JP2002168669A - 熱式流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱線が設けられた測定チップをセンサー部と
するものであって、測定チップの熱線と電気回路との接
続に関し、ワイヤーボンディングの使用を回避した熱式
流量計を提供すること。 【解決手段】 測定チップ１１が実装された基板２１Ａ
をボディ４１Ａに密着させることにより、ボディ４１Ａ
の内部において、主流路Ｍとセンサー流路Ｓ１とを形成
すると同時に、測定チップ１１に設けられた温度センサ
ー用熱線と流速センサー用熱線を、センサー流路Ｓ１に
橋設された状態にして、基板２１Ａの裏面の電気回路を
介し、ボディ４１Ａの内部を流れる計測対象気体の流量
を測定する。また、測定チップ１１に設けられた温度セ
ンサー用熱線と流速センサー用熱線は、測定チップ１１
の熱線用電極と基板２１Ａの電気回路用電極とが接着さ
れることによって、基板２１Ａの裏面の電気回路に接続
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱線を用いて流量
を計測する熱式流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、熱線を用いて流量を計測する熱式
流量計には、例えば、図１８に示すように、半導体マイ
クロマシニングの加工技術で製造された測定チップをセ
ンサー部として使用するものがある。そして、図１８の
熱式流量計１０１においては、入口ポート１０２に流入
させた計測対象気体を、整流機構１０３で整流させた後
に、計測流路１０４を介して、出口ポート１０５から流
出させており、計測対象気体の流量を計測するために、
電気回路１０６に接続された測定チップ１１１を計測流
路１０４に露出させている。

【０００３】この点、測定チップ１１１は、図１９に示
すように、シリコンチップ１１６において、上流温度セ
ンサー１１２、ヒータ１１３、下流温度センサー１１
４、周囲温度センサー１１５（上述したセンサー１１２
〜１１５は、「熱線」に相当する）などを、半導体マイ
クロマシニングの加工技術を設けたものである。

【０００４】従って、図１８の熱式流量計１０１におい
ては、計測対象気体が計測流路１０４に流れていないと
きは、図１９の測定チップ１１１の温度分布がヒータ１
１３を中心に対称となる一方、計測対象気体が計測流路
１０４に流れているときは、上流温度センサー１１２の
温度が低下し、下流温度センサー１１４の温度が上昇す
るので、図１９の測定チップ１１１の温度分布の対称性
は、計測対象気体の流量に応じて崩壊することになる。
このとき、この崩壊の程度は、上流温度センサー１１２
と下流温度センサー１１４の抵抗値の差になって現れる
ので、電気回路１０６を介して、計測対象気体の流量を
計測することが可能となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１８
の熱式流量計１０１では、図１９の測定チップ１１１に
おいて、６個の電極Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５、Ｄ
６をシリコンチップ１１６に設けており、上流温度セン
サー１１２、ヒータ１１３、下流温度センサー１１４、
周囲温度センサー１１５のそれぞれと電気回路１０６と
を接続することを、６個の電極Ｄ１〜Ｄ６を使用したワ
イヤーボンディングにより行っていた。

【０００６】従って、図１８の熱式流量計１０１では、
測定チップ１１１が計測配管１０４の中で露出し、ボン
ディングワイヤーＷが計測配管１０４に介在するので、
大流量の計測対象気体が計測配管１０４に流れると、そ
の風圧などを受けてボンディングワイヤーＷが切れる恐
れがあり、それを防ぐためには、カバー機構を設けるな
ど（例えば、特開平１０−２７７３号の「支持体１３
ａ」）の対策を行う必要があった。

【０００７】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、熱線が設けられた測定
チップをセンサー部とするものであって、測定チップの
熱線と電気回路との接続に関し、ワイヤーボンディング
の使用を回避した熱式流量計を提供することを課題とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に成された請求項１に係る発明は、熱線と前記熱線に接
続する熱線用電極とが設けられた測定チップと、前記熱
線を用いた計測原理を行うための電気回路に接続する電
気回路用電極が表面に設けられた基板と、前記基板が密
着することにより主流路が形成されるボディとを備え、
前記測定チップ又は前記基板に溝が設けられており、前
記熱線用電極と前記電気回路用電極とを接着して前記測
定チップを前記基板に実装することによって、前記主流
路に対するセンサー流路を前記測定チップと前記基板と
の間に前記溝で形成するとともに、前記センサー流路に
前記熱線を橋設させたこと、を特徴としている。

【０００９】このような特徴を有する本発明の熱式流量
計において、測定チップに設けられた熱線は、測定チッ
プを基板に実装した際に、測定チップに設けられた熱線
用電極と基板の表面に設けられた電気回路用電極とが接
着されることによって、熱線を用いた計測原理を行うた
めの電気回路に接続されている。一方、基板がボディに
対して密着されると、ボディの内部において、主流路が
形成される。このとき、基板又は基板に実装された測定
チップに溝が設けられているので、ボディの内部におい
て、主流路に対するセンサー流路も形成される。従っ
て、ボディの内部を流れる計測対象気体は、主流路とセ
ンサー流路の断面積比に応じて、主流路とセンサー流路
とに分流されることになる。この点、測定チップに設け
られた熱線は、センサー流路に橋設された状態にあるの
で、熱線を用いた計測原理を行うための電気回路によ
り、センサー流路を流れる計測対象気体の流量、ひいて
は、ボディの内部を流れる計測対象気体の流量を測定す
ることができる。

【００１０】すなわち、本発明の熱式流量計は、測定チ
ップが実装された基板をボディに密着させることによ
り、ボディの内部において、主流路とセンサー流路とを
形成すると同時に、測定チップに設けられた熱線を、セ
ンサー流路に橋設された状態にして、電気回路を介し、
センサー流路を流れる計測対象気体の流量、ひいては、
ボディの内部を流れる計測対象気体の流量を測定するも
のであるから、熱線が設けられた測定チップをセンサー
部とするものであって、測定チップに設けられた熱線
は、測定チップを基板に実装した際に、測定チップの熱
線用電極と基板の電気回路用電極とが接着されることに
よって、電気回路に接続されているので、測定チップの
熱線と電気回路との接続に関し、ワイヤーボンディング
の使用を回避したものと言うことができる。

【００１１】また、本発明の熱式流量計において、測定
チップに設けられた熱線は、センサー流路に橋設された
状態にあるので、壊れやすい部分であるが、センサー流
路は、基板又は基板に実装された測定チップに設けられ
た溝であって、測定チップと基板との間に形成されるも
のであり、測定チップが基板に実装されると、測定チッ
プに設けられた熱線は、測定チップと基板との間に挟ま
れて、外部から接触することが難しくなるので、組立・
検査工程などにおける取り扱いが容易となる。

【００１２】また、本発明の熱式流量計においては、測
定チップに設けられた熱線などが壊れたりしても、測定
チップが実装された基板ごとの交換で対応できるので、
修理が容易となる。

【００１３】また、本発明の熱式流量計は、測定チップ
に設けられた熱線を、センサー流路に橋設された状態に
して、電気回路を介し、センサー流路を流れる計測対象
気体の流量、ひいては、ボディの内部を流れる計測対象
気体の流量を測定するものであるが、センサー流路は、
基板又は基板に実装された測定チップに設けられた溝で
形成されるものであって、溝の細長い形状により、計測
対象気体の流れが整えられていくので、測定結果の乱流
ノイズが小さい。

【００１４】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
記載する熱式流量計であって、前記測定チップのみに前
記溝を設けたこと、を特徴としている。

【００１５】また、本発明の熱式流量計において、測定
チップのみに溝を設けても、ボディの内部にセンサー流
路を形成することは可能であるので、この場合は、基板
に溝を設けることを省略でき、この点は、特に、基板が
セラミック又は金属などの溝加工しにくい材料でできて
いるときに有効である。

【００１６】また、請求項３に係る発明は、請求項１に
記載する熱式流量計であって、前記基板のみに前記溝を
設けたこと、を特徴としている。

【００１７】また、本発明の熱式流量計において、基板
のみに溝を設けても、ボディの内部にセンサー流路を形
成することは可能であるので、この場合は、測定チップ
に溝を設けることを省略できるとともに、さらに、溝加
工による測定チップの強度低下を防止することができ
る。

【００１８】また、請求項４に係る発明は、熱線と前記
熱線に接続する熱線用電極とが設けられた測定チップ
と、前記熱線を用いた計測原理を行うための電気回路に
接続する電気回路用電極ピンと、前記電気回路用電極ピ
ンが挿設された基板と、前記電気回路用電極ピンと前記
基板との間を密封する弾性体と、前記基板が密着するこ
とにより主流路が形成されるボディとを備え、前記熱線
用電極と前記電気回路用電極ピンの平頭部とを接着して
前記測定チップを前記基板の表面側で実装することによ
って、前記主流路に対するセンサー流路を前記測定チッ
プと前記基板との間に前記弾性体の厚みで細長く形成す
るとともに、前記センサー流路に前記熱線を橋設させた
こと、を特徴としている。

【００１９】このような特徴を有する本発明の熱式流量
計において、測定チップに設けられた熱線は、測定チッ
プを基板の表面側で実装した際に、測定チップに設けら
れた熱線用電極と、基板に挿設された電気回路用電極ピ
ンの平頭部とが接着されることによって、熱線を用いた
計測原理を行うための電気回路に接続されている。一
方、基板がボディに対して密着されると、ボディの内部
において、主流路が形成される。このとき、電気回路用
電極ピンと基板との間を密封する弾性体が、基板と基板
に実装された測定チップとの間に存在するので、ボディ
の内部において、主流路に対するセンサー流路も形成さ
れる。従って、ボディの内部を流れる計測対象気体は、
主流路とセンサー流路の断面積比に応じて、主流路とセ
ンサー流路とに分流されることになる。この点、測定チ
ップに設けられた熱線は、センサー流路に橋設された状
態にあるので、熱線を用いた計測原理を行うための電気
回路により、センサー流路を流れる計測対象気体の流
量、ひいては、ボディの内部を流れる計測対象気体の流
量を測定することができる。

【００２０】すなわち、本発明の熱式流量計は、測定チ
ップが実装された基板をボディに密着させることによ
り、ボディの内部において、主流路とセンサー流路とを
形成すると同時に、測定チップに設けられた熱線を、セ
ンサー流路に橋設された状態にして、電気回路を介し、
センサー流路を流れる計測対象気体の流量、ひいては、
ボディの内部を流れる計測対象気体の流量を測定するも
のであるから、熱線が設けられた測定チップをセンサー
部とするものであって、測定チップに設けられた熱線
は、測定チップを基板に実装した際に、測定チップの熱
線用電極と、基板に挿設された電気回路用電極ピンの平
頭部とが接着されることによって、電気回路に接続され
ているので、測定チップの熱線と電気回路との接続に関
し、ワイヤーボンディングの使用を回避したものと言う
ことができる。

【００２１】また、本発明の熱式流量計において、測定
チップに設けられた熱線は、センサー流路に橋設された
状態にあるので、壊れやすい部分であるが、センサー流
路は、基板と基板に実装された測定チップとの間に存在
する弾性体の厚みで形成されるものであり、測定チップ
が基板に実装されると、測定チップに設けられた熱線
は、測定チップと基板との間に挟まれて、外部から接触
することが難しくなるので、組立・検査工程などにおけ
る取り扱いが容易となる。

【００２２】また、本発明の熱式流量計においては、測
定チップに設けられた熱線などが壊れたりしても、測定
チップが実装された基板ごとの交換で対応できるので、
修理が容易となる。

【００２３】また、本発明の熱式流量計は、測定チップ
に設けられた熱線を、センサー流路に橋設された状態に
して、電気回路を介し、センサー流路を流れる計測対象
気体の流量、ひいては、ボディの内部を流れる計測対象
気体の流量を測定するものであるが、センサー流路は、
基板と基板に実装された測定チップとの間に存在する弾
性体の厚みで細長く形成されるものであり、その細長い
形状により、計測対象気体の流れが整えられていくの
で、測定結果の乱流ノイズが小さい。

【００２４】また、本発明の熱式流量計においては、セ
ンサー流路が、基板と基板に実装された測定チップとの
間に存在する弾性体の厚みで形成されるものであるの
で、基板に溝を設けることを省略でき、この点は、特
に、基板がセラミック又は金属などの溝加工しにくい材
料でできているときに有効であり、同時に、測定チップ
に溝を設けることを省略できるので、溝加工による測定
チップの強度低下を防止することもできる。

