JP4595745B2 - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
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Description
基準セル3には不活性ガスなど、測定対象成分を含まないガスが封入されている。また、試料セル4には試料ガスが流通する。
このため、分配セル2で2つに分けられた赤外光は、試料セル4側でのみ測定対象成分による吸収を受け、検出器5に到達する。
8は回転セクタ6を駆動する同期モータ、9は基準セル3および試料セル4に入射する赤外光のバランスを調整するトリマである。
図において、矢印Usigを赤外光の吸収によりガス流通路内に発生する検出ガスの移動方向とすると、サーマルフローセンサ51を構成する第1のヒータ線511および第2のヒータ線512は、所定の間隔をおいて、この移動(流通)方向Usigに沿って配列され、検出ガスの移動に応じた温度(抵抗値)変化を発生する。
この2つのヒータ線511、512における温度変化(抵抗値変化)は、図10の如きブリッジ回路を使用して検出される。
図11において、図の左右に密閉された基準側室501と試料側室502とが設けられている。
基準側室501と試料側室502とからガス流通路503を通じて、図の中央に埋め込まれたフローセンサユニット504に連通している。
505は、検出器5からのフローセンサユニット504の気密を保つためのカバーである。
フローセンサユニットボデイ5041内には、チップ用ベース部品5042が設けられている。
チップ用ベース部品5042には、半導体技術の同一プロセスにより形成された2つの金属薄膜ヒータ部610,620を2段重ねて、フローセンサが構成されている。
5043は、金属薄膜ヒータ部610,620を貫通して流れるガス流通路630の気密性を保つためのカバー部品である。
(1)ガス気密を保持すべきシール面が多く構造的に複雑である。
(2)基準側室501と試料側室502との間に、フローセンサユニット504を収納する部屋が配置され、ガス流通路503とガス流通路630とが連通するように位置を合わせる必要があり、且つ、ガス流通路503とガス流通路630とからガスが漏れないように、シールする必要があり、組み付け工程(実際には接着工程)が複雑となる。
(3)これらを通して、組み付け部品が増え、組み付け工数を要するために、コスト上昇の要因となっていた。
2個の発熱抵抗体が一定の間隔を保った状態でガスの流通路内に配置されたフローセンサを具備する赤外線ガス分析計において、基準側室と試料側室とが設けられた検出器の外側の表面の一面に平行に設けられ前記基準側室と前記試料側室とを連通するガスの流通路と、この流通路内に設けられガスの流通方向に平行に平面が配置された基板と、この基板の前記平面に設けられた孔と、前記ガスの流通方向と交わるように前記孔を跨いで前記基板に所定の間隔を置いて設けられた2本の発熱抵抗体とを具備したことを特徴とする。
前記ガスの流通路は、前記検出器の一面に設けられたガスケットに形成された貫通路により構成されたことを特徴とする。
前記ガスの流通路は、前記検出器の一面を掘り込んで設けられた第1の凹部により構成されたことを特徴とする。
前記発熱抵抗体は、半導体プロセスにより形成されたことを特徴とする。
前記発熱抵抗体は、半導体基板にエッチングにより掘り込んで設けられた第2の凹部を形成して構成されたことを特徴とする。
前記第2の凹部が前記ガスの流通路として使用されたことを特徴とする。
前記2本の発熱抵抗体を1組として複数の発熱抵抗体を具備したことを特徴とする。
前記基板に設けられ前記発熱抵抗体を接続する配線パターンを具備したことを特徴とする。
ガスの流通路が、ガスセル本体の一面に平行に設けられたので、赤外ガス分析計の検出器に求められるガス流路が少ない工程で容易に形成でき、製造コストが低減できる赤外線ガス分析計が得られる。
ガスの流通路は、検出器の一面に設けられたガスケットに形成された貫通路により構成されたので、ガスケットを打ち抜くことにより、複雑な形状をしたガスの流通路が容易に形成できる赤外線ガス分析計が得られる。
ガスの流通路は、検出器の一面に設けられた凹部により構成されたので、検出器の一面を掘り込めばよく、容易に構成でき、また、流通路の周囲の側面は検出器の一面で構成されるので、シールが不要となり、安価な赤外線ガス分析計が得られる。
発熱抵抗体は、半導体プロセスにより形成されたので、半導体プロセスを適用することで、よりいっそう容易に、かつ寸法精度が良い発熱抵抗体を有する赤外線ガス分析計が得られる。
発熱抵抗体は、半導体基板にエッチングにより凹部を形成して構成されたので、発熱抵抗体を覆うカバー部品が不要となる赤外線ガス分析計が得られる。
凹部がガスの流通路として使用されたので、半導体プロセスにより形成された寸法精度が良い流通路を有する赤外線ガス分析計が得られる。
2本の発熱抵抗体を1組として複数の発熱抵抗体が設けられたので、信号量が増え、感度が向上された赤外線ガス分析計が得られる。
本発明では、製作工程が増大することなく、また複雑になることもなく実現できる赤外線ガス分析計が得られる。一方、従来例では、同様の構成を実現しようとすると、多数枚の基板を、気密保持しつつ積層する技術を要し、実現は困難もしくは不可能である。
基板に設けられ発熱抵抗体を接続する配線パターンが半導体プロセスにより形成された。
従って、従来は手作業によるハンダ付け作業で、各発熱線抵抗体の配線作業を行っていたが、組数が増すごとにその作業は膨大となった。本発明では半導体プロセスで多用される配線パターン形成技術により、一括に安定して形成できる赤外線ガス分析計が得られる。
発熱抵抗体によりブリッジ回路が構成されたので、配線パターンにおいて、必要なブリッジ検出回路をこのパターン上に設計して形成しておくことで、工程が少なく、簡便に、ブリッジ検出回路が実現できる赤外線ガス分析計が得られる。
