JP2008108277A - 集積タイプのマスフローコントローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本体ブロック1に流体入口8aと流体出口8bを形成し、これら流体入口8aと流体出口8bを接続する流体流路11中に制御バルブ31を設け、更に、流体入口8aと制御バルブ31との間に、流体Gをバイパスさせるバイパス素子7と、流体Gの流量測定を行う流量センサ部10とを並列的に設け、前記流量センサ部10からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて制御バルブ31の開度を制御するようにしたマスフローコントローラ3であって、前記本体ブロック1内に前記バイパス素子7を設けるとともに、前記本体ブロック1の側面nに前記流量センサ部10を設ける一方、前記本体ブロック1の上面sに前記制御バルブ31を設けている。
【選択図】 図1
Description
この発明は上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有することでガス供給ラインを小型化できる集積タイプのマスフローコントローラを提供することである。
クの側面に流量センサ部をバイパス素子と並列的に設ける一方、本体ブロックの
上面に制御バルブを設けたので、流量センサ部と制御バルブのベース取付け部を
コンパクト化でき、バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有する集積
タイプのマスフローコントローラを提供できる。
図1〜図5は、この発明の一実施形態を示す。なお、図1は、この発明の集積タイプのマスフローコントローラ3の内部構造を基板4上に設置した状態で示し、マスフローコントローラ3の流体入口8aと流体出口8bの基板4への設置方向を両矢印Yで示すとともに、両矢印Yで示す方向に垂直な上方向、すなわち、マスフローコントローラ3の高さ方向を矢印Zで示している。図2は、基板4上に設置された前記マスフローコントローラ3を上面からみた図で、前記両矢印Yで示す方向(以縦方向Yという)に直角な方向を両矢印Xで示している(以横方向Xという)。図3〜図5は、基板4上にマスフローコントローラ3とバルブと例えばフィルタを設置して構成したガス供給ラインLを示している。
図1〜図5において、1は本体ブロックで、平面視正方形(一辺aの長さが例えば39mm)のベース取付け部2が形成されている。すなわち、横の長さAも縦の長さBも同じ(A=B=a)である。このベース取付け部2の四隅には、半導体の製造に用いられるパージガスを含む各種のガスをウェハー等に供給するガス供給ラインLを形成するための基板4にマスフローコントローラ3を取り付けて固定するためのネジ穴5が所定のピッチbを有して設けられている。5aはネジ穴5に螺合するボルトである。前記ピッチbは、例えば30mmである。このピッチbは、例えば半導体製造プロセスでのウェハーの膜付けや、エッチング等に使用されるガスを流すためのガス供給ラインLにマスフローコントローラ3とともに設置される各種のバルブ50、逆止弁あるいはフィルタ51等の構成部材のベース取付け部52に形成されているネジ穴55,55(図5参照)間のピッチと同一に設定してある。
2 ベース取付け部
3 マスフローコントローラ
5 ネジ穴
7 バイパス素子
8a 流体入口
8b 流体出口
10 流量センサ部
31 制御バルブ
44 六角穴付ボルト
n 本体ブロックの一方側面
S 本体ブロックの上面
Claims (1)
- 本体ブロックに流体入口と流体出口を形成し、これら流体入口と流体出口を接続する流体流路中に制御バルブを設け、更に、流体入口と制御バルブとの間に、流体をバイパスさせるバイパス素子と、流体の流量測定を行う流量センサ部とを並列的に設け、前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて制御バルブの開度を制御するようにしたマスフローコントローラであって、前記本体ブロック内に前記バイパス素子を設けるとともに、前記本体ブロックの側面に前記流量センサ部を設ける一方、前記本体ブロックの上面に前記制御バルブを設けたことを特徴とする集積タイプのマスフローコントローラ。
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JP2007340951A JP4505009B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ライン |
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JP36547199A Division JP4088010B2 (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 集積タイプのマスフローコントローラおよびガス供給ライン |
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JP4505009B2 JP4505009B2 (ja) | 2010-07-14 |
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JP2007340951A Expired - Lifetime JP4505009B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ライン |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100982201B1 (ko) | 2008-12-26 | 2010-09-14 | 엠케이프리시젼 주식회사 | 튜브가 관입된 바이패스 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS53106170A (en) * | 1977-02-25 | 1978-09-14 | Perkin Elmer Corp | Controlling apparatus for flow rate assembly for flow rate senser and calibrating method thereof |
JPH0615107U (ja) * | 1992-07-15 | 1994-02-25 | 株式会社エステック | マスフローコントローラ |
JPH06193761A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-15 | Tokyo Electron Ltd | 流量制御装置 |
JPH11118054A (ja) * | 1997-10-13 | 1999-04-30 | Tadahiro Omi | 流体制御装置 |
-
2007
- 2007-12-28 JP JP2007340951A patent/JP4505009B2/ja not_active Expired - Lifetime
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KR100982201B1 (ko) | 2008-12-26 | 2010-09-14 | 엠케이프리시젼 주식회사 | 튜브가 관입된 바이패스 |
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