【００２５】また、本発明の熱式流量計においては、基
板と基板に実装された測定チップとの間に弾性体が存在
しており、基板が多少反ったとしても、弾性体が緩衝材
として働くので、基板に実装された測定チップが破壊さ
れることはない。

【００２６】また、請求項５に係る発明は、請求項４に
記載する熱式流量計であって、前記測定チップに溝を設
けたことにより、前記センサー流路の一部にしたこと、
を特徴としている。また、請求項６に係る発明は、請求
項４又は請求項５に記載する熱式流量計であって、前記
基板に溝を設けたことにより、前記センサー流路の一部
にしたこと、を特徴としている。

【００２７】尚、本発明の熱式流量計においては、セン
サー流路が、基板と基板に実装された測定チップとの間
に存在する弾性体の厚みで形成されるものであるけれど
も、測定チップ又は基板に溝を設けたことにより、セン
サー流路の一部にしても、上述したように、熱線が設け
られた測定チップをセンサー部とするものであって、測
定チップの熱線と電気回路との接続に関し、ワイヤーボ
ンディングの使用を回避したものと言うことができる
し、組立・検査工程などにおける取り扱いが容易となる
し、修理が容易となるし、測定結果の乱流ノイズが小さ
い。

【００２８】また、請求項７に係る発明は、請求項１乃
至請求項６のいずれか一つに記載する熱式流量計であっ
て、前記電気回路を前記基板の裏面に設けたこと、を特
徴としている。

【００２９】また、本発明の熱式流量計において、熱線
を用いた計測原理を行うための電気回路を基板の裏面に
設ければ、熱線が設けられた測定チップは基板の表面又
は表面側で基板に実装されていることから、熱線が設け
られた測定チップと、熱線が設けられた測定チップと熱
線を用いた計測原理を行うための電気回路とを、一つの
基板に集約することができるので、省スペースやコスト
ダウンに貢献することができる。

【００３０】また、請求項８に係る発明は、請求項１乃
至請求項７のいずれか一つに記載する熱式流量計であっ
て、前記センサー流路の下流側に前記熱線を設けたこ
と、を特徴としている。

【００３１】また、本発明の熱式流量計において、セン
サー流路の下流側に熱線を設ければ、センサー流路の下
流側は、センサー流路の細長い形状により、計測対象気
体の流れが整えられていく作用がより大きく発揮される
ので、測定結果の乱流ノイズがより小さくなる。

【００３２】また、請求項９に係る発明は、請求項１乃
至請求項８のいずれか一つに記載する熱式流量計であっ
て、前記ボディに内設された底板を備え、前記底板で前
記主流路の断面積を変更させたこと、を特徴としてい
る。

【００３３】また、本発明の熱式流量計において、ボデ
ィに内設された底板を備え、底板で主流路の断面積を変
更させれば、ボディの内部を流れる計測対象気体は、主
流路とセンサー流路の断面積比に応じて、主流路とセン
サー流路とに分流されることから、センサー流路に橋設
された熱線からの出力特性を異なるものとすることがで
きるので、かかる出力特性に応じて、センサー流路を流
れる計測対象気体の流量、ひいては、ボディの内部を流
れる計測対象気体の流量の測定範囲（流量レンジ）を調
整することができる。

【００３４】尚、電気回路で行われる熱線を用いた計測
原理には、一つの熱線を用いたもの、二つの熱線を用い
たもの、三つの熱線を用いたものなどがあり、多数の熱
線を用いたものであってもよい。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして説明する。図１に示すように、本実施の形
態の熱式流量計１Ａにおいては、Ｏリング４８を介し
て、基板２１Ａがボディ４１Ａにねじ固定で密着されて
いる。また、ボディ４１Ａには、入口ポート４２、入口
流路４３、計測流路４４、出口流路４５、出口ポート４
６が形成されており、計測流路４４には、底板４７がね
じ固定で設けられている。

【００３６】一方、基板２１Ａには、プリント基板２２
Ａ（図４参照）の裏面において、電気素子３１、３２、
３３、３４などで構成される電気回路が設けられてい
る。また、図４に示すように、プリント基板２２Ａの表
面において、溝２３が加工されるとともに、電気回路用
電極２４、２５、２６、２７が溝２３の両側に設けられ
ている。また、これらの電気回路用電極２４〜２７は、
プリント基板２２Ａの中で、電気素子３１〜３４（図１
参照）などで構成される電気回路と接続されている。さ
らに、プリント基板２２Ａの表面においては、後述する
ようにして、測定チップ１１が実装されている。

【００３７】ここで、測定チップ１１について説明する
と、図２の正面図や図３の側面図で示すように、測定チ
ップ１１は、シリコンチップ１２に対して、半導体マイ
クロマシニングの加工技術を実施したものであり、この
とき、溝１３が加工されるとともに、熱線用電極１４、
１５、１６、１７が溝１３の両側に設けられる。さら
に、このとき、温度センサー用熱線１８が、熱線用電極
１４、１５から延設されるとともに溝１３の上に架設さ
れ、また、流速センサー用熱線１９が、熱線用電極１
６、１７から延設されるとともに溝１３の上に架設され
る。

【００３８】そして、測定チップ１１の熱線用電極１
４、１５、１６、１７を、基板２１Ａの電気回路用電極
２４、２５、２６、２７（図４参照）のそれぞれと、半
田リフロー又は導電性接着剤などで接合することによっ
て、測定チップ１１を基板２１Ａに実装している。従っ
て、測定チップ１１が基板２１Ａに実装されると、測定
チップ１１に設けられた温度センサー用熱線１８と流速
センサー用熱線１９は、測定チップ１１の熱線用電極１
４〜１７と、基板２１Ａの電気回路用電極２４〜２７
（図４参照）とを介して、基板２１Ａの裏面に設けられ
た電気回路に接続される。

