JP2589318Y2 - マスフローメータおよびマスフローコントローラ - Google Patents
マスフローメータおよびマスフローコントローラInfo
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- JP2589318Y2 JP2589318Y2 JP1993026978U JP2697893U JP2589318Y2 JP 2589318 Y2 JP2589318 Y2 JP 2589318Y2 JP 1993026978 U JP1993026978 U JP 1993026978U JP 2697893 U JP2697893 U JP 2697893U JP 2589318 Y2 JP2589318 Y2 JP 2589318Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、マスフローメータおよ
びマスフローコントローラに関する。
びマスフローコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマスフローコントローラとして、
例えば図３に示すような構成が採用されている。すなわ
ち、この図において、４０は内部に流体流路が形成され
た本体ブロックで、その上面には前記流体流路と並列的
に接続されると共に一対の自己発熱型のセンサコイル４
１，４２を巻設した逆Ｕ字状の導管４３を備えたマスフ
ローセンサ部４４と、流体の流量または圧力を制御する
ための流体制御部４５が突設されている。
例えば図３に示すような構成が採用されている。すなわ
ち、この図において、４０は内部に流体流路が形成され
た本体ブロックで、その上面には前記流体流路と並列的
に接続されると共に一対の自己発熱型のセンサコイル４
１，４２を巻設した逆Ｕ字状の導管４３を備えたマスフ
ローセンサ部４４と、流体の流量または圧力を制御する
ための流体制御部４５が突設されている。
【０００３】上記構成のマスフローコントローラにおい
ては、通常、本体ブロック４０が水平になるように取付
けベース４６に止着される。このような姿勢で取り付け
られたマスフローコントローラにおいては、導管４３の
センサコイル４１，４２が巻設された部分４７が水平に
なり、センサコイル４１，４２の間には位置的に上下関
係がないので、両センサコイル４１，４２の間で熱対流
が生ずることはない。
ては、通常、本体ブロック４０が水平になるように取付
けベース４６に止着される。このような姿勢で取り付け
られたマスフローコントローラにおいては、導管４３の
センサコイル４１，４２が巻設された部分４７が水平に
なり、センサコイル４１，４２の間には位置的に上下関
係がないので、両センサコイル４１，４２の間で熱対流
が生ずることはない。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、配管系
統の構成上あるいはマスフローコントローラの設置スペ
ースなどの関係で、前記本体ブロック４０を鉛直に取り
付けなければならないことがある。そのような場合、前
記センサコイル４１，４２が巻設された部分４７が垂直
状態になるので、両センサコイル４１，４２において
は、例えばセンサコイル４２がセンサコイル４１よりも
上位に位置することになり、導管４３の内、外部の両方
において熱対流が生ずる。この熱対流によって両センサ
コイル４１，４２が熱的に干渉しあい、流量の測定結果
に誤差が生ずる。
統の構成上あるいはマスフローコントローラの設置スペ
ースなどの関係で、前記本体ブロック４０を鉛直に取り
付けなければならないことがある。そのような場合、前
記センサコイル４１，４２が巻設された部分４７が垂直
状態になるので、両センサコイル４１，４２において
は、例えばセンサコイル４２がセンサコイル４１よりも
上位に位置することになり、導管４３の内、外部の両方
において熱対流が生ずる。この熱対流によって両センサ
コイル４１，４２が熱的に干渉しあい、流量の測定結果
に誤差が生ずる。
【０００５】そこで、従来においては、センサコイル４
１，４２の周囲にガラスウールなどの断熱材を設けるよ
うにしていたが、このようにしても、導管４３の外部に
おける熱対流を低減するのにはかなりの効果があるもの
の、導管４３内部の熱対流を低減することはできなかっ
た。そして、この導管４３内部の熱対流は、導管４３の
内径に比例して大きくなると共に、その与える影響の大
きさは導管４３内を流れる流体の種類や供給圧力によっ
て異なるものであり、大きな誤差要因となっていた。
１，４２の周囲にガラスウールなどの断熱材を設けるよ
うにしていたが、このようにしても、導管４３の外部に
おける熱対流を低減するのにはかなりの効果があるもの
の、導管４３内部の熱対流を低減することはできなかっ
た。そして、この導管４３内部の熱対流は、導管４３の
内径に比例して大きくなると共に、その与える影響の大
きさは導管４３内を流れる流体の種類や供給圧力によっ
て異なるものであり、大きな誤差要因となっていた。
【０００６】このような問題は、すなわち、マスフロー
センサ部４４の姿勢による影響は、マスフローコントロ
ーラの構成から流体制御部４５を省いた構成であるとこ
ろのマスフローメータにおいても生じているところであ
る。
センサ部４４の姿勢による影響は、マスフローコントロ
ーラの構成から流体制御部４５を省いた構成であるとこ
ろのマスフローメータにおいても生じているところであ
る。
【０００７】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、熱対流による流量の測定誤差を簡
単な工夫によって完全になくすことができるマスフロー
