JP4166705B2 - 空気流量測定装置 - Google Patents
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Description
この空気流量測定装置の一例として、例えば特許文献1に記載されたものは、流量検知素子と電子回路部品が、セラミック材などにより矩形状に形成された支持基材の長手方向の異なる位置に実装されている。また、支持基材に実装された電子回路が収納されたハウジングと、主通路の主流方向に流体を通流させて支持基材を冷却する通流路及び主通路方向と逆方向に通流させ前記流量検知素子が配置された副通路がそれぞれ形成された副流通路体を備えている。
また、流量検知素子を保持するための部品と、流量検知素子に空気を導入するための通路を形成するための部品とをそれぞれ個別に必要とし、部品点数が多くなりそれだけ組み付け工数も多くかかるとともに、部品の寸法バラツキ、組み付けによるバラツキにより、測定精度が低下してしまうという問題点もあった。
また、この発明に係る空気流量測定装置は、主通路の軸線方向に沿って空気の上流側に一端部が指向しているとともに前記空気の下流側に他端部が指向し、かつ途中屈曲された溝が形成されたベースと、支持基板およびこの支持基板の一面に搭載され前記空気の流量を検知する検知素子を含み、前記ベースに対面接合することで前記溝と協同して副通路を形成した回路モジュールとを備え、前記支持基板の前記一面側の前記検知素子は、前記副通路に露出しており、また前記支持基板の他面側は、前記主通路に露出しており、前記支持基板の前記他面側には、支持基板の他面を覆ったカバーが設けられており、このカバーが付設された前記支持基板および前記ベースが接合された前記上流側の端面形状が、支持基板に対して垂直でかつ前記軸線方向に沿って切断したときに曲面形状である。
以下、この発明の実施の形態を図について説明する。
図1はこの発明の実施の形態1の空気流量測定装置を示す正面図、図2は図1の側断面、図3は図2のIII−III線に沿った矢視断面図である。
この空気流量測定装置は、内部に主通路3を有する吸気管4に取り付けられており、矩形状をしたベース1と、このベース1に対面接合された回路モジュール2とを備えている。
ベース1には、主通路3の軸線方向に沿って空気の上流側に一端部が指向しているとともに空気の下流側に他端部が指向し、かつ途中Lの字形状に屈曲された溝5が形成されている。溝5内の各コーナ部は空気の流れを円滑にするために曲面形状である。また、ベース1には溝5と画成された室8が形成されている。ベース1には内部にターミナル10がインサートモールドされたコネクタ9が連続して設けられている。コネクタ9には吸気管4の取付孔7との間をシールするOリング6が嵌着されている。
ベース1には回路モジュール2が対面して接合されており、室8には各電子部品12が収まっている。また、ベース1の溝5と支持基板11の一面とにより副通路14が形成されている。この副通路14には感熱抵抗素子13が露出している。支持基板11の他面は、主通路3に露出している。
内燃機関の運転状態によって吸入空気には脈動流が生じるが、感熱抵抗素子13は空気流量と出力の関係が非線形であり、かつ感熱抵抗素子13の熱的な遅れがあるために、感熱抵抗素子13からの出力を逐一空気流量変換した流量検出信号の平均値は、実際に主通路3に流れる空気流量より小さくなる。この不都合を解消するために、感熱抵抗素子13が配置された副通路14を主通路3よりも長くして、副通路14の空気流の慣性力を大きくすることで、副通路14の平均流量を主通路3の流量よりも増加させることで、主通路3に流れる実際の空気流量よりも低い流量検出信号の平均値の低下を賄っている。また、副通路14は、脈動を抑制し、また整流作用もある。
また、感熱抵抗素子13は、副通路14の壁面に取り付けられており、副通路14内で流速が遅い位置で流速を測定しているので、空気中の飛散してくるダストの速度は遅いため、ダストが感熱抵抗素子13に衝突するときのエネルギーは低く、感熱抵抗素子13の破損は起こりにくい。
図5、図6はそのときの測定結果であり、図5は空気振幅率と空気流量変化率との関係を示す図、図6は振幅率1における空気流量波形を示す図である。
この測定時における脈動流の条件は、脈動周波数が62.5[Hz]で、主通路内の平均流量が30[g/s]であった。
図5から分かるように、実施の形態1の場合は、従来例の場合と比較して流量平均値が増加した(例えば、振幅率1のとき実施の形態1の場合は20%、従来例の場合は10%それぞれ主通路内の平均流量よりも増大している)。
即ち、主通路の流量に対して副通路の流量の増大は、実施の形態1の例の方が大きく、それだけ実施の形態1の例の方が副通路としての機能を果たしていることが分かる。
また、図6から、従来例の場合と比べて、実施の形態1の例の場合は脈動振幅が低減したことが分かる。
図7はこの発明の実施の形態2の空気流量測定装置を示す要部切断断面図である。
この実施の形態では、支持基板11およびベース1が対面接合された上流側の端面形状が、支持基板11に対して垂直でかつ軸線方向に沿って切断したときに曲面形状をしている。また、支持基板11およびベース1が対面接合された下流側の端面形状も、支持基板11に対して垂直でかつ軸線方向に沿って切断したときに曲面形状をしている。また、支持基板11とベース1とが対面接合されたものの断面形状は、中心軸線に対して左右対称である。
その他の構成は、実施の形態1と同じである。
図8、図9では、実施の形態2のもの(実施の形態2の例)と、上記従来例とを比較したときの図である。
図8から実施の形態2の場合は従来例の場合と比較して圧力損失が約1/2であり、また図9から実施の形態2の場合は従来例の場合と比較して、低流量域における出力の安定性も1/2であることが分かる。
図10はこの発明の実施の形態3の空気流量測定装置を示す要部切断断面図である。
この実施の形態では、支持基板11の他面側(反感熱抵抗素子13側)に、支持基板11の他面を覆ったカバー15が設けられている。このカバー15は例えばPBT(ポリブチレンフタレート)で構成されている。
このカバー15が付設された支持基板11およびベース1が接合された上流側の端面形状が、支持基板11に対して垂直でかつ軸線方向に沿って切断したときに曲面形状である。また、カバー15が付設された支持基板11およびベース1が接合された下流側の端面形状が、支持基板11に対して垂直でかつ軸線方向に沿って切断したときに曲面形状である。また、カバー15が付設された支持基板11とベース1とが対面接合されたものの断面形状は、中心軸線に対して左右対称である。
