JP4537067B2 - 質量流量制御装置の熱管理のための装置及び方法 - Google Patents
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Description
発明者がジェシ・アンブロジーナ及びイサオ・スズキである、「熱質量流量センサの熱隔離のための方法及び装置」と題されている特許出願(代理人整理番号MKS−92)と、発明者がジェシ・アンブロジーナ及びアリ・シャジイである、「熱質量流量センサにおける熱放散のための方法及び装置」と題されている特許出願(代理人整理番号MKS−93)とであって、本出願と同じ譲受人へ譲渡され且つ本出願と同一の日付けで出願されたものは、それらの全体を引用することにより、本明細書に組み入れられている。
本発明は、質量流量測定システムに関し、より具体的には、そうでないならば質量流量センサに負わせられるかも知れないところの温度勾配を実質的に排除する質量流量センサ・ハウジングに関する。
毛管熱質量流量センサは、薄板製のチューブの壁から、このチューブ内を流れる流体への熱伝達が、流体の質量流量、流体温度と壁温との間の差、及び流体の比熱の関数である、という事実を利用している。質量流量制御装置は、種々の質量流量センサ構成を採用している。例えば、一のタイプの構造体は、ステンレス鋼の流れチューブであって、このセンサ・チューブとの熱伝導性接触状態にある2つ以上の抵抗素子を備えているものを含んでいる。抵抗素子は、通常、大きい温度係数の抵抗を有している材料から成っている。素子の各々は、加熱器、検出器、又はそれら両方として機能し得る。1つ以上の素子が、チューブを通る流体の流れに熱を供給すべく、電流で付勢される。加熱器が一定の電流を供給されるならば、チューブを通る流体の質量流量は、素子における温度差から演繹され得る。流体の質量流量は、また、加熱器を流れる電流を変化させて一定の温度分布を維持することによっても演繹され得る。
本発明の原理に従う質量流量センサにおいては、質量流量センサ・ハウジングは、底板を介して質量流量制御装置へ取着される。質量流量センサは、質量流量センサ・ハウジング内に、所定の軸に沿って向けられている質量流量センサ・チューブを備えている。底板は、センサ・ハウジングと一体であってよく、又は、それは、例えば螺刻されている通し孔及びボルトのような種々の取着手段のいずれかにより、ハウジングに取着されていてもよい。底板は、質量流量制御装置とセンサとの間の熱路を提供すべく構成されており、これにより、センサと制御装置ハウジングとが、実質的に同じ平均温度に維持される。更に、底板によって提供されている熱路は、そうでないならば質量流量制御装置ハウジングとの熱伝導性接触を通して質量流量センサ・ハウジングに負わせられるかも知れないところの温度勾配を実質的に低減させ又は排除すべく構成されている。
本発明の原理に従う質量流量制御装置は、質量流量センサ組立体とバルブ組立体とを備えている。説明用実施形態においては、質量流量センサ組立体は、質量流量制御装置ハウジングに取着されていると共に、熱グラウンドを備えており、この熱グラウンドは、質量流量制御装置ハウジングと質量流量センサとの間の温度勾配を最小にすべく構成されている。熱グラウンドは、また、外部から負わせられる温度勾配であって、質量流量センサに沿うものを最小にすべく構成されている。熱グラウンドは、センサ・ハウジングの設置断面積よりも著しく小さい断面積を特徴としている。熱グラウンドの断面は、円形、長方形又は他の幾何学的形状を有し得る。熱グラウンドは、質量流量センサ・ハウジングの全平均温度と質量流量制御装置ハウジングの全平均温度とを実質的に同じレベルに維持するに十分な熱路を提供する。更に、熱グラウンドは、流量センサ・チューブの中間点と実質的に一致しているセンサ・ハウジングの領域内に位置させられている。説明用の質量流量制御装置のバルブ組立体は、ヒートシンクを備えており、このヒートシンクは、バルブ組立体ハウジングに取着されていると共に、周囲大気への低熱インピーダンス路であって、バルブ組立体内でのバルブの作動を通して発生した熱を放散させるためのものを提供する。
Claims (2)
- 熱質量流量制御装置であって、
流体入口ポートおよび流体出口ポートと、前記入口ポートおよび前記出口ポートの間に設けられたバイパス・チャネルとを含む熱質量流量制御装置ハウジングと、
前記熱質量流量制御装置ハウジングに動作可能に接続されるとともに、前記バイパス・チャネルを通る液体の流れを測定する熱質量流量センサ組立体と、
前記熱質量流量制御装置ハウジングに設けられるとともに、前記バイパス・チャネルを通る液体の流れを制御するバルブ組立体とを備え、
前記熱質量流量センサ組立体は、流量センサ・チューブを覆うセンサ・ハウジングと、前記熱質量制御装置ハウジングに接続された搭載部と、前記センサ・ハウジングおよび前記搭載部の間に設けられるとともに前記センサ・ハウジングおよび前記搭載部の間において唯一の熱伝導経路を提供する熱グラウンド・デバイスとを備え、
前記バルブ組立体に接続されるとともに前記バルブ組立体から熱エネルギーを導くヒートシンク・デバイスであって、前記バルブ組立体を実質的に包囲する容量を有するヒートシンク・デバイスと、
前記熱質量流量制御装置ハウジングに接続されるとともに前記熱質量流量センサ組立体および前記バルブ組立体を内部に含む容器デバイスをさらに備え、当該容器デバイスは、前記ヒートシンク・デバイスに接触することによって前記ヒートシンク・デバイスから前記容器デバイスを介して前記容器デバイスの外部へと熱エネルギーを放出する経路を形成する熱質量流量制御装置。 - 熱質量流量制御装置であって、
流体入口ポートおよび流体出口ポートと、前記入口ポートおよび前記出口ポートの間に設けられたバイパス・チャネルとを含む熱質量流量制御装置ハウジングと、
前記熱質量流量制御装置ハウジングに動作可能に接続されるとともに、前記バイパス・チャネルを通る液体の流れを測定する熱質量流量センサ組立体と、
