JP2589318Y2 - マスフローメータおよびマスフローコントローラ - Google Patents
マスフローメータおよびマスフローコントローラInfo
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- JP2589318Y2 JP2589318Y2 JP1993026978U JP2697893U JP2589318Y2 JP 2589318 Y2 JP2589318 Y2 JP 2589318Y2 JP 1993026978 U JP1993026978 U JP 1993026978U JP 2697893 U JP2697893 U JP 2697893U JP 2589318 Y2 JP2589318 Y2 JP 2589318Y2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、マスフローメータおよ
びマスフローコントローラに関する。
びマスフローコントローラに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のマスフローコントローラとして、
例えば図3に示すような構成が採用されている。すなわ
ち、この図において、40は内部に流体流路が形成され
た本体ブロックで、その上面には前記流体流路と並列的
に接続されると共に一対の自己発熱型のセンサコイル4
1,42を巻設した逆U字状の導管43を備えたマスフ
ローセンサ部44と、流体の流量または圧力を制御する
ための流体制御部45が突設されている。
例えば図3に示すような構成が採用されている。すなわ
ち、この図において、40は内部に流体流路が形成され
た本体ブロックで、その上面には前記流体流路と並列的
に接続されると共に一対の自己発熱型のセンサコイル4
1,42を巻設した逆U字状の導管43を備えたマスフ
ローセンサ部44と、流体の流量または圧力を制御する
ための流体制御部45が突設されている。
【0003】上記構成のマスフローコントローラにおい
ては、通常、本体ブロック40が水平になるように取付
けベース46に止着される。このような姿勢で取り付け
られたマスフローコントローラにおいては、導管43の
センサコイル41,42が巻設された部分47が水平に
なり、センサコイル41,42の間には位置的に上下関
係がないので、両センサコイル41,42の間で熱対流
が生ずることはない。
ては、通常、本体ブロック40が水平になるように取付
けベース46に止着される。このような姿勢で取り付け
られたマスフローコントローラにおいては、導管43の
センサコイル41,42が巻設された部分47が水平に
なり、センサコイル41,42の間には位置的に上下関
係がないので、両センサコイル41,42の間で熱対流
が生ずることはない。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、配管系
統の構成上あるいはマスフローコントローラの設置スペ
ースなどの関係で、前記本体ブロック40を鉛直に取り
付けなければならないことがある。そのような場合、前
記センサコイル41,42が巻設された部分47が垂直
状態になるので、両センサコイル41,42において
は、例えばセンサコイル42がセンサコイル41よりも
上位に位置することになり、導管43の内、外部の両方
において熱対流が生ずる。この熱対流によって両センサ
コイル41,42が熱的に干渉しあい、流量の測定結果
に誤差が生ずる。
統の構成上あるいはマスフローコントローラの設置スペ
ースなどの関係で、前記本体ブロック40を鉛直に取り
付けなければならないことがある。そのような場合、前
記センサコイル41,42が巻設された部分47が垂直
状態になるので、両センサコイル41,42において
は、例えばセンサコイル42がセンサコイル41よりも
上位に位置することになり、導管43の内、外部の両方
において熱対流が生ずる。この熱対流によって両センサ
コイル41,42が熱的に干渉しあい、流量の測定結果
に誤差が生ずる。
【0005】そこで、従来においては、センサコイル4
1,42の周囲にガラスウールなどの断熱材を設けるよ
うにしていたが、このようにしても、導管43の外部に
おける熱対流を低減するのにはかなりの効果があるもの
の、導管43内部の熱対流を低減することはできなかっ
た。そして、この導管43内部の熱対流は、導管43の
内径に比例して大きくなると共に、その与える影響の大
きさは導管43内を流れる流体の種類や供給圧力によっ
て異なるものであり、大きな誤差要因となっていた。
1,42の周囲にガラスウールなどの断熱材を設けるよ
うにしていたが、このようにしても、導管43の外部に
おける熱対流を低減するのにはかなりの効果があるもの
の、導管43内部の熱対流を低減することはできなかっ
た。そして、この導管43内部の熱対流は、導管43の
内径に比例して大きくなると共に、その与える影響の大
きさは導管43内を流れる流体の種類や供給圧力によっ
て異なるものであり、大きな誤差要因となっていた。
【0006】このような問題は、すなわち、マスフロー
センサ部44の姿勢による影響は、マスフローコントロ
ーラの構成から流体制御部45を省いた構成であるとこ
ろのマスフローメータにおいても生じているところであ
る。
センサ部44の姿勢による影響は、マスフローコントロ
ーラの構成から流体制御部45を省いた構成であるとこ
ろのマスフローメータにおいても生じているところであ
る。
【0007】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、熱対流による流量の測定誤差を簡
