JP2016142710A - 熱式フローセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
11 本体
12 主流路
13 バイパス流路
14 パッキン
100 熱式フローセンサ
200 センサ形成ウェハ
201 センサ側基材
202 酸化膜
203 レジスト
204 導体層
205 酸化膜
400 流路形成ウェハ
401 流路側基材
402 マスク
403 流路溝
404 電極露出用溝
405 酸化膜
601 第1のダイシングテープ
602 第1のダイシング切断面
603 第2のダイシングテープ
604 第2のダイシング切断面
605 除去部
701 電極パッド
702 ヒータ及びセンサ部
801 流路
900 ヒータ定温度差制御回路
910 センサ出力回路
COMP1、COMP2 コンパレータ
R 抵抗
Rh ヒータ素子
Ru 上流温度センサ
Rd 下流温度センサ
Rr、Rr1、Rr2 流体温度センサ
Claims (9)
- センサ側基材と、
当該センサ側基材の一方の面に形成される、ヒータ、上流側温度センサ、下流側温度センサ、並びに、前記ヒータ、前記上流側温度センサ、及び、前記下流側温度センサに接続される電極パッドを含む回路パターンと
を備える少なくとも1枚のセンサ形成ウェハと、
流路側基材と、
当該流路側基材の一方の面に形成される、前記ヒータ、前記上流側温度センサ、及び、前記下流側温度センサに対応する部分に形成される流路溝と、
前記流路側基材の前記流路溝と同じ側の面に形成される、前記電極パッドに対応する部分に形成される電極露出用溝と
を備える少なくとも1枚の流路形成ウェハとを備え、
前記センサ形成ウェハの前記回路パターンが形成された面と、前記流路形成ウェハの前記流路溝と前記電極露出用溝が形成された面とを接合し、ダイシングによりチップ形状に切断するとともに、前記電極露出用溝に対応する部分である除去部を切断し、前記電極パッドを露出させることを特徴とする熱式フローセンサ。 - 前記ダイシングは、前記流路形成ウェハの前記電極露出用溝に対応する部分である除去部と、前記流路溝が形成される前記除去部以外の部分を切断する第1のダイシングと、前記流路形成ウェハ及び前記センサ形成ウェハを切断しチップ形状にする第2のダイシングとを含むことを特徴とする請求項1に記載の熱式フローセンサ。
- 前記流路溝と前記電極露出用溝は、エッチング加工により形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱式フローセンサ。
- 前記回路パターンは、さらに2つの流体温度センサをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の熱式フローセンサ。
- 前記回路パターンは、TiとPtにより形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱式フローセンサ。
- 前記センサ側基材及び流路側基材の材質は、Siまたはガラスであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の熱式フローセンサ。
- 前記センサ形成ウェハと前記流路形成ウェハとを保護膜同士を接合する低温プラズマ接合により接合することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の熱式フローセンサ。
- 前記第1のダイシングは、前記センサ形成ウェハ側に第1のダイシングテープを接着して実施され、前記第2のダイシングは、前記流路形成ウェハ側に第2のダイシングテープを接着して実施されることを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載の熱式フローセンサ。
- センサ側基材の一方の面には、ヒータ、上流側温度センサ、下流側温度センサ、並びに、前記ヒータ、前記上流側温度センサ、及び、前記下流側温度センサに接続される電極パッドを含む回路パターンを形成し、少なくとも1枚のセンサ形成ウェハを作製する工程と、
流路側基材の一方の面には、前記ヒータ、前記上流側温度センサ、及び、前記下流側温度センサに対応する部分に、流路溝と、前記電極パッドに対応する部分に、電極露出用溝とを形成し、少なくとも1枚の流路形成ウェハを作製する工程と、
前記センサ形成ウェハの前記回路パターンが形成された面と、前記流路形成ウェハの前記流路溝と前記電極露出用溝が形成された面とを接合する工程と、
前記流路形成ウェハの前記電極露出用溝に対応する部分である除去部と、前記流路溝が形成される前記除去部以外の部分を切断する第1のダイシングを実施する工程と、
前記流路形成ウェハ及び前記センサ形成ウェハを切断しチップ形状にし、前記除去部を取り外し、前記電極パッドを露出させる第2のダイシングを実施する工程と
を備えることを特徴とする熱式フローセンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015021144A JP2016142710A (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 熱式フローセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015021144A JP2016142710A (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 熱式フローセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016142710A true JP2016142710A (ja) | 2016-08-08 |
Family
ID=56570122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015021144A Pending JP2016142710A (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 熱式フローセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016142710A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114639768A (zh) * | 2022-03-22 | 2022-06-17 | 电子科技大学 | 一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法 |
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-
2015
- 2015-02-05 JP JP2015021144A patent/JP2016142710A/ja active Pending
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