JP6688062B2 - 流量センサの補正装置、流量測定システム、流量制御装置、補正装置用プログラム、及び、補正方法 - Google Patents
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Description
FI=(Vu-Vd)/(Vu+Vd)
ここで、FIは前記センサ機構M1の出力信号の示す値、Vuは上流側電圧、Vdは下流側電圧である。
x=FI×amp
ここで、xはセンサ出力値、FIは前記センサ機構M1の出力信号の示す値、ampは感度係数である。
C(λ, x, m)=(const1×m)×((1/λ)^2-const2)×(x)^4
ここで、Cは補正項、mは感度補正値、λは流体種ごとに決まる熱伝導率、xはセンサ出力値、const1 const2は定数である。なお、1/λの乗数は2に限られるものではなく、1以上であればよい。例えば1.5乗や3乗等の値であってもよい。また、センサ流量値xの乗数は4に限られるものではなく、2乗や2.5乗、3乗等で様々な値であってもよい。
さらに、補正対象の流量センサについてバイパス流路の直径を直接又は間接的に測定して、その結果に基づいて感度補正値mを1よりも大きくするか、あるいは小さくするかを決定してもよい。例えば補正対象の流量センサが組み込まれる前であれば、マイクロスコープ等でバイパス流路の直径を測定することができる。このバイパス流量の直径が設計値よりも小さい場合にはセンサ流路に流れる流量が多くなるため実流量特性関数F(x)は標準流量特性関数f(x)よりも上側の領域に存在することになる。したがって、実流量特性関数F(x)の直線性を改善したG(x)とするには、感度補正値mを1より小さく設定すればよい。逆にバイパス流路の直径が設計値よりも大きい場合には、センサ流路に流れる流量が少なくなるため実流量特性関数F(x)は標準流量特性関数f(x)よりも下側の領域に存在することになる。したがって、実流量特性関数F(x)の直線性を改善したG(x)とするには、感度補正値mを1より大きく設定すればよい。
また、ある規定流量を流した場合に補正対象の流量センサのバイパス流路に発生する差圧に基づいて感度補正値mについて1よりも大きくするか、小さくするかを決めてもよい。
1 ・・・第1測定値記憶部
2 ・・・感度設定部
21 ・・・調整効果記憶部
22 ・・・感度決定部
3 ・・・第2測定値記憶部
4 ・・・関数算出部
5 ・・・補正項算出部
6 ・・・関数修正部
Claims (12)
- 流路に流れる流体の流量に応じた出力信号を出力するセンサ機構と、前記出力信号の示す値、及び、感度係数に基づいてセンサ出力値xを算出するセンサ出力算出部と、入力をセンサ出力値x、出力を流量値yとする流量特性関数を記憶する関数記憶部と、前記センサ出力算出部で算出されるセンサ出力値xと流量特性関数に基づいて流量値yを算出する流量算出部と、を備えた流量センサについて流量特性関数を補正する補正装置であって、
前記感度係数を初期値、及び、感度補正値mに基づいて設定し、前記流量センサの感度を調整する感度設定部と、
前記流量センサから出力される流量値yに基づいて決定される関数補正値n、及び、標準流量特性関数f(x)に基づいて、補正後流量特性関数g(x)を算出する関数算出部と、
前記関数算出部で算出された補正後流量特性関数g(x)に基づく最終流量特性関数h(x)を前記関数記憶部に流量特性関数として記憶させる関数修正部と、を備えたことを特徴とする補正装置。 - 前記流路に第1流量値F1が流れている場合において、当該第1流量値F1と、前記感度係数が初期値に設定されている初期状態の前記流量センサから出力される流量値yである感度調整前流量値S1を記憶する第1測定値記憶部をさらに備え、
前記感度設定部が、前記第1流量値F1と前記感度調整前流量値S1との差に応じて前記感度補正値mを変更するように構成されている請求項1記載の補正装置。 - 前記感度設定部が、
前記感度補正値mと、当該感度補正値mに基づく感度係数を設定した場合に所定のセンサ出力値xにおいて新たに発生する実際の流量値yと前記流量センサから出力される流量値yとの差のとの間の関係である調整効果関係を記憶する調整効果記憶部と、
前記第1流量値F1と前記感度調整前流量値S1との差を打ち消す前記感度補正値mを前記調整効果関係に基づいて決定する感度決定部とを備えた請求項2記載の補正装置。 - 前記第1流量値F1が前記流量センサにおいて設定されている流量値yのスパンよりも小さい流量値yである請求項2又は3記載の補正装置。
- 前記流路に第2流量値F2が流れている場合において、前記第2流量値F2と、感度調整後の前記流量センサから出力される流量値yである感度調整後流量値S2を記憶する第2測定値記憶部をさらに備え、
前記関数算出部が、前記第2流量値F2を前記感度調整後流量値S2で割った値を前記関数補正値nとして前記標準流量特性関数f(x)に乗じるように構成されている請求項1乃至4いずれかに記載の補正装置。 - 前記第2流量値F2が前記流量センサにおいて設定されている流量値yのスパンである請求項5記載の補正装置。
- 流体の熱伝導率λと、前記感度補正値mとに基づいて補正項を算出する補正項算出部をさらに備え、
前記関数修正部が、前記補正後流量特性関数g(x)に前記補正項を加えて前記最終流量特性関数h(x)を算出し、前記関数記憶部に当該最終流量特性関数h(x)を記憶させるように構成されている請求項1乃至6いずれかに記載の補正装置。 - 前記補正項が、前記感度補正値mと前記流体の熱伝導率λの逆数の二乗の積にセンサ出力値xの四乗を乗じたものである請求項7記載の流量センサの補正装置。
- 請求項1乃至8いずれかに記載の補正装置と、
前記補正装置が出力した前記最終流量特性関数h(x)に基づいて流量値yを出力するように構成された流量センサと、を備えた流量測定システム。 - 請求項9記載の流量測定システムを備えた流量制御装置。
- 流路に流れる流体の流量に応じた出力信号を出力するセンサ機構と、前記出力信号の示す値、及び、感度係数に基づいてセンサ出力値xを算出するセンサ出力算出部と、入力をセンサ出力値x、出力を流量値yとする流量特性関数を記憶する関数記憶部と、前記センサ出力算出部で算出されるセンサ出力値xと流量特性関数に基づいて流量値yを算出する流量算出部と、を備えた流量センサについて流量特性関数を補正する補正装置用プログラムであって、
前記感度係数を初期値、及び、感度補正値mに基づいて設定し、前記流量センサの感度を調整する感度設定部と、
前記流量センサから出力される流量値yに基づいて決定される関数補正値n、及び、標準流量特性関数f(x)に基づいて、補正後流量特性関数g(x)を算出する関数算出部と、
前記関数算出部で算出された補正後流量特性関数g(x)に基づく最終流量特性関数h(x)を前記関数記憶部に流量特性関数として記憶させる関数修正部と、としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とする補正装置用プログラム。 - 流路に流れる流体の流量に応じた出力信号を出力するセンサ機構と、前記出力信号の示す値、及び、感度係数に基づいてセンサ出力値xを算出するセンサ出力算出部と、入力をセンサ出力値x、出力を流量値yとする流量特性関数を記憶する関数記憶部と、前記センサ出力算出部で算出されるセンサ出力値xと流量特性関数に基づいて流量値yを算出する流量算出部と、を備えた流量センサについて流量特性関数を補正する補正方法であって、
前記感度係数を初期値、及び、感度補正値mに基づいて設定し、前記流量センサの感度を調整する工程と、
前記流量センサから出力される流量値yに基づいて決定される関数補正値nを標準流量特性関数f(x)に基づいて、補正後流量特性関数g(x)を算出する工程と、
算出された補正後流量特性関数g(x)に基づく最終流量特性関数h(x)を前記関数記憶部に流量特性関数として記憶させる工程と、を備えたことを特徴とする補正方法。
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