【００３９】また、測定チップ１１が基板２１Ａに実装
されると、図５に示すように、測定チップ１１の溝１３
は、基板２１Ａの溝２３と重なり合う。よって、図１や
図５に示すように、測定チップ１１が実装された基板２
１Ａをボディ４１Ａに密着すると、ボディ４１Ａの計測
流路４４において、測定チップ１１と底板４７との間
に、主流路Ｍが形成される一方、基板２１Ａと測定チッ
プ１１との間に、測定チップ１１の溝１３や基板２１Ａ
の溝２３などからなるセンサー流路Ｓ１が形成される。
そのため、センサー流路Ｓ１には、温度センサー用熱線
１８と流速センサー用熱線１９とが橋を渡すように設け
られる。

【００４０】従って、本実施の形態の熱式流量計１Ａに
おいては、図１に示すように、ボディ４１Ａの入口ポー
ト４２から計測対象気体が流れ込むと（図１のＦ）、計
測対象気体は、ボディ４１Ａの計測流路４４において、
主流路Ｍへ流れ込むもの（図１のＦ１）と、センサー流
路Ｓ１へ流れ込むもの（図１のＦ２）とに分流した後、
再び合流して、ボディ４１Ａの出口ポート４６から流れ
出すことになる（図１のＦ）。

【００４１】この点、センサー流路Ｓ１へ流れ込む計測
対象気体（図１のＦ２）は、センサー流路Ｓ１に橋設さ
れた温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１９
とから熱を奪うので、基板２１Ａの裏面に設けられた電
気回路が、温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱
線１９などの出力を検知しながら、温度センサー用熱線
１８と流速センサー用熱線１９とが一定の温度差になる
ように制御している。

【００４２】このときの出力の一例を図６に示す。図６
のグラフは、本実施の形態の熱式流量計１Ａにおいて、
ボディ４１Ａの入口ポート４２へ流れ込む計測対象気体
（図１のＦ）の流量が、２（ｌ／ｍｉｎ）、４（ｌ／ｍ
ｉｎ）、６（ｌ／ｍｉｎ）、８（ｌ／ｍｉｎ）、１０
（ｌ／ｍｉｎ）、１２（ｌ／ｍｉｎ）、１６（ｌ／ｍｉ
ｎ）、２０（ｌ／ｍｉｎ）のときの出力を、上から順に
示したものである。また、図７のグラフは、従来技術の
一例の熱式流量計において、計測対象気体の流量が、２
（ｌ／ｍｉｎ）、４（ｌ／ｍｉｎ）、６（ｌ／ｍｉ
ｎ）、８（ｌ／ｍｉｎ）、１０（ｌ／ｍｉｎ）、１２
（ｌ／ｍｉｎ）、１６（ｌ／ｍｉｎ）、２０（ｌ／ｍｉ
ｎ）のときの出力を、上から順に示したものである。

【００４３】図６と図７と比較すると、本実施の形態の
熱式流量計１Ａは、従来技術の一例の熱式流量計と比
べ、出力の振動幅が小さいことがわかる。また、この振
動幅の出力値に対する比率をノイズとして示したものが
図９である。図９においても、本実施の形態の熱式流量
計１Ａは、従来技術の一例の熱式流量計に対し、ノイズ
が小さいことがわかる。

【００４４】尚、図９において、「発明方式」とは、本
実施の形態の熱式流量計１Ａを意味し、「従来方式」と
は、従来技術の一例の熱式流量計を意味する。この点
は、後述する図８でも同じである。

【００４５】また、図８は、図６の出力を平均化したも
のを「発明方式」として示したものである。すなわち、
本実施の形態の熱式流量計１Ａは、ボディ４１Ａの入口
ポート４２へ流れ込む計測対象気体（図１のＦ）の流量
に応じて出力の平均値が変化し、その再現性も温度補償
回路（基板２１Ａの電気回路の一部）で保障されるの
で、ボディ４１Ａの入口ポート４２へ流れ込む計測対象
気体（図１のＦ）の流量を計測することができる。

【００４６】また、図１０は、本実施の形態の熱式流量
計１Ａにおいて、底板４７（図１、図５参照）の高さを
変更したときの出力特性を示したものである。図１０に
示すように、底板４７（図１、図５参照）の高さを、２
ｍｍ、３ｍｍ、３．５ｍｍ、４．５ｍｍと変更していく
と、出力特性も変更される。これは、図１１に示すよう
に、底板４７（図１、図５参照）の高さを、２ｍｍ、３
ｍｍ、３．５ｍｍ、４．５ｍｍと変更していくと、セン
サー流路Ｓ１（図１、図５参照）の断面積は一定である
ものの、主流路Ｍ（図１、図５参照）の断面積が変更さ
れ、これに伴い、主流路Ｍへ流れ込む計測対象気体（図
１のＦ１）の流量と、センサー流路Ｓ１へ流れ込む計測
対象気体（図１のＦ２）の流量とが変化することが考え
られる。

【００４７】もっとも、出力特性の直線性を示す範囲が
計測に適した範囲であることを考慮すれば、図１０によ
り、例えば、底板４７（図１、図５参照）の高さを３ｍ
ｍにすれば、計測対象気体の流量が０〜２０（ｌ／ｍｉ
ｎ）の範囲で計測が可能となり、底板４７（図１、図５
参照）の高さを４．５ｍｍにすれば、計測対象気体の流
量が０〜４（ｌ／ｍｉｎ）の範囲で計測が可能となる。
従って、ボディ４１Ａにねじ固定で設けられた底板４７
を交換するだけで、計測対象気体の流量の測定範囲（流
量レンジ）に適したボディ４１Ａにすることができる。

【００４８】以上詳細に説明したように、本実施の形態
の熱式流量計１Ａにおいては、図１〜図５に示すよう
に、測定チップ１１に設けられた温度センサー用熱線１
８と流速センサー用熱線１９は、測定チップ１１を基板
２１Ａに実装した際に、測定チップ１１に設けられた熱
線用電極１４〜１７と基板２１Ａの表面に設けられた電
気回路用電極２４〜２７とが接着されることによって、
温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１９を用
いた計測原理を行うための電気回路（基板２１Ａの裏面
に電気部品３１〜３４などで構成されたもの）に接続さ
れている。