その他の構成は、実施の形態1と同じである。
また、各実施の形態1〜3では、検知素子として感熱抵抗素子を用いた場合について説明したが、勿論このものに限定されるものではなく、空気の流量を検知するものであればよい。
Claims (4)
- 内燃機関の吸気管に取り付けられ吸気管内部の主通路に流れる空気の流量を測定する空気流量測定装置であって、
前記主通路の軸線方向に沿って前記空気の上流側に一端部が指向しているとともに前記空気の下流側に他端部が指向し、かつ途中屈曲された溝が形成されたベースと、
支持基板およびこの支持基板の一面に搭載され前記空気の流量を検知する検知素子を含み、前記ベースに対面接合することで前記溝と協同して副通路を形成した回路モジュールとを備え、
前記支持基板の前記一面側の前記検知素子は、前記副通路に露出しており、また前記支持基板の他面側は、前記主通路に露出しており、
前記支持基板および前記ベースが接合された前記上流側の端面形状が、支持基板に対して垂直でかつ前記軸線方向に沿って切断したときに曲面形状である空気流量測定装置。 - さらに、前記支持基板および前記ベースが接合された前記下流側の端面形状が、支持基板に対して垂直でかつ前記軸線方向に沿って切断したときに曲面形状であり、かつ中心軸線に対して左右対称である請求項1に記載の空気流量測定装置。
- 内燃機関の吸気管に取り付けられ吸気管内部の主通路に流れる空気の流量を測定する空気流量測定装置であって、
前記主通路の軸線方向に沿って前記空気の上流側に一端部が指向しているとともに前記空気の下流側に他端部が指向し、かつ途中屈曲された溝が形成されたベースと、
支持基板およびこの支持基板の一面に搭載され前記空気の流量を検知する検知素子を含み、前記ベースに対面接合することで前記溝と協同して副通路を形成した回路モジュールとを備え、
前記支持基板の前記一面側の前記検知素子は、前記副通路に露出しており、また前記支持基板の他面側は、前記主通路に露出しており、
前記支持基板の前記他面側には、支持基板の他面を覆ったカバーが設けられており、このカバーが付設された前記支持基板および前記ベースが接合された前記上流側の端面形状が、支持基板に対して垂直でかつ前記軸線方向に沿って切断したときに曲面形状である空気流量測定装置。 - 前記支持基板の凹部に、支持基板の面と同一面になるように前記検知素子が設けられている請求項1〜3の何れか1項に記載の空気流量測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004005913A JP4166705B2 (ja) | 2004-01-13 | 2004-01-13 | 空気流量測定装置 |
US10/820,772 US6952961B2 (en) | 2004-01-13 | 2004-04-09 | Air flow rate measuring device |
DE102004023919A DE102004023919B4 (de) | 2004-01-13 | 2004-05-13 | Luftflussraten-Messvorrichtung |
KR1020040040257A KR100546930B1 (ko) | 2004-01-13 | 2004-06-03 | 공기 유량 측정 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004005913A JP4166705B2 (ja) | 2004-01-13 | 2004-01-13 | 空気流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005201684A JP2005201684A (ja) | 2005-07-28 |
JP4166705B2 true JP4166705B2 (ja) | 2008-10-15 |
Family
ID=34737248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004005913A Expired - Fee Related JP4166705B2 (ja) | 2004-01-13 | 2004-01-13 | 空気流量測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6952961B2 (ja) |
JP (1) | JP4166705B2 (ja) |
KR (1) | KR100546930B1 (ja) |
DE (1) | DE102004023919B4 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4161077B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2008-10-08 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP5170209B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2013-03-27 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
JP2013024710A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
FR2983950B1 (fr) * | 2011-12-09 | 2015-02-20 | Extraflame S P A | Dispositif de detection du flux d'air entrant dans des appareils de chauffage de locaux et procede associe |
BE1019925A5 (fr) * | 2011-12-16 | 2013-02-05 | Extraflame S P A | Dispositif de detection du debit d'air d'entree dans des appareils de chauffage domestique et procede associe. |
US9784605B2 (en) | 2012-06-15 | 2017-10-10 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flow meter including a cover mounted on a housing and where a bypass passage is formed by the cover and a bypass passage trench |
JP5646030B1 (ja) * | 2013-10-11 | 2014-12-24 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
CN106537099B (zh) * | 2014-07-30 | 2020-03-24 | 日立汽车系统株式会社 | 物理量检测装置 |
DE102015122224A1 (de) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Durchflussmessgerät |
JP6734939B2 (ja) | 2017-01-26 | 2020-08-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP6838249B2 (ja) * | 2017-06-01 | 2021-03-03 | 日立Astemo株式会社 | 熱式流量計 |
US11143535B2 (en) | 2017-09-05 | 2021-10-12 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal-type flowmeter |
JP6807465B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2021-01-06 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4914947A (en) * | 1988-09-30 | 1990-04-10 | Honeywell Inc. | Sampling probe flow sensor |
DD282513A5 (de) * | 1989-04-20 | 1990-09-12 | Elektromat Veb | Mikromechanischer elektrokalorischer durchflussmengenmesser |
DE4219454C2 (de) | 1992-06-13 | 1995-09-28 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor |
JP3323745B2 (ja) | 1996-07-25 | 2002-09-09 | 株式会社日立製作所 | 物理量検出装置の特性調整手段および発熱抵抗式空気流量装置 |
JP3523022B2 (ja) * | 1997-06-26 | 2004-04-26 | 株式会社日立製作所 | 発熱抵抗体式空気流量測定装置及び内燃機関の吸気系システム及び内燃機関の制御システム |
DE19808248A1 (de) * | 1998-02-27 | 1999-09-02 | Pierburg Ag | Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
JP3785319B2 (ja) * | 2000-12-11 | 2006-06-14 | 株式会社日立製作所 | 流量計測装置 |
JP3671393B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2005-07-13 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
JP3785338B2 (ja) | 2001-07-25 | 2006-06-14 | 株式会社日立製作所 | 熱式流量計測装置 |
-
2004
- 2004-01-13 JP JP2004005913A patent/JP4166705B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-09 US US10/820,772 patent/US6952961B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-13 DE DE102004023919A patent/DE102004023919B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2004-06-03 KR KR1020040040257A patent/KR100546930B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6952961B2 (en) | 2005-10-11 |
KR100546930B1 (ko) | 2006-01-26 |
KR20050074250A (ko) | 2005-07-18 |
DE102004023919A1 (de) | 2005-08-04 |
JP2005201684A (ja) | 2005-07-28 |
US20050150290A1 (en) | 2005-07-14 |
DE102004023919B4 (de) | 2007-10-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080616 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4166705 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120808 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120808 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130808 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |