JP2002081982A

JP2002081982A - 赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法

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Publication number: JP2002081982A
Application number: JP2000272654A
Authority: JP
Inventors: Koji Tominaga; 浩二富永; Junji Aoki; 潤次青木; Yoshimi Matsuura; 良視松浦; Takuji Ikuta; 卓司生田; Mikito Yamanuki; 幹人山貫; Kazutaka Okamoto; 一隆岡本
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2000-09-08
Filing date: 2000-09-08
Publication date: 2002-03-22

Abstract

(57)【要約】【課題】赤外線ガス分析計における検出器のセン
サ部に用いられ、一度に大量生産できる工程で精度良く
生産可能で、ばらつきの少ない安定した測定を可能とす
る赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフローセンサ
の製造方法を提供する。【解決手段】赤外線ガス分析計の検出器用のフローセ
ンサ１であって、それぞれシリコン基板２上にパターン
成形されたヒータ４ａと、このヒータ４ａが位置する部
分のシリコン基板２を異方性エッチングによって取り除
いて形成した貫通孔５とを有する２枚の金属薄膜ヒータ
基板３を互いの貫通孔５が連通するように重ねてなり、
各金属薄膜ヒータ基板３の貫通孔５を通って流れる気体
の流量を測定可能とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、赤外線ガス検出器
用フローセンサおよびフローセンサの製造方法に関する
ものであり、より詳細には非分散型赤外線ガス分析計
（ＮＤＩＲ）の検出器として用いられる赤外線ガス検出
器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来技術】測定対象ガスと同じ吸収特性を示すガスが
充填されると共に、測定セルに対して互いに直列的また
は並列的に配置される２つのガス室と、両ガス室を連通
させるガス通路と、当該ガス通路にガス通路を遮るよう
に設けられたフローセンサとを備えた赤外線ガス分析計
は、例えば、実公昭５９−２６２７８号公報、実公昭５
９−２４９９３号公報、実開昭５６−９９４６２号公報
等に開示された熱式のフローセンサを用いたものがあ
る。

【０００３】図６は従来の熱式のフローセンサ１０の一
例を示す分解斜視図である。図６において、１１，１２
は上下方向に配置された２段のヒータであって、それぞ
れニッケル等の金属箔で形成した蛇行状の加熱部１１
ａ，１２ａと、これらの加熱部１１ａ，１２ａの両端に
リード線を取り付けるための引出し電極１１ｂ，１２ｂ
とを有している。

【０００４】１３〜１５は各ヒータ１１，１２を挟み込
んだ状態で保持するガラス板であって、各ガラス板１３
〜１５のほゞ中央に設けられた貫通孔１３ａ〜１５ａと
前記引出し電極１１ｂ，１１ｃ，１２ｂ，１２ｃの上部
に位置する角部を切り欠いてなる切欠部１４ｂ，１４
ｃ，１５ｂ，１５ｃを有している。そして、貫通孔１３
ａ，１４ａ，１５ａおよび切欠部１４ｂ，１４ｃ，１５
ｂ，１５ｃはエッチングなどの手法で形成されている。
また、前記各引出し電極１１ｂ，１１ｃ，１２ｂ，１２
ｃにはそれぞれ、リード線ａ，ｂ，ｃ，ｄが取り付けら
れている。

【０００５】図７は図６に示したフローセンサ１０を用
いて形成される流量の検出回路である。図７において、
９は直流電源、Ｒ₁，Ｒ₂は外部抵抗である。すなわ
ち、前記ヒータ１１，１２と外部抵抗Ｒ₁，Ｒ₂によっ
てブリッジ回路を形成する。したがって、前記直流電源
９からの電圧がブリッジ回路に印加されることにより、
ヒータ１１，１２の抵抗値の変化に従って出力Ｏ₁，Ｏ
₂間に信号が出力されるように構成している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のフローセンサ１０では３枚のガラス板１３〜１５を
用いてヒータ１１，１２を挟み込んでいるので、２段の
ヒータ１１，１２のそれぞれから引出し電極を取り出す
ために、３枚のガラス板１３〜１５の切欠部１４ｂ，１
４ｃ，１５ｂ，１５ｃの位置をずらしてその形状を変え
る必要があった。また、ヒータ１１，１２の形状につい
ても同様に引出し電極１１ｂ，１１ｃ，１２ｂ，１２ｃ
の位置をずらすためにヒータ１１，１２の形状をそれぞ
れ変える必要があった。

