JPS60174833U - 感熱抵抗型流量検出装置 - Google Patents

感熱抵抗型流量検出装置

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JPS60174833U
JPS60174833U JP6216684U JP6216684U JPS60174833U JP S60174833 U JPS60174833 U JP S60174833U JP 6216684 U JP6216684 U JP 6216684U JP 6216684 U JP6216684 U JP 6216684U JP S60174833 U JPS60174833 U JP S60174833U
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JP
Japan
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heat
flow rate
detection device
rate detection
sensitive resistance
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JP6216684U
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JPH0428021Y2 (ja
Inventor
大橋 通宏
敏雄 棚橋
賢二 林
小柳 和明
辻村 清晴
加茂 政行
Original Assignee
トヨタ自動車株式会社
愛三工業株式会社
株式会社エステツク
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、第1図は本考案による感熱抵抗型流量検出装置の断面
図、第2図は第1図の要部の分解拡大斜視図、第3図は
第1図の検出器チップの拡大平面図、第4図は第3図の
拡大断面図、第5図は他の実施例の第1図同様の断面図
、第6図は第5図の要部の拡大斜視図、第7図は第6図
の部分断面図である。 1・・・流通管、3・4・・・検出器チップ、7・・・
発熱用抵抗素子、訃・・感熱抵抗素子、11・・・温度
補償用感熱抵抗素子、12・・・支持体、13・15・
・・断熱疹

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 発熱用抵抗素子と該発熱用抵抗素子からの熱を感じる感
    熱抵抗素子とを薄膜状に形成してなる第1の検出器チッ
    プと、被測定流体の温度を感じる温度補償用感熱抵抗素
    子を薄膜状に形成してなる第2の検出器チップとを共通
    の支持体に断熱材を介して取付けたことを特徴とする感
    熱抵抗型流量゛ 検出装置。
JP6216684U 1984-04-28 1984-04-28 感熱抵抗型流量検出装置 Granted JPS60174833U (ja)

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JP6216684U JPS60174833U (ja) 1984-04-28 1984-04-28 感熱抵抗型流量検出装置

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JPS60174833U true JPS60174833U (ja) 1985-11-19
JPH0428021Y2 JPH0428021Y2 (ja) 1992-07-07

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ID=30591120

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JPH0428021Y2 (ja) 1992-07-07

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