【００４９】一方、基板２１Ａがボディ４１Ａに対して
ねじ固定で密着されると、ボディ４１Ａの計測流路４４
において、主流路Ｍが形成される。このとき、基板２１
Ａに溝２３が設けられるとともに、基板２１Ａに実装さ
れた測定チップ１１に溝１３が設けられているので、ボ
ディの計測流路４４において、主流路Ｍに対するセンサ
ー流路Ｓ１も形成される。

【００５０】従って、ボディ４１Ａの計測流路４４を流
れる計測対象気体は、主流路Ｍとセンサー流路Ｓ１の断
面積比に応じて、主流路Ｍとセンサー流路Ｓ１とに分流
されることになる。この点、測定チップ１１に設けられ
た温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１９
は、センサー流路Ｓ１に橋設された状態にあるので、温
度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１９を用い
た計測原理を行うための電気回路（基板２１Ａの裏面に
電気部品３１〜３４などで構成されたもの）により、
（センサー流路Ｓ１を流れる計測対象気体の流量、ひい
ては、）ボディ４１Ａの内部を流れる計測対象気体の流
量を測定することができる（図６、図８、図１０、図１
１参照）。

【００５１】すなわち、本実施の形態の熱式流量計１Ａ
は、図１〜図５に示すように、測定チップ１１が実装さ
れた基板２１Ａをボディ４１Ａにねじ固定で密着させる
ことにより、ボディ４１Ａの計測流路４４において、主
流路Ｍとセンサー流路Ｓ１とを形成すると同時に、測定
チップ１１に設けられた温度センサー用熱線１８と流速
センサー用熱線１９を、センサー流路Ｓ１に橋設された
状態にして、電気回路（基板２１Ａの裏面に電気部品３
１〜３４などで構成されたもの）を介し、（センサー流
路Ｓ１を流れる計測対象気体の流量、ひいては、）ボデ
ィ４１Ａの内部を流れる計測対象気体の流量を測定する
ものであるから（図６、図８、図１０、図１１参照）、
温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１９が設
けられた測定チップ１１をセンサー部とするものであっ
て、測定チップ１１に設けられた温度センサー用熱線１
８と流速センサー用熱線１９は、測定チップ１１を基板
２１Ａに実装した際に、測定チップ１１の熱線用電極１
４〜１７と基板２１Ａの電気回路用電極２４〜２７とが
半田リフローなどで接着されることによって、電気回路
（基板２１Ａの裏面に電気部品３１〜３４などで構成さ
れたもの）に接続されているので、測定チップ１１の温
度センサー用熱線１８及び流速センサー用熱線１９と電
気回路（基板２１Ａの裏面に電気部品３１〜３４などで
構成されたもの）との接続に関し、ワイヤーボンディン
グの使用を回避したものと言うことができる。

【００５２】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａにお
いて、図１〜図５に示すように、測定チップ１１に設け
られた温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１
９は、センサー流路Ｓ１に橋設された状態にあるので、
壊れやすい部分であるが、センサー流路Ｓ１は、基板２
１Ａに設けられた溝２３及び基板２１Ａに実装された測
定チップ１１に設けられた溝１３であって、測定チップ
１１と基板２１Ａとの間に形成されるものであり、測定
チップ１１が基板２１Ａに実装されると、測定チップ１
１に設けられた温度センサー用熱線１８と流速センサー
用熱線１９は、測定チップ１１と基板２１Ａとの間に挟
まれて、外部から接触することが難しくなるので、組立
・検査工程などにおける取り扱いが容易となる。

【００５３】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａにお
いては、測定チップ１１に設けられた温度センサー用熱
線１８と流速センサー用熱線１９などが壊れたりして
も、測定チップ１１が実装された基板２１Ａごとの交換
（ここでは、ねじ固定による交換）で対応できるので、
修理が容易となる。

【００５４】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａは、
測定チップ１１に設けられた温度センサー用熱線１８と
流速センサー用熱線１９を、センサー流路Ｓ１に橋設さ
れた状態にして、電気回路（基板２１Ａの裏面に電気部
品３１〜３４などで構成されたもの）を介し、（センサ
ー流路Ｓ１を流れる計測対象気体の流量、ひいては、）
ボディ４１Ａの内部を流れる計測対象気体の流量を測定
するものである。この点、センサー流路Ｓ１は、基板２
１Ａに設けられた溝２３及び基板２１Ａに実装された測
定チップ１１に設けられた溝１３で形成されるものであ
って、溝１３、２３の細長い形状により、計測対象気体
の流れが整えられていくので、測定結果の乱流ノイズを
小さくすることができる（図６〜図８参照）。

【００５５】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａにお
いては、温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線
１９を用いた計測原理を行うための電気回路を、基板２
１Ａの裏面に設けており、さらに、温度センサー用熱線
１８と流速センサー用熱線１９が設けられた測定チップ
１１は、基板２１Ａの表面に実装されている。従って、
温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線１９が設
けられた測定チップ１１と、温度センサー用熱線１８と
流速センサー用熱線１９を用いた計測原理を行うための
電気回路とを、一つの基板２１Ａに集約しているので、
省スペースやコストダウンに貢献している。

【００５６】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａにお
いては、図２に示すように、センサー流路Ｓ１の下流側
に流速センサー用熱線１９を設けて、センサー流路Ｓ１
を流れる計測対象気体Ｆ２の助走区間Ｌを長く設けてい
る。この点、センサー流路Ｓ１の下流側は、センサー流
路Ｓ１の細長い形状により、センサー流路Ｓ１を流れる
計測対象気体Ｆ２の流れが整えられていく作用がより大
きく発揮されるので、測定結果の乱流ノイズをより小さ
くすることができる（図９参照）。

【００５７】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａにお
いては、図１、図５に示すように、ボディ４１Ａにねじ
固定で内設された底板４７を備えており、高さの異なる
底板４７で主流路Ｍの断面積を変更させれば（図１１参
照）、ボディ４１の計測流路４４を流れる計測対象気体
は、主流路Ｍとセンサー流路Ｓ１の断面積比に応じて、
主流路Ｍ（図１のＦ１）とセンサー流路Ｓ１（図１のＦ
２）とに分流されることから、図１０に示すように、セ
ンサー流路Ｓ１に橋設された流速センサー用熱線１９な
どからの出力特性を異なるものとすることができるの
で、図１０の出力特性に応じて、（センサー流路Ｓ１を
流れる計測対象気体の流量、ひいては、）ボディ４１の
内部を流れる計測対象気体の流量の測定範囲（流量レン
ジ）を調整することができる。