前記熱質量流量制御装置ハウジングに設けられるとともに、前記バイパス・チャネルを通る液体の流れを制御するバルブ組立体とを備え、
前記熱質量流量センサ組立体は、流量センサ・チューブを覆うセンサ・ハウジングと、前記熱質量制御装置ハウジングに接続された搭載部と、前記センサ・ハウジングおよび前記搭載部の間に設けられるとともに前記センサ・ハウジングおよび前記搭載部の間において唯一の熱伝導経路を提供する熱グラウンド・デバイスとを備え、
前記バルブ組立体に接続されるとともに前記バルブ組立体から熱エネルギーを導くヒートシンク・デバイスであって、前記バルブ組立体を実質的に包囲する容量を有するヒートシンク・デバイスとを備え、
前記バルブ組立体は、前記流体入口ポートに近接した前記熱質量流量制御装置ハウジングに設けられており、
前記熱質量流量センサ組立体は前記流体出口に近接して設けられており、
前記熱質量流量制御装置ハウジングに接続されるとともに前記熱質量流量センサ組立体および前記バルブ組立体を内部に含む容器デバイスをさらに備え、当該容器デバイスは、前記ヒートシンク・デバイスに接触することによって前記ヒートシンク・デバイスから前記容器デバイスを介して前記容器デバイスの外部へと熱エネルギーを放出する経路を形成する熱質量流量制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/032,258 US6779394B2 (en) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller |
PCT/US2002/037132 WO2003058180A1 (en) | 2001-12-21 | 2002-11-20 | Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005514613A JP2005514613A (ja) | 2005-05-19 |
JP4537067B2 true JP4537067B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=21863948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003558443A Expired - Lifetime JP4537067B2 (ja) | 2001-12-21 | 2002-11-20 | 質量流量制御装置の熱管理のための装置及び方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6779394B2 (ja) |
JP (1) | JP4537067B2 (ja) |
KR (1) | KR101225488B1 (ja) |
DE (1) | DE10297602B4 (ja) |
GB (1) | GB2398645B (ja) |
TW (1) | TWI265397B (ja) |
WO (1) | WO2003058180A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1023406C2 (nl) * | 2003-05-13 | 2004-11-18 | Berkin Bv | Massadebietmeter voor het meten volgens de CT methode. |
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US7467027B2 (en) * | 2006-01-26 | 2008-12-16 | Mks Instruments, Inc. | Compensation for thermal siphoning in mass flow controllers |
NL1032007C2 (nl) | 2006-06-14 | 2007-12-17 | Berkin Bv | Stromingssensor van het thermische type. |
US7409875B1 (en) | 2006-12-04 | 2008-08-12 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | System and method for determining velocity of electrically conductive fluid |
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US7748268B2 (en) * | 2008-07-13 | 2010-07-06 | Brooks Instrument, Llc | Thermal flow meter |
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US9810377B2 (en) | 2012-03-07 | 2017-11-07 | Illinois Tool Works Inc. | System and method for improving the accuracy of a rate of decay (ROD) measurement in a mass flow controller |
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JP6399085B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-10-03 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置 |