【０００７】このためにヒータ１１，１２を選ぶ工数が
多くなり、ガラス板１３〜１５を３種類準備する必要が
あり、、部品点数の増加や工数の増加が問題になってい
た。さらに、ヒータ１１，１２の形状が異なるので、そ
の形の些細な違いによって抵抗値に違いが生じたり、放
熱性に違いが生じることにより測定誤差を招くことも懸
念される。

【０００８】さらに、上述のフローセンサ１０の構成に
おいて貫通孔１３ａ〜１５ａが精度良く形成されている
ことは、ヒータ１１，１２から発生した熱を用いて正確
なガスの流れを測定する点で肝要であるが、厚みのある
ガラス板１３〜１５をエッチングによって精度良く形成
することは困難であった。

【０００９】すなわち、小さな部材をより精度良く形成
する方法としてエッチングが知られているが、従来のよ
うにガラス板１３〜１５をエッチングする場合には、等
方性エッチングしか行うことができなかった。そして、
等方性エッチングでは、エッチング液の流れなどの僅か
な差によって、貫通孔１３ａ〜１５ａや切欠部１４ｂ，
１４ｃ，１５ｂ，１５ｃに幾らかの凹凸が生じることは
避けられなかった。そのような背景で、赤外線ガス分析
計の検出器用のフローセンサのように微細なガスの流れ
を検出できる程度に小さなフローセンサを製造するため
には歩留りが悪くなることを避けられなかった。

【００１０】また、従来のように多数の部材１１〜１５
を組み合わせてフローセンサを形成することは、組み付
けに多大の手間がかかるだけでなく、組み付け精度も問
題となるので、この点でも製造コストを引き上げる原因
となっていた。

【００１１】本発明はこのような実情を考慮に入れてな
されたものであって、赤外線ガス分析計における検出器
のセンサ部に用いられ、一度に大量生産できる工程で精
度良く生産可能で、ばらつきの少ない安定した測定を可
能とする赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフロー
センサの製造方法を提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、第１発明の赤外線ガス分析計の検出器用のフローセ
ンサは、赤外線ガス分析計の検出器用のフローセンサで
あって、それぞれシリコン基板上にパターン成形された
ヒータと、このヒータが位置する部分のシリコン基板を
異方性エッチングによって取り除いて形成した貫通孔と
を有する２枚の金属薄膜ヒータ基板を互いの貫通孔が連
通するように重ねてなり、各金属薄膜ヒータ基板の貫通
孔を通って流れる気体の流量を測定可能としたことを特
徴としている。

【００１３】すなわち、パターン成形（フォトリソ技術
を用いたエッチング）および異方性エッチング（マイク
ロマシニング技術を用いたエッチング）によって形成さ
れた金属薄膜ヒータ基板は大量生産できるだけでなく、
極めて精度良く形成できる。したがって、この金属薄膜
ヒータ基板を２枚重ねて形成される赤外線ガス検出器用
フローセンサの特性もばらつきが少なくなり、形成され
たヒータの中から特性の優れたものを選択する工程がな
くなるので、精度の良い赤外線ガス検出器用フローセン
サをより安価にて形成することができる。

【００１４】また、シリコン基板は既存の技術を用いて
加工されるものであるから、量産性に優れており、その
厚さや形状などの特性が非常に揃ったバラツキの少ない
フローセンサを形成できる。したがって、フローセンサ
の特性を個々に補正する必要がなく、個々のフローセン
サの検査工程の必要がなくなる。

【００１５】さらに、上段に重ねられたシリコン基板の
厚みは２つのヒータの間の距離を定めるものとなり、２
枚の金属薄膜ヒータ基板を重ね合わせただけで、極めて
精度の高い微小な構造物を極めて容易に作成できる。つ
まり、工数を削減することによって、微小流量を測定可
能とする赤外線ガス検出器を安価にて作成することがで
きる。

【００１６】そして、前記赤外線ガス検出器用フローセ
ンサは前記貫通孔を、赤外線吸収ガスが封入された２つ
のガス室の間に形成されたガス通路に連通連結するよう
に取り付けられるものであり、これらのガス室間を流れ
るガスの微小流量を精度良く測定することにより、測定
ガスの測定対象成分の濃度を正確に測定することができ
る。