単な工夫によって完全になくすことができるマスフロー
メータおよびマスフローコントローラを提供することに
ある。
もので、その目的は、熱対流による流量の測定誤差を簡
単な工夫によって完全になくすことができるマスフロー
メータおよびマスフローコントローラを提供することに
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案においては、内部に流体流路を有する本体ブ
ロックの外面に、前記流体流路と並列的に接続されると
共に一対のセンサコイルを巻設した逆U字状の導管を備
えたマスフローセンサ部を有するマスフローメータにお
いて、前記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を
90°変換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロ
ックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前
記一対のセンサコイルが水平になるようにしている。
め、本考案においては、内部に流体流路を有する本体ブ
ロックの外面に、前記流体流路と並列的に接続されると
共に一対のセンサコイルを巻設した逆U字状の導管を備
えたマスフローセンサ部を有するマスフローメータにお
いて、前記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を
90°変換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロ
ックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前
記一対のセンサコイルが水平になるようにしている。
【0009】そして、本考案においては、内部に流体流
路を有する本体ブロックの外面に、前記流体流路と並列
的に接続されると共に一対のセンサコイルを巻設した逆
U字状の導管を備えたマスフローセンサ部を有し、か
つ、流体を制御するための流体制御部を備えたマスフロ
ーコントローラにおいて、前記マスフローセンサ部を、
流体が流れる流路を90°変換する流路変換ブロックを
介して前記本体ブロックに取付け、本体ブロックを鉛直
方向にしたとき、前記一対のセンサコイルが水平になる
ようにしている。
路を有する本体ブロックの外面に、前記流体流路と並列
的に接続されると共に一対のセンサコイルを巻設した逆
U字状の導管を備えたマスフローセンサ部を有し、か
つ、流体を制御するための流体制御部を備えたマスフロ
ーコントローラにおいて、前記マスフローセンサ部を、
流体が流れる流路を90°変換する流路変換ブロックを
介して前記本体ブロックに取付け、本体ブロックを鉛直
方向にしたとき、前記一対のセンサコイルが水平になる
ようにしている。
【0010】
【作用】上記構成のマスフローメータおよびマスフロー
コントローラの何れにおいても、その本体ブロックを鉛
直方向にしたとき、一対のセンサコイルが水平になり、
導管の内、外部の両方において熱対流が生ずることはな
く、傾斜影響をなくすることができる。
コントローラの何れにおいても、その本体ブロックを鉛
直方向にしたとき、一対のセンサコイルが水平になり、
導管の内、外部の両方において熱対流が生ずることはな
く、傾斜影響をなくすることができる。
【0011】
【実施例】以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説
明する。
明する。
【0012】図1および図2は本考案に係るマスフロー
コントローラの一例を示し、これらの図において、1は
本体ブロック、2,3は本体ブロック1に形成された流
体入口、流体出口で、接続部材4,5が取り付けられて
いる。6は流体入口2と流体出口3との間に形成される
流体流路で、流体流量を測定するためのマスフローセン
サ部7と流体の流量または圧力を制御するための流体制
御部8とが設けられている。なお、図示する例において
は、マスフローセンサ部7を流体制御部8よりも上流側
に設けてあるが、この配置を逆にしてもよい。
コントローラの一例を示し、これらの図において、1は
本体ブロック、2,3は本体ブロック1に形成された流
体入口、流体出口で、接続部材4,5が取り付けられて
いる。6は流体入口2と流体出口3との間に形成される
流体流路で、流体流量を測定するためのマスフローセン
サ部7と流体の流量または圧力を制御するための流体制
御部8とが設けられている。なお、図示する例において
は、マスフローセンサ部7を流体制御部8よりも上流側
に設けてあるが、この配置を逆にしてもよい。
【0013】そして、9は流体流路6の上流側に設けら
れる定分流比特性を有するバイパス部で、その上流側お
よび下流側には、一端側が流体流路6と連通し、他端側
が本体ブロック1の上面において開口する流路10,1
1が形成されている。10a,11aは流路10,11
の上部側の開口である。
れる定分流比特性を有するバイパス部で、その上流側お
よび下流側には、一端側が流体流路6と連通し、他端側
が本体ブロック1の上面において開口する流路10,1
1が形成されている。10a,11aは流路10,11
の上部側の開口である。
【0014】前記マスフローセンサ部7は、次のように
構成されている。すなわち、12は結合・分割が可能な
ように互いに対称な形状を有する2つのブロック体より
なるセンサケースで、その内部には、例えば薄肉毛細管
よりなる逆U字状の導管13が設けられている。この導
管13は、フラットな中央部分13aとその両側を下方
に折り曲げ互いに平行な部分13b,13cとからな
る。そして、この導管13の中央部分13aには2つの
自己発熱型のセンサコイル14,15が互いに絶縁され
た状態で巻回されている。なお、センサコイル14,1
5は、図外のブリッジ回路に接続されている。また、1
6,16はセンサケース12のベース部材である。
構成されている。すなわち、12は結合・分割が可能な
ように互いに対称な形状を有する2つのブロック体より
なるセンサケースで、その内部には、例えば薄肉毛細管
よりなる逆U字状の導管13が設けられている。この導
管13は、フラットな中央部分13aとその両側を下方
に折り曲げ互いに平行な部分13b,13cとからな
る。そして、この導管13の中央部分13aには2つの
自己発熱型のセンサコイル14,15が互いに絶縁され
た状態で巻回されている。なお、センサコイル14,1
5は、図外のブリッジ回路に接続されている。また、1
6,16はセンサケース12のベース部材である。
【0015】前記流体制御部8は、次のように構成され
ている。すなわち、前記バイパス部9よりも下流側の流
体流路6にオリフィス17を備えたオリフィスブロック
18が設けられると共に、オリフィス17を開閉する弁
体19が弁体駆動部としてのピエゾスタック20および
ダイヤフラム21によって保持されるようにして設けら
れている。
ている。すなわち、前記バイパス部9よりも下流側の流
体流路6にオリフィス17を備えたオリフィスブロック
18が設けられると共に、オリフィス17を開閉する弁
体19が弁体駆動部としてのピエゾスタック20および
ダイヤフラム21によって保持されるようにして設けら
れている。
【0016】ここまでの構成は、従来のマスフローコン
トローラと変わるところはない。本考案の特徴的構成
は、本体ブロック1を鉛直方向にしたとき、2個のセン
サコイル14,15が水平になるようにした点にある。
このようにするため、本考案では、次のようにしてい
る。すなわち、導管13が本体ブロック1内の流体流路
6と直交するように、マスフローセンサ部7を本体ブロ
ック1に対して配置すると共に、本体ブロック1とマス
フローセンサ部7との間に流体が流れる流路を90°変
換する流路変換ブロック22を介装している。
トローラと変わるところはない。本考案の特徴的構成
は、本体ブロック1を鉛直方向にしたとき、2個のセン
サコイル14,15が水平になるようにした点にある。
このようにするため、本考案では、次のようにしてい
る。すなわち、導管13が本体ブロック1内の流体流路
6と直交するように、マスフローセンサ部7を本体ブロ
ック1に対して配置すると共に、本体ブロック1とマス
フローセンサ部7との間に流体が流れる流路を90°変
換する流路変換ブロック22を介装している。
【0017】より具体的には、22は適宜の厚さを有す
る流路変換ブロックで、それらの上面および下面にそれ
ぞれ開口23,24,25,26を設けると共に、下面
側の開口23と上面側の開口24とを結ぶクランク形状
の変換流路27と、上面側の開口25と下面側の開口2
6とを結ぶクランク形状の変換流路28とが互いに独立
した状態でブロック内に形成されている。
る流路変換ブロックで、それらの上面および下面にそれ
ぞれ開口23,24,25,26を設けると共に、下面
側の開口23と上面側の開口24とを結ぶクランク形状
の変換流路27と、上面側の開口25と下面側の開口2
6とを結ぶクランク形状の変換流路28とが互いに独立
した状態でブロック内に形成されている。
【0018】そして、マスフローセンサ部7を本体ブロ
ック1に組み付けるに際しては、まず、流路変換ブロッ
ク22を、その下面側の開口23が本体ブロック1の上
面の開口10aに対応し、下面側の開口26が本体ブロ
ック1の上面の開口10bに対応するように、本体ブロ
ック1上に載置する。次いで、マスフローセンサ部7
を、その導管13が本体ブロック1の流体流路6と直交
するように、かつ、導管13の折り曲げ部分13bの開
口側が流路変換ブロック22の上面側の開口24に対応
し、導管13の折り曲げ部分13cの開口側が流路変換
ブロック22の上面側の開口25に対応するように、流
路変換ブロック22に載置する。そして、マスフローセ
ンサ部7のベース16に貫設された孔29、流路変換ブ
ロック22に貫設された孔30を挿通するボルト31
を、本体ブロック1の上面に形成されたねじ部32に螺
着するのである。
ック1に組み付けるに際しては、まず、流路変換ブロッ
ク22を、その下面側の開口23が本体ブロック1の上
面の開口10aに対応し、下面側の開口26が本体ブロ
ック1の上面の開口10bに対応するように、本体ブロ
ック1上に載置する。次いで、マスフローセンサ部7
を、その導管13が本体ブロック1の流体流路6と直交
するように、かつ、導管13の折り曲げ部分13bの開
口側が流路変換ブロック22の上面側の開口24に対応
し、導管13の折り曲げ部分13cの開口側が流路変換
ブロック22の上面側の開口25に対応するように、流
路変換ブロック22に載置する。そして、マスフローセ
ンサ部7のベース16に貫設された孔29、流路変換ブ
ロック22に貫設された孔30を挿通するボルト31
を、本体ブロック1の上面に形成されたねじ部32に螺
着するのである。
【0019】上述のように構成されたマスフローコント
ローラにおいては、これを、その本体ブロック1が鉛直
方向になるように取り付けた場合、マスフローセンサ部
7のセンサコイル14,15は水平になる。そして、接
続部材4側から本体ブロック1内に導入された流体は、
本体ブロック1内の流路6,10を経て流路変換ブロッ
ク22内の変換流路27に至り、ここで流体は90°そ
の進行方向が変えられる。そして、導管13の折り曲げ
部分13b側から導管13内に入り、さらに、センサコ
イル14,15が設けられた中央部分13aを通過した
後、折り曲げ部分13cを経て、流路変換ブロック22
内の変換流路28に至り、ここで、流体は90°その進
行方向が変えられ、本体ブロック1内の流路11を経
て、流路6に入り、その後、流体制御部8のオリフィス
方向に向かう。
ローラにおいては、これを、その本体ブロック1が鉛直
方向になるように取り付けた場合、マスフローセンサ部
7のセンサコイル14,15は水平になる。そして、接
続部材4側から本体ブロック1内に導入された流体は、
本体ブロック1内の流路6,10を経て流路変換ブロッ
ク22内の変換流路27に至り、ここで流体は90°そ
の進行方向が変えられる。そして、導管13の折り曲げ
部分13b側から導管13内に入り、さらに、センサコ
イル14,15が設けられた中央部分13aを通過した
後、折り曲げ部分13cを経て、流路変換ブロック22
内の変換流路28に至り、ここで、流体は90°その進
行方向が変えられ、本体ブロック1内の流路11を経
て、流路6に入り、その後、流体制御部8のオリフィス
方向に向かう。
【0020】上述のように構成されたマスフローコント
ローラにおいては、その本体ブロック1を鉛直方向にし
たとき、導管13に巻設された2個のセンサコイル1
4,15が水平になり、導管13の内、外部の両方にお
いて熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による
測定誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえると
共に、流体の制御を確実に行うことができる。
ローラにおいては、その本体ブロック1を鉛直方向にし
たとき、導管13に巻設された2個のセンサコイル1
4,15が水平になり、導管13の内、外部の両方にお
いて熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による
測定誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえると
共に、流体の制御を確実に行うことができる。
【0021】本考案は、上述の実施例に限られるもので
はなく、マスフローコントローラの構成から流体制御部
8を省いた構成であるところのマスフローメータにおい
ても同様に適用することができ、精度の高い流量測定が
行なえることはいうまでもない。
はなく、マスフローコントローラの構成から流体制御部
8を省いた構成であるところのマスフローメータにおい
ても同様に適用することができ、精度の高い流量測定が
行なえることはいうまでもない。
【0022】
【考案の効果】以上説明したように、本考案に係るマス
フローメータは、マスフローセンサ部を、流体が流れる
流路を90°変換する流路変換ブロックを介して本体ブ
ロックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、
2個のセンサコイルが水平になるようにしているので、
センサコイルを巻設した導管の内、外部の両方において
熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による測定
誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえる。
フローメータは、マスフローセンサ部を、流体が流れる
流路を90°変換する流路変換ブロックを介して本体ブ
ロックに取付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、
2個のセンサコイルが水平になるようにしているので、
センサコイルを巻設した導管の内、外部の両方において
熱対流が生ずることがない。従って、熱対流による測定
誤差がなくなり、精度の高い流量測定が行なえる。
【0023】また、本考案に係るマスフローコントロー
ラは、上記マスフローメータにおける効果に加えて、精
度の高い流量測定が行なえるといった効果を奏する。
ラは、上記マスフローメータにおける効果に加えて、精
度の高い流量測定が行なえるといった効果を奏する。
【図1】本考案に係るマスフローコントローラの一例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図2】前記マスフローコントローラにおけるマスフロ
ーセンサ部の構成を示す分解斜視図である。
ーセンサ部の構成を示す分解斜視図である。
【図3】従来技術を説明するための図である。
1…本体ブロック、6…流体流路、7…マスフローセン
サ部、8…流体制御部、13…導管、14,15…セン
サコイル、22…流路変換ブロック。
サ部、8…流体制御部、13…導管、14,15…セン
サコイル、22…流路変換ブロック。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−318925(JP,A) 特開 昭62−278411(JP,A) 特開 昭61−159110(JP,A) 特開 昭59−88622(JP,A) 特開 昭56−73317(JP,A) 実開 昭62−20322(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01F 1/68 G05D 7/06
Claims (2)
- 【請求項1】 内部に流体流路を有する本体ブロックの
外面に、前記流体流路と並列的に接続されると共に一対
のセンサコイルを巻設した逆U字状の導管を備えたマス
フローセンサ部を有するマスフローメータにおいて、前
記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を90°変
換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロックに取
付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前記一対の
センサコイルが水平になるようにしたことを特徴とする
マスフローメータ。 - 【請求項2】 内部に流体流路を有する本体ブロックの
外面に、前記流体流路と並列的に接続されると共に一対
のセンサコイルを巻設した逆U字状の導管を備えたマス
フローセンサ部を有し、かつ、流体を制御するための流
体制御部を備えたマスフローコントローラにおいて、前
記マスフローセンサ部を、流体が流れる流路を90°変
換する流路変換ブロックを介して前記本体ブロックに取
付け、本体ブロックを鉛直方向にしたとき、前記一対の
センサコイルが水平になるようにしたことを特徴とする
マスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993026978U JP2589318Y2 (ja) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993026978U JP2589318Y2 (ja) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0680130U JPH0680130U (ja) | 1994-11-08 |
JP2589318Y2 true JP2589318Y2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=12208255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993026978U Expired - Fee Related JP2589318Y2 (ja) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | マスフローメータおよびマスフローコントローラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2589318Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005121718A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Yamatake Corporation | 流量計 |
JP2016151491A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | Smc株式会社 | 熱式フローセンサ |
JP2017040668A (ja) * | 2005-11-22 | 2017-02-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 熱式質量流量計、熱式質量流量制御器、及び質量流量制御器内の熱サイフォンを防止する方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3528436B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2004-05-17 | 松下電器産業株式会社 | 超音波式流量計及び流速計 |
JP2008292484A (ja) * | 2008-05-19 | 2008-12-04 | Horiba Stec Co Ltd | 集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構 |
JP6426042B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2018-11-21 | 住友重機械工業株式会社 | 空気バネ用空気圧調整ユニット |
-
1993
- 1993-04-24 JP JP1993026978U patent/JP2589318Y2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2005121718A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Yamatake Corporation | 流量計 |
US7698938B2 (en) | 2004-06-10 | 2010-04-20 | Yamatake Corporation | Flowmeter having a bent inlet passage for constant flow-velocity distribution |
JP2017040668A (ja) * | 2005-11-22 | 2017-02-23 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated | 熱式質量流量計、熱式質量流量制御器、及び質量流量制御器内の熱サイフォンを防止する方法 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0680130U (ja) | 1994-11-08 |
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