JP5079435B2 - フローセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部が形成されたセンサチップと、
前記センサチップ上に設けられ前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路形成部材とを接合して構成したフローセンサにおいて、
前記フローセンサは、前記流路形成部材を複数形成した第1のウェハと、前記複数の流路形成部材とそれぞれ対応させて前記センサチップを複数形成した第2のウェハとを接合して構成されたワークであって、
前記流路形成部材は第1の流路形成部材と第2の流路形成部材からなり、
前記第1のウェハは前記第1の流路形成部材を複数含む第1の流路形成ウェハと前記第2の流路形成部材を複数含む第2の流路形成ウェハとを接合することにより構成され、
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには被測定流体の導入孔及び導出孔が設けられ、
前記第2の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには前記流量検出部に沿って流れる流体の流れに沿った流路を形成する貫通口が設けられ、
前記各貫通口の両端は、該貫通口に対応する前記導入孔及び導出孔のそれぞれに連通し、前記第2のウェハに含まれる複数の流量検出部が前記第1のウェハに含まれる前記複数の貫通口にそれぞれ配置され、
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材は透明部材により形成され、
前記流量検出部が前記流路形成部材の流路に配置されるように位置合わせされ、前記センサチップと前記流路形成部材を一組として形成されたフローセンサが複数構成されたワークを、ダイシングによって切断して分離された個々のフローセンサからなり、前記各フローセンサは前記ダイシングによって切断された面一の切断面を有することを特徴としている。
基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部が形成されたセンサチップと、
前記センサチップ上に設けられ前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路形成部材とを備えたフローセンサの製造方法において、
前記流路形成部材を複数形成した第1のウェハと、前記複数の流路形成部材とそれぞれ対応させて前記センサチップを複数形成した第2のウェハとを接合してワークを形成するワーク形成工程であって、
前記流路形成部材は第1の流路形成部材と第2の流路形成部材からなり、
前記第1のウェハは前記第1の流路形成部材を複数含む第1の流路形成ウェハと前記第2の流路形成部材を複数含む第2の流路形成ウェハとを接合することにより構成され、
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには被測定流体の導入孔及び導出孔が設けられ、
前記第2の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには前記流量検出部に沿って流れる流体の流れに沿った流路を形成する貫通口が設けられ、前記各貫通口の両端は、該貫通口に対応する前記導入孔及び導出孔のそれぞれに連通し、前記第2のウェハに含まれる複数の流量検出部が前記第1のウェハに含まれる前記複数の貫通口にそれぞれ配置され
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材は透明部材により形成されており、
前記流量検出部が前記流路形成部材の流路に配置されるように位置合わせされて前記センサチップと前記流路形成部材を一組として形成されたフローセンサが複数構成される位置合わせ工程を含んだワーク形成工程と、
前記ワーク形成工程で形成されたワークをダイシングによって切断して前記複数のフローセンサに分離するセンサ分離工程とを有することを特徴としている。
また、第1の流路形成部材は、透明部材により形成されているので、流体導入孔と流体導入孔との間の部分の透明性が確保される。これにより、外部からの流路内の視認性が確保される。
また、流路形成部材を第1の流路形成部材と第2の流路形成部材とにより形成し、第1のウェハを第1の流路形成部材を形成する第1の流路形成ウェハと第2の流路形成部材を形成する第2の流路形成ウェハとを接合して構成している。そして、第1の流路形成ウェハには複数の流路形成部材のそれぞれに被測定流体の導入孔及び導出孔を設け、第2の流路形成ウェハには複数の流路形成部材のそれぞれに流量検出部に沿って流れる流体の流れに沿った流路を形成する貫通口を設け、貫通口を両端が導入孔及び導出孔のそれぞれに連通し、流量検出部を貫通口に配置している。これにより、流路形成部材を容易に形成することが可能となり、第1のウェハを容易に構成することが可能となる。また、流路形成部材の流路の断面積を正確に形成することが可能となり、フローセンサの個体差を少なくすることが可能となる。
前記ワーク形成工程と前記センサ分離工程との間に前記流路形成部材の流路の開口部を塞ぐマスキング工程を加えたことを特徴としている。
前記センサ分離工程において前記流路形成部材の流路の開口部を下側にして切断することを特徴としている。
