KR100323312B1

KR100323312B1 - 유량센서

Info

Publication number: KR100323312B1
Application number: KR1020000006003A
Authority: KR
Inventors: 우라마치히로유키; 요네자와후미요시; 야마카와도모야
Original assignee: 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시; 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1999-06-08
Filing date: 2000-02-09
Publication date: 2002-02-06
Also published as: JP2000346688A; US6729182B2; US20020073773A1; US6513375B2; US20030101810A1; JP3553422B2; US20020029629A1; KR20010006623A; US6557410B2; DE19964452B4; US6336361B1

Abstract

본 발명은 계측유체에 유속분포의 변화가 발생해도, 유량을 고정밀도로 검출할 수 있고, 또 압력손실이 작고, 또 제조코스트를 포함한 값싼 유량센서를 얻는다.

검출용통로(19)에는 지지부재(20)의 주통로(16)에의 돌출부분과 실질적으로 대략같은 유체 저항을 갖는 구조체(21)가 검출용통로(19)를 중심으로 지지부재(20)와 대칭위치에 일체로 구성되어있다.

Description

유량센서{FLOW RATE SENSOR}

본 발명은, 유량에 따라 신호를 출력하는 유량측정장치에 관해, 예를들면 내연기관의 흡입공기유량을 측정하는데 적합한 공기유량 측정장치에 관한 것이다.

도 24 및 도 25는 각각 예를들면 일본국 특개평8-313318호 공보에 기재된 종래의 감열식 유량센서를 표시하는 정면도 및 종단면도를 표시한다.

도 24 및 도 25에서, 유량센서(1)은, 계측유체가 흐르는 주통로(5)와, 주통로(5)내에 거의 동축에 배치된 검출용통로(6)과, 검출용통로(6)내에 배치된 유량검출소자(12A)와, 주통로(5)내의 검출용통로(6)의 입구근방에 배치된 유량검출소자 (12A)와 주통로(5)내의 검출용통로(6)의 입구근방에 배치된, 온도보상용저항체 (13)과, 주통로(5)내의 입구근방에 배치된 정류격자(7)을 갖고 있다.

그리고, 유량검출소자(12A)및 온도보상용 저항체(13)에 전기적으로 접속된 회로기판(8)이 회로케이스(9)내에 수납되고 있다.

또, 유량센서(1)에 전원을 공급하거나 유량검출신호를 외부에 인출하기 위한 커넥터(10)가 회로케이스(9)에 설치되어있다.

여기서, 유량검출소자(12A)는 세라믹기판과, 이 세라믹기판상에 착막된 백금막을 빗살상태로 형성해서되는 유량검출저항체(11)를 구비하고 있다.

마찬가지로, 온도보상용 저항체(13)는 세라믹기판상에 착막된 백금막을 빗살상태로 형성한 것이다.

이와같이 구성된 종래의 유량센서에서는, 유량검출소지(12A)의 유량저항체 (11)에 흐르는 가열전류는 유량검출저항체(11)의 평균온도가 온도보상용저항체(13)에서 검출된 계측유체온도로 부터 일정한 온도만큼 높아지도록 회로기판(8)에 구성된 회로에 의해 제어되고 있다.

그리고, 계측유체의 흐름에 의한 유량검출저항체(11)의 냉각효과와 유량검출저항체(11)의 저한치가 온도에 의해 변화하는 특성을 이용해서 유량검출저항체(11)에 공급되는 가열전류를 검출해서 이 가열전류를 유량신호로 함으로써 유체의 유량을 검출할 수 있다.

일반적으로, 유량센서(1)을 자동차용 내연기관의 흡입공기량 검출센서로서 작용하는 경우의 흡기관 배관을 도 26에 표시한다.

대개의 경우, 유량센서(1)는 에어클리너 케이스(3)의 내부에 수납된 에어클리너 엘레멘트(2)의 하류에 배치된다.

이 에어클리너 엘레멘트(2)는 부직포, 여과지등에 의해 된 필터이고, 내연기관이 흡입하는 공기중의 더스트를 포촉해서 내연기관의 내부에 들어가지 않도록 하기 위해 설치되어있다.

이 에어클리너 엘레멘트(2)는 자동차가 주행하는 데 따라 더스트가 퇴적해서 눈이 막혀 버린다.

이에 따라, 에어클리너 엘레멘트(2)를 통과한 흡입공기의 흐름은, 에어클리너 엘레멘트(2)가 눈막힘을 일으키기 이전의 흐름에 비교해 대단히 편향된 흐름이 되고 흡기량센서(1)의 상류에서의 유속분포는 크게 변화한다.

유량센서(1)의 유량검출소자(12A)는 주통로(5)의 극히 일부의 유속을 검출해서 유량정보로 하고 있기 때문에, 동일유량이라도 유량센서(1)의 상류의 유속분포가 변화하면 유량검출신호에 오차가 생겨 버린다.

그런데, 근년 엔진룸의 소형화에 따라 유량센서에도 소형화의 니즈가 높아져, 예를들면 일본국 특개평 8-219838호 공보에 기재되어 있는 바와 같이 유관부(주통로(5))를 갖지 않는 소위 플러그인 구조의 유량센서가 제안되고 있다.

그런데, 이 플러그인 구조의 유량센서는 유관부를 갖지 않으므로, 전술한 바와 같이 정류기(정류격자 7)를 사용해서 정류하는 것이 곤란하였었다.

따라서, 플러그인 구조의 유량센서를 자동차용 내연기관의 흡입공기량 검출센서로서 적용하는 경우, 에어클너 엘레멘트(2)가 눈막힘을 일으키면 유량검출신호에 오차가 생기기 쉬웠었다.

또, 이 플러그인 구조의 유량센서의 검출정밀도를 향상시키기 위해 정류기를 에어클리너 케이스 또는 흡기관에 장착하는 것이 생각된다.

이 경우, 충분한 정류효과를 얻기 위해서는 정류기의 눈을 가늘게 할 필요가 있다.

