JP3266707B2 - 質量流量センサ - Google Patents
質量流量センサInfo
- Publication number
- JP3266707B2 JP3266707B2 JP19404093A JP19404093A JP3266707B2 JP 3266707 B2 JP3266707 B2 JP 3266707B2 JP 19404093 A JP19404093 A JP 19404093A JP 19404093 A JP19404093 A JP 19404093A JP 3266707 B2 JP3266707 B2 JP 3266707B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- resistor
- thermal resistor
- flow sensor
- thermal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体の質量流量を計測
するマスフローメータまたは流体の質量流量を計測し流
体流量を制御するマスフローコントローラに用いられる
質量流量センサに関する。
するマスフローメータまたは流体の質量流量を計測し流
体流量を制御するマスフローコントローラに用いられる
質量流量センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来より一般的に用いられてい
るマスフローメータを示すもので、この図において、１
は本体ブロックで、その一端側には流体入口２が形成さ
れ、他端側には流体出口３が形成されると共に、内部に
流体入口２と流体出口３とを結ぶようにして流体流路４
が形成してあり、この流体流路４には定流量特性を有す
るバイパス素子５が設けてあって、バイパス部６に構成
されている。
るマスフローメータを示すもので、この図において、１
は本体ブロックで、その一端側には流体入口２が形成さ
れ、他端側には流体出口３が形成されると共に、内部に
流体入口２と流体出口３とを結ぶようにして流体流路４
が形成してあり、この流体流路４には定流量特性を有す
るバイパス素子５が設けてあって、バイパス部６に構成
されている。
【０００３】７は本体ブロック１の上部に設けられるセ
ンサ固定ベースである。このセンサ固定ベース７には、
本体ブロック１内の流路４と連通路８を介して連通する
孔９を備えたスリーブ１０が着脱自在に設けてある。１
１はシール部材である。１２は質量流量センサで、スリ
ーブ１０に対して抵抗溶接などの手法により接続され、
センサ固定ベース７および本体ブロック１に垂直かつ逆
Ｕ字状に立設された測定流路としての細管１３と、この
細管１３の中央の水平部分１３ａの外周に巻設された２
つの感熱抵抗体１４，１５とからなる。なお、感熱抵抗
体１４，１５は、感熱特性などが互いに等しいものが選
ばれる。
ンサ固定ベースである。このセンサ固定ベース７には、
本体ブロック１内の流路４と連通路８を介して連通する
孔９を備えたスリーブ１０が着脱自在に設けてある。１
１はシール部材である。１２は質量流量センサで、スリ
ーブ１０に対して抵抗溶接などの手法により接続され、
センサ固定ベース７および本体ブロック１に垂直かつ逆
Ｕ字状に立設された測定流路としての細管１３と、この
細管１３の中央の水平部分１３ａの外周に巻設された２
つの感熱抵抗体１４，１５とからなる。なお、感熱抵抗
体１４，１５は、感熱特性などが互いに等しいものが選
ばれる。
【０００４】１６はセンサ固定ベース７の上面に抵抗溶
接などによって設けられるハーメチック端子で、感熱抵
抗体１４，１５は、ハーメチック端子１６のリードピン
を介して図外のブリッジ回路に接続される。１７はセン
サ部１２やハーメチック端子１６などを収納しこれらを
カバーするためのセンサケースである。なお、本体ブロ
ック１、スリーブ１０、細管１３などは、ステンレス、
ニッケル、コバールなどの耐腐食性に優れた金属よりな
る。
接などによって設けられるハーメチック端子で、感熱抵
抗体１４，１５は、ハーメチック端子１６のリードピン
を介して図外のブリッジ回路に接続される。１７はセン
サ部１２やハーメチック端子１６などを収納しこれらを
カバーするためのセンサケースである。なお、本体ブロ
ック１、スリーブ１０、細管１３などは、ステンレス、
ニッケル、コバールなどの耐腐食性に優れた金属よりな
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構成の
マスフローメータにおいては、通常、図７（Ａ）に示す
ように、２つの感熱抵抗体１４，１５の高さ位置が互い
に等しい、質量流量センサ１２が水平な状態で取り付け
られる。このような水平姿勢で設置された質量流量セン
サ１２においては、細管１３の２個の感熱抵抗体１４，
１５が巻設された中央部分１３ａが水平になり、２つの
