JPS6239720A - 直熱型流量センサ - Google Patents
直熱型流量センサInfo
- Publication number
- JPS6239720A JPS6239720A JP60178522A JP17852285A JPS6239720A JP S6239720 A JPS6239720 A JP S6239720A JP 60178522 A JP60178522 A JP 60178522A JP 17852285 A JP17852285 A JP 17852285A JP S6239720 A JPS6239720 A JP S6239720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- resistor
- holding member
- flow sensor
- heat insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は膜式抵抗を有する直熱型流量センサ、たとえば
内燃機関の吸入空気量を検出するための空気流量センサ
に関する。
内燃機関の吸入空気量を検出するための空気流量センサ
に関する。
一般に、電子制御式内燃機関においては、基本燃料噴射
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性が良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性が良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサとしては
、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱型の空気流
量センサは、機関の吸気通路に設けられた発熱抵抗、お
よびその上流、下流側に設けられた２つの温度依存抵抗
を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗は発熱
抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するものであり
、つまり、外気温度補償用であり、また、下流側の温度
依存抵抗は加熱抵抗によって加熱された空気流の温度を
検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗と上流側
の温度依存抵抗との温度差が一定になるように発熱抵抗
の電流値をフィードハック制御し、発熱抵抗に印加され
る電圧により空気流量（質量）を検出するものである。
、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱型の空気流
量センサは、機関の吸気通路に設けられた発熱抵抗、お
よびその上流、下流側に設けられた２つの温度依存抵抗
を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗は発熱
抵抗による加熱前の空気流の温度を検出するものであり
、つまり、外気温度補償用であり、また、下流側の温度
依存抵抗は加熱抵抗によって加熱された空気流の温度を
検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗と上流側
の温度依存抵抗との温度差が一定になるように発熱抵抗
の電流値をフィードハック制御し、発熱抵抗に印加され
る電圧により空気流量（質量）を検出するものである。
なお、上流側の外気温度補償用温度依存抵抗を削除し、
下流側の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵
抗を制御すると、体積容量としての空気流量が検出でき
る（参照：特公昭５４−９６６２号公報）。他方、傍熱
型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量センサは、
機関の吸気通路に設けられた温度検出兼用の発熱抵抗、
およびその上流側に設けられた温度依存抵抗を６７８え
ている。この場合、傍熱型と同様に、上流側の温度依存
抵抗は発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出する
ものであり、つまり、外気温度補償用である。これによ
り、発熱抵抗とその上流側の温度依存抵抗との温度差が
一定になるように発熱抵抗の電流値をフィードバック制
御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流量（質量
）を検出するものである。なお、この場合にも、外気温
度補償用温度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が一定
になるように発熱抵抗を制御すると、体積容量としての
空気ｊ、ｉ！ｉ量が検出できる。