정류기의 눈을 가늘게 하는 것을 압력손실의 증대에 연결되고, 내연기관이 흡입할 수 있는 공기량이 제한되어서 내연기관의 출력이 저하해 버린다는 문제가 있었다.

또, 정류기의 눈이 너무 가늘면 에어크리너 엘레멘트를 통과한 작은 먼지에 의해 눈막힘이 일어난다는 문제가 있다.

한편, 정류기의 눈을 성글게하면, 정류효과가 저하할뿐 아니라, 정류기의 하루에 생기는 순용돌이에 의해 유량검출부에서의 경계층 두께 및 마찰응력의 물균일성을일으켜, 유량검출신호에 혼란이 생겨, 정확한 유량이 검출되지 않는다는 문제가 있다.

또, 유량센서 이외에 정류구조체를 가짐으로, 제조코스트가 비싸진다는 무제가 있었다.

또, 근년의 감열식 유량센서에서는 고속응답을 목적으로 한 소형화된 유량검출소자가 사용된다.

이 경우, 유량검출소자의 상류에 정류기를 설치하면 유량검출소자가 정류기로부터 발생하는 유체적 혼란의 영향을 받기 쉬워지고, 유량검출신호에 포함되는 노이즈성분이 더욱 커짐으로써 유량검출정밀도를 악화시킨다는 문제가 있었다.

또, 플러그인 구조의 유량센서는 예를들면 일본국 특개평 8-219838호 공보의 도 1 및 도 2에 표시된 바와 같이, 주통로에 개구된 구멍에 삽입되어 있고, 그 검출용통로가 주통로의 통로단면의 대략 중심에 위치하고 있다.

이 유량센서를 상류시(상류측에서 본다)하면, 검출용통로를 지지하는 지지부재가 검출용통로와 주통로사이에 설치되어있고, 검출용통로를 중심으로해서, 상하방향(주통로의 내벽면으로부터의 지지부재의 연출방향)에 유체저항의 기울기가 있다.

또, 검출용통로의 하부에 판상 정류부재를 사용한 유량센서가 일본국 특개평 10-332453호 공보에 기재되어있다.

이 경우도, 검출용통로를 중심으로해서, 상하방향으로 유체저항의 기울기가 있다.

이런 유량센서에서는, 유량센서의 상류에 유속분포의 변화가 생긴 경우에는, 유량센서의 상하방향에서의 유속분포가 불균일하게되고, 검출유량의 오차가 발생하기 쉽다.

또, 서미스터 등을 사용한 유체온도검출용소자를 일체화한 유량센서가 예를들면 일본국 특개평 8-297040호 공보에 기재되어있다.

이 유량센서에서는 상류시한 경우, 서미스터가 검출용통로를 지지하는 지지부재를 중심으로해서 좌우 어느쪽으로 기울어져 장착되어있다.

이 경우, 이 지지부재를 중심으로해서 좌우방향으로 유체저항의 기울기가 있으므로 유량센서의 상류에 유속분포의 변화가 생긴 경우에는 검출유량의 오차가 발생하기 쉽다.

또, 유체온도검출용소자에 서미스터를 사용한 유량센서에서는 일본국 특개평 8-297040호 공보에 기재되어 있는 바와 같이, 유관부에 유량센서를 삽입할때에 서미스터를 파손하지 않도록 프로텍터가 설치되어있다.

그러나, 유량센서 조립시, 서미스터를 검출용통로에 형성된 구멍에 삽입할때에 서미스터를 파손할 염려가 있어 이것에는 고려되지 않고 있었다.

또, 일본국 특개평 10-142020호 공보에 표시되는 바와 같이, 막식의 유량검출소자를 사용할때, 이 유량검출소자가 유량센서의 축방향(검출용통로의 축방향)과 거의 평행하게 또, 검출용통로내에 연출된 판상부재에 표면이 대략 균일하게 되도록 조립되고, 그 일단이 지지부재의 내부에 매몰고정되어있다.

그리고, 이 유량검출소자와, 제어회로부를 와이어본딩등의 방법에 의해 전기적도통을 도모되고있다.

또, 이 유량검출소자는 유속분포가 균일화되어있는 검출용통로의 통로단면의 대략 중심에 배치되어있다.

여기서, 유량센서의 고속응답을 목적으로 하는 경우, 이 유량검출소자를 소형화하는 것이 효과적이나, 소형화가 촉진되면 유량검출소자를 이 검출용통로의 중심에 배치하기 위해서는 이 제어회로부와의 전기적 접속부를 보호하는 보호부재를 이 검출용통로중에 노출시킬 필요가 발생한다.

이 경우, 이 검출용통로를 상류시 한 경우, 이 보호부재에 의해 상하방향으로 불균일한 유체저항이 생긴다.

따라서, 이 유량센서에서는 유량센서의 상류에 유속분포의 변화가 생긴 경우에는 검출유량의 오차가 발생하기 쉽다.

본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위해 된 것으로, 유량센서상류에서 유속분포가 변화해도 정확한 유량검출이 가능하고 압력손실이 작고 또, 제조코스트를 포함한 값싼 유량센서를 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 의한 유량센서는, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자가 내부에 배치된 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스를 구비하고, 상기 검출용통로, 지지부재 및 회로케이스가 일체적으로 구성되고, 상기 검출용통로가 유통시키는 주통로내에 위치하도록 상기 지지부재를 이 주통로에 개구된 구멍으로부터 연출시켜서 사용되는 유량센서에서, 상기 지지부재의 상기 구멍으로 부터의 연출부분과 대략 같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체가 상기 검출용통로는 중심으로, 상기 지지부재의 상기 구멍으로부터의 연출부분과 대략 대칭적인 위치에 설치되어 있는 것이다.

또, 상기 구조체는 일정한 lightening hole로 구성되어있다.

또, 상기 구조체의 적어도 일부는 상기 검출용통로와는 별부품으로 구성되고, 고정수단에 의해 상기 검출용통로 또는 상기 검출용통로에 설치된 부착부에 고정되어있는 것이다.

또, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자가 내부에 배치된 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스와, 유체의 온도를 검출하는 유체온도검출용소자를 구비하고, 상기 검출용통로, 지지부재 및 회로케이스가 일체적으로 구성되고, 상기 검출용통로 및 상기 유체온도검출용소자가 유체를 유통시키는 주통로내에 위치하도록 상기 지지부재를 이 주통로에 개구된 구멍으로부터 인출시켜서 사용되는 유량센서에서, 상기 유체온도검출용소자를 보호하는 프로텍터와, 이 프로텍터와 대략 같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체가, 상기 검출용통로를 지지부재에 대해 상기 프로텍터와 대략 대칭인 위치에설치되어 있는 것이다.

또, 상기 검출용통로, 지지부재, 회로케이스 및 상기 유체온도검출용소자가 일반적으로 구성되어 있는 것이다.

또, 상기 유체온도검출용소자 및 상기 프로텍터가 유닛으로 해서, 일체로 구성되고, 이 유닛을 삽입하는 구멍이 상기 지지부재 또는 회로케이스에 설치되어 있는 것이다.

또, 상기 유닛을 지지하는 구조체가 상기 지지부재에 일체로 구성되어있는 것이다.

또, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자가 내부에 배치되는 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 검출용통로내에 연출하도록 배치되어서, 상기 유량검출소자를 지지하는 검출보조부재와 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스를 구비한 유량센서에서, 상기 전자회로부와, 상기 유량검출소자와의 전기적 접속부를 상기 검출보조부재와, 협동해서 유체로부터 보호하는 보호부재가 상기 검출용통로내에 돌출하도록 설치되고, 상기 보호부재의 상기 검출용통로내에의 돌출부분과 대략 같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체가 상기 검출용통로의 축심을 중심으로해서 상기 보호부재의 상기 검출용통로내에의 돌출부분과 대략 대칭의 위치에 설치되어 있는 것이다.

또, 상기 구조체는 상기 검출보조부재와, 일체로 구성되어있는 것이다.

또, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와, 유체가 도입되는 동시에 상기유량검출소자가 내부에 배치되는 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지부재와, 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스와, 유체온도를 검출하는 유체온도검출용소자와, 이 유체온도검출용소자를 보호하는 프로텍터를 구하고, 상기 검출용통로, 지지부재 및 회로케이스가 일체로 구성되고, 상기 검출용통로가 유체를 유통시키는 주통로내에 위치하도록 상기 지지부재를 이 주통로에 개구된 구멍에서 연출시켜서 사용되는 유량센서에서, 상기 유체온도검출용소자 및 상기 프로텍터가 유닛으로서 일체로 구성되고, 이 유닛을 삽입하는 구멍이 상기 지지부재 또는 회로케이스에 설치되어 있는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 유량센서를 표시하는 종단면도

도 3은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 4는 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 유량센서를 표시하는 종단면도

도 5는 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 6은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 유량센서를 표시하는 종단면도

도 7은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 유량센서의 다른 실시예를 표시하는 부분 횡단면도

도 8은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 유량센서의 다른 실시예를 표시하는 종단면도

도 9는 본 발명의 실시의 형태 4에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 10은 본 발명의 실시의 형태 4에 관한 유량센서를 표시하는 부분 종단면도

도 11은 본 발명의 실시의 형태 5에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 12는 본 발명의 실시의 형태 5에 관한 유량센서를 표시하는 부분 종단면도

도 13은 본 발명의 실시의 형태 6에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 14는 본 발명의 실시의 형태 6에 관한 유량센서를 표시하는 부분 종단면도

도 15는 본 발명의 실시의 형태 7에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 16은 본 발명의 실시의 형태 7에 관한 유량센서를 표시하는 부분 종단면도

도 17은 본 발명의 실시의 형태 8에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 18은 본 발명의 실시의 형태 8에 관한 유량센서를 표시하는 부분 종단면도

도 19는 본 발명의 실시의 형태 9에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 20은 본 발명의 실시의 형태 9에 관한 유량센서를 표시하는 부분 종단면도

도 21은 본 발명의 실시의 형태 10에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 22는 본 발명의 실시의 형태 11에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 23은 본 발명의 실시의 형태 12에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도

도 24는 종래의 유량센서를 표시하는 정면도

도 25는 종래의 유량센서를 표시하는 종단면도

도 26은 종래의 유량센서를 적응한 자동차용 내연기관의 흡기계 배관도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

11: 유량검출저항체 12: 유량검출소자

14: 회로기판(전지회로부) 15: 회로케이스

16: 주통로 19: 검출용통로

19a: 부착부 20: 지지부재

21,21A,21B,21C,21D,21E: 구조체 22: 검출보조부재

25: 서미스터(유체온도검출용소자) 26: 프로턱터

27: 보호부재 28: 구조물

30,31: 구멍

100,101,102,103,104,105,106,107,108: 유량센서

이하, 본 발명의 실시의 형태를 도면에 따라 설명한다.

실시의 형태 1

도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 종단면도이다.

도 1 및 도 2에서, 주통로(16)는 계측유체가 유통하는 수지제의 원통상의 관체이고, 예를들면 자동차용 내연기관의 흡기계배관의 에어클리너케이스와, 일체로 형성되어있다.

유량센서(100)은, 주통로(16)에 부착되어 주통로(16)내를 유통하는 유체의유량을 검출하는 소위플러그인 구조의 것으로, 지지부재(20)과. 축심방향이 지지부재(20)의 길이방향과 직교하도록 이 지지부재(20)의 일단에 설치된통상의 검출용통로(19)와, 주면이 검출용통로(19)의 축심을 통과하도록 검출용통로(19)의 내벽면에서 지지부재(20)의 길이방향으로 연장 설치된 판상의 검출보조부재(22)와, 표면기 검출보조부재(22)와 같은 면위치가 되도록 검출보조부재(22)에 내장되고, 그 일단이 지지부재(20)의 내부에 고정되어있는 유량검출소자(12)와, 검출용통로(19)에 관해 지지부재(20)와 대칭위치에 검출용통로(19)의 외벽면으로부터 지지부재(20)의 길이방향으로 연장설치된 구조체(21)와, 지지부재(20)의 타단에 설치된 회로케이스 (15)를 갖고있다.