感熱抵抗体１４，１５の間に位置的に上下関係がないの
で、これらの感熱抵抗体１４，１５の間で熱対流が生ず
ることはない。
マスフローメータにおいては、通常、図７（Ａ）に示す
ように、２つの感熱抵抗体１４，１５の高さ位置が互い
に等しい、質量流量センサ１２が水平な状態で取り付け
られる。このような水平姿勢で設置された質量流量セン
サ１２においては、細管１３の２個の感熱抵抗体１４，
１５が巻設された中央部分１３ａが水平になり、２つの
感熱抵抗体１４，１５の間に位置的に上下関係がないの
で、これらの感熱抵抗体１４，１５の間で熱対流が生ず
ることはない。
【０００６】しかしながら、配管系統の構成上あるいは
マスフローメータの設置スペースなどの関係で、図７
（Ｂ）に示すように、２つの感熱抵抗体１４，１５が巻
設された細管１３の中央部分１３ａが垂直となるよう
に、質量流量センサ１２を垂直姿勢の状態で設置しなけ
ればならないことがある。そのような場合、一方の感熱
抵抗体１５が他方の感熱抵抗体１４よりも上位に位置す
ることになり、細管１３の内部、外部の両方において熱
対流が生ずる。この熱対流によって両センサコイル１
４，１５が熱的に干渉しあい、ゼロ点が変化するため、
流量の測定結果に誤差が生ずる。
マスフローメータの設置スペースなどの関係で、図７
（Ｂ）に示すように、２つの感熱抵抗体１４，１５が巻
設された細管１３の中央部分１３ａが垂直となるよう
に、質量流量センサ１２を垂直姿勢の状態で設置しなけ
ればならないことがある。そのような場合、一方の感熱
抵抗体１５が他方の感熱抵抗体１４よりも上位に位置す
ることになり、細管１３の内部、外部の両方において熱
対流が生ずる。この熱対流によって両センサコイル１
４，１５が熱的に干渉しあい、ゼロ点が変化するため、
流量の測定結果に誤差が生ずる。
【０００７】このような垂直姿勢取付け時の不都合に対
して、細管１３の内径を小さくしたり、細管１３を流れ
る流体の差圧を上げることが試みられているが、このよ
うにしても、それほど測定誤差を低減することはできな
かった。
して、細管１３の内径を小さくしたり、細管１３を流れ
る流体の差圧を上げることが試みられているが、このよ
うにしても、それほど測定誤差を低減することはできな
かった。
【０００８】このような問題、すなわち、質量流量セン
サ１２の姿勢による影響は、マスフローメータに流体制
御弁を付加した構成であるところのマスフローコントロ
ーラにおいても生じているところである。
サ１２の姿勢による影響は、マスフローメータに流体制
御弁を付加した構成であるところのマスフローコントロ
ーラにおいても生じているところである。
【０００９】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、マスフローメータやマスフローコ
ントローラの取付け姿勢の如何に拘らず流体の質量流量
を精度よく検出できる質量流量センサを提供することに
ある。
もので、その目的は、マスフローメータやマスフローコ
ントローラの取付け姿勢の如何に拘らず流体の質量流量
を精度よく検出できる質量流量センサを提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る質量流量センサは、マスフローメータ
またはマスフローコントローラの本体ブロックに逆Ｕ字
状に立設され、内部に流体が流れる細管における一つの
垂直部分に第１感熱抵抗体と第２感熱抵抗体とを互いに
絶縁した状態、かつ第１感熱抵抗体が第２感熱抵抗体よ
り上流側に位置するように巻設し、他の垂直部分に第３
感熱抵抗体と第４感熱抵抗体とを互いに絶縁した状態、
かつ第３感熱抵抗体が第４感熱抵抗体より上流側に位置
するように巻設すると共に、第１感熱抵抗体と第３感熱
抵抗体とを直列接続したものと、第２感熱抵抗体と第４
感熱抵抗体とを直列接続したものとをそれぞれブリッジ
回路の構成素子とした点に特徴がある。
め、本発明に係る質量流量センサは、マスフローメータ
またはマスフローコントローラの本体ブロックに逆Ｕ字
状に立設され、内部に流体が流れる細管における一つの
垂直部分に第１感熱抵抗体と第２感熱抵抗体とを互いに
絶縁した状態、かつ第１感熱抵抗体が第２感熱抵抗体よ
り上流側に位置するように巻設し、他の垂直部分に第３
感熱抵抗体と第４感熱抵抗体とを互いに絶縁した状態、
かつ第３感熱抵抗体が第４感熱抵抗体より上流側に位置
するように巻設すると共に、第１感熱抵抗体と第３感熱
抵抗体とを直列接続したものと、第２感熱抵抗体と第４
感熱抵抗体とを直列接続したものとをそれぞれブリッジ
回路の構成素子とした点に特徴がある。
【００１１】
【００１２】
【作用】上記構成の質量流量センサにおいては、熱対流
が発生せず、マスフローメータまたはマスフローコント
ローラの取付け姿勢に起因するゼロ点シフトがなくな
り、従って、質量流量センサの姿勢の如何に拘らず流体