メータおよびマスフローコントローラを提供することに
ある。
もので、その目的は、熱対流による流量の測定誤差を簡
単な工夫によって完全になくすことができるマスフロー
メータおよびマスフローコントローラを提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案においては、内部に流体流路を有する本体ブ
ロックの外面に、前記流体流路と並列的に接続されると
共に一対のセンサコイルを巻設した逆Ｕ字状の導管を備
えたマスフローセンサ部を有するマスフローメータにお
いて、前記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を
９０°変換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロ
ックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前
記一対のセンサコイルが水平になるようにしている。
め、本考案においては、内部に流体流路を有する本体ブ
ロックの外面に、前記流体流路と並列的に接続されると
共に一対のセンサコイルを巻設した逆Ｕ字状の導管を備
えたマスフローセンサ部を有するマスフローメータにお
いて、前記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を
９０°変換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロ
ックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前
記一対のセンサコイルが水平になるようにしている。
【０００９】そして、本考案においては、内部に流体流
路を有する本体ブロックの外面に、前記流体流路と並列
的に接続されると共に一対のセンサコイルを巻設した逆
Ｕ字状の導管を備えたマスフローセンサ部を有し、か
つ、流体を制御するための流体制御部を備えたマスフロ
ーコントローラにおいて、前記マスフローセンサ部を、
流体が流れる流路を９０°変換する流路変換ブロックを
介して前記本体ブロックに取付け、本体ブロックを鉛直
方向にしたとき、前記一対のセンサコイルが水平になる
ようにしている。
路を有する本体ブロックの外面に、前記流体流路と並列
的に接続されると共に一対のセンサコイルを巻設した逆
Ｕ字状の導管を備えたマスフローセンサ部を有し、か
つ、流体を制御するための流体制御部を備えたマスフロ
ーコントローラにおいて、前記マスフローセンサ部を、
流体が流れる流路を９０°変換する流路変換ブロックを
介して前記本体ブロックに取付け、本体ブロックを鉛直
方向にしたとき、前記一対のセンサコイルが水平になる
ようにしている。
【００１０】
【作用】上記構成のマスフローメータおよびマスフロー
コントローラの何れにおいても、その本体ブロックを鉛
直方向にしたとき、一対のセンサコイルが水平になり、
導管の内、外部の両方において熱対流が生ずることはな
く、傾斜影響をなくすることができる。
コントローラの何れにおいても、その本体ブロックを鉛
直方向にしたとき、一対のセンサコイルが水平になり、
導管の内、外部の両方において熱対流が生ずることはな
く、傾斜影響をなくすることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１２】図１および図２は本考案に係るマスフロー
コントローラの一例を示し、これらの図において、１は
本体ブロック、２，３は本体ブロック１に形成された流
体入口、流体出口で、接続部材４，５が取り付けられて
いる。６は流体入口２と流体出口３との間に形成される
流体流路で、流体流量を測定するためのマスフローセン
サ部７と流体の流量または圧力を制御するための流体制
御部８とが設けられている。なお、図示する例において
は、マスフローセンサ部７を流体制御部８よりも上流側
に設けてあるが、この配置を逆にしてもよい。
コントローラの一例を示し、これらの図において、１は
本体ブロック、２，３は本体ブロック１に形成された流
体入口、流体出口で、接続部材４，５が取り付けられて
いる。６は流体入口２と流体出口３との間に形成される
流体流路で、流体流量を測定するためのマスフローセン
サ部７と流体の流量または圧力を制御するための流体制
御部８とが設けられている。なお、図示する例において
は、マスフローセンサ部７を流体制御部８よりも上流側
に設けてあるが、この配置を逆にしてもよい。
【００１３】そして、９は流体流路６の上流側に設けら
れる定分流比特性を有するバイパス部で、その上流側お
よび下流側には、一端側が流体流路６と連通し、他端側
が本体ブロック１の上面において開口する流路１０，１
１が形成されている。１０ａ，１１ａは流路１０，１１
の上部側の開口である。
れる定分流比特性を有するバイパス部で、その上流側お
よび下流側には、一端側が流体流路６と連通し、他端側
が本体ブロック１の上面において開口する流路１０，１
１が形成されている。１０ａ，１１ａは流路１０，１１
の上部側の開口である。
【００１４】前記マスフローセンサ部７は、次のように
構成されている。すなわち、１２は結合・分割が可能な
ように互いに対称な形状を有する２つのブロック体より
なるセンサケースで、その内部には、例えば薄肉毛細管
よりなる逆Ｕ字状の導管１３が設けられている。この導
管１３は、フラットな中央部分１３ａとその両側を下方
に折り曲げ互いに平行な部分１３ｂ，１３ｃとからな
る。そして、この導管１３の中央部分１３ａには２つの
自己発熱型のセンサコイル１４，１５が互いに絶縁され
た状態で巻回されている。なお、センサコイル１４，１
