JPS61115918U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61115918U JPS61115918U JP19817384U JP19817384U JPS61115918U JP S61115918 U JPS61115918 U JP S61115918U JP 19817384 U JP19817384 U JP 19817384U JP 19817384 U JP19817384 U JP 19817384U JP S61115918 U JPS61115918 U JP S61115918U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal mass
- mass flow
- flow rate
- sensor unit
- flow controller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2
図は本考案の作用を説明する為の図である。 1……ベース、2……層流エレメント、5……
取付板、10……センサーユニツト、11……セ
ンサーチユーブ、12……センサーケース、13
……溝、14,22……Oリング、15……断熱
材、16〜18……端子、20……アクチユエー
タユニツト、21……ねじ、23……弁、R1,
R2……感温抵抗線、Qt……全流量、Qs……
センサー流量、Qb……バイパス流量。
図は本考案の作用を説明する為の図である。 1……ベース、2……層流エレメント、5……
取付板、10……センサーユニツト、11……セ
ンサーチユーブ、12……センサーケース、13
……溝、14,22……Oリング、15……断熱
材、16〜18……端子、20……アクチユエー
タユニツト、21……ねじ、23……弁、R1,
R2……感温抵抗線、Qt……全流量、Qs……
センサー流量、Qb……バイパス流量。
Claims (1)
- 同一のベースに熱式質量流量測定用センサーユ
ニツトと流量制御用アクチユエータユニツトを取
付けた熱式質量流量調節計に於いて、前記ベース
と前記センサーユニツト間に断熱材を挿入したこ
とを特徴とする熱式質量流量調節計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19817384U JPS61115918U (ja) | 1984-12-31 | 1984-12-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19817384U JPS61115918U (ja) | 1984-12-31 | 1984-12-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61115918U true JPS61115918U (ja) | 1986-07-22 |
Family
ID=30756939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19817384U Pending JPS61115918U (ja) | 1984-12-31 | 1984-12-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61115918U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005514613A (ja) * | 2001-12-21 | 2005-05-19 | エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド | 質量流量制御装置の熱管理のための装置及び方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59162415A (ja) * | 1983-02-16 | 1984-09-13 | エマ−ソン・エレクトリツク・カンパニ− | 熱的質量流量計 |
-
1984
- 1984-12-31 JP JP19817384U patent/JPS61115918U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59162415A (ja) * | 1983-02-16 | 1984-09-13 | エマ−ソン・エレクトリツク・カンパニ− | 熱的質量流量計 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005514613A (ja) * | 2001-12-21 | 2005-05-19 | エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド | 質量流量制御装置の熱管理のための装置及び方法 |