の質量流量を精度よく検出できる。
が発生せず、マスフローメータまたはマスフローコント
ローラの取付け姿勢に起因するゼロ点シフトがなくな
り、従って、質量流量センサの姿勢の如何に拘らず流体
の質量流量を精度よく検出できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施例に係る質量流量
センサ２０を示すもので、この図において、１３ｂ，１
３ｃは逆Ｕ字状の細管１３の水平部分１３ａの両側の垂
直部分で、流体流入側の垂直部分１３ａに第１感熱抵抗
体２１と第２感熱抵抗体２２とが互いに絶縁された状態
で巻設されており、流体流出側の垂直部分１３ｂに第３
感熱抵抗体２３と第４感熱抵抗体２４とが互いに絶縁さ
れた状態で巻設されている。すなわち、図６に示した従
来の質量流量センサ１２においては、逆Ｕ字状の細管１
３の中央水平部分１３ａに２つの感熱抵抗体１４，１５
を巻設していたのであるが、この実施例の質量流量セン
サ２０においては、細管１３の垂直部分１３ｂ，１３ｃ
にそれぞれ２つの感熱抵抗体２１，２２，２３，２４を
巻設している。なお、これらの感熱抵抗体２１〜２４
は、感熱特性が等しいものが用いられることはいうまで
もない。
センサ２０を示すもので、この図において、１３ｂ，１
３ｃは逆Ｕ字状の細管１３の水平部分１３ａの両側の垂
直部分で、流体流入側の垂直部分１３ａに第１感熱抵抗
体２１と第２感熱抵抗体２２とが互いに絶縁された状態
で巻設されており、流体流出側の垂直部分１３ｂに第３
感熱抵抗体２３と第４感熱抵抗体２４とが互いに絶縁さ
れた状態で巻設されている。すなわち、図６に示した従
来の質量流量センサ１２においては、逆Ｕ字状の細管１
３の中央水平部分１３ａに２つの感熱抵抗体１４，１５
を巻設していたのであるが、この実施例の質量流量セン
サ２０においては、細管１３の垂直部分１３ｂ，１３ｃ
にそれぞれ２つの感熱抵抗体２１，２２，２３，２４を
巻設している。なお、これらの感熱抵抗体２１〜２４
は、感熱特性が等しいものが用いられることはいうまで
もない。
【００１５】そして、前記感熱抵抗体２１〜２４は、第
１感熱抵抗体２１と第３感熱抵抗体２３とが直列接続さ
れ、第２感熱抵抗体２２と第４感熱抵抗体２４とが直列
接続され、図２に示すように、ブリッジ抵抗２５，２６
と共にブリッジ回路２７を形成している。そして、図２
において、２８，２９，３０，３１はブリッジ回路２７
における隣接する辺と辺との接続点で、接続点２８には
定電流源３２が接続され、接続点２８と対角上にある接
続点３０は接地され、接続点２９，３１が増幅回路３３
に接続されている。そして、ブリッジ回路２７の出力
は、出力端子３３ａ，３３ｂの間に出力される。
１感熱抵抗体２１と第３感熱抵抗体２３とが直列接続さ
れ、第２感熱抵抗体２２と第４感熱抵抗体２４とが直列
接続され、図２に示すように、ブリッジ抵抗２５，２６
と共にブリッジ回路２７を形成している。そして、図２
において、２８，２９，３０，３１はブリッジ回路２７
における隣接する辺と辺との接続点で、接続点２８には
定電流源３２が接続され、接続点２８と対角上にある接
続点３０は接地され、接続点２９，３１が増幅回路３３
に接続されている。そして、ブリッジ回路２７の出力
は、出力端子３３ａ，３３ｂの間に出力される。
【００１６】上述のように構成された質量流量センサ２
０における姿勢の傾斜影響を調べるため、次のような実
験を行った。すなわち、細管１３として外径が０．６ｍ
ｍ、内径が０．４ｍｍのキャピラリを用い、試験ガスと
して傾斜影響が顕著に表れるＳＦ6 ガスを用い、これを
細管１３内に１〜３ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇで封入し、定電流
源３２によってブリッジ回路２７に一定の電流を流して
各感熱抵抗体２１〜２４の温度が例えば１００℃になる
ようにした。
０における姿勢の傾斜影響を調べるため、次のような実
験を行った。すなわち、細管１３として外径が０．６ｍ
ｍ、内径が０．４ｍｍのキャピラリを用い、試験ガスと
して傾斜影響が顕著に表れるＳＦ6 ガスを用い、これを
細管１３内に１〜３ｋｇｆ／ｃｍ2 Ｇで封入し、定電流
源３２によってブリッジ回路２７に一定の電流を流して
各感熱抵抗体２１〜２４の温度が例えば１００℃になる
ようにした。
【００１７】前記質量流量センサ２０を、図３（Ａ）に
示すように、細管１３の中央部分１３ａが水平となる状
態、すなわち、水平姿勢となるように取り付け、試験ガ
スを封入した状態（ゼロ状態）においては、細管１３の
左右の垂直部分１３ｂ，１３ｃがほぼ同じ程度に加熱さ
れるので、図中に示す熱量Ｑ1 ，Ｑ2 が互いに等しくな
り、その結果、熱対流が生ずることがなくなる。また、
図３（Ｂ）に示すように、細管１３の中央部分１３ａが
垂直となる状態、すなわち、質量流量センサ２０を垂直