５は、図外のブリッジ回路に接続されている。また、１
６，１６はセンサケース１２のベース部材である。
構成されている。すなわち、１２は結合・分割が可能な
ように互いに対称な形状を有する２つのブロック体より
なるセンサケースで、その内部には、例えば薄肉毛細管
よりなる逆Ｕ字状の導管１３が設けられている。この導
管１３は、フラットな中央部分１３ａとその両側を下方
に折り曲げ互いに平行な部分１３ｂ，１３ｃとからな
る。そして、この導管１３の中央部分１３ａには２つの
自己発熱型のセンサコイル１４，１５が互いに絶縁され
た状態で巻回されている。なお、センサコイル１４，１
５は、図外のブリッジ回路に接続されている。また、１
６，１６はセンサケース１２のベース部材である。
【００１５】前記流体制御部８は、次のように構成され
ている。すなわち、前記バイパス部９よりも下流側の流
体流路６にオリフィス１７を備えたオリフィスブロック
１８が設けられると共に、オリフィス１７を開閉する弁
体１９が弁体駆動部としてのピエゾスタック２０および
ダイヤフラム２１によって保持されるようにして設けら
れている。
ている。すなわち、前記バイパス部９よりも下流側の流
体流路６にオリフィス１７を備えたオリフィスブロック
１８が設けられると共に、オリフィス１７を開閉する弁
体１９が弁体駆動部としてのピエゾスタック２０および
ダイヤフラム２１によって保持されるようにして設けら
れている。
【００１６】ここまでの構成は、従来のマスフローコン
トローラと変わるところはない。本考案の特徴的構成
は、本体ブロック１を鉛直方向にしたとき、２個のセン
サコイル１４，１５が水平になるようにした点にある。
このようにするため、本考案では、次のようにしてい
る。すなわち、導管１３が本体ブロック１内の流体流路
６と直交するように、マスフローセンサ部７を本体ブロ
ック１に対して配置すると共に、本体ブロック１とマス
フローセンサ部７との間に流体が流れる流路を９０°変
換する流路変換ブロック２２を介装している。
トローラと変わるところはない。本考案の特徴的構成
は、本体ブロック１を鉛直方向にしたとき、２個のセン
サコイル１４，１５が水平になるようにした点にある。
このようにするため、本考案では、次のようにしてい
る。すなわち、導管１３が本体ブロック１内の流体流路
６と直交するように、マスフローセンサ部７を本体ブロ
ック１に対して配置すると共に、本体ブロック１とマス
フローセンサ部７との間に流体が流れる流路を９０°変
換する流路変換ブロック２２を介装している。
【００１７】より具体的には、２２は適宜の厚さを有す
る流路変換ブロックで、それらの上面および下面にそれ
ぞれ開口２３，２４，２５，２６を設けると共に、下面
側の開口２３と上面側の開口２４とを結ぶクランク形状
の変換流路２７と、上面側の開口２５と下面側の開口２
６とを結ぶクランク形状の変換流路２８とが互いに独立
した状態でブロック内に形成されている。
る流路変換ブロックで、それらの上面および下面にそれ
ぞれ開口２３，２４，２５，２６を設けると共に、下面
側の開口２３と上面側の開口２４とを結ぶクランク形状
の変換流路２７と、上面側の開口２５と下面側の開口２
６とを結ぶクランク形状の変換流路２８とが互いに独立
した状態でブロック内に形成されている。
【００１８】そして、マスフローセンサ部７を本体ブロ
ック１に組み付けるに際しては、まず、流路変換ブロッ
ク２２を、その下面側の開口２３が本体ブロック１の上
面の開口１０ａに対応し、下面側の開口２６が本体ブロ
ック１の上面の開口１０ｂに対応するように、本体ブロ
ック１上に載置する。次いで、マスフローセンサ部７
を、その導管１３が本体ブロック１の流体流路６と直交
するように、かつ、導管１３の折り曲げ部分１３ｂの開
口側が流路変換ブロック２２の上面側の開口２４に対応
し、導管１３の折り曲げ部分１３ｃの開口側が流路変換
ブロック２２の上面側の開口２５に対応するように、流
路変換ブロック２２に載置する。そして、マスフローセ
ンサ部７のベース１６に貫設された孔２９、流路変換ブ
ロック２２に貫設された孔３０を挿通するボルト３１
を、本体ブロック１の上面に形成されたねじ部３２に螺
着するのである。
ック１に組み付けるに際しては、まず、流路変換ブロッ
ク２２を、その下面側の開口２３が本体ブロック１の上
面の開口１０ａに対応し、下面側の開口２６が本体ブロ
ック１の上面の開口１０ｂに対応するように、本体ブロ
ック１上に載置する。次いで、マスフローセンサ部７
を、その導管１３が本体ブロック１の流体流路６と直交
するように、かつ、導管１３の折り曲げ部分１３ｂの開
口側が流路変換ブロック２２の上面側の開口２４に対応
し、導管１３の折り曲げ部分１３ｃの開口側が流路変換
ブロック２２の上面側の開口２５に対応するように、流
路変換ブロック２２に載置する。そして、マスフローセ
ンサ部７のベース１６に貫設された孔２９、流路変換ブ
ロック２２に貫設された孔３０を挿通するボルト３１
を、本体ブロック１の上面に形成されたねじ部３２に螺
着するのである。
【００１９】上述のように構成されたマスフローコント
ローラにおいては、これを、その本体ブロック１が鉛直
方向になるように取り付けた場合、マスフローセンサ部
７のセンサコイル１４，１５は水平になる。そして、接
続部材４側から本体ブロック１内に導入された流体は、
本体ブロック１内の流路６，１０を経て流路変換ブロッ
ク２２内の変換流路２７に至り、ここで流体は９０°そ
の進行方向が変えられる。そして、導管１３の折り曲げ
部分１３ｂ側から導管１３内に入り、さらに、センサコ
イル１４，１５が設けられた中央部分１３ａを通過した
後、折り曲げ部分１３ｃを経て、流路変換ブロック２２
内の変換流路２８に至り、ここで、流体は９０°その進
行方向が変えられ、本体ブロック１内の流路１１を経
て、流路６に入り、その後、流体制御部８のオリフィス
方向に向かう。
ローラにおいては、これを、その本体ブロック１が鉛直
方向になるように取り付けた場合、マスフローセンサ部
７のセンサコイル１４，１５は水平になる。そして、接
続部材４側から本体ブロック１内に導入された流体は、
本体ブロック１内の流路６，１０を経て流路変換ブロッ
ク２２内の変換流路２７に至り、ここで流体は９０°そ
の進行方向が変えられる。そして、導管１３の折り曲げ
部分１３ｂ側から導管１３内に入り、さらに、センサコ
イル１４，１５が設けられた中央部分１３ａを通過した
後、折り曲げ部分１３ｃを経て、流路変換ブロック２２
内の変換流路２８に至り、ここで、流体は９０°その進
行方向が変えられ、本体ブロック１内の流路１１を経
て、流路６に入り、その後、流体制御部８のオリフィス
方向に向かう。
【００２０】上述のように構成されたマスフローコント
ローラにおいては、その本体ブロック１を鉛直方向にし
たとき、導管１３に巻設された２個のセンサコイル１
４，１５が水平になり、導管１３の内、外部の両方にお
いて熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による
測定誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえると
共に、流体の制御を確実に行うことができる。
ローラにおいては、その本体ブロック１を鉛直方向にし
たとき、導管１３に巻設された２個のセンサコイル１
４，１５が水平になり、導管１３の内、外部の両方にお
いて熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による
測定誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえると
共に、流体の制御を確実に行うことができる。
【００２１】本考案は、上述の実施例に限られるもので
はなく、マスフローコントローラの構成から流体制御部
８を省いた構成であるところのマスフローメータにおい
ても同様に適用することができ、精度の高い流量測定が
行なえることはいうまでもない。
はなく、マスフローコントローラの構成から流体制御部
８を省いた構成であるところのマスフローメータにおい
ても同様に適用することができ、精度の高い流量測定が
行なえることはいうまでもない。
【００２２】
【考案の効果】以上説明したように、本考案に係るマス
フローメータは、マスフローセンサ部を、流体が流れる
流路を９０°変換する流路変換ブロックを介して本体ブ
ロックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、
２個のセンサコイルが水平になるようにしているので、
センサコイルを巻設した導管の内、外部の両方において
熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による測定
誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえる。
フローメータは、マスフローセンサ部を、流体が流れる
流路を９０°変換する流路変換ブロックを介して本体ブ
ロックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、
２個のセンサコイルが水平になるようにしているので、
センサコイルを巻設した導管の内、外部の両方において
熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による測定
誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえる。
【００２３】また、本考案に係るマスフローコントロー
ラは、上記マスフローメータにおける効果に加えて、精
度の高い流量測定が行なえるといった効果を奏する。
ラは、上記マスフローメータにおける効果に加えて、精
度の高い流量測定が行なえるといった効果を奏する。
【図１】本考案に係るマスフローコントローラの一例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】前記マスフローコントローラにおけるマスフロ
ーセンサ部の構成を示す分解斜視図である。
ーセンサ部の構成を示す分解斜視図である。
【図３】従来技術を説明するための図である。
１…本体ブロック、６…流体流路、７…マスフローセン
サ部、８…流体制御部、１３…導管、１４，１５…セン
サコイル、２２…流路変換ブロック。
サ部、８…流体制御部、１３…導管、１４，１５…セン
サコイル、２２…流路変換ブロック。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−318925（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−278411（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−159110（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−88622（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−73317（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−20322（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/68 G05D 7/06