基板の孔は、シリコン基板に異方性エッチングにより形成されたので、半導体プロセスの適用により、多数のフローセンサの孔加工を、一括に形成でき、ローコスト化に寄与できる赤外線ガス分析計が得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の要部詳細説明図で2組の発熱抵抗体が使用されている。
図3は図2の側面図、図4は図2の使用例を示す図、図5は図2の動作説明図である。
図において、図8、図11と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図8、図11との相違部分のみ説明する。
基板72は、流通路71のガスの流通方向に平行に平面が配置されている。
図2に示す如く、孔73は基板72の平面に設けられている。
2本の発熱抵抗体74,75は、ガスの流通方向に直交して、孔73を跨いで基板に所定の間隔を置いて設けられている。
カバー部品77は、基板72を覆って設けられ、ガスの流通路71の上面をシールする。
また、発熱抵抗体74a,75a,74b,75bは、この場合は、半導体プロセスにより形成されている。
そして、発熱抵抗体74a,75a,74b,75bにより、図5に示す如く、ブリッジ回路が構成されている。
この場合は、シリコン基板72と発熱抵抗体74,75との間には、絶縁層78が設けられている。
図5において、81,82は比較抵抗、83はブリッジ出力端子、84はブリッジ電圧Vb,85はCOM電位を示す。
(1)ガスの流通路71を、検出器5の一面に設けるようにした。
(2)抵抗体74a,75a,74b,75bの形成法として、半導体パターニング工程を応用し、従来例では別個に形成して積み重ねて組立てられた上流612および下流611の熱線を、同じ基板72面上に形成するようにした。
上下流の熱線間74a,75a,74b,75bの距離は流速感度および測定レンジに大きく影響する。ガスセルの特性からこのパラメータは決定される。
複数の「差動抵抗体」の配置としては、代表的な一例としては、ガス流方向に列を成して形成する方法がある。
本発明では、製作工程が増大することなく、また複雑になることもなく実現できる赤外線ガス分析計が得られる。一方、従来例では、同様の構成を実現しようとすると、多数枚の基板を、気密保持しつつ積層する技術を要し、実現は困難もしくは不可能である。
従って、従来は手作業によるハンダ付け作業で、各発熱線抵抗体の配線作業を行っていたが、組数が増すごとにその作業は膨大となった。本発明では半導体プロセスで多用される配線パターン形成技術により、一括に安定して形成できる赤外線ガス分析計が得られる。
本実施例においては、ガスの流通路86は、検出器5の一面に設けられた凹部506により構成されたものである。
本実施例においては、熱線抵抗体74a,75a,74b,75bは、半導体基板87にエッチングにより凹部871を形成して構成されている。
ガス流通路88は、凹部871がガスの流通路として使用されている。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
501 基準側室
502 試料側室
503 ガス流通路
504 フローセンサユニット
505 カバー
506 凹部
71 ガス流通路
72 基板
73 孔
74 発熱抵抗体
75 発熱抵抗体
74a 発熱抵抗体
75a 発熱抵抗体
74b 発熱抵抗体
75b 発熱抵抗体
76 シール部品
77 カバー部品
78 絶縁層
81 比較抵抗
82 比較抵抗
83 ブリッジ出力端子
84 ブリッジ電圧Vb
85 COM電位
86 ガス流通路
87 半導体基板
871 凹部
88 ガス流通路
Claims (10)
- 2個の発熱抵抗体が一定の間隔を保った状態でガスの流通路内に配置されたフローセンサを具備する赤外線ガス分析計において、
基準側室と試料側室とが設けられた検出器の外側の表面の一面に平行に設けられ前記基準側室と前記試料側室とを連通するガスの流通路と、
この流通路内に設けられガスの流通方向に平行に平面が配置された基板と、
この基板の前記平面に設けられた孔と、
前記ガスの流通方向と交わるように前記孔を跨いで前記基板に所定の間隔を置いて設けられた2本の発熱抵抗体と
を具備したことを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 前記ガスの流通路は、前記検出器の一面に設けられたガスケットに形成された貫通路により構成されたこと
を特徴とする請求項1記載の赤外線ガス分析計。 - 前記ガスの流通路は、前記検出器の一面を掘り込んで設けられた第1の凹部により構成されたこと
を特徴とする請求項1記載の赤外線ガス分析計。 - 前記発熱抵抗体は、半導体プロセスにより形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の赤外線ガス分析計。 - 前記発熱抵抗体は、半導体基板にエッチングにより掘り込んで設けられた第2の凹部を形成して構成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の赤外線ガス分析計。 - 前記第2の凹部が前記ガスの流通路として使用されたこと
を特徴とする請求項5記載の赤外線ガス分析計。 - 前記2本の発熱抵抗体を1組として複数の発熱抵抗体
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載の赤外線ガス分析計。 - 前記基板に設けられ前記発熱抵抗体を接続する配線パターン
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れかに記載の赤外線ガス分析計。 - 前記発熱抵抗体によりブリッジ回路が構成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項8の何れかに記載の赤外線ガス分析計。 - 前記基板の孔は、シリコン基板に異方性エッチングにより形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項9の何れかに記載の赤外線ガス分析計。
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