【００５８】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、本実施の形態の熱式流量計１Ａに
おいては、図１、図５に示すように、基板２１Ａに溝２
３が設けられるとともに、測定チップ１１にも溝１３が
設けられているが、基板２１Ａには溝２３を設けず、測
定チップ１１のみに溝１３を設けてもよい。なぜなら、
測定チップ１１のみに溝１３を設けても、ボディ４１の
計測流路４４にセンサー流路Ｓ１を形成することは可能
だからであり、この場合は、基板２１Ａに溝２３を設け
ることを省略でき、この点は、特に、基板２１Ａが、例
えば、セラミック又は金属などの溝加工しにくい材料で
できているときに有効である。

【００５９】また、測定チップ１１には溝１３を設け
ず、基板２１Ａのみに溝２３を設けてもよい。なぜな
ら、基板２１Ａのみに溝２３を設けても、ボディ４１Ａ
の計測流路４４にセンサー流路Ｓ１を形成することは可
能だからであり、この場合は、測定チップ１１に溝１３
を設けることを省略できるとともに、さらに、溝加工に
よる測定チップ１１（シリコンチップ）の強度低下を防
止することができる。

【００６０】また、本実施の形態の熱式流量計１Ａにお
いては、図１〜図５に示すように、測定チップ１１の熱
線用電極１４、１５、１６、１７を、基板２１Ａの電気
回路用電極２４、２５、２６、２７のそれぞれと、半田
リフロー又は導電性接着剤などで接合することによっ
て、測定チップ１１を基板２１Ａに実装している。しか
しながら、図１２や図１３の断面図で示すようにして、
測定チップ１１を基板２１Ｂに実装してもよい。

【００６１】すなわち、図１２や図１３で示す基板２１
Ｂでは、プリント基板２２Ｂに対し、弾性体であるゴム
２９を介して、４本の電気回路用電極ピン２９を挿入
し、これらの電気回路用電極ピン２９の平頭部を、上述
した基板２１Ａの電気回路用電極２４〜２７に代えてい
る。このとき、図１のボディ４１の計測流路４４には、
上述したたセンサー流路Ｓ１に代えて、ゴム２９の厚み
と測定チップ１１の溝１３からなるセンサー流路Ｓ２が
形成される。

【００６２】そして、測定チップ１１が実装された基板
２１Ｂ（図１２や図１３に示すもの）をボディ４１Ａに
ねじ固定で密着させた熱式流量計においては、図１２や
図１３に示すように、センサー流路Ｓ２が、基板２１Ｂ
と基板２１Ｂに実装された測定チップ１１との間に存在
するゴム２９の厚みと、測定チップ１１の溝１３とで形
成されるものであるので、基板２１Ｂに溝を設けること
を省略でき、この点は、特に、基板２１Ｂがセラミック
又は金属などの溝加工しにくい材料でできているときに
有効である。

【００６３】また、測定チップ１１が実装された基板２
１Ｂ（図１２や図１３に示すもの）をボディ４１Ａにね
じ固定で密着させた熱式流量計においては、図１２や図
１３に示すように、基板２１Ｂと基板２１Ｂに実装され
た測定チップ１１との間にゴム２９が存在しており、基
板２１Ｂが多少反ったとしても、ゴム２９が緩衝材とし
て働くので、基板２１Ｂに実装された測定チップ１１
（シリコンチップ）が破壊されることはない。

【００６４】尚、図１２や図１３においては、センサー
流路Ｓ２が、基板２１Ｂと基板２１Ｂに実装された測定
チップ１１との間に存在するゴム２９の厚みと、測定チ
ップ１１の溝１３とで形成されるものであったが、ゴム
２９の厚みのみで形成してもよい。また、基板２１Ｂに
新たに溝を設けてセンサー流路Ｓ２の一部にしてもよ
く、この場合は、測定チップ１１に溝１３を設けること
を省略できるので、溝加工による測定チップ１１（シリ
コンチップ）の強度低下を防止することができる。

【００６５】また、図１４に示す熱式流量計１Ｂのよう
に、上述した熱式流量計１Ａに対し、ボディ４１Ａの入
口流路４３において、図１６の整流板（金網）５３を挿
入したり、ボディ４１Ａの計測流路４４の主流路Ｍにお
いて、図１５のステンレスパイプ５２からなる整流機構
５１を設ければ、図６の出力の振動幅や、図９のノイズ
値が、より一層小さくなる。

【００６６】また、図１７に示す熱式流量計１Ｃのよう
に、上述した熱式流量計１Ａに対し、ボディ４１Ｂの入
口流路４３において、フィルター５５を挿入したり、遮
蔽部５４を突設させれば、ボディ４１Ｂの入口ポート４
２から流れ込む計測対象流体の流入角度が大きくなって
も、ボディ４１Ｂの計測流路４４に流れ込む計測対象流
体の流入角度を所定範囲におさめることができるので、
図６、図８、図１０などに示す出力特性への影響を防止
できる。

【００６７】尚、本実施の形態の熱式流量計１Ａ、１
Ｂ、１Ｃにおいて、電気回路（基板２１Ａの裏面に電気
部品３１〜３４などで構成されたもの）で行われる計測
原理は、温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線
１９を用いたものであったが、その他には、一つの熱線
を用いたもの、三つの熱線を用いたものなどがあり、多
数の熱線を用いたものであってもよい。また、二つの熱
線を用いたものには、上述したように、温度センサー用
熱線１８と流速センサー用熱線１９などの出力を検知し
ながら、温度センサー用熱線１８と流速センサー用熱線
１９とが一定の温度差になるように制御する方式のほか
に、従来技術の欄で説明したように、２つの熱線によ
り、温度分布の対象性の崩壊度を検出する方式などがあ
る。これらの点については、測定チップ１１が実装され
た基板２１Ｂ（図１２や図１３に示すもの）をボディ４
１Ａにねじ固定で密着させた熱式流量計においても、同
様である。