그리고, 검출용통로(19), 지지부재(20) 및 회로케이스(15)가 일체로 수지성형되어있는 즉, 일체의 수지체로 구성되어있다.

이 유량센서(100)는, 지지부재(20)가 주통로(16)의 내벽면에서 주통로(16)내에 연출하도록 주통로(16)에 설치된 개구(30)으로부터 삽입되고, 회로케이스(15)를 주통로(16)의 외벽에 나사(도시않함)에 의해 체결고정해서 부착된다.

이때, 지지부재(20)와, 주통로(16)의 개구(30)사이에 O링(29)가 개장되어, 주통로(16)의 기밀성이 확보되어있다.

또, 검출용통로(19)가 주통로(15)내에 대략 동축에 배치되어있다.

그리고, 검출용통로(19)의 축심방향이 계측유체의 흐르방향(4)에 대략 일치하고있다.

또, 구조체(21)는 지지부재(20)의 주통로(16)에의 돌출부분의 일부와 동일형상으로 구성되어있다.

여기서, 회로케이스(15)의 내부에는, 전기적신호를 제어하는 전자회로부로서의 회로기판(14)이 수용되어있다.

그리고, 회로기판(14)에 접속된 터미널(23)과 유량검출소자(12)가 지지부재 (20)의 내부에서 리드(24)를 통해서 전기적으로 접속되어있다.

또, 회로케이스(15)에는 커넥터(18)가 설치되고, 외부로부터 유량센서(100)에 전원을 공급하거나, 유량센서(100)의 유량검출신호를 외부로 인출할수 있도록 되어있다.

또, 유량검출소자(12)는 실리콘기판상에 착막된 백금막을 패터닝해서 빗살모양의 유량검출저항체(11) 및 온도보상용저항체(13)가 실리콘기판상에 복합형성된 것으로, 유량검출저항체(11)의 열이 온도보상용저항체(13)에 전도하지 않도록 열절연수단(도시않음)이 되어있다.

또, 이후에 진술하는 실시의 형태도 같으나, 지지부재(20)의 길이방향, 즉 지지부재(20)의 주통로(16)의 내벽면으로부터의 연출방향을 상하방향으로 하고, 검출용통로(19)의 축심 및 지지부재(20)의 길이방향으로 직교하는 방향을 좌우방향으로해서 설명한다.

또, 본 출원의 효과를 얻는데는 온도보상용 저항체(13)가 반드시 유량검출소자(12)위에 구성될 필요는 없고, 유량검출소자(12)에는 유량검출저항체(11)만이 구성되어 있어도 된다.

또, 유량검출소자(12)의 기판은 실리콘기판에 한정되는 것은 아니고, 전기적절연체이면되고, 예를들어 세라믹기판이라도 된다.

또, 유량검출저항체(11) 및 온도보상용저항체(13)의 재료는 백금에 한정되는 것은 아니고, 감열저항재료이면 되고, 예를들면 니켈, 퍼마로이 등이라도 된다.

이렇게 구성된 유량센서(100)에서, 구조체(21)가 지지부재(20)의 주통로(16)에의 돌출부분의 일부와 동일형상으로 구성되어 있으므로, 주류로(16)내의 지지부재(20)의 일부와 구조체(21)가 같은 유체저항을 갖는다.

또, 구조체(21)와 지지부재(20)가 검출용통로(19)를 중심으로해서 대칭으로 배치되어 있으므로, 상하방향에서 유체저항이 균일화 된다.

그래서, 주통로(16)에 유입하는 계측유체의 유속분포에 기울기가 생긴 경우라도, 적어도 상하방향에서의 주류축방향의 유속성분이 보정되고, 계측유체는 주류축방향의 유속분포가 평균화되기 때문에 검출유량의 오차가 발생하기 힘들고 정확한 유량검출이 가능해진다.

또, 본 실시의 형태 1에서는 구조체(21)는 지지부재(20)의 주통로(16)내에의 돌출부분과 같은 형상으로 ㅎ여성하는 것으로 하고 있으나, 구조체(21)는 반드시 지지부재(20)의 주통로(16)내에의 돌출부분과 동일형상으로 할 필요는 없고, 실질적으로 대략같은 유햐저항을 갖고 있으면 된다.

또, 본 실시의 형태 1에서는 구조체(21)와 주통로(16)의 내벽면과의 사이에는 거리 L가 설치되어 있으나, 주통로(16)의 내벽면 근방에서는 벽면마찰력에 의해 액체저항이 생기므로, 거리 L는 주통로(16)의 내반경 r의 1/2이하로 하는 것이 바람직하다.

실시의 형태 2

도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 종단면도이다.

이 실시의 형태 2에서는 도 3 및 도 4에 표시하는 바와 같이 검출용통로(19)에는 지지부재(20)의 주통로(16)에의 돌출부분과 실질적으로 거의 같은 유체저항을 갖는 구조체(21A)가 검출용통로(19)를 중심으로 지지부재(20)와 대략 대칭위치에 예를들면 수지등으로 일체로 구성되어있다.

또, 이 구조체(21A)의 내부는 일정한 lightening을 만들어 구성되어있다.

또 다른 구성은 상기 실시의 형태 1과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(101)에서는, 상기 실시의 형태 1의 효과에 더해서 구조체(21A)를 구성하는 수지의 소요량을 감소시킬 수가 있고, 값싸고 경량의 유량센서를 얻을 수가 있다.

또, 구조체(21A)를 포함한 검출용통로(19)의 모멘트가 작아지므로 검출용통로(19)의 지지부재(20)의 강도를 낮게할 수 있고, 나아가서는 지지부재(20)의 폭을 작게 할 수가 있으므로 압력손실을 작게하는 것이 가능해 진다.