下流側の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵
抗を制御すると、体積容量としての空気流量が検出でき
る（参照：特公昭５４−９６６２号公報）。他方、傍熱
型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量センサは、
機関の吸気通路に設けられた温度検出兼用の発熱抵抗、
およびその上流側に設けられた温度依存抵抗を６７８え
ている。この場合、傍熱型と同様に、上流側の温度依存
抵抗は発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検出する
ものであり、つまり、外気温度補償用である。これによ
り、発熱抵抗とその上流側の温度依存抵抗との温度差が
一定になるように発熱抵抗の電流値をフィードバック制
御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流量（質量
）を検出するものである。なお、この場合にも、外気温
度補償用温度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度が一定
になるように発熱抵抗を制御すると、体積容量としての
空気ｊ、ｉ！ｉ量が検出できる。
通常、発熱抵抗（腹式抵抗）の発熱温度と吸入空気温度
との差を一定値にするあるいは腹式抵抗の発熱温度を一
定にする空気流量センサの応答性、グイナミノクレンジ
は腹式抵抗を含む発熱部兼温度検知部の熱容量（ヒート
マス）と断熱効果の程度で決定される。すなわち、最も
応答性がよく、且つグイナミソクレンジを最も大きくす
るためには、腹式抵抗を含む発熱部兼温度検知部のＭ量
をできる限り小さくし、また、その部分を理想的−には
完全に空気流中に浮かんだ状態にすることである。
との差を一定値にするあるいは腹式抵抗の発熱温度を一
定にする空気流量センサの応答性、グイナミノクレンジ
は腹式抵抗を含む発熱部兼温度検知部の熱容量（ヒート
マス）と断熱効果の程度で決定される。すなわち、最も
応答性がよく、且つグイナミソクレンジを最も大きくす
るためには、腹式抵抗を含む発熱部兼温度検知部のＭ量
をできる限り小さくし、また、その部分を理想的−には
完全に空気流中に浮かんだ状態にすることである。
このため、本願出願人は、腹式抵抗が形成された基板を
断熱部材を介して保持部材に支持すると共に、基板と保
持部材（正確にはその配線）との電気的接続をボンディ
ングワイヤにより行うことを既に提案している（参照：
特願昭６０−２５２３２号）。
断熱部材を介して保持部材に支持すると共に、基板と保
持部材（正確にはその配線）との電気的接続をボンディ
ングワイヤにより行うことを既に提案している（参照：
特願昭６０−２５２３２号）。
しかしながら、ワイヤボンディング方法による電気的接
続は、流体の流れ、振動、あるいは内燃機関であればバ
ツクファイヤ等の苛酷な環境条件下で、断線し易く、こ
の結果、信頼性が低下するという問題点がある。
続は、流体の流れ、振動、あるいは内燃機関であればバ
ツクファイヤ等の苛酷な環境条件下で、断線し易く、こ
の結果、信頼性が低下するという問題点がある。
本発明の目的は信頼線の高い流量センサを提供すること
にあり、その手段は、断熱部材に導電層を形成して基板
と保持部材（もしくはその配線）とを電気的に接続する
ようにしたことである。
にあり、その手段は、断熱部材に導電層を形成して基板
と保持部材（もしくはその配線）とを電気的に接続する
ようにしたことである。
上述の手段によれば、基板からの電気取出し構造が強固
であるので、流体の流れ、振動、バツクファイヤ等によ
る断線は起こりにくい。
であるので、流体の流れ、振動、バツクファイヤ等によ
る断線は起こりにくい。
以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第４図は本発明に係る腹式抵抗を有する直熱型流量セン
サが適用された内燃機関を示す全体概要図、第５図、第
６図は第４図のセンサ部分の拡大縦断図および横断図で
ある。第４図〜第６図において、内燃機関ｌの吸気通路
２にはエアクリーナ３および整流格子４を介して空気が
吸入される。
サが適用された内燃機関を示す全体概要図、第５図、第
６図は第４図のセンサ部分の拡大縦断図および横断図で
ある。第４図〜第６図において、内燃機関ｌの吸気通路
２にはエアクリーナ３および整流格子４を介して空気が
吸入される。
この吸気通路２内に計測管（ダクト）５が設けられ、そ
の内部に空気流量を計測するための発熱ヒータ兼用温度
依存抵抗（腹式抵抗）６が設けられている。腹式抵抗６
はその両端を放熱性の優れた保持部材７によってダクト
５に保持される。また、腹式抵抗６は電気的にリード線
ＩＱａ、１０ｂに接続され、スティ８の外側に設けられ
た外気温度補償を行う温度依存抵抗９と共に、ハイブリ
ッド基板に形成されたセンサ回路１１に接続されている
。