【００６８】

【発明の効果】請求項１に係る発明の熱式流量計は、測
定チップが実装された基板をボディに密着させることに
より、ボディの内部において、主流路とセンサー流路と
を形成すると同時に、測定チップに設けられた熱線を、
センサー流路に橋設された状態にして、電気回路を介
し、センサー流路を流れる計測対象気体の流量、ひいて
は、ボディの内部を流れる計測対象気体の流量を測定す
るものであるから、熱線が設けられた測定チップをセン
サー部とするものであって、測定チップに設けられた熱
線は、測定チップを基板に実装した際に、測定チップの
熱線用電極と基板の電気回路用電極とが接着されること
によって、電気回路に接続されているので、測定チップ
の熱線と電気回路との接続に関し、ワイヤーボンディン
グの使用を回避したものと言うことができる。

【００６９】また、請求項１に係る発明の熱式流量計に
おいて、測定チップに設けられた熱線は、センサー流路
に橋設された状態にあるので、壊れやすい部分である
が、センサー流路は、基板又は基板に実装された測定チ
ップに設けられた溝であって、測定チップと基板との間
に形成されるものであり、測定チップが基板に実装され
ると、測定チップに設けられた熱線は、測定チップと基
板との間に挟まれて、外部から接触することが難しくな
るので、組立・検査工程などにおける取り扱いが容易と
なる。

【００７０】また、請求項１に係る発明の熱式流量計に
おいては、測定チップに設けられた熱線などが壊れたり
しても、測定チップが実装された基板ごとの交換で対応
できるので、修理が容易となる。

【００７１】また、請求項１に係る発明の熱式流量計
は、測定チップに設けられた熱線を、センサー流路に橋
設された状態にして、電気回路を介し、センサー流路を
流れる計測対象気体の流量、ひいては、ボディの内部を
流れる計測対象気体の流量を測定するものであるが、セ
ンサー流路は、基板又は基板に実装された測定チップに
設けられた溝で形成されるものであって、溝の細長い形
状により、計測対象気体の流れが整えられていくので、
測定結果の乱流ノイズが小さい。

【００７２】また、請求項２に係る発明の熱式流量計の
ように、測定チップのみに溝を設けても、ボディの内部
にセンサー流路を形成することは可能であるので、この
場合は、基板に溝を設けることを省略でき、この点は、
特に、基板がセラミック又は金属などの溝加工しにくい
材料でできているときに有効である。

【００７３】また、請求項３に係る発明の熱式流量計の
ように、基板のみに溝を設けても、ボディの内部にセン
サー流路を形成することは可能であるので、この場合
は、測定チップに溝を設けることを省略できるととも
に、さらに、溝加工による測定チップの強度低下を防止
することができる。

【００７４】また、請求項４に係る発明の熱式流量計
は、測定チップが実装された基板をボディに密着させる
ことにより、ボディの内部において、主流路とセンサー
流路とを形成すると同時に、測定チップに設けられた熱
線を、センサー流路に橋設された状態にして、電気回路
を介し、センサー流路を流れる計測対象気体の流量、ひ
いては、ボディの内部を流れる計測対象気体の流量を測
定するものであるから、熱線が設けられた測定チップを
センサー部とするものであって、測定チップに設けられ
た熱線は、測定チップを基板に実装した際に、測定チッ
プの熱線用電極と、基板に挿設された電気回路用電極ピ
ンの平頭部とが接着されることによって、電気回路に接
続されているので、測定チップの熱線と電気回路との接
続に関し、ワイヤーボンディングの使用を回避したもの
と言うことができる。

【００７５】また、請求項４に係る発明の熱式流量計に
おいて、測定チップに設けられた熱線は、センサー流路
に橋設された状態にあるので、壊れやすい部分である
が、センサー流路は、基板と基板に実装された測定チッ
プとの間に存在する弾性体の厚みで形成されるものであ
り、測定チップが基板に実装されると、測定チップに設
けられた熱線は、測定チップと基板との間に挟まれて、
外部から接触することが難しくなるので、組立・検査工
程などにおける取り扱いが容易となる。

【００７６】また、請求項４に係る発明の熱式流量計に
おいては、測定チップに設けられた熱線などが壊れたり
しても、測定チップが実装された基板ごとの交換で対応
できるので、修理が容易となる。

【００７７】また、請求項４に係る発明の熱式流量計
は、測定チップに設けられた熱線を、センサー流路に橋
設された状態にして、電気回路を介し、センサー流路を
流れる計測対象気体の流量、ひいては、ボディの内部を
流れる計測対象気体の流量を測定するものであるが、セ
ンサー流路は、基板と基板に実装された測定チップとの
間に存在する弾性体の厚みで細長く形成されるものであ
り、その細長い形状により、計測対象気体の流れが整え
られていくので、測定結果の乱流ノイズが小さい。

【００７８】また、請求項４に係る発明の熱式流量計に
おいては、センサー流路が、基板と基板に実装された測
定チップとの間に存在する弾性体の厚みで形成されるも
のであるので、基板に溝を設けることを省略でき、この
点は、特に、基板がセラミック又は金属などの溝加工し
にくい材料でできているときに有効であり、同時に、測
定チップに溝を設けることを省略できるので、溝加工に
よる測定チップの強度低下を防止することもできる。

【００７９】また、請求項４に係る発明の熱式流量計に
おいては、基板と基板に実装された測定チップとの間に
弾性体が存在しており、基板が多少反ったとしても、弾
性体が緩衝材として働くので、基板に実装された測定チ
ップが破壊されることはない。

【００８０】尚、請求項５又は請求項６に係る発明の熱
式流量計のように、センサー流路が、基板と基板に実装
された測定チップとの間に存在する弾性体の厚みで形成
されるものであるけれども、測定チップ又は基板に溝を
設けたことにより、センサー流路の一部にしても、上述
したように、熱線が設けられた測定チップをセンサー部
とするものであって、測定チップの熱線と電気回路との
接続に関し、ワイヤーボンディングの使用を回避したも
のと言うことができるし、組立・検査工程などにおける
取り扱いが容易となるし、修理が容易となるし、測定結
果の乱流ノイズが小さい。