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FR3096452B1 (fr) | 2019-05-22 | 2022-02-11 | Buerkert Werke Gmbh & Co Kg | Ensemble de capteur de débit massique et procédé de fabrication d’un ensemble de capteur de débit massique |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US3851526A (en) | 1973-04-09 | 1974-12-03 | Tylan Corp | Fluid flowmeter |
US4519246A (en) | 1981-12-21 | 1985-05-28 | Advanced Semiconductor Materials International, N.V. | Improved flow meter |
US4464932A (en) | 1982-07-12 | 1984-08-14 | Mks Instruments, Inc. | Thermal mass flowmetering |
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JPS61115918U (ja) * | 1984-12-31 | 1986-07-22 | ||
WO1991019959A1 (en) * | 1990-06-14 | 1991-12-26 | Unit Instruments, Inc. | Thermal mass flow sensor |
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DE4219551C2 (de) * | 1991-06-13 | 1996-04-18 | Mks Japan Inc | Massenströmungssensor |
US6044701A (en) | 1992-10-16 | 2000-04-04 | Unit Instruments, Inc. | Thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor |
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US6038921A (en) | 1997-10-15 | 2000-03-21 | Mcmillan Company | Mass flow sensor system for fast temperature sensing responses |
US6062077A (en) | 1997-10-17 | 2000-05-16 | Azima; Faramarz | Techniques for making and using a sensing assembly for a mass flow controller |
JP2000304149A (ja) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | ステッピングモータ式流量制御装置 |
-
2001
- 2001-12-21 US US10/032,258 patent/US6779394B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-11-20 JP JP2003558443A patent/JP4537067B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-20 WO PCT/US2002/037132 patent/WO2003058180A1/en active Application Filing
- 2002-11-20 DE DE10297602T patent/DE10297602B4/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-20 KR KR1020047007828A patent/KR101225488B1/ko active IP Right Grant
- 2002-11-20 GB GB0408389A patent/GB2398645B/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-20 TW TW091136758A patent/TWI265397B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0408389D0 (en) | 2004-05-19 |
GB2398645B (en) | 2005-11-09 |
JP2005514613A (ja) | 2005-05-19 |
KR101225488B1 (ko) | 2013-01-23 |
TW200306468A (en) | 2003-11-16 |
GB2398645A (en) | 2004-08-25 |
DE10297602B4 (de) | 2008-09-25 |
US6779394B2 (en) | 2004-08-24 |
TWI265397B (en) | 2006-11-01 |
WO2003058180A1 (en) | 2003-07-17 |
DE10297602T5 (de) | 2004-11-25 |
US20030115949A1 (en) | 2003-06-26 |
KR20040070179A (ko) | 2004-08-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4537067 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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