の内部に空気流量を計測するための発熱ヒータ兼用温度
依存抵抗（腹式抵抗）６が設けられている。腹式抵抗６
はその両端を放熱性の優れた保持部材７によってダクト
５に保持される。また、腹式抵抗６は電気的にリード線
ＩＱａ、１０ｂに接続され、スティ８の外側に設けられ
た外気温度補償を行う温度依存抵抗９と共に、ハイブリ
ッド基板に形成されたセンサ回路１１に接続されている
。
センサ回路１１は外気温度に対して腹式抵抗６の温度が
一定になるように該抵抗６０発熱量をフィードバック制
御し、そのセンサ出力Ｖ。を制御回路１２に供給する。
一定になるように該抵抗６０発熱量をフィードバック制
御し、そのセンサ出力Ｖ。を制御回路１２に供給する。
制御回路１２はたとえばマイクロコンピュータによって
構成され、燃料噴射弁１３の制御等を行うものである。
構成され、燃料噴射弁１３の制御等を行うものである。
膜式抵抗６は、第７図に示すように、たとえばシリコン
単結晶基板６１上に絶縁層（ＳｉＯ□、Ｓｉ：＋Ｎ４等
、図示せず）を形成し、次いで、渾着くもしくはスパフ
タリング）されおよびエツチングによりパターニングさ
れた白金（ＰＬ ）パターン層６２を形成しである。そ
のうち、点線枠内で示す部分６２ａが発熱手段として作
用する。そして、その上にパッシベーション膜（ＳｉＯ
□、５ｔ３Ｎａ等、図示せず）を形成し、電極取出しロ
Ｐ＋、Ｐｚ用のコンタクト部を形成しである。
単結晶基板６１上に絶縁層（ＳｉＯ□、Ｓｉ：＋Ｎ４等
、図示せず）を形成し、次いで、渾着くもしくはスパフ
タリング）されおよびエツチングによりパターニングさ
れた白金（ＰＬ ）パターン層６２を形成しである。そ
のうち、点線枠内で示す部分６２ａが発熱手段として作
用する。そして、その上にパッシベーション膜（ＳｉＯ
□、５ｔ３Ｎａ等、図示せず）を形成し、電極取出しロ
Ｐ＋、Ｐｚ用のコンタクト部を形成しである。
センサ回路１１は、第８図に示すごとく、膜式抵抗６、
温度依存抵抗９とブリッジ回路を構成する抵抗１１１
、１１２ 、比較器１１３、比較器１１３の出力によ
って制御されるトランジスタ１１４、電圧ノーソファ１
１５により構成される、つまり、空気流量が増加して膜
式抵抗６ （この場合、サーミスタ）の温度が低下し、
この結果、膜式抵抗６の抵抗値が下降して■１≦■８と
なると、比較３１１３の出力によってトランジスタ１１
４の導電率が増加する。
温度依存抵抗９とブリッジ回路を構成する抵抗１１１
、１１２ 、比較器１１３、比較器１１３の出力によ
って制御されるトランジスタ１１４、電圧ノーソファ１
１５により構成される、つまり、空気流量が増加して膜
式抵抗６ （この場合、サーミスタ）の温度が低下し、
この結果、膜式抵抗６の抵抗値が下降して■１≦■８と
なると、比較３１１３の出力によってトランジスタ１１
４の導電率が増加する。
従って、膜式抵抗６の発熱量が増加し、同時に、トラン
ジスタ１１４のコレクタ電位すなわち電圧バッファ１１
５の出力電圧■。は上昇する。逆に空気流量が減少して
膜式抵抗６の温度が上昇すると、膜式抵抗６の抵抗値が
増加してｖ、＞ＶＲとなり、比較器１１３の出力によっ
てトランジスタ１１４の導電率が減少する。従って、膜
式抵抗６の発熱量が減少し、同時に、電圧バッファ１１
５の出力電圧■。
ジスタ１１４のコレクタ電位すなわち電圧バッファ１１
５の出力電圧■。は上昇する。逆に空気流量が減少して
膜式抵抗６の温度が上昇すると、膜式抵抗６の抵抗値が
増加してｖ、＞ＶＲとなり、比較器１１３の出力によっ
てトランジスタ１１４の導電率が減少する。従って、膜
式抵抗６の発熱量が減少し、同時に、電圧バッファ１１
５の出力電圧■。
は低下する。このようにして膜式抵抗６の温度は外気温
度によって定まる値になるようにフィードバック制御さ
れ、出力電圧■。は空気流量を示−すこ□とになる。
度によって定まる値になるようにフィードバック制御さ
れ、出力電圧■。は空気流量を示−すこ□とになる。
第１Ａ図は第４図の膜式抵抗近傍の拡大正面図、第１Ｂ
図は第１Ａ図のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
図は第１Ａ図のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
第１Ａ図、第１Ｂ図において、保持部材７上には、絶縁
層１４ａ、１４ｂを介して配線層１５ａ、１５ｂが設け
られている。膜式抵抗６と保持部材７とはムライト等の
低熱伝導率の断熱部材１６ａ、１６ｂを介して固定され
ているが、その際、各断熱部材１６ａ。
層１４ａ、１４ｂを介して配線層１５ａ、１５ｂが設け
られている。膜式抵抗６と保持部材７とはムライト等の
低熱伝導率の断熱部材１６ａ、１６ｂを介して固定され
ているが、その際、各断熱部材１６ａ。
１６ｂの全面には導電層１７ａ、１７ｂが形成されてお
り、しかも、膜式抵抗６と保持部材７との接着は共晶も
しくはハンダ等の導電性接着剤１８によって行われる。
り、しかも、膜式抵抗６と保持部材７との接着は共晶も
しくはハンダ等の導電性接着剤１８によって行われる。
従って、膜式抵抗６−（正確には第７図の電極取出し部
Ｐ＋、Ｐｇ）は保持部材７上の各配線層１５ａ、１５ｂ
に電気的に接続される。また、導電層１７ａ、１７ｂは
たとえばＡｕ、Ｐｔ、Ｎｉ等よりなり無電解メッキ等の
方法で形成する。なお、各配線層１５ａ、１５ｂは第６
図のリード線１０ａ、１０ｂに接続されるものとする。
Ｐ＋、Ｐｇ）は保持部材７上の各配線層１５ａ、１５ｂ
に電気的に接続される。また、導電層１７ａ、１７ｂは
たとえばＡｕ、Ｐｔ、Ｎｉ等よりなり無電解メッキ等の
方法で形成する。なお、各配線層１５ａ、１５ｂは第６
図のリード線１０ａ、１０ｂに接続されるものとする。
このように、膜式抵抗６と保持部材７の配線層１５ａ、
１５ｂとは断熱部材１６ａ、１６ｂの表面に設けられた
導電層１７ａ、１７ｂを介して電気的に接続される。
１５ｂとは断熱部材１６ａ、１６ｂの表面に設けられた
導電層１７ａ、１７ｂを介して電気的に接続される。
第２Ａ図は第１Ａ図の変更例を示し、第２Ｂ図は第２Ａ
図のＢ−Ｂ断面図である。第２Ａ図、第２Ｂ図において
は、第１Ａ図、第１Ｂ図の絶縁層１４ａ、１４ｂ、配線
層１５ａ、１５ｂを設けずに、膜式抵抗６を導電材料で
構成された保持部材７ａ、７ｂに電気的に接続するもの
である。なお、導電層１７ａ、１７ｂおよび接着剤１８
は図示省略しである。
図のＢ−Ｂ断面図である。第２Ａ図、第２Ｂ図において
は、第１Ａ図、第１Ｂ図の絶縁層１４ａ、１４ｂ、配線
層１５ａ、１５ｂを設けずに、膜式抵抗６を導電材料で
構成された保持部材７ａ、７ｂに電気的に接続するもの
である。なお、導電層１７ａ、１７ｂおよび接着剤１８
は図示省略しである。
１９は樹脂、セラミック等の絶縁材であって、保持部材
？ａ、７ｂの短絡を防止すると共に、これらの位置合せ
に用いるものである。
？ａ、７ｂの短絡を防止すると共に、これらの位置合せ
に用いるものである。
このように、膜式抵抗６と保持部材７ａ 、 ７ｂとは
断熱部材１６ａ、１６ｂの表面に設けられた導電層１７
ａ、１７ｂを介して電気的に接続される。
断熱部材１６ａ、１６ｂの表面に設けられた導電層１７
ａ、１７ｂを介して電気的に接続される。
第３図は第１Ｂ図の断熱部材１６ａの配線層の変更例を
示す。すなわち、第３図においては、断熱部材１６ ａ
（１６ｂ ）の上下の面に導電層（板）２０ａ。
示す。すなわち、第３図においては、断熱部材１６ ａ
（１６ｂ ）の上下の面に導電層（板）２０ａ。
２０ｂを設け、これらを断熱部材１６ａ （１６ｂ）
の中心孔を通る導電層（棒）２０Ｃによって接続しであ
る。
の中心孔を通る導電層（棒）２０Ｃによって接続しであ
る。
このような第３図に示す導電層２０ａ 、 ２０ｂ 、
２０ｃは第１Ｂ図の導電層１７．、！、１７ｂと同様
の作用をなす。
２０ｃは第１Ｂ図の導電層１７．、！、１７ｂと同様
の作用をなす。
以上説明したように本発明によれば、ボンディングワイ
ヤを用いることなく断熱部材に導電層を形成して基板と
保持部材（もしくはその配線）とを電気的に接続してい
るので、機会的に強固となり、流量センサの信頼性を向
上できる。
ヤを用いることなく断熱部材に導電層を形成して基板と
保持部材（もしくはその配線）とを電気的に接続してい
るので、機会的に強固となり、流量センサの信頼性を向
上できる。
第１Ａ図は本発明に係る直熱型流量センサの腹式抵抗を
示す正面図、 第１Ｂ図は第１Ａ図のＢ−Ｂ線断面図、第２Ａ図は本発
明に係る直熱型流量センサの膜式抵抗を示す正面図、 第２Ｂ図は第２Ａ図のＢ−ＢｙＡ断面図、第３図は第１
Ｂ図の断熱部材の導電層の変更例を示す斜視図、 第４図は本発明に係る腹式抵抗を有する直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、 第５図、第６図はそれぞれ第４図のセンサ部分の拡大縦
断面図、横断面図、 第７図は第４図の膜式抵抗の拡大図、 第８図は第４図のセンサ回路の回路図である。 １：内燃機関、 ５：ダクト、 ６：膜式抵抗、 ７．７ａ、７ｂ：保持部材、 ９：外気温度補償用温度依存抵抗、 １１：セン→Ｊ°回路、 １４ａ、１４ｂ：絶縁層、 １５ａ、１５ｂ：配線層、 １６ａ、１６ｂ：断熱部材、 １７ａ、１７ｂ、２０ａ 、 ２０ｂ 、 ２０ｃ ：
導電層、１８：接着剤、 １９：絶縁材。 −Ｂ 胡ＩＡ園 。。０．ヤニ□ ７０６．保持部材 ＋４０．＋４ｂ・・・絶縁層 ＋５０．＋５１）・、配線層 １６Ｑ−０−断熱・部材 ２Ｑａ、２０ｂ 、２ Ｑｃ・・・導電層鳴３因 １・・内燃機関 ５・ ダクト 嶋４＠ ６．・、腹式抵抗 ７・・・保持部材 １１°°゛センプ旧１珀 １１ セッサ回路 褐６国 ６８．膜式抵抗 ６１・・基板
示す正面図、 第１Ｂ図は第１Ａ図のＢ−Ｂ線断面図、第２Ａ図は本発
明に係る直熱型流量センサの膜式抵抗を示す正面図、 第２Ｂ図は第２Ａ図のＢ−ＢｙＡ断面図、第３図は第１
Ｂ図の断熱部材の導電層の変更例を示す斜視図、 第４図は本発明に係る腹式抵抗を有する直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、 第５図、第６図はそれぞれ第４図のセンサ部分の拡大縦
断面図、横断面図、 第７図は第４図の膜式抵抗の拡大図、 第８図は第４図のセンサ回路の回路図である。 １：内燃機関、 ５：ダクト、 ６：膜式抵抗、 ７．７ａ、７ｂ：保持部材、 ９：外気温度補償用温度依存抵抗、 １１：セン→Ｊ°回路、 １４ａ、１４ｂ：絶縁層、 １５ａ、１５ｂ：配線層、 １６ａ、１６ｂ：断熱部材、 １７ａ、１７ｂ、２０ａ 、 ２０ｂ 、 ２０ｃ ：
導電層、１８：接着剤、 １９：絶縁材。 −Ｂ 胡ＩＡ園 。。０．ヤニ□ ７０６．保持部材 ＋４０．＋４ｂ・・・絶縁層 ＋５０．＋５１）・、配線層 １６Ｑ−０−断熱・部材 ２Ｑａ、２０ｂ 、２ Ｑｃ・・・導電層鳴３因 １・・内燃機関 ５・ ダクト 嶋４＠ ６．・、腹式抵抗 ７・・・保持部材 １１°°゛センプ旧１珀 １１ セッサ回路 褐６国 ６８．膜式抵抗 ６１・・基板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、膜式抵抗が形成された基板を断熱部材を介して放熱
特性が優れた保持部材に支持すると共に、前記断熱部材
に導電層を配設した直熱型流量センサ。 ２、前記保持部材上の配線と前記膜式抵抗とを前記導電
層により電気的に接続した特許請求の範囲第１項に記載
の直熱型流量センサ。 ３、前記保持部材と前記膜式抵抗とを前記導電層により
電気的に直接接続した特許請求の範囲第１項に記載の直
熱型流量センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178522A JPS6239720A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 直熱型流量センサ |
| US06/894,895 US4756190A (en) | 1985-08-09 | 1986-08-08 | Direct-heated flow measuring apparatus having uniform characteristics |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178522A JPS6239720A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 直熱型流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239720A true JPS6239720A (ja) | 1987-02-20 |
| JPH0441932B2 JPH0441932B2 (ja) | 1992-07-09 |
Family
ID=16049943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178522A Granted JPS6239720A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-15 | 直熱型流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239720A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH066929U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-28 | 川崎重工業株式会社 | プラズマトーチによるスラグ閉塞防止装置 |
| JP2014206439A (ja) * | 2013-04-12 | 2014-10-30 | 株式会社島津製作所 | 熱線式フローセンサ及び赤外線ガス分析計 |
-
1985
- 1985-08-15 JP JP60178522A patent/JPS6239720A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH066929U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-28 | 川崎重工業株式会社 | プラズマトーチによるスラグ閉塞防止装置 |
| JP2014206439A (ja) * | 2013-04-12 | 2014-10-30 | 株式会社島津製作所 | 熱線式フローセンサ及び赤外線ガス分析計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0441932B2 (ja) | 1992-07-09 |
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