姿勢となるように取り付け、試験ガスを封入した状態
（ゼロ状態）においては、矢印方向への流体の移動がな
いので、熱対流は殆ど生じず、従って、水平姿勢と同様
に、熱対流の影響は殆どない。なお、図３（Ａ），
（Ｂ）において、３４は細管１３の開口端側に接続され
る閉ループ形成用の補助キャピラリである。
示すように、細管１３の中央部分１３ａが水平となる状
態、すなわち、水平姿勢となるように取り付け、試験ガ
スを封入した状態（ゼロ状態）においては、細管１３の
左右の垂直部分１３ｂ，１３ｃがほぼ同じ程度に加熱さ
れるので、図中に示す熱量Ｑ1 ，Ｑ2 が互いに等しくな
り、その結果、熱対流が生ずることがなくなる。また、
図３（Ｂ）に示すように、細管１３の中央部分１３ａが
垂直となる状態、すなわち、質量流量センサ２０を垂直
姿勢となるように取り付け、試験ガスを封入した状態
（ゼロ状態）においては、矢印方向への流体の移動がな
いので、熱対流は殆ど生じず、従って、水平姿勢と同様
に、熱対流の影響は殆どない。なお、図３（Ａ），
（Ｂ）において、３４は細管１３の開口端側に接続され
る閉ループ形成用の補助キャピラリである。
【００１８】そして、補助キャピラリ３４を外して、質
量流量センサ２０に前記試験ガスを流したときには、感
熱抵抗体と従来の２倍の４個であるので、初段出力とし
ては、センサ単品で得られる初段出力の和が得られる。
従って、本発明の質量流量センサ２０においては、従来
の質量流量センサ１２に比べて約２倍の感度（スパン初
段感度）で測定することができる。
量流量センサ２０に前記試験ガスを流したときには、感
熱抵抗体と従来の２倍の４個であるので、初段出力とし
ては、センサ単品で得られる初段出力の和が得られる。
従って、本発明の質量流量センサ２０においては、従来
の質量流量センサ１２に比べて約２倍の感度（スパン初
段感度）で測定することができる。
【００１９】図４は、図６に示した従来の質量流量セン
サ１２と前記本発明の質量流量センサ２０の細管１３に
それぞれＳＦ6 ガスを試験ガスとして充填し、その十点
圧力を変化させたときにおけるフルスケール値（ＦＳ）
換算変動値と試験ガスの充填圧力との関係を示すグラフ
で、この図において、実線Ａ、点線Ｂはそれぞれ、従来
の質量流量センサ１２の特性曲線、本発明の質量流量セ
ンサ２０の特性曲線である。このグラフから、本発明の
質量流量センサ２０は、前述したようにスパン初段感度
が増加しているので、初段出力値の変動が、フルスケー
ル換算値において、従来の質量流量センサ１２のそれの
約１／７に低減され、それだけ測定精度が向上している
ことが判る。
サ１２と前記本発明の質量流量センサ２０の細管１３に
それぞれＳＦ6 ガスを試験ガスとして充填し、その十点
圧力を変化させたときにおけるフルスケール値（ＦＳ）
換算変動値と試験ガスの充填圧力との関係を示すグラフ
で、この図において、実線Ａ、点線Ｂはそれぞれ、従来
の質量流量センサ１２の特性曲線、本発明の質量流量セ
ンサ２０の特性曲線である。このグラフから、本発明の
質量流量センサ２０は、前述したようにスパン初段感度
が増加しているので、初段出力値の変動が、フルスケー
ル換算値において、従来の質量流量センサ１２のそれの
約１／７に低減され、それだけ測定精度が向上している
ことが判る。
【００２０】本発明は、上述の実施例に限られるもので
はなく、図５に示すように、第１感熱抵抗体２１と第２
感熱抵抗体２２とをそれぞれ第１ブリッジ回路４１の構
成素子とする一方、第３感熱抵抗体２３と第４感熱抵抗
体２４とをそれぞれ第１ブリッジ回路４１と並列に設け
られる第２ブリッジ回路４２の構成素子となるようにし
てもよい。なお、この図において、４１〜４６はブリッ
ジ抵抗、４７，４８は定電流源、４９，５０はブリッジ
回路４１，４２の出力をそれぞれ増幅する回路、５１は
増幅回路４９，５０の出力を加算する回路である。
はなく、図５に示すように、第１感熱抵抗体２１と第２
感熱抵抗体２２とをそれぞれ第１ブリッジ回路４１の構
成素子とする一方、第３感熱抵抗体２３と第４感熱抵抗
体２４とをそれぞれ第１ブリッジ回路４１と並列に設け
られる第２ブリッジ回路４２の構成素子となるようにし
てもよい。なお、この図において、４１〜４６はブリッ
ジ抵抗、４７，４８は定電流源、４９，５０はブリッジ
回路４１，４２の出力をそれぞれ増幅する回路、５１は
増幅回路４９，５０の出力を加算する回路である。
【００２１】このように構成した実施例においても、前
述の実施例と同様の作用効果を奏するので、その詳細な
説明は省略する。
述の実施例と同様の作用効果を奏するので、その詳細な
説明は省略する。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
質量流量センサにおける熱対流が発生せず、マスフロー
メータまたはマスフローコントローラの取付け姿勢に起