2 センサチップ
3 流路
3a 流体導入孔
3b 流体導出孔
4 ガラスチップ
5 フローセンサ
5a 側面
11 ワーク
12 第1のウェハ
13 第2のウェハ
13a 上面
13b 下面
14 第1の流路形成ウェハ
14a 上面
14b 下面
15 第2の流路形成ウェハ
15a 上面
15b 下面
16 第1の流路形成部材
16a 上面
16b 下面
16c 流体導入孔
16d 流体導出孔
17 第2の流路形成部材
17a 上面
17b 下面
17c 貫通口(流路)
18 流路形成部材
19 第3のウェハ
20 センサチップ
21 シリコン基板
21a 上面
21b 下面
21c 凹部
22,24 絶縁膜
23 流量検出部(センサ部)
23a,23b,23c リードパターン
30 フローセンサ
30a 切断面(側面)
33 シール(テープ)
Claims (4)
- 基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部が形成されたセンサチップと、
前記センサチップ上に設けられ前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路形成部材とを接合して構成したフローセンサにおいて、
前記フローセンサは、前記流路形成部材を複数形成した第1のウェハと、前記複数の流路形成部材とそれぞれ対応させて前記センサチップを複数形成した第2のウェハとを接合して構成されたワークであって、
前記流路形成部材は第1の流路形成部材と第2の流路形成部材からなり、
前記第1のウェハは前記第1の流路形成部材を複数含む第1の流路形成ウェハと前記第2の流路形成部材を複数含む第2の流路形成ウェハとを接合することにより構成され、
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには被測定流体の導入孔及び導出孔が設けられ、
前記第2の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには前記流量検出部に沿って流れる流体の流れに沿った流路を形成する貫通口が設けられ、
前記各貫通口の両端は、該貫通口に対応する前記導入孔及び導出孔のそれぞれに連通し、前記第2のウェハに含まれる複数の流量検出部が前記第1のウェハに含まれる前記複数の貫通口にそれぞれ配置され、
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材は透明部材により形成され、
前記流量検出部が前記流路形成部材の流路に配置されるように位置合わせされ、前記センサチップと前記流路形成部材を一組として形成されたフローセンサが複数構成されたワークを、ダイシングによって切断して分離された個々のフローセンサからなり、前記各フローセンサは前記ダイシングによって切断された面一の切断面を有することを特徴とするフローセンサ。 - 基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部が形成されたセンサチップと、
前記センサチップ上に設けられ前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路形成部材とを備えたフローセンサの製造方法において、
前記流路形成部材を複数形成した第1のウェハと、前記複数の流路形成部材とそれぞれ対応させて前記センサチップを複数形成した第2のウェハとを接合してワークを形成するワーク形成工程であって、
前記流路形成部材は第1の流路形成部材と第2の流路形成部材からなり、
前記第1のウェハは前記第1の流路形成部材を複数含む第1の流路形成ウェハと前記第2の流路形成部材を複数含む第2の流路形成ウェハとを接合することにより構成され、
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには被測定流体の導入孔及び導出孔が設けられ、
前記第2の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材のそれぞれには前記流量検出部に沿って流れる流体の流れに沿った流路を形成する貫通口が設けられ、前記各貫通口の両端は、該貫通口に対応する前記導入孔及び導出孔のそれぞれに連通し、前記第2のウェハに含まれる複数の流量検出部が前記第1のウェハに含まれる前記複数の貫通口にそれぞれ配置され
前記第1の流路形成ウェハに含まれる前記複数の流路形成部材は透明部材により形成されており、
前記流量検出部が前記流路形成部材の流路に配置されるように位置合わせされて前記センサチップと前記流路形成部材を一組として形成されたフローセンサが複数構成される位置合わせ工程を含んだワーク形成工程と、
前記ワーク形成工程で形成されたワークをダイシングによって切断して前記複数のフローセンサに分離するセンサ分離工程とを有することを特徴とするフローセンサの製造方法。 - 前記ワーク形成工程と前記センサ分離工程との間に前記流路形成部材の流路の開口部を塞ぐマスキング工程を加えたことを特徴とする、請求項2に記載のフローセンサの製造方法。
- 前記センサ分離工程において前記流路形成部材の流路の開口部を下側にして切断することを特徴とする、請求項2に記載のフローセンサの製造方法。
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