【００１７】２枚の金属薄膜ヒータ基板を回転位相を変
えて重ねた場合には、金属薄膜ヒータ基板を２段重ねた
状態で使用するときに、ヒータに電力を供給する部分
（引出し電極）を上下に重なることなく配置できるの
で、全く同じパターンのヒータが成形された２枚の金属
薄膜ヒータ基板を重ねた時にも各ヒータのそれぞれに確
実に配線することができる。すなわち、それだけ安価な
赤外線ガス検出器用フローセンサを供給することができ
る。

【００１８】上下の金属薄膜ヒータ基板の外形がほゞ正
方形の場合には、金属薄膜ヒータ基板を約４５°回転さ
せて、その回転位相を約４５°変えるしたように設置す
ることにより、金属薄膜ヒータ基板の各角部を上下に重
ならないように配置することが可能となる。

【００１９】２枚の金属薄膜ヒータ基板の取付け端部に
取り付けられて、赤外線ガス分析計のセンサ取付け部に
対する熱の伝達を遮断する断熱材を有する場合には、フ
ローセンサとこのフローセンサを取り付けるためのセン
サのホルダ部分（以下、センサホルダという）との間に
断熱材が介在するので、センサホルダの温度は検出器周
囲の温度によって変化するが、下部に位置するヒータか
らの熱がセンサホルダに奪われることを防止でき、信号
出力の周囲温度による影響を小さくすることができる。

【００２０】本発明のフローセンサの製造方法は、シリ
コン基板上にヒータのパターンをエッチングによって形
成し、このヒータが位置する部分のシリコン基板を異方
性エッチングによって取り除いて貫通孔を形成すること
により２枚の金属薄膜ヒータ基板を作成し、前記貫通孔
が連通するように２枚の金属薄膜ヒータ基板を重ねて形
成したことを特徴としている。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は本発明の赤外線ガス検出器
用フローセンサ１の製造方法の一例を示す図であって、
図１（Ａ）〜図１（Ｈ）はシリコン基板２をベースとし
た金属薄膜ヒータ基板３を作成する工程を示す図であ
る。また、図２は２枚の金属薄膜ヒータ基板３を用いて
形成される赤外線ガス検出器用フローセンサ１（以下の
説明においては単にフローセンサ１とする）の構成を示
す側面図である。

【００２２】図１（Ａ）において、２ａはシリコン基板
２の表裏両面に形成されたシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂：
以下、単に酸化膜という）である。すなわち、Ｓｉ基板
を水蒸気雰囲気の条件で約１時間、約１０００℃に加熱
することにより、酸化膜２ａを形成する。なお、この酸
化膜２ａの膜厚は５００ｎｍである。

【００２３】図１（Ｂ）において、４は前記酸化膜２ａ
の表面側の表面に形成されたＮｉ金属膜である。このＮ
ｉ金属膜４は例えば金属のニッケルを酸化膜２ａの表面
に、スパッタ法などにより成膜し、その膜厚は約２μｍ
である。しかしながら前記膜４はニッケルによって形成
されることに限定されるものではなく、電子の流れによ
って熱を発生すると共に、温度によって導電率が変化す
る金属や半導体など任意の材料を用いることができる。

【００２４】次いで、前記金属膜４をレジストによって
覆い、フォトリソ技術を用いてＮｉ金属膜４をパターン
成形することによって、図１（Ｃ），（Ｄ）に示す蛇行
状のヒータ４ａと、このヒータ４ａの両端に接続された
引出し電極４ｂとを形成する。なお、図１（Ｃ）は図１
（Ｄ）に示す平面図のＩ−Ｉ断面図である。また、Ｎｉ
金属膜４のパターン成形のためのエッチングは、例えば
塩化鉄（ＦｅＣｌ₃）の水溶液またはＨＮＯ₃水溶液を
用いて行うことができる。

【００２５】図１（Ｅ）において、２ｂは裏面側の前記
酸化膜２ａの中央部分に形成された開口であり、この開
口２ｂは、裏面側の酸化膜２ａをレジストによって覆
い、フォトリソ技術を用いてエッチングすることにより
パターン成形されるものである。なお、酸化膜２ａのエ
ッチングは、例えば、フッ化水素（ＨＦ）の水溶液を用
いることができる。