因するゼロ点シフトがなくなり、従って、質量流量セン
サの姿勢の如何に拘らず流体の質量流量を精度よく検出
できる。
質量流量センサにおける熱対流が発生せず、マスフロー
メータまたはマスフローコントローラの取付け姿勢に起
因するゼロ点シフトがなくなり、従って、質量流量セン
サの姿勢の如何に拘らず流体の質量流量を精度よく検出
できる。
【図１】本発明に係る質量流量センサの一構成例を示す
図である。
図である。
【図２】前記質量流量センサを組み込んだ電気回路の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】本発明の動作説明図である。
【図４】従来の質量流量センサと本発明の質量流量セン
サの特性を示すグラフである。
サの特性を示すグラフである。
【図５】本発明に係る質量流量センサを組み込んだ電気
回路の他の例を示す図である。
回路の他の例を示す図である。
【図６】従来の質量流量センサを組み込んだマスフロー
メータを示す図である。
メータを示す図である。
【図７】従来の質量流量センサの欠点を説明するための
図である。
図である。
１…本体ブロック、１３…細管、１３ｂ，１３ｃ…垂直
部分、２０…質量流量センサ、２１…第１感熱抵抗体、
２２…第２感熱抵抗体、２３…第３感熱抵抗体、２４…
第４感熱抵抗体、２７…ブリッジ回路、４１…第１ブリ
ッジ回路、４２…第２ブリッジ回路。
部分、２０…質量流量センサ、２１…第１感熱抵抗体、
２２…第２感熱抵抗体、２３…第３感熱抵抗体、２４…
第４感熱抵抗体、２７…ブリッジ回路、４１…第１ブリ
ッジ回路、４２…第２ブリッジ回路。
Claims (1)
- 【請求項１】 マスフローメータまたはマスフローコン
トローラの本体ブロックに逆Ｕ字状に立設され、内部に
流体が流れる細管における一つの垂直部分に第１感熱抵
抗体と第２感熱抵抗体とを互いに絶縁した状態、かつ第
１感熱抵抗体が第２感熱抵抗体より上流側に位置するよ
うに巻設し、他の垂直部分に第３感熱抵抗体と第４感熱
抵抗体とを互いに絶縁した状態、かつ第３感熱抵抗体が
第４感熱抵抗体より上流側に位置するように巻設すると
共に、第１感熱抵抗体と第３感熱抵抗体とを直列接続し
たものと、第２感熱抵抗体と第４感熱抵抗体とを直列接
続したものとをそれぞれブリッジ回路の構成素子とした
ことを特徴とする質量流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19404093A JP3266707B2 (ja) | 1993-07-10 | 1993-07-10 | 質量流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19404093A JP3266707B2 (ja) | 1993-07-10 | 1993-07-10 | 質量流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727582A JPH0727582A (ja) | 1995-01-27 |
| JP3266707B2 true JP3266707B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=16317942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19404093A Expired - Fee Related JP3266707B2 (ja) | 1993-07-10 | 1993-07-10 | 質量流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3266707B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017040668A (ja) * | 2005-11-22 | 2017-02-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 熱式質量流量計、熱式質量流量制御器、及び質量流量制御器内の熱サイフォンを防止する方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1014797C2 (nl) * | 2000-03-30 | 2001-10-02 | Berkin Bv | Massadebietmeter. |
| JP2005172445A (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Osaka Prefecture | フローセンサ |
| JP2007127466A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Nippon M K S Kk | 流量センサー |