Claims (2)
- 【請求項１】 内部に流体流路を有する本体ブロックの
外面に、前記流体流路と並列的に接続されると共に一対
のセンサコイルを巻設した逆Ｕ字状の導管を備えたマス
フローセンサ部を有するマスフローメータにおいて、前
記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を９０°変
換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロックに取
付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前記一対の
センサコイルが水平になるようにしたことを特徴とする
マスフローメータ。 - 【請求項２】 内部に流体流路を有する本体ブロックの
外面に、前記流体流路と並列的に接続されると共に一対
のセンサコイルを巻設した逆Ｕ字状の導管を備えたマス
フローセンサ部を有し、かつ、流体を制御するための流
体制御部を備えたマスフローコントローラにおいて、前
記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を９０°変
換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロックに取
付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前記一対の
センサコイルが水平になるようにしたことを特徴とする
マスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993026978U JP2589318Y2 (ja) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993026978U JP2589318Y2 (ja) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0680130U JPH0680130U (ja) | 1994-11-08 |
| JP2589318Y2 true JP2589318Y2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=12208255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993026978U Expired - Fee Related JP2589318Y2 (ja) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2589318Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005121718A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Yamatake Corporation | 流量計 |
| JP2016151491A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | Smc株式会社 | 熱式フローセンサ |
| JP2017040668A (ja) * | 2005-11-22 | 2017-02-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 熱式質量流量計、熱式質量流量制御器、及び質量流量制御器内の熱サイフォンを防止する方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3528436B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2004-05-17 | 松下電器産業株式会社 | 超音波式流量計及び流速計 |
| JP2008292484A (ja) * | 2008-05-19 | 2008-12-04 | Horiba Stec Co Ltd | 集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構 |
| JP6426042B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2018-11-21 | 住友重機械工業株式会社 | 空気バネ用空気圧調整ユニット |
-
1993
- 1993-04-24 JP JP1993026978U patent/JP2589318Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2005121718A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Yamatake Corporation | 流量計 |
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| JP2016151491A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | Smc株式会社 | 熱式フローセンサ |
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| JPH0680130U (ja) | 1994-11-08 |
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