KR20050074250A - 공기 유량 측정 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 내연 기관의 흡기관에 부착되고 흡기관 내부의 주통로에 흐르는 공기의 유량을 측정하는 공기 유량 측정 장치로서,상기 주통로의 축선 방향에 따라 상기 공기의 상류측으로 일단부가 지향하고 있음과 함께 상기 공기의 하류측으로 타단부가 지향하고, 또한 도중 굴곡된 홈이 형성된 베이스와,지지 기판 및 이 지지 기판의 일면에 탑재되고 상기 공기의 유량을 검지하는 검지 소자를 포함하고, 상기 베이스에 대면 접합함으로써 상기 홈과 협동하여 부통로를 형성한 회로 모듈을 구비하고,상기 지지 기판의 상기 일면측의 상기 검지 소자는, 상기 부통로에 노출하여 있고, 또한 상기 지지 기판의 타면측은, 상기 주통로에 노출하여 있는 것을 특징으로 하는 공기 유량 측정 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 지지 기판의 오목부에, 지지 기판의 면과 동일면이 되도록 상기 검지 소자가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 공기 유량 측정 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 지지 기판 및 상기 베이스가 접합된 상기 상류측의 단면 형상이, 지지 기판에 대해 수직이며 또한 상기 축선 방향에 따라 절단한 때에 곡면 형상인 것을 특징으로 하는 공기 유량 측정 장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2004-00005913 | 2004-01-13 | ||
JP2004005913A JP4166705B2 (ja) | 2004-01-13 | 2004-01-13 | 空気流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050074250A true KR20050074250A (ko) | 2005-07-18 |
KR100546930B1 KR100546930B1 (ko) | 2006-01-26 |
Family
ID=34737248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040040257A KR100546930B1 (ko) | 2004-01-13 | 2004-06-03 | 공기 유량 측정 장치 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6952961B2 (ko) |
JP (1) | JP4166705B2 (ko) |
KR (1) | KR100546930B1 (ko) |
DE (1) | DE102004023919B4 (ko) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4161077B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2008-10-08 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP5170209B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2013-03-27 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
JP2013024710A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
FR2983950B1 (fr) * | 2011-12-09 | 2015-02-20 | Extraflame S P A | Dispositif de detection du flux d'air entrant dans des appareils de chauffage de locaux et procede associe |
BE1019925A5 (fr) * | 2011-12-16 | 2013-02-05 | Extraflame S P A | Dispositif de detection du debit d'air d'entree dans des appareils de chauffage domestique et procede associe. |
JP5646030B1 (ja) * | 2013-10-11 | 2014-12-24 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
CN106537099B (zh) * | 2014-07-30 | 2020-03-24 | 日立汽车系统株式会社 | 物理量检测装置 |
DE102015122224A1 (de) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Durchflussmessgerät |
US11112286B2 (en) | 2017-01-26 | 2021-09-07 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flowmeter |
JP6838249B2 (ja) * | 2017-06-01 | 2021-03-03 | 日立Astemo株式会社 | 熱式流量計 |
JP6965358B2 (ja) * | 2017-09-05 | 2021-11-10 | 日立Astemo株式会社 | 熱式流量計 |
US11353350B2 (en) * | 2017-09-29 | 2022-06-07 | Hitachi Astemo, Ltd. | Physical quantity detection device |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4914947A (en) * | 1988-09-30 | 1990-04-10 | Honeywell Inc. | Sampling probe flow sensor |
DD282513A5 (de) * | 1989-04-20 | 1990-09-12 | Elektromat Veb | Mikromechanischer elektrokalorischer durchflussmengenmesser |
DE4219454C2 (de) | 1992-06-13 | 1995-09-28 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor |
JP3323745B2 (ja) | 1996-07-25 | 2002-09-09 | 株式会社日立製作所 | 物理量検出装置の特性調整手段および発熱抵抗式空気流量装置 |
JP3523022B2 (ja) * | 1997-06-26 | 2004-04-26 | 株式会社日立製作所 | 発熱抵抗体式空気流量測定装置及び内燃機関の吸気系システム及び内燃機関の制御システム |
DE19808248A1 (de) * | 1998-02-27 | 1999-09-02 | Pierburg Ag | Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
JP3785319B2 (ja) * | 2000-12-11 | 2006-06-14 | 株式会社日立製作所 | 流量計測装置 |
JP3671393B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2005-07-13 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
JP3785338B2 (ja) | 2001-07-25 | 2006-06-14 | 株式会社日立製作所 | 熱式流量計測装置 |
-
2004
- 2004-01-13 JP JP2004005913A patent/JP4166705B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-09 US US10/820,772 patent/US6952961B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-13 DE DE102004023919A patent/DE102004023919B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2004-06-03 KR KR1020040040257A patent/KR100546930B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100546930B1 (ko) | 2006-01-26 |
DE102004023919B4 (de) | 2007-10-31 |
DE102004023919A1 (de) | 2005-08-04 |
US20050150290A1 (en) | 2005-07-14 |
JP2005201684A (ja) | 2005-07-28 |
US6952961B2 (en) | 2005-10-11 |
JP4166705B2 (ja) | 2008-10-15 |
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A201 | Request for examination | ||
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FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151217 Year of fee payment: 11 |
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FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
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