| JP4793098B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2011-10-12 | 横河電機株式会社 | 磁気式酸素測定方法及び磁気式酸素計 |
| US7971480B2 (en) | 2008-10-13 | 2011-07-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements |
| KR101335545B1 (ko) * | 2012-07-09 | 2013-12-02 | 엠케이프리시젼 주식회사 | 질량유량 측정센서 |
| JP6475081B2 (ja) * | 2015-05-18 | 2019-02-27 | アズビル株式会社 | 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法 |
-
1993
- 1993-07-10 JP JP19404093A patent/JP3266707B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017040668A (ja) * | 2005-11-22 | 2017-02-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 熱式質量流量計、熱式質量流量制御器、及び質量流量制御器内の熱サイフォンを防止する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0727582A (ja) | 1995-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6023969A (en) | Flow modulated mass flow sensor | |
| US6883370B2 (en) | Mass flow meter with chip-type sensors | |
| US4100801A (en) | Mass flow sensing system | |
| US5684245A (en) | Apparatus for mass flow measurement of a gas | |
| US5311762A (en) | Flow sensor calibration | |
| US7647843B2 (en) | Universal sensor controller for a thermal anemometer | |
| JPH0534608B2 (ja) | ||
| JPH0863235A (ja) | 差圧式質量流量コントロール装置 | |
| US4056975A (en) | Mass flow sensor system | |
| JP3266707B2 (ja) | 質量流量センサ | |
| JP4537067B2 (ja) | 質量流量制御装置の熱管理のための装置及び方法 | |
| US5763774A (en) | Fluid flow meter with reduced orientation sensitivity | |
| US6668642B2 (en) | Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor | |
| US3015232A (en) | Flow cell | |
| JP2003302271A (ja) | 流量測定部パッケージ及びそれを用いた流量測定ユニット | |
| JP3818547B2 (ja) | 質量流量制御装置 | |
| JP4368432B2 (ja) | 質量流量センサ並びにこれを用いるマスフローメータおよびマスフローコントローラ | |
| JP2589318Y2 (ja) | マスフローメータおよびマスフローコントローラ | |
| JPH0854268A (ja) | 質量流量センサ | |
| JPH05289751A (ja) | マスフローコントローラのゼロ点シフト及びスパンシフトを自動補正する方法及びその自動補正機能付きマスフローコントローラ | |
| JPH0934556A (ja) | マスフローコントローラ | |
| US20220074775A1 (en) | Dual Tube Hybrid Coriolis Mass Flow Sensor | |
| JPH08105776A (ja) | 質量流量センサ | |
| US20210255013A1 (en) | Hybrid Mass Flow Sensor | |
| JPH0735590A (ja) | 質量流量計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |