JP5969760B2 - 熱式流量センサ - Google Patents
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Description
この定電流制御方式のものにおいては、上流側コイル411及び下流側コイル412を直列に接続し、2つの固定抵抗107、108を直列に接続して、これらを並列接続してなるブリッジ回路BC3と当該ブリッジ回路BC3に所定の一定電流を供給する例えばオペアンプやトランジスタを用いた制御回路CC3と、上流側コイル411及び下流側コイル412の接続点の電位及び2つの固定抵抗107、108の接続点の電位の差を出力するオペアンプを有する電位差検出回路VDとを有する。なお、上流側コイル411及び下流側コイル412は、同じ抵抗温度係数である材料を用いて構成されている。
例えば、図8に示すように、上流側コイル411の巻線幅(Lu)が、下流側コイル412の巻線幅(Ld)よりも長くなるように構成したものであっても良い。このような構成によっても、上流側コイル411及び下流側コイル412によりに生じる温度分布のピーク位置を、上流側コイル411及び下流側コイル412の間の中央位置Xよりも上流側コイル411側とすることができる。なお、上流側コイル411及び下流側コイル412の巻線平均温度は同一であるが、図8の破線に示すように、各コイル411、412それぞれの温度分布を合わせると、温度分布のピーク位置が中央位置Xよりも上流側コイル411側となる。
2・・・メイン流路
200・・・メイン流路管
3・・・センサ流路
300・・・センサ流路管
4・・・流量検出機構
411・・・上流側コイル
412・・・下流側コイル
BC1、BC2・・・ブリッジ回路
CC1、CC2・・・制御回路
BC3・・・ブリッジ回路
CC3・・・制御回路
Claims (4)
- 流体である処理用ガスが流れるメイン流路及び当該メイン流路から分岐して前記流体を分流させて前記流体の流量を検出する流量検出機構が設けられるセンサ流路を備えており、
前記流量検出機構が、前記センサ流路を形成するセンサ流路管に巻回された発熱抵抗線からなる上流側コイル及び下流側コイルを有し、
前記上流側コイル及び前記下流側コイルにより前記センサ流路に生じる温度分布のピーク位置が、前記センサ流路における前記上流側コイル及び前記下流側コイルの間の中央位置よりも前記上流側コイル側にあることを特徴とする熱式流量センサ。 - 流体である処理用ガスが流れるメイン流路及び当該メイン流路から分岐して前記流体を分流させて前記流体の流量を検出する流量検出機構が設けられるセンサ流路を備えており、
前記流量検出機構が、前記センサ流路を形成するセンサ流路管に巻回された発熱抵抗線からなる上流側コイル及び下流側コイルを有し、
前記上流側コイルの加熱温度が前記下流側コイルの加熱温度よりも高く設定されていることを特徴とする熱式流量センサ。 - 流体である処理用ガスが流れるメイン流路及び当該メイン流路から分岐して前記流体を分流させて前記流体の流量を検出する流量検出機構が設けられるセンサ流路を備えており、
前記流量検出機構が、前記センサ流路を形成するセンサ流路管に巻回された発熱抵抗線からなる上流側コイル及び下流側コイルを有し、
前記上流側コイルの巻線幅が、前記下流側コイルの巻線幅よりも長くなるように構成されていることを特徴とする熱式流量センサ。 - 前記上流側コイルを含むブリッジ回路を有する上流側定温度制御回路と、前記下流側コイルを含むブリッジ回路を有する下流側定温度制御回路とを有する請求項1乃至3の何れかに記載の熱式流量センサ。
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