【００２６】前記酸化膜２ａに開口２ｂを形成すると、
例えば、約８０℃に加熱した濃度１５％のテトラメチル
アンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）を用いて前記シ
リコン基板２を異方性エッチングする。この異方性エッ
チングを行うことにより、シリコン基板２は前記開口２
ｂの端から定まった角度αの面を形成するようにエッチ
ングが進行する。

【００２７】図１（Ｆ）において、５は前記異方性エッ
チングによって作成された貫通孔である。この貫通孔５
は異方性エッチングによって形成されるので、前記開口
２ｂの形に従って常に所定の形に形成される。したがっ
て、貫通孔５の形状はたとえシリコン基板２にある程度
の厚みがあったとしても、常に所定の形状に形成される
ので、そのバラツキを少なくすることができる。

【００２８】さらに、開口２ｂの形状はフォトリソ技術
を用いたエッチングによって形成されており、開口２ｂ
の形状を極めて高精度に形成することができるので、極
めて繊細な構造を正確に形成することができる。

【００２９】次いで、前記シリコン基板２を再びフッ化
水素（ＨＦ）の水溶液に入れて、酸化膜２ａを除去して
金属薄膜ヒータ基板３を完成する。図１（Ｇ），図１
（Ｈ）は酸化膜２ａを除去した金属薄膜ヒータ基板３の
断面図と平面図である。

【００３０】図１（Ｇ），図１（Ｈ）に示すように、前
記貫通孔５は酸化膜２ａを除去することにより上下方向
に貫通し、ニッケル膜によってパターン成形されたヒー
タ４ａが形成された貫通孔５によってちょうど中空に浮
いた状態となる。すなわち、貫通孔５を介してガスを連
通させると共に、このガスをヒータ４ａによって加熱
し、ヒータ４ａは貫通孔５を連通するガスによって冷却
されるように構成している。

【００３１】このようにして形成された金属薄膜ヒータ
基板３は図２に示すように、２枚重ねた状態で、前記フ
ローセンサ１を構成する。図２において、３ａ，３ｂは
それぞれ同一形状の前記金属薄膜ヒータ基板３であっ
て、６はこの２枚の金属薄膜ヒータ基板３ａ，３ｂの取
付け端部に取り付けられて熱の伝達を遮断する断熱材、
７は前記フローセンサ１のアルミニウムなどの金属によ
って形成されたセンサ取付け部の一例であるセンサホル
ダ、７ａはセンサホルダ７に設けられてガスの流通路と
なるガス流通孔である。

【００３２】前記断熱材６は例えば、リング状の平板で
あって、外形約３ｍｍ，内径約２ｍｍ，厚さ約０．５ｍ
ｍのガラスからなり、センサホルダ７とフローセンサの
間に介在させるものである。そして、前記ガス流通孔７
ａ，断熱材６に設けた貫通孔６ａ，および，前記各金属
薄膜ヒータ基板３の貫通孔５が連通連結するように取り
付けられる。

【００３３】図３は前記２枚の金属薄膜ヒータ基板３
ａ，３ｂの重ね合わせた状態を示す斜視図である。本例
に示す金属薄膜ヒータ基板３ａ，３ｂは互いに異なる位
相角度を有するように重ね合わされていおり、例えばそ
の角度は４５°である。

【００３４】すなわち、同一の形状のほゞ正方形の金属
薄膜ヒータ基板３ａ，３ｂであっても貫通孔５（または
金属薄膜ヒータ基板３ａ，３ｂ）の中央を中心とした回
転角（回転位相）βを変えることにより、その引出し電
極４ｂを上下方向に重ねることなく配置することができ
る。そして各引出し電極４ｂが互いに重なりあっていな
いので、この引出し電極４ｂに対して極めて容易に金線
８をボンディングすることができる。

【００３５】なお、本例では２枚の金属薄膜ヒータ基板
３ａ，３ｂを重ねるときに回転位相βを４５°変えて重
ねるように構成しているが、本発明はこの角度を限定す
るものではない。すなわち、前記引出し電極４ｂが重な
らないような角度であり、前記ガス流通孔７ａに貫通孔
６ａ，５を連通連結できるのであればどのように重ねら
れていてもよい。

【００３６】次いで、前記金線８によって連結された２
つの金属薄膜ヒータ基板３ａ，３ｂが金線８によってボ
ンディングされることにより、図４に示すように、ヒー
タＨａ，Ｈｂの外部に抵抗Ｒ₁，Ｒ₂が取り付けられた
ブリッジ回路Ｂを形成する。そして、このブリッジ回路
Ｂによって、両金属薄膜ヒータ基板３ａ，３ｂの貫通孔
５を流通する流体の流量を測定することができる。な
お、図４において図７と同じ符号を付した部材は同一ま
たは同等の部材であるからその詳細な説明を省略する。

【００３７】前記ブリッジ回路Ｂに直流電源９を印加す
るとフローセンサのヒータＨａ，Ｈｂは共に加熱されて
温度が上昇し、両方のヒータＨａ，Ｈｂの抵抗値も同様
に上昇する。そして、ガスが前記金属薄膜ヒータ基板３
ａ，３ｂの貫通孔５を通って流れた場合には、上流側の
ヒータＨａまたはＨｂの温度が下がり、逆に下流側のヒ
ータＨｂまたはＨａの温度が上流側からの熱によって上
昇する。これによって、ヒータＨａ，Ｈｂの抵抗値が変
化して前記ブリッジ回路Ｂのバランスが崩れ、出力
Ｏ₁，Ｏ₂の間に電圧が出力される。

【００３８】例えば、ガスが金属薄膜ヒータ基板３ａ側
から金属薄膜ヒータ基板３ｂ側に（下から上に）流れた
場合にはヒータＨａの抵抗値がヒータＨｂの抵抗値より
小さくなるので、出力Ｏ₁の方が出力Ｏ₂より高い電圧
が出力されて、これを流速信号として得ることができ
る。

【００３９】また、本例の赤外線ガス検出器用フローセ
ンサ１は図２に明示したように、金属薄膜ヒータ基板３
ａとセンサホルダ７との間（２枚の金属薄膜ヒータ基板
の取付け端部）に断熱材６を設けている。すなわち、前
記ブリッジ回路Ｂを介してフローセンサ１に電圧を加え
て、測定するときに下側（取付け端側）に位置する金属
薄膜ヒータ基板３ａの到達温度がセンサホルダの温度の
影響を受けることを防止できる。

【００４０】つまり、前記センサホルダ７を含む検出器
の温度は周囲温度によって変化し、検出器の温度が変化
すると、センサホルダ７の温度の影響が下側の金属薄膜
ヒータ基板３ａのシリコン基板２を介して、下側のヒー
タＨａの温度が変化することにより、出力Ｏ₁，Ｏ₂か
ら出力される信号の変化の原因となるが、断熱材６をフ
ローセンサ１とセンサホルダ７との間に介在させること
により、その影響を効果的に抑えることができる。

【００４１】図５は、前記フローセンサ１の取付け端部
に断熱材６を取り付けた場合と、そうでない場合の周囲
温度の影響と出力変動の関係を示す図であって、図５に
おいて、縦軸は周囲温度２０℃のときの出力を１００と
した場合の出力の大きさを示し、横軸は周囲温度を示し
ている。

【００４２】図５に示すように、前記断熱材６を付けな
い場合には、通常の動作温度範囲（例えば０〜５０℃）
において−４〜＋８％の出力変動が生じているのに対
し、断熱材６を介在させることによって、±１％以内の
出力変動に抑えることができることが分かる。

【００４３】すなわち、センサホルダ７は周囲温度の影
響を受けてその温度が検出器本体の温度とほゞ同じよう
に変動するが、センサホルダ７とフローセンサ１との間
に断熱材６を介在させることによって取付け端側の金属
薄膜ヒータ基板３のヒータ４ａ（Ｈａ）の温度が他方の
ヒータ４ａ（Ｈｂ）よりもセンサホルダ７の温度の影響
を受けることを防止できる。そして、これによって、測
定誤差が生じることを効果的に抑えることができる。

【００４４】なお、前記断熱材６の材質および厚さを変
えることによって断熱効果を調節可能である。したがっ
て、出力変動をより効果的に抑えるためには断熱材６の
厚みをより厚くすることができる。逆に温度変化の影響
を抑えることができる場合や、図５に示したようなセン
サホルダ７の温度と出力変動の関係から求めた温度補償
回路を形成する場合には断熱材６の厚みを薄くしたり、
省略することも可能である。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の赤外線ガ
ス検出器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法
は、マイクロマシニング技術を用いたエッチングによっ
て極めて精度の良い金属薄膜ヒータ基板を大量に生産す
ることが可能となり、この金属薄膜ヒータ基板を２枚重
ねて形成される赤外線ガス検出器用フローセンサの特性
もばらつきが少なくなり、形成されたヒータの中から特
性の優れたものを選択する工程がなくなるので、精度の
良い赤外線ガス検出器用フローセンサをより安価にて形
成することができる。

【００４６】２枚の金属薄膜ヒータ基板を回転位相を変
えて重ねた場合には、金属薄膜ヒータ基板を２段重ねた
状態で使用するときに、ヒータに電力を供給する引出し
電極を上下に重なることなく配置できるので、全く同じ
パターンのヒータが成形された２枚の金属薄膜ヒータ基
板を重ねた時にも各ヒータのそれぞれに確実に配線する
ことができる。すなわち、それだけ安価な赤外線ガス検
出器用フローセンサを供給することができる。

【００４７】２枚の金属薄膜ヒータ基板の取付け端部に
取り付けられて、赤外線ガス分析計のセンサ取付け部に
対する熱の伝達を遮断する断熱材を有する場合には、フ
ローセンサとセンサホルダとの間に断熱材が介在するの
で、センサホルダの温度変化によってヒータの温度が影
響されることを防止して、信号出力の周囲温度による影
響を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の赤外線ガス検出器用フローセンサの一
実施例を示す図である。

【図２】前記フローセンサの縦断面図である。

【図３】前記フローセンサの斜視図である。

【図４】前記フローセンサを用いた流量検出回路の一例
を示す図である。

【図５】前記フローセンサの周囲温度と出力変動の関係
を示す図である。

【図６】従来のフローセンサの構成を示す分解斜視図で
ある。

【図７】前記従来のフローセンサを用いた流量検出回路
の例を示す図である。

【符号の説明】

１…赤外線ガス検出器用フローセンサ、２…シリコン基
板、３（３ａ，３ｂ）…金属薄膜ヒータ基板、４ａ（Ｈ
ａ，Ｈｂ）…ヒータ、５…貫通孔、６…断熱材、７…セ
ンサ取付け部、β…回転位相。

フロントページの続き (72)発明者松浦良視京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内 (72)発明者生田卓司京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内 (72)発明者山貫幹人京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内 (72)発明者岡本一隆京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内Ｆターム(参考） 2F035 EA04 EA08 2G059 AA01 BB01 EE01 EE17 HH01 KK09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】赤外線ガス分析計の検出器用のフローセ
ンサであって、それぞれシリコン基板上にパターン成形
されたヒータと、このヒータが位置する部分のシリコン
基板を異方性エッチングによって取り除いて形成した貫
通孔とを有する２枚の金属薄膜ヒータ基板を互いの貫通
孔が連通するように重ねてなり、各金属薄膜ヒータ基板
の貫通孔を通って流れる気体の流量を測定可能としたこ
とを特徴とする赤外線ガス検出器用フローセンサ。
【請求項２】２枚の金属薄膜ヒータ基板を回転位相を
変えて重ねた請求項１に記載の赤外線ガス検出器用フロ
ーセンサ。
【請求項３】２枚の金属薄膜ヒータ基板の取付け端部
に取り付けられて、赤外線ガス分析計のセンサ取付け部
に対する熱の伝達を遮断する断熱材を有することを特徴
とする請求項１または２に記載の赤外線ガス検出器用フ
ローセンサ。
【請求項４】シリコン基板上にヒータのパターンをエ
ッチングによって形成し、このヒータが位置する部分の
シリコン基板を異方性エッチングによって取り除いて貫
通孔を形成することにより２枚の金属薄膜ヒータ基板を
作成し、前記貫通孔が連通するように２枚の金属薄膜ヒ
ータ基板を重ねて形成したことを特徴とするフローセン
サの製造方法。