JPS59162415A

JPS59162415A - 熱的質量流量計

Info

Publication number: JPS59162415A
Application number: JP59025943A
Authority: JP
Inventors: エドワ−ド・ジヨセフ・リシニツト; ポ−ル・ジヨ−ジ・サリヴアン
Original assignee: Emerson Electric Co
Current assignee: Emerson Electric Co
Priority date: 1983-02-16
Filing date: 1984-02-14
Publication date: 1984-09-13
Also published as: NL8400484A; US4484472A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、熱的質量流量計に係り、更に詳細には熱的質
量力量計の改良された同心チューブ／ロッド型センサに
係る。

一般に熱的質量流量計は流体の流量、好ましくは気体の
流量を正確に測定する測定装置である。

典型的には熱的質量流量計は咳熱的質量流量計内を流れ
る流体の流量に比例した出力信号を発生する流量センサ
を含んでおり、出力信号は流体の流量を表示し、記録し
、又は制御するために使用される。熱的質量流量計は、
流体の流量を所定の流量に制御し、これにより流体の流
量を一定に維持するために流体圧を連続的に監視しこれ
を手動的に調節する必要性を排除する自動流量制御装置
と組合されることが多い。一つの公知の熱的質量流量計
に於ては、センサは周りにヒータコイルが巻かれた中空
チューブである。またチューブの周りにはヒータコイル
の入口側及び出口側にてセンサコイルが巻かれている。

ヒータコイルは成る一定量の熱を発生し、該熱はチュー
ブを経て該チューブ内を流れる流体へ伝達される。セン
サコイルは平衡ブリッジに接続されており、これにより
チューブ内を流れる流体の温度差（質量流量に比例して
いる）を検出するようになっている。かがる熱的質量流
量計は本願出願人であるエマーンン・エレクトリック・
カンパニーのアメリカ合衆国ペンシルバニア州、ハツト
フィールドに所在する［３ｒ。

ｏｋｓ　Ｉ　ＩＩＳｔｒｕｍｅｎｔ　Ｄ　１ｖｉｓｉｏ
ｎよりモデルナンバーＤＳ−５８１０として市販されて
いる。

かかる熱的質量流量計の性能はチューブの加熱される部
分と該チューブ内を流れる流体との間に於ける熱伝達性
と密接な関係がある。更にチューブ内を流れる流体の熱
伝達率は、チューブ内を流れる流体と該流体と接触した
チューブの表面との間に於ける境界層条件に大きく依存
する。熱的質量流量計は半導体材料を処理づる場合の如
く成るプロセスに一定流量の、気体を供給するために使
用されることが多い。また熱的質量流量計は気体のガス
クラマドグラフィに於てキャリアガスを制御するために
使用される。典型的にはこれらの場合に於ける気体の流
量は比較的小さく、例えば０〜５００ＳＣＣｍである。

上述の如き用途に放ては、シランの如き気体の流量は正
確に制御されなければならない。これらの気体は熱的質
量流量計内の直径の小さい流体通路を栓塞したりその表
面に付着したりする傾向を有している。しかし気体の質
量流量を正確に制御すべく適正な境！ｉ’ｉ’層条件を
確立するためには、チューブ内の公差を小さく且正確に
維持する必要がある。従来の熱的質量流量計のチューブ
内の流体通路の直径が小さくなるという問題を解決づる
一つの手段として、所謂同心チューブ／ロッド型センサ
が開発され、かかるセンサは本願出願人であるエマーソ
ン・エレクトリック・カンパニーのＢ１”０ＯｋＳ　ｆ
　ｎ５ｔｒｔｌｌＲｅｎｔ　［）　１ｖｉｓｉｏｎより
モデルナンバーＤＳ−５，８５８として市販されている
。

かかる同心チューブ／ロッド型センサに於ては、熱的質
量流量計の本体を貫通する流路内にシール可能に嵌入さ
れた比較的壁厚の小さいアウタチューブが使用されてい
る。ヒータコイル及びセンサコイルはチューブと熱交換
関係にてチューブの外面に設けられている。チューブに
沿う互に隔置された複数の位置には数群の三つの半径方
向内方へ突出する突起が同一の直径方向平面内にてチュ
ーブの周縁方向に互に隔置されて設番プられている。

