (ja)

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JP54151185A JPS6050289B2 (ja) 1979-11-20 1979-11-20 熱式流量計

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JP54151185A JPS6050289B2 (ja) 1979-11-20 1979-11-20 熱式流量計

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Publication Number Publication Date
JPS5673317A JPS5673317A (en) 1981-06-18
JPS6050289B2 true JPS6050289B2 (ja) 1985-11-07

Family

ID=15513132

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4464932A (en) * 1982-07-12 1984-08-14 Mks Instruments, Inc. Thermal mass flowmetering
JPS5988622A (ja) * 1982-11-12 1984-05-22 Ohkura Electric Co Ltd 熱式質量流量計
JPS59105520A (ja) * 1982-12-08 1984-06-18 Tokyo Keiso Kk 熱式質量流量計
US5191793A (en) * 1984-03-12 1993-03-09 Tylan Corporation Fluid mass flow meter device with reduced attitude sensitivity
NL2011975C2 (nl) * 2013-12-17 2015-06-18 Berkin Bv Stromingsmeetapparaat van het thermische type.
NL2021082B1 (en) 2018-06-08 2019-12-11 Berkin Bv Pressure-insensitive thermal type flow meter

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JPS5673317A (en) 1981-06-18

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