JP2014206439A - 熱線式フローセンサ及び赤外線ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、赤外線ガス分析計の検出回路の構成を図3を参照して説明する。図3に示す検出回路は、上流櫛形抵抗体2bの一端と下流櫛形抵抗体1bの一端とを接続し、下流櫛形抵抗体1bの他端と第1抵抗器R1の一端とを接続し、第1抵抗器R1の他端と第2抵抗器R2の一端とを接続し、第2抵抗器R2の他端と上流櫛形抵抗体2bの他端を接続して、ブリッジ回路を構成する。上流櫛形抵抗体2bと下流櫛形抵抗体1bとで熱線式フローセンサ10を構成する。
10μm×800μm−凹部形成により減少した表面積;1.5μm×3.5μm×凹部の数:166×2=6257μm2
全体の表面積は、
6257μm2×2+7848μm2×2=28210μm2
凹部5a,5bを未形成時の表面積は、
10μm×800μm×2+4μm×800μm×2=22400μm2
従って、凹部5a,5bを形成した時の表面積は、凹部5a,5bを形成しない時の表面積よりも25%程度大きくなる。
図5は、実施例1の熱線式フローセンサに設けられた下流(上流)櫛形抵抗体の変形例を示す図である。図5(a)に示す下流(上流)櫛形抵抗体1Ab(1Bb)は、凹部6a,6bが左右交互に配置されるとともに、凹部6a,6bの溝の深さが大きくなっている。このため、抵抗値がさらに大きくなり、発熱がさらに大きくなるので、その効果がさらに大となる。図5(b)に示すように、下流(上流)櫛形抵抗体1Cb(1Db)の所定区間にV溝部7を形成しても実施例1の熱線式フローセンサの効果と同様な効果が得られる。
図10は、実施例2の熱線式フローセンサに設けられた下流(上流)抵抗基板の作製処理を示す図である。図11は、実施例2の熱線式フローセンサに設けられた下流(上流)抵抗基板の作製処理のフローチャートである。
1a 下流ガス流通開口部
1b 下流櫛形抵抗体
2 上流抵抗基板
2a 上流ガス流通開口部
2b 上流櫛形抵抗体
3 接着剤
4 絶縁性土台
4a ガス取入開口部
5a,5b,6a,6b,8a,8b 凹部
6 抵抗線
7 V溝部
10 熱線式フローセンサ
11 感光性ガラス
12 ニッケル
13,13a,13b レジスト
14 下流(上流)櫛形抵抗体
15 ガス流通開口部
Claims (6)
- ガスが流れるためのガス流通開口部が形成された抵抗基板と、
前記抵抗基板上に配置され且つ前記ガス流通開口部から流入されるガスにより抵抗値が変化することによりガスを検知する抵抗体とを有し、
前記抵抗体は、前記ガス流通開口部の位置と対向する位置で且つ所定区間に亙って抵抗体表面に凹凸パターンを形成し、所定区間以外の抵抗体の幅における断面積よりも前記所定区間における抵抗体の幅における断面積を減らしたことを特徴とする熱線式フローセンサ。 - 前記抵抗体の凹凸パターンは、前記抵抗体表面の左右に形成され且つ凹部が左右交互に形成されていることを特徴とする請求項1記載の熱線式フローセンサ。
- 前記抵抗体の凹凸パターンは、抵抗体側面に凹部を形成してなることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の熱線式フローセンサ。
- 前記抵抗体の凹凸パターンは、前記抵抗体の表面と裏面とに形成され且つ凹部が前記表面と前記裏面とに交互に形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の熱線式フローセンサ。
- 前記抵抗基板を保持し且つ前記ガス流通開口部の位置と対向する位置に設けられるとともに前記ガス流通開口部の開口径よりも小径のガス取入開口部が形成された絶縁基板を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の熱線式フローセンサ。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の熱線式フローセンサを有することを特徴とする赤外線ガス分析計。
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