これらの突起はチューブ内に挿入されたロッドの外面に
係合し、これによりそのロットをチューブ内に同心状態
に位置決めし且チューブの内面とロットの外面どの間に
同心環状の流体通路を郭定する。かかる同心チューブ／
ロッド型センサによれば、チューブ内を流れる気体の境
界層条件を効果的に制御し、しかもチューブ及びロット
を定期的に洗浄すべく流量計の本体よりチューブ及びロ
ットを容易に取出すことができる直線貫流型の測定チュ
ーブが得られる。また上述の同心環状の流体通路によれ
ば、従来の熱的質量流量計に於て小径の流体通路が栓塞
されるという問題が解決される。

しかしロットをチューブ内に正確に同心状態に位置決め
すへく上述の如き従来の流量計のチューブ内に複数個の
突起を正確に形成することは困難である。また流量計の
輸送時にはロットがチューブ内にて同心状態に維持され
なくなることが多く、ロットがチューブに対し軸線に垂
直な方向へ変位して環状の流体通弊が同心状態より偏心
状態になることが見出された。かくして俸体通路が偏心
すると、流量計のキャリブレーションが悪影響を受け、
これにより流量計は所期の通りに気体の流量を正確に制
御しなくなる。また洗浄の目的で流ｉ１計を分解し再組
立する際には、ロットがチューブ内に再挿入される際に
そのロットがチューブに対し同心状態に正確に維持され
なくなることにより、流体通路が偏心し、これにより流
量計のキャーリプレージョンが悪影響を受けることがあ
る。更に熱的質量流量計の使用中にチューブに設けられ
た突起の寸法が変化することがある。このことは洗浄の
目的でロットが繰返し引抜かれたり挿入されることによ
り突起に対し歪みが及ぼされ、その結果突起が永久的に
変形することによって発生される。

かくして成る期間の使用後には流体通路が偏心すること
によって流量計のキャリブレーションがずれてしまうこ
とがある。

本発明の目的は、補助通路等を設ける必要もなく流量を
計測されるべき流体が流量測定チューブ内を直線的に流
れるよう構成された上述の如き型式の熟的質量流量計を
提供することである。

本発明の他の一つの目的は、流体の境界層条件が正確に
制御され、これにより流量計のキャリプレーシコンの再
現性及び安定性が確保されるよう構成された熟的質量流
量計を提供することである。

本発明の更に他の一つの目的は、ロットが洗浄の目的で
流量測定チューブ内より容易に取出されまた容易に再挿
入されるよう構成された熱的質量流量計を提供すること
である。

本発明の更に他の一つの目的は、流量計のキャリブレー
ションがロットを流量測定チューブ内より繰返し取出し
たり該チューブ内へ繰返し挿入する場合にも維持される
よう構成された熱的質量流量計を提供することである。

本発明の更に他の一つの目的は、従来の流量計に比して
流量計の輸送時に発生する如き衝撃荷重に対する抵抗が
大きく、これにより流量計のキャリブレーションが悪影
響を受けることがないよう改良された熱的質量流量計を
提供することである。

本発明の更に他の一つの目的は、比較的小さい流量にて
流れる流体の流量を正確に制御することができ、通路断
面積の小さい流体通路を栓塞する傾向を有する流体に対
しても適用可能であり、使用寿命が長く、流量計のキャ
リブレーションを行わなければならない頻度が小さく、
作動の信頼性の高い熱的質量流量計を提供することであ
る。

本発明は流体の流量を測定する熟的質量流量計に関する
ものであり、本発明による熟的質量流量計は内部に流路
を有する本体を含んでいる。流路は入口及び出口を有し
ており、流路内を流れる流体を加熱する加熱手段が設け
られている。更に流路内を流れ加熱手段により加熱され
た流体の温度上Ｒを検出する手段が設けられている。更
に上述の温度上昇に応答して流路内を流れる流体の質量
流用に比例した信号を発生する手段が設けられている。

より詳細には、本発明による熱的質量流量計は、少なく
とも一つの貫通孔を有する入口ブッシングと、少なくと
も一つの貫通孔を有する出口ブッシングと、前記入口及
び出口ブッシングの間に延在するチューブとを含んでい
る。チューブ内にはこれに対し同心にロッドが配置され
ている。

更に入口ブッシング及び出口ブッシング内にはロッドを
チューブ内に確実に必用された状態に保持し、これによ
りロッドの外面とチューブの内面との間に同心環状の流
体通路を郭定し維持する手段が設けられている。

以下に添付の図を参照しつつ、本発明を実施例に２いて
詳細に説明する。

添付の第１図に於て、本発明による熱的質量流量計が符
号１にて全体的に示されている。この流量計は例えば本
願出願人であるエマーソン・エレクトリック・カンパニ
ーのＢ　ｒｏｏｋｓ　Ｉ　１１ｓｔｒｌＪｉ＋ｅｎｔＤ
　１ｖｉｓｉｏｎより市販されているモデルナンバーＤ
Ｓ−”５８５８とほぼ同様の改良された流量計である。

この流量計の構造及び作動の詳細の多くは上述の市販の
流量計と同様であるので、またこれらの詳細は一般に当
業者に知られているので、本明１１１１に於ては上述の
如き従来より市販されている流量計に対ザる本発明の改
良点について重点的に説明する。従って本発明による流
量計及び従来より市販されている流量計の両方に共通ず
る流量計の部分については、本発明の改良の背景を当業
者が理解し得るようその概要についてのみ説明する。

流量計１は流路Ｆを有する符号３にて全体的に示された
本体を含んでおり、流路Ｆは入口と出口とを有している
。本体３は主本体部５と、第１図で見て流量計の左端に
設けられた入口本体部７と、出口本体部９とを含んでい
る。各本体部５．７．９は例えばステンレス鋼の如き適
当な合金にて形成されていて良い。入口本体部７及び出
口本体部９には流量計１が流体Ｓ管に容易に接続される
よう、取付具８が設けられている。従来の流量計の場合
と同様、ボルト１０（第１１図参照）が入口本体部７及
び出口本体部９を貫通して主本体部５に設けられたねじ
孔（図示せず）内へ延在しており、これによりこれらの
本体部を互に剛固に固定している。後に明らかとなる目
的で、主本体部５内にはキ↑・ビティ１１が設けられて
いる。

符号１３にて示されている如く、流路Ｆ内を流れる流体
く例えばガス）の流れを制御又は調節する流量制御弁装
置が設けられている。この流量制御弁装置は本体３の上
面に固定されたカバー１５内に配置された回路（図示せ
ず）によりプログラム制御され、又はプロセス制御装置
等により遠隔制御されるようになっている。後者の場合
には、当業者に良く知られた要領にて入出カケ−プル（
図示せず）により熱的質量流量計１がこれより離れた位
置に配置されたプロセス制御装置に電気的に接続される
。流量制御弁装置１３の構造や作動及び本発明の質量流
量計の電子回路の構造や作動は本発明の７部をなすもの
ではなく、従って簡略化の目的で流量制御装置及び電子
回路の詳細な説明は省略する。

流路Ｆは入口本体部７内に入口通路１９を含んでいる。

入口通路１９の出口端には所謂入口カウンタボア２１が
形成されている。同様に出口本体部９には出口通路２３
が設けられており、該出口通路の入口端（図にて左端）
には出ロ力つンタボア２５が設けられている。

入口カウンタボア２１内には符号２７にて全体的に示さ
れた入口ブッシング２７が配置されており、出ロ力つン
タボア２５内には符号２９にて全体的に示された出口ブ
ッシングが取外し可能に配置されている。符号３１にて
全体的に示されている如く、同心チューブ／ロッド型流
量センサ組立体が設けられており、入口ブッシング２７
及び出口ブッシング２９によって支持されている。より
詳細には、流量センサ粗立体３１はチューブ３３と、該
チューブ内にこれと同心に配置されたロッド３５（第２
図参照）とを含んでいる。ブッシング２７及び２９はチ
ューブ３３及びロッド３５を受は且これらを本体３及び
互に他に対し保持する手段であって、ロッドをチューブ
に対し確実に同心に維持しこれにより同心環状の流体通
路３つ（第２図参照）を郭定する手段を構成しており、
同心環状の流体通路は主本体部５内に設けられたキャビ
ティ１１を通る流路Ｆを構成している。

ロッド３５をチューブ３３内にて必用された状態に維持
しこれにより同心環状の流体通路３つを確実に維持する
ことにより、流路「内を流れる流体の流量を本発明の質
量流量計１によって容易に測定し監視することができる
。

第１図に示されている如く、流量センザ組立体３１は少
なくとも部分的にチューブ３３の一部を囲繞する加熱コ
イルＨＣを含み、該加熱コイルはチューブと熱交換関係
に置かれている。加熱コイルの下流側及び上流側には検
温コイルＳＣ１及びＳＣ’２が設けられており、これら
の検温コイルはチューブ３３と熱伝達関係に置かれてい
る。これらのコイルはチューブ３３の外周面に接着され
ている。当業者に良く知られている如く、加熱コイルＨ
Ｃは成る所定の熱的出力を有するよう励起され、チュー
ブ３３の内面とロッド３５の外面との間に郭定された流
体通路３９内を流れる流体の温度差が検温コイルＳＣ１
及びＳＣ２によって測定される。流体通路３９内を流れ
る流体の上述の温度差に応答して、カバー１５内に配置
された回路（例えばブリッジ回路〉が流量計内を流れる
流体の流量に比例した信号を発生する。勿論この出力信
号は、流量制御弁装置１３が調整されて流体の流量が成
る所定の流量に制御されるよう、適当な制御回路（図示
せず）内に於て誤−差信号を発生するために使用されて
も良い。

主本体部５に設けられたカウンタボア内にはＯリングシ
ール４０ａが配置されており、該０リングシールはチュ
ーブ３３の外面及び入口本体部７にシール係合し、これ
によりチューブ３３を本体３に対し確実にシールし、ま
た流路Ｆ内を流れる全ての流体が環状の流体通路３９内
を流れることを確保している。同様に出口本体部９に設
けられたカウンタボア内には０リングシール４０ｂが配
置されている。出口本体部９が主本体部５に対し固定的
にボルト締結されると、０リングシール４０ｂはチュー
ブ３３の外面、主本体部５、及び出口本体部９にシール
係合し、これにより流量センサ組立体３１内に存在する
全ての流体が漏洩することなく流路Ｆの出口通路２３内
へ導かれることを確保する。主本体部５のキャビティ１
１内にはヒートシンク４１が設けられており、該ヒート
シンクは加熱コイル及び検温コイルより上流側にてチュ
ーブ３３及び主本体部５と熱伝達関係に置かれている。

またヒートシンク４１はリテーナＲにより主本体部５内
の所定の位置に保持されている。

次に第２図乃至第４図を参照して入口ブッシング２７に
ついて詳細に説明する。入口ブッシング２７は出口ブッ
シング２９と同一であり、従って入口ブッシングについ
てのみ詳細に説明する。ブッシング２７の一端にはチュ
ーブ３３の対応する端部を受入れてこれを支持する同心
の盲孔４２が設けられている。孔４２はそれがチューブ
３３をブッシング２７と同心状態にて確実に受は且位置
決めするよう、チューブ３３の端部の外面と公差の小さ
い摺動嵌合をなしていることが好ましい。

またブッシング２７には孔４２に対し同心に円錐形のソ
ケット４３が設けられており、該ソケットは孔４２より
離れる方向へ向かうにつれてブッシング２７の中央長手
方向軸線へ向けて収束している。ソケット４３は例えば
３０°の如く角度Ａのテーパ状をなしている。

第５図及び第６図に於て、チューブ３３は寸法Ｌ１にて
示されている如く成る所定の長さを有している。チュー
ブ３３の外径はＤｌであり、チューブの内径はＤ２であ
る。チューブの内径及びチューブの壁厚は精密な公差に
設定されている。例えば内径Ｄ２は０．１２０±０．０
００５ｉｎｃｈ（３，０４８±０．０１２７ｍｍ）であ
り、チューブ３３の壁厚は０．００２５±０　、ＯＯ０
５１ｎｃｈ（０，０６３５±０．０１２７ｎｖ）に維持
される。

更にチューブの内径の同心性は０　、００２１ｎｃｈ＜
０．０５０８＋ｎｉ＋）以内に維持される。更にチュー
ブ３３の長さＬｌは例えば２．２３８ｉ＋１ｃｈ（５６
，８５＋ｎｏ＋）である。第６図に図示されている如く
、ロッド３５の長さＬ２は約２．３８ｉｎｃｈ（６０，
４５ｍｍ）であり、直径Ｄ３は０．１０３−０゜００１
〜０．１０３＋Ｏ，０ＯＯｉｎｃｈ（２，６１６−０，
０２５４〜２．６１５＋０．００ＯＲ１ｍ＞である。更
にロッド３５の外面はチューブ３３のインナボアＢと同
様比較的平滑な表面仕上げとなるよう仕上げられる。ロ
ッド３５は約０．００１ｉｎｃｈ　（０、０２５４ｍｍ
＞の同心性を有している。

ロッド３５にはブッシング２７及び２９に設けられた円
錐形のソケット４３と正確に係合するよう角度Ａにてテ
ーパ状をなす傾斜端部４５が設けられており、これによ
り円錐形のソケット４３はロッド３５の傾斜端部４５と
密に係合してロッドをブッシングと同心関係にて正確に
位置決めし且維持し、またロッドをチューブ３３内に確
実に同心状態に維持するようになっている。チューブ３
３及びロッド３５が上述の如き寸法に形成されているの
で、環状の流体通路３９は約０．００８５ｉｎｃｈ（０
，２１６ｍｍ＞の実質的に一様な厚さを有している。し
かしチューブ３３及びロッド３５についての上述の寸法
は流量センサ組立体３１の成る一つの特定の構成につい
ての例に過ぎない。これらの寸法はセンサの流量測定範
囲、検出される流体の種類、検出される流体の温度、及
び他の変量に応じてかなり変化されて良い。

第２図乃至第４図に於て、ブッシング２７はチューブ３
３の端部が孔４２内に容易に嵌入し得るよう、ＩＬ４２
の端部に面取り部４９を含んでいる。

更にブッシング２７には孔４２とは反対側の端部にカウ
ンタボア５１が設けられており、該カウンタボアは孔４
２よりも大きい直径を有している。

史に複数個のく例えば６個の）マニホールド通路５３が
カウンタボア５１と孔４２のベース部との間にてブッシ
ングの一部を貫通して実質的に長手方向に延在しており
、各通路５３の少なくとも一部はチューブ３３のボアＢ
の内面とロッド３５の外面との間にて環状の流体通路３
９と連通しており、これらの通路５３は流路Ｆの一部を
構成している。かくしてマニホールド通路５３は流体を
入口通路よりブッシング２７を経て環状の流体通路３９
内へ導く。更にマニホールド通路５３及び出口ブッシン
グ２９は環状の流体通路３９と出口通路２３とを連通し
ている。

本発明によれば、流量計１は、チューブ３３の内面を洗
浄すべくロッド３５を流ｔｉｔンサ組立体３１より容易
に除去し得るよう、またチューブを洗浄した後にロッド
をチューブ内に容易に再挿入し得るよう、部分的に分解
されるようになってしする。流量計の本体は該流量計の
キレリプレージョンが流量計の組立及び分解が繰返し行
われることによっては実質的に影響を受けないよう、再
組立される。かかる目的で入口ブッシング２７の外端と
カウンタボア２１のベース部との間には圧縮コイルばね
５５が配置されており、これにより入口ブッシング２７
は流量センサ組立体３１と共（Ｃ出口ブッシング２９に
対し可撓的に付勢されており、両方のブッシングはチュ
ーブ３３の端部と強固に係合した状態に確実に維持され
るようになっており、更にはソケット４３がロッド３５
の傾斜端部４５と確実に係合した状態に維持されてロッ
ドとチューブとが同心状態に維持されるようになってい
る。

ロッド３５を除去すべく流量計の本体３を分解するため
には、入口本体部７を主本体部５に接続するボルト１０
を除去しさえばすれば良い。入口本体部７が除去される
と、ロッド３５の一端を手によって掴み、流量センサ組
立体３１を実質的に乱すととなくチューブ３３よりロッ
ド３５を軸線方向に引き抜くことができるようになる。

ロッド３５が除去さ杭ると、チューブのインナボアを適
当な溶媒をつけた布等にて拭くことによりチューブを容
易に洗浄することができる。次いでロッドの出口端が再
度出口ブッシング２９内に受入れられるよう、ロッド３
５がチューブ３３内に挿入される。次いでロッド３５が
入口ブッシング２７のソケット４３内に収容され、チュ
ーブ３３が第２図に示されている如く入口ブッシングの
孔４２内に受入れられるよう、入口本体部７が主本体部
５上に配置される。次いでボルトが挿通されて締付けら
れる。０リングシール４０ａは主本体部５内の所定の位
置に確実に保持され、また出口０リングシール４０ｂは
出口本体部９に設けられた溝内に保持されるので、これ
らのシールは流量計の再組立時にも確実に保持される。

チューブ３３、ロッド３５、及びブッシング２７．２９
の相対的な公差が小さいので、０ツド及びチューブは流
量計が繰返し組立てられ分解される場合にも、互に同心
関係に維持される。かくして流量計のキャリブレーショ
ンが悪影響を受けることは′ない。

更に、ブッシング２７及び２９が流＠泪の本体３内に確
実に保持され、チューブ３３が孔４２内に確実に保持さ
れ、更にはロッド３５の傾斜端部４５がブッシングのソ
ケット４３内に保持されるので、ロッドはチューブに対
し確実に同心状態に維持される。更に圧縮コイルばね５
５によりロッド及びチューブの端部がそれぞれ対応する
ブッシングと適正に係合した状態に確実に維持され、従
って流量センサ粗立体３１が流量計１の輸送時に発生す
る衝撃荷重等の悪影響に曝されることはない。

第７図乃至第１０図に、チューブ３３を受（プロット３
５をチューブ３３内に６出された状態に保持するために
使用されるブッシングの他の一つの実施例が図示されて
いる。このブッシングは符号２７′にて示されており、
第７図乃至第１０図に於て構造及び機能の点で前述のブ
ッシング２７の対応する各部と同様の各部には第１図乃
至第６図に於て使用された符号と同一のダッシュ付の符
号にて示されている。ブッシング２７に於ては、チュー
ブ３３の内面とロッド３５の外面との間にて入口通路２
１と環状の流体通路３９とを連通接続すべ（複数個の（
例えば６個の）軸線方向マニホールド通路５３が設けら
れているのに対し、ブッシング２７′に於てはマニホー
ルド通路５３′は半径方向通路である。しかし半径方向
のマニホールド通路５３′の機能は前述のマニホールド
通路５３と同様である。

以上の説明より、本発明の伯の目的が達成され、また他
の効果が得られることが理解されよう。

以上に於ては本発明を特定の実施例について詳細に説明
したが、本発明はかがる実施例に限定されるものではな
く、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能であること
は当業者にとって明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は流量計の本体を貫通して延在する流路及び本発
明に従って構成された同心チューブ／ロッド型センサを
示すべく流量計の本体が部分的に切断された状態にて本
発明による改良された熱的質量流量計を示す正面図であ
る。第２図は第１図の線２−２に沿う部分断面図であり、チ
ューブの一端及びロッドの一端を受けロッドをチューブ
に対し同心状態に確実に維′持するブッシングを含む本
発明による流量計の第一の実施例の要部を示す部分図で
ある。第３図は第２図の線３−３に沿うブッシングの端面図で
ある。第４図は第３図の線４−４に沿うブッシングの軸線方向
ＦＩｆＩ面図であり、チューブの一端を受ける孔及びロ
ッドの一端を受りるソケットを示している。第５図はチューブの側面図である。第６図はロッドの側面図である。第７図は本発明による流量計に組込まれるブッシングの
他の一つの実施例を示す端面図である。第８図は第７図に示されたブッシングの平面図である。第９図は第７図の線９−９に沿う断面図であり、第２図
と同様チューブ及びこれに受けられたロッドを示してい
る。第１０図は第９図に示されたブッシングの右方より見た
端面図である。第１１図は第１図に示された流量計の本体の第１図の左
方より見た端面図である。１・・・熱的質量流量計、３・・・本体、５・・・主本
体部。７・・・入口本体部、８・・・取付具、９・・・出口本
体部。１０・・・ボルト、１１・・・キＡ／ビディ、１３・・
・流星制御弁装置、１５・・・カバー、１９・・・入口
通路、２１・・・カウンタボア、２３・・・出口通路、
２５・・・カウンタボア、２７・・・入口ブッシング、
２９・・・出口ブッシング、３１・・・流量センナ組立
体、３３・・・チ１−ブ、３５・・・ロッド、３９・・
・流体通路、４０ａ、、４０　ｂ・・・０リングシール
、４１・・・ヒートシンク、４２・・・孔、４３・・・
ソケット、４５・・・傾斜端部、４つ・・・面取り部、
５１・・・カウンタボア、５３・・・マニホールド通路
、５５・・・圧縮コイルばねＦＩＧ、　Ｉ＋。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）内部を貫流する流体の流量を測定する熱的質量流
量計であって、入口と出口とを有する流路を内部に備え
た本体と、前記流路内を流れる前記流体を加熱する加熱
手段と、前記流路内を流れ前記加熱手段により加熱され
た前記流体の温度上昇を検出する手段と、前記流体の前
記温度上昇に応答して前記流路内を流れる前記流体の質
量流量に比例した信号を発生する手段とを含む熱的質量
流量計にして、少なくとも一つの貫通孔を有する入口ブ
ッシングと、少なくとも一つの貫通孔を有する出口ブッ
シングと、前記人口及び出口ブッシングの間に延在する
チューブと、前記チューブ内に同心に配置されたロッド
と、前記入口及び出口ブッシング内に設けられ前記ロッ
ドを前記チューブ内に心出された状態に確実に保持しこ
れにより前記ロッドの外面と前記チューブの内面との間
に同心環状の流体通路を郭定し維持する手段とを有する
熱的質量流量計。
（２）内部を貫流する流体の流量を測定する熱的質量流
量計であって、入口と出口とを有する流路を内部に備え
た本体と、前記流路内を流れる前記流体を加熱する加熱
手段と、前記流路内を流れ前記加熱手段により加熱され
た前記流体の温度上昇を検出する手段と、前記流体の前
記温度上昇に応答して前記流路内を流れる前記流体の質
量流量に比例した信号を発生する手段とを含む熱的質量
流量計にして、少なくとも一つの貫通孔を有する入口ブ
ッシングと、少なくとも一つの貫通孔を有する出口ブッ
シングと、前記入口及び出口ブッシングの間に延在する
チューブと、前記チューブ内に同心に配置されたロッド
と、前記入口及び出口ブッシング内に設けられ前記ロッ
ドを前記チューブ内に心出された状態に確実に保持しこ
れにより前記ロッドの外面と前記チューブの内面との間
に同心環状の流体通路を郭定し維持する手段とを有し、
前記入口及び出口ブッシングはそれぞれ前記ロツドを受
ける側とは反対側の端部に於て前記流路と前記ロッドと
前記チューブとの間に郭定された前記同心環状の流体通
路とを連通接続する複数個の通路を有する熱的質量流量
計。
（３）内部を貫流する流体の流量を測定する熱的質量流
量計であって、入口と出口とを有する流路を内部に備え
た本体と、前記流路内を流れる前記流体を加熱する加熱
手段と、前記流路内を流れ前記加熱手段により加熱され
た前記流体の湿度上昇を検出する手段と、前記流体の前
記温度上昇に応答して前記流路内を流れる前記流体の質
量流量に比例した信号を発生する手段とを含む熱的質量
流量計にして、少なくとも一つの貫通孔を有する入口ブ
ッシングと、少なくとも一つの貫通孔を有する出口ブッ
シングと、前記入口及び出口ブッシングの間に延在し且
これらによって受けられたチューブと、前記チューブ内
に同心に配置されたロッドと、前記入口及び出口ブッシ
ング内に設けられ前記ロッドを前記チューブ内に６出さ
れた状態に確実に保持しこれにより前記ロッドの外面と
前記チューブの内面との間に同心環状の流体通路を郭定
し維持すべく前記チューブ及び前記ロッドの対応する端
部を受けるよう構成された手段とを有し、前記入口及び
出口ブッシングはそれぞれその一端に設けられ前記チュ
ーブの対応する端部を受入れる孔と前記孔に対し同軸に
設けられ前記ロッドの対応する端部を受入れるソケット
とを有しており、前記入口及び出口ブッシングはそれぞ
れ前記ロッドを受ける側とは反対の側にて前記流路と連
通し且前記ロッドと前記チューブとの間にて前記同心環
状の流体通路と連通ずる少なくとも一つの通路を有して
おり、前記熱的質量流量計は更に前記本体と前記入口及
び出目ブッシングの一方との間に介装されたばねを含み
、これにより前記入口及び出口ブッシング、前記チュー
ブ、及前記ロッドは互に他に対し係合づるよう弾性的に
付勢されている熱的質量流量計。