【００８１】また、請求項７に係る発明の熱式流量計に
おいて、熱線を用いた計測原理を行うための電気回路を
基板の裏面に設ければ、熱線が設けられた測定チップは
基板の表面又は表面側で基板に実装されていることか
ら、熱線が設けられた測定チップと、熱線が設けられた
測定チップと熱線を用いた計測原理を行うための電気回
路とを、一つの基板に集約することができるので、省ス
ペースやコストダウンに貢献することができる。

【００８２】また、請求項８に係る発明の熱式流量計に
おいて、センサー流路の下流側に熱線を設ければ、セン
サー流路の下流側は、センサー流路の細長い形状によ
り、計測対象気体の流れが整えられていく作用がより大
きく発揮されるので、測定結果の乱流ノイズがより小さ
くなる。

【００８３】また、請求項９に係る発明の熱式流量計に
おいて、ボディに内設された底板を備え、底板で主流路
の断面積を変更させれば、ボディの内部を流れる計測対
象気体は、主流路とセンサー流路の断面積比に応じて、
主流路とセンサー流路とに分流されることから、センサ
ー流路に橋設された熱線からの出力特性を異なるものと
することができるので、かかる出力特性に応じて、セン
サー流路を流れる計測対象気体の流量、ひいては、ボデ
ィの内部を流れる計測対象気体の流量の測定範囲（流量
レンジ）を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の熱式流量計の断面図である。

【図２】本発明の熱式流量計で使用された測定チップの
正面図である。

【図３】本発明の熱式流量計で使用された測定チップの
側面図である。

【図４】本発明の熱式流量計において、測定チップを基
板に実装するときの斜視図である。

【図５】図１の線Ａ−Ａの断面図である。

【図６】本発明の熱式流量計の出力特性を示した図であ
る。

【図７】従来技術の熱式流量計の出力特性を示した図で
ある。

【図８】本発明の熱式流量計と従来技術の熱式流量計の
出力特性を比較した図である。

【図９】本発明の熱式流量計と従来技術の熱式流量計の
出力特性における乱流ノイズを比較した図である。

【図１０】本発明の熱式流量計において、底板の高さを
変更したときの出力特性を示した図である。

【図１１】本発明の熱式流量計において、底板の高さと
主流路の断面積の関係の一例を示した表である。

【図１２】本発明の熱式流量計において、測定素子が実
装された基板のその他の例の断面図である。

【図１３】図１２の線Ｂ−Ｂ断面図である。

【図１４】本発明の熱式流量計のその他の例の断面図で
ある。

【図１５】整流機構の斜視図である。

【図１６】整流板の正面図である。

【図１７】本発明の熱式流量計のその他の例の断面図で
ある。

【図１８】従来技術の熱式流量計の断面図である。

【図１９】従来技術の熱式流量計で使用された測定素子
の斜視図である。

【符号の説明】

１Ａ、１Ｂ、１Ｃ 熱式流量計 １１ 測定チップ １３ 測定チップの溝 １４、１５、１６、１７ 熱線用電極 １８ 温度センサー用熱線 １９ 流速センサー用熱線 ２１Ａ、２１Ｂ 基板 ２３ 基板の溝 ２４、２５、２６、２７ 電気回路用電極 ３１、３２、３３、３４ 電気素子 ２８ 電気回路用電極ピン ２９ ゴム ４１Ａ、４１Ｂ ボディ ４７ 底板 Ｌ 助走距離 Ｍ 主流路 Ｓ１、Ｓ２ センサー流路

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 熱線と前記熱線に接続する熱線用電極と
   が設けられた測定チップと、 前記熱線を用いた計測原理を行うための電気回路に接続
   する電気回路用電極が表面に設けられた基板と、 前記基板が密着することにより主流路が形成されるボデ
   ィとを備え、 前記測定チップ又は前記基板に溝が設けられており、前
   記熱線用電極と前記電気回路用電極とを接着して前記測
   定チップを前記基板に実装することによって、前記主流
   路に対するセンサー流路を前記測定チップと前記基板と
   の間に前記溝で形成するとともに、前記センサー流路に
   前記熱線を橋設させたこと、を特徴とする熱式流量計。
2. 【請求項２】 請求項１に記載する熱式流量計であっ
   て、 前記測定チップのみに前記溝を設けたこと、を特徴とす
   る熱式流量計。
3. 【請求項３】 請求項１に記載する熱式流量計であっ
   て、 前記基板のみに前記溝を設けたこと、を特徴とする熱式
   流量計。
4. 【請求項４】 熱線と前記熱線に接続する熱線用電極と
   が設けられた測定チップと、 前記熱線を用いた計測原理を行うための電気回路に接続
   する電気回路用電極ピンと、 前記電気回路用電極ピンが挿設された基板と、 前記電気回路用電極ピンと前記基板との間を密封する弾
   性体と、 前記基板が密着することにより主流路が形成されるボデ
   ィとを備え、 前記熱線用電極と前記電気回路用電極ピンの平頭部とを
   接着して前記測定チップを前記基板の表面側で実装する
   ことによって、前記主流路に対するセンサー流路を前記
   測定チップと前記基板との間に前記弾性体の厚みで細長
   く形成するとともに、前記センサー流路に前記熱線を橋
   設させたこと、を特徴とする熱式流量計。
5. 【請求項５】 請求項４に記載する熱式流量計であっ
   て、 前記測定チップに溝を設けたことにより、前記センサー
   流路の一部にしたこと、を特徴とする熱式流量計。
6. 【請求項６】 請求項４又は請求項５に記載する熱式流
   量計であって、 前記基板に溝を設けたことにより、前記センサー流路の
   一部にしたこと、を特徴とする熱式流量計。
7. 【請求項７】 請求項１乃至請求項６のいずれか一つに
   記載する熱式流量計であって、 前記電気回路を前記基板の裏面に設けたこと、を特徴と
   する熱式流量計。
8. 【請求項８】 請求項１乃至請求項７のいずれか一つに
   記載する熱式流量計であって、 前記センサー流路の下流側に前記熱線を設けたこと、を
   特徴とする熱式流量計。
9. 【請求項９】 請求項１乃至請求項８のいずれか一つに
   記載する熱式流量計であって、 前記ボディに内設された底板を備え、 前記底板で前記主流路の断面積を変更させたこと、を特
   徴とする熱式流量計。