JP5477636B2 - 熱伝導度検出器 - Google Patents
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Description
加熱したフィラメントに測定対象のガスが接することにより発生する前記フィラメントの抵抗値の変化に基づき前記ガスの熱伝導度を検出する熱伝導度検出器であって、
接合された基板内部に前記フィラメントと前記ガスの流路が設けられ、
前記フィラメントと対向する内壁の少なくとも一方と、前記フィラメントとを近接させ、
前記接合された基板内部に前記流路と連通された空間が形成され、流路内のガス流速やその変動から直接影響を受けないように前記空間内に前記フィラメントが支持されていることを特徴とする。
前記フィラメントの対向する内壁の少なくとも一方に付着防止構造を設け、前記フィラメントが前記内壁に付着しないことを特徴とする。
前記フィラメントは、単結晶シリコンで形成されていることを特徴とする。
前記フィラメントは、金属膜で形成されていることを特徴とする。
10a、10b、13a、13b 凹部
11 フィラメント
12a、12b 電極
13c、13d 貫通穴
Claims (4)
- 加熱したフィラメントに測定対象のガスが接することにより発生する前記フィラメントの抵抗値の変化に基づき前記ガスの熱伝導度を検出する熱伝導度検出器であって、
接合された基板内部に前記フィラメントと前記ガスの流路が設けられ、
前記フィラメントと対向する内壁の少なくとも一方と、前記フィラメントとを近接させ、
前記接合された基板内部に前記流路と連通された空間が形成され、流路内のガス流速やその変動から直接影響を受けないように前記空間内に前記フィラメントが支持されていることを特徴とする熱伝導度検出器。 - 前記フィラメントの対向する内壁の少なくとも一方に付着防止構造を設け、前記フィラメントが前記内壁に付着しないことを特徴とする請求項1記載の熱伝導度検出器。
- 前記フィラメントは、単結晶シリコンで形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱伝導度検出器。
- 前記フィラメントは、金属膜で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱伝導度検出器。
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