실시의 형태 3

도 5 및 도 6은 각각 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 종단면도이다.

이 실시의 형태 3에서는 도 5 및 도 6에 표시하는 바와 같이, 부착부(19a)가검출용통로(19)의 주벽에 지지부재(20)와 대칭위치에 돌출설치되고, 또 구조 체(21B)가 부착부(19a)에 용착에 의해 고정되어있다.

그리고, 부착부(19a)와, 구조체(21B)로 된 검출용통로(19)로부터의 돌출부분이 지지부재(20)의 주통로(16)에의 돌출부분과 실질적으로 대략 같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 형성되어있다.

또, 구조체(21B)와, 지지부재(20)가 검출용통로(19)를 중심으로 대칭인 위치관계가 되어있다.

또 다른 구성은 상기 실시의 형태 1과 같이 구성되어있다.

이 종류의 유량센서를 여러종류의 배기량을 갖는 자동차용 내연기관의 흡입공기량 검출센서로서 표준화해서 적용하는 경우, 유량센서가 탑재되는 주통로(16)의 내경은 내연기관의 배기량이나 출력에 따라 수종류에 달한다.

이와같이 구성된 유량센서(102)에서는, 검출용통로(19)와 구조체(21B)가 별개로 구성되어 있으므로 이 구조체(21B)의 경방향길이의 배리에이션을 수종류 준비해 두면, 적용하는 주통로(16)의 내경에 따라, 적당한 길이의 구조체(21B)를 선택해서 조합시킬 수가 있고, 유량센서(102)의 이 구조체(21B)이외의 구성부재를 표준화하는 것이 가능해진다.

따라서, 이 실시의 형태 3에 의하면, 상기 실시의 형태 1의 효과에 더해 저코스트의 유량센서를 얻을 수가 있다.

또, 상기 실시의 형태 3에서는 구조체(21B)를 검출용통로(19)의 부착부(19a)에 용착하는 것으로 하고 있으나, 검출용통로(19)와 구조체(21B)의 고정방법은 용착에 한정되는 것은 아니고, 접착이나 나사고착 등도 상관없다.

또, 상기 실시의 형태 3에서는 구조체(21B)를 검출용통로(19)에 설치된 부착부(19a)에 고정하는 것으로 하고 있으나, 구조체(21B)를 검출용통로(19)에 직접 고정하도록 해도 된다.

또, 상기 실시의 형태 3에서는, 검출용통로(19)의 형상이 원통형상으로 형성되어있는 것으로 하고 있으나, 검출용통로(19)는 원통형상으로 한정되는 것은 아니고, 예를들면 도 7 및 도 8에 표시되는 바와 같은 구형상이라도 되고, 또 타원통상이라도 무방하다.

실시의 형태 4

도 9 및 도 10은 각각 본 발명의 실시의 형태 4에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 부분 종단면도이다.

이 실시의 형태 4에서는, 도 9 및 도 10에 표시하는 바와 같이, 회로케이스 (15)에는 유체온도검출용소자로서의 서미스터(25)가 주통로(16)내에 노정하도록 배치되어있다.

또, 지지부재(20)에는 서미스터(25)를 보호하기 위한 프로텍터(26)가 설치되어있다.

또, 프로텍터(26)와 동일형상의 구조체(21C)가 검출용통로(19)의 지지부재 (20)를 중심으로 프로텍터(26)와 대략 위치에 설치되어있다.

또 다른 구성은, 상기 실시의 형태 1과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(103)에서는, 프로텍터(26)와 구조체(21C)가 대략 같은 유체저항을 갖고, 또 검출용통로(19)를 중심으로해 대칭으로 배치되어 있으므로,검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화되어있다.

그래서, 주통로(16)에 유입하는 계측유체의 유속분포에 기울기가 생겨도, 검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화되어 있기 때문에, 적어도 좌우방향에서의 주류측방향의 유속성분이 보정되고, 계측유체는 주류측방향의 유속분포가 평균화되므로 검출유량의 오차가 발생하기 힘들어지고, 정확한 유량검출이 가능해진다.

실시의 형태 5

도 11 및 도 12는 각각 본 발명의 실시의 형태 5에 관한 유량센서를 표시하는 부분횡단면도 및 종단면도이다.

도 11 및 도 12에서 유량센서(104)는 계측유체가 유통하는 수지제의 원통상의 주통로(16A)와, 주통로(16A)내에 대략 동축적으로 배치된 통상의 검출용통로 (19)와, 주통로(16A)의 내벽면에서 연출해서 검출용통로(19)를 지지하는 지지부재 (20)와, 주면이 검출용통로(19)의 축심을 통과하도록 검출용통로(19)의 내벽면에서 지지부재(20)의 연출방향에 설치된 판상의 검출보조부재(22)와, 표면이 검출보조부재(22)와 같은 면위치가 되도록 검출보조부재(22)에 내장되어, 그 일단이 지지부재 (20)의 내부에 고정되어 있는 유량검출소자(12)와 주통로(16A)의 외벽면에 설치된 회로케이스(15)를 갖고있다.

그리고, 유량검출소자(12)와 터미널(23)은 지지부재(20)의 내부에서 리드(24)에 의해 전기적으로 접속되어있다.

이 소형화된 유량검출소자(12)에 구성되어있는 유량검출저항체(11)는 검출용통로(19)의 대략 중심에 위치하도록 배치되어있다.

또, 터미널(23)과 리드(24) 및 리드(24)와, 유량검출저항체(11)와의 전기적 접속부는 검출보조부재(22)와 일체로 구성되는 보호부재(27)에 의해 계측유체로부터 보호되어있다.

이 보호부재(27)의 일부가 검출용통로(19)의 안에 노정하도록 배치되어있다.

또, 보호부재(27)의 검출용통로(19)내에의 노정부분과 거의 동일 형상을 갖는 구조체(21D)가 검출용통로(19)의 축심을 중심으로 해서 보호부재(27)의 노정부분과 대략 대칭위치에 검출용통로(19)의 내벽면에 배치되어있다.

또, 아래에 진술하는 실시의 형태에서도 같으나, 본원의 효과를 얻는데는, 보호부재(27)는 검출보조부재(22)와 일체로 구성되어 있을 필요는 없고, 별체로 구성되어도 된다.

여기서, 유량센서의 고속응답을 목적으로 하는 경우, 유량검출소자(12)를 소형화하는 것이 효과적이다.

그러나, 유량검출소자(12)의 소형화가 촉진되면, 유량검출소자(12)상에 구성되어있는 유량검출저항체(11)를 유속분포가 균일화된 이 검출용통로(19)의 대략 중심위치에 배치하기 위해서는, 리드(24)를 보호하는 보호부재(27)를 검출용통로 (19)중에 노정시킬 필요가 생긴다.

이대로는 검출용통로(19)내의 상하방향에서 유체저항이 불균일하게 되고, 유량센서의 상류에 유속분포의 변화가 생긴 경우에는, 검출유량의 오차가 발생하기 쉽다.

이 실시의 형태 5에 의하면, 보호부재(27)의 검출용통로(19)내에의 노정부분과 거의 같은 형상을 갖는 구조체(21D)가 검출용통로(19)의 축심을 중심으로 해서 본호부재(27)의 노정부분과 대략 대칭위치에 검출용통로(19)의 내벽면에 배치되어있으므로, 유량검출소자(12)의 검출보조부재(22)의 상하방향에서 유체저항이 균일화 된다.

그래서, 유량센서(104)의 상류에 유속분포의 변화가 발생해도, 적어도 검출용통로(19)내의 상하방향에서의 주류축빙향의 유속성분이 보정되고, 계측유체는 주류축방향의 유속분포가 평균화되므로, 검출유량의 오차가 발생하기 힘들고, 정확한 유량검출이 가능해진다.

실시의 형태 6

도 13 및 도 14는 각각의 본 발명의 실시의 형태 6에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 종단면도이다.

이 실시의 형태 6에서는 도 13 및 도 14에 표시되는 바와 같이, 검출용통로 (19)내에 노정해 있는 보호부재(27)의 노정부분과 대략같은 유체저항을 갖는 구조체(21E)는 검출보호부재(22)와 예를들면 수지등으로 일체로 구성되고, 검출용통로 (19)의 축심을 중심에 보호부재(27)의 노정부분과 대략 대칭위치에 배치되어있다.

또 다른 구성은 상기 실시의 형태 5와 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(105)에서는 상기 실시의 형태 5의 효과에 가해서, 검출용통로(19)내에 노정해 있는 보호부재(27)의 노정부분과 대략같은 유체저항을 갖는 구조체(21E)는 검출보조부재(22)와 예를들면 수지등으로 일체로 구성되어 있으므로, 상기 실시의 형태 5와 같이 구조체 (21D)와 검출보조부재(22)가 별개로 구성되어 있는 경우에 비해 검출보조부재(22)와,

구조체(21E)의 조립위치의 흐트러짐에 의한 상대적 위치의 어긋남이 생기는 일이 없고, 나아가서는 유량센서의 유량특성의 흐트러짐이 축소된다.

실시의 형태 7

도 15 및 도 16은 각각 본 발명의 실시의 형태 7에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 부분 종단면도이다.

본 실시의 형태 7에서는 도 15 및 도 16에 표시된 바와 같이, 유체온도검출용소자로서의 서미스터(24)와 프로텍터(26)가 일체의 유닛으로서 구성되고, 회로케이스(15)에 설치된 구멍(31)로부터 삽입되어 주통로(16)내에 서미스터(25)가 노정하도록 배치되어있다.

또 다른 구성은 상기 실시의 형태 1과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(106)에서는 미리 서미스터(25)가 프로텍터(26)와 예를들면 수지등의로 일체로 구성되어 있으므로, 유량센서(106)를 주통로(16)에 설치한 구멍(30)에 내장시킬때, 서미스터(25)가 주통로(16)에 접촉 충돌하는 일없이나아가서는 유량센서(106)의 제조시, 서미스터(25)를 회로케이스(15)에 설치된 구멍(31)에 삽입할때에 서미스터(25)가 회로케이스(15)에 접촉, 충돌하는 일이 없어지고, 유량센서 제조시 수율을 향상하고, 제조코스트를 저감할 수가 있다.

실시의 형태 8

도 17 및 도 18은 각각 본 발명의 실시의 형태 8에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 부분 종단면도이다.

이 실시의 형태 8에서는 도 17 및 도 18에 표시되는 바와 같이, 유체온도검출용소자로서의 서미스터(25)와 프로텍터(26)가 일체의 유닛으로 구성되고, 회로케이스(15)에 설치된 구멍(31)으로부터 삽입되어서 주통로(16)내에 서미스터(25)가 노정하도록 설치되어있다.

또 다른 구성은 상기 실시의 형태 7과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(107)에서는 상기 실시예 7의 효과에 더해서, 서미스터(25)의 상류에 구조물이 없으므로, 서미스터(25)가 계측유체에 접촉하기 쉽고, 유체온도를 정확하게 계측하는 것이 가능해진다.

실시의 형태 9

도 19 및 도 20은 각각 본 발명의 실시의 형태 9에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도 및 부분 종단면도이다.

이 실시의 형태 9에서는 도 19 및 도 20에 표시된 바와 같이, 유체온도검출용소자로서의 서미스터(25)와 프로텍터(26)가 일체의 유닛으로서 구성되고, 회로케이스(15)에 설치된 구멍(31)으로 삽이보디어서 주통로(16)내에 이 유체온도검출용소자(25)가 노정하도록 배치되어있다.

또, 검출용통로(19)의 지지부재(20)에는 돌기상태의 구조물(28)이 일체로 구성되어 프로텍터(26)와 접해있다.

또 다른 구성은, 상기 실시의 형태 7과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(108)에서는, 상기 실시의 형태 7의 효과에 더해서, 유량센서의 제조시, 프로텍터(26)가 일체가 된 서미스터(25)를 회로케이스 (15)에 설치된 구멍(31)으로부터 삽입하고, 검출용통로(19)의 지지부재(20)와 이간해서 내장될때, 회로케이스(15)에 설치된 구멍(31)과 구조물(28)과의 2점에 의해 위치결정 및 고정되므로, 본 유량센서를 주통로(16)에 설치할때 외력에 의해 프로텍터(26) 및 서미스터(25)가 절손, 파괴되는 일 없이 강도적으로 신뢰성이 있는 유량센서를 얻을 수가 있다.

또, 서미스터(25)의 설치위치의 어긋남이 생기기 힘들고, 나아가서는 조립위치의 흐트러짐에 의한 유량센서의 유량특성의 흐트러짐을 축소할 수가 있다.

실시의 형태 10

도 21은 본 발명의 실시의 형태 10에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도이다.

본 실시의 형태 10에서는 도 21에 표시되는 바와 같이, 프로텍터(26)와 대략동일한 형상을 갖는 구조체(21F)가 검출용통로(19)의 지지부재(20)를 중심으로서 프로텍터(26)와 대략 대칭위치에 설치되어있다.

또 다른 구성은, 상기 실시의 형태 7과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(109)에서는 프로텍터(26)와 구조체(21F)가 대략 같은 유체저항을 갖고, 또 검출용통로(19)를 중심으로해서 대칭되게 설치되어 있으므로, 상기 실시의 형태 7의 효과에 더해 아래의 효과가 얻어진다.

즉, 검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화되어있다.

그래서, 주통로(16)내에 유입하는 계측유체의 유속분포에 한쪽으로 가두는 것이 생겨도, 검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화되어 있으므로, 적어도 좌우방향에서의 주류축방향의 유속성분이 보정되고, 계측유체는 주류축방향의 유속분포가 평균화된다.

이 결과, 검출유량의 오차가 발생하기 힘들고, 정확한 유량검출이 가능해진다.

실시의 형태 11

도 22는 본 발명의 실시의 형태 11에 관한 유량센서를 표시하는 부분 단면도이다.

이 실시의 형태 11에서는 도 22에 표시되는 바와 같이, 프로텍터(26)와 대략 동일한 형상을 갖는 구조체(21G)가, 검출용통로(19)의 지지부재(20)를 중심으로해서, 프로텍터(26)와 대략 대칭위치에 설치되고 있다.

또 다른 구성은 상기 실시의 형태 8과 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(110)에서는, 프로텍터(26)와 구조체(21G)가 대략 동일한 유체저항을 갖고, 또 검출용통로(19)를 중심으로 해서 대치오디게 배치되어 있으므로, 상기 실시의 형태 8의 효과에 더해 아래의 효과가 얻어진다.

즉, 검출용통로(19)의 좌우에서, 유체저항이 균일화되어있다.

그래서, 주통로(16)내에 유입하는 계측유체의 유속분포에 한쪽편중이 생겨도 검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화되어있으므로, 적어도 좌우방향에서의 주류축방향의 유속성분이 보정되어, 계측유체는 주류축 방향의 유속분포가 평균화된다.

이 결과, 검출유량의 오차가 발생하기 힘들고, 정확한 유량검출이 가능하게 된다.

실시의 형태 12

도 23은 본 발명의 실시의 형태 12에 관한 유량센서를 표시하는 부분 횡단면도이다.

이 실시의 형태 12에서는, 도 23에 표시되는 바와 같이, 프로텍터(26)및 구조체(28)와 대략 동일한 형상을 갖는 구조체 21H 가 검출용통로(19)의 지지부재(20)를 중심으로해서 프로텍터(26)와 대략 대칭위치에 설치되어있다.

또 다른 구성은, 상기 실시의 형태 9와 같이 구성되어있다.

이와같이 구성된 유량센서(111)에서는 구조체(21H)와, 프로텍터(26) 및 구조체(28)가 대략같은 유체저항을 갖고, 또 검출용통로(19)를 중심으로해서, 대칭되게 설치되어 있으므로, 상기 실시의형태 9의 효과에 더해 하기의 효과가 얻어진다.

즉, 검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화 되어있다.

그래서, 주통로(16)내에 유입하는 계측유체의 유속분포에 한쪽으로의 편중이 생겨도, 검출용통로(19)의 좌우에서 유체저항이 균일화되어 있으므로, 적어도 좌우방향에서의 주류축 방향의 유속성분이 보정되어, 계측유체는 주류축방향의 유속분포가 평균화 된다.

이 결과, 검출유량의 오차가 발생하기 힘들고 정확한 유량검출이 가능해진다.

본 발명은 이상과 같이 구성되어 있으므로, 아래에 기재되는 바와 같은 효과를 나타낸다.

본 발명에 의하면, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와, 유체가 도입하는 동시에, 상기 유량검출소자가 내부에 배치된 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스를 구비하고, 상기 검출용통로, 지지부재 및 회로케이스가 일체적으로 구성되고, 상기 검출용통로가 유체를 유통시키는 주통로내에 위치하도록 상기 지지부재를 이 주통로에 개구된 구멍으로부터 연출시켜서 사용되는 유량센서에서, 상기 지지부재의 상기 구멍으로부터의 연출부분과 거의 같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체가 상기 검출용통로를 중심으로 상기 지지부재의 상기 구멍으로부터의 연출부분과 거의 대칭이 되는 위치에 설치되어 있으므로, 계측유체에 유속분포의 변화가 생겨도 계측유체의 유량을 고정밀도로 검출할 수 있는 유량센서가 얻어진다.

또, 상기 구조체는 일정한 lightening을 해서 구성되어 있으므로 유량센서의 저코스트화 및 경량화가 도모된다.

또, 상기 구조체의 적어도 1부는 상기 검출용통로와는 별개부품으로 구성되고, 고정수단에 의해 상기 검출용통로 또는 상기 검출용통로에 설치된 부착부에 고정되어 있으므로, 배기량이라는 자동차 내연기관의 흡입공기량 검출센서에 적용할 수가 있다.

또, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자가 내부에 배치된 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스와, 유체의 온도를 검출하는 유체온도검출용소자를 구비하고, 상기 검출용통로, 지지부재 및 회로케이스가 일체적으로 구성되고, 상기 검출용통로 및 상기 유체온도검출용소자가 유체를 유통시키는 주통로내에 위치하도록 상기 지지부재를 이 주통로에 개구된 구멍으로부터 연출시켜서 사용되는 유량센서에서, 상기 유체온도검출용소자를 보호하는 프로텍터와, 이 프로텍터와 대략 같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체가 상기 검출용통로를 지지하는 지지부재에 대해, 상기 프로텍터와 대략 대칭인 위치에 설치되어 있으므로, 계측유체에 유속분포의 변화가 생겨도, 계측유체의 유량을 고정밀도를 검출할 수 있는 유량센서가 얻어진다.

또, 상기 검출용통로, 지지부재, 회로케이스 및 상기 유체온도검출용소자가 일체적으로 구성되어 있으므로, 유체온도검출용소자의 조립시의 위치 어긋남이 일어나기 힘들다.

또, 상기 유체온도검출용소자 및 상기 프로텍터가 유닛해서 일체로 구성되고, 이 유닛을 삽입하는 구멍이 상기 지지부재 또는 회로케이스에 설치되어 있으므로 수율이 높고 또 제조코스트가 저감되는 유량센서가 얻어진다.

또, 상기 유닛을 지지하는 구조체가 상기 지지부재에 일체로 구성되어 있으므로, 부품조립시의 위치의 흐트러짐을 축소할 수가 있다.

또, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와 유체가 도입되는 동시에, 상기 유량검출소자가 내부에 배치되는 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 검출용통로내에 연출하도록 배치되어서, 상기 유량검출소자를 지지하는 검출보조된 회로케이스를 구비한 유량센서에서, 상기 전자회로부가 수납된 회로케이스를 구비한 유량센서에서 상기 전자회로부와, 상기 유량검출소자와의 전기적 접속부를 상기 검출보조부재와, 협충해서 유체로 부터 보호하는 보호부재가 상기 검출용통로내에 돌출하도록 설치되고, 상기 보호부재의 상기 검출용통로내에의 돌출부분과 대략같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체가 상기 검출용통로의 축심을 중심으로 해서, 상기 보호부재의 상기 검출용통로내에의 돌출부분과 대략 대된 위치에 설치되어 있으므로, 계측유체에 유소분포의 변화가 생겨도 계측유체의 유량을 고정밀도로 검출할 수 있는 유량센서가 얻어진다.

또, 상기 구조체는 상기 검출보조부재와 일체로 구성되어 있으므로, 유량특성의 흐트러짐을 축소 할 수 있다.

또, 유체의 유량을 검출하는 유량검출소자와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자가 내부에 배치되는 검출용통로와, 이 검출용통로를 지지하는 지지부재와, 상기 유량검출소자를 제어하는 전자회로부가 수납된 회로케이스와, 유체온도를 검출하는 유체온도검출용소자와, 이 유체온도검출용소자를 보호하는 프로텍터를 구비하고, 상기 검출용통로, 지지부재 및 회로케이스가 일체로 구성되고, 상기 검출용통로가 유체를 유통시키는 주통로내에 위치하도록 상기 지지부재를 이 주통로에 개구된 구멍으로부터 연출시켜서 사용되는 유량센서에서, 상기 유체온도검출용소자 및 상기 프로텍터가 유닛으로해서 일체로 구성되고, 이 유닛을 삽입하는 구멍이 상기 지지부재 또는 회로케이스에 설치되어 있으므로 수율을 향상하고, 제조코스트를 저감할 수 있는 유량센서가 얻어진다.

또, 상기 유닛을 지지하는 구조체가 상기 지지부재에 일체로 구성되어 있으므로, 부품조립시의 위치의 흐트러짐을 적게하고 유량특성의 흐트러짐을 축소할 수가 있다.

Claims

유체의 유량을 검출하는 유량검출소자(12)와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자(12)가 내부에 배치된 검출용통로(19)와, 이 검출용통로(19)를 지지하는 지지부재(20)와, 상기 유량검출소자(12)를 제어하는 전자회로부(14)가 수납된 회로케이스(15)를 구비하고, 상기 검출용통로(19), 지지부재(20) 및 회로케이스 (15)가 일체로 구성되고, 상기 검출용통로(19)가 유체를 유통시키는 주통로(16)내에 위치하도록 상기 지지부재(20)를 이 주통로(16)에 개구된 구멍(30)으로부터 연출시켜서 사용되는 유량센서(100,101, 102)에서, 상기 지지부재(20)의 상기 구멍(30)으로부터의 연출부분과 대략같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체(21,21A,21B)가 상기 검출용통로(19)를 중심으로 상기 지지부재(20)의 상기 구멍(30)으로부터의 연출부분과 대략 대칭이 되는 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로하는 유량센서.
유체의 유량을 검출하는 유량검출소자(12)와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자(12)가 내부에 배치된 검출용통로 (19)와, 이 검출용통로(19)와, 이 검출용통로(19)를 지지하는 지지부재(20)와, 상기 유량검출소자(12)를 제어하는 전자회로부(14)가 수납된 회로케이스(15)와, 유체의 온도를 검출하는 유체온도검출용소자(25)를 구비하고, 상기 검출용통로(19), 지지부재(20) 및 회로케이스(15)가 일체적으로 구성되고, 상기 검출용통로(19) 및 상기 유체온도검출소자(25)가 유체를 유통시키는 주통로(16)내에 위치하도록 상기 지지부재(20)를 이 주통로에 개구된 구멍(30)으로부터 연출시켜서 사용되는 유량센서 (103,109,110,111)에서 상기 유체온도검출용소자(25)를 보호하는 프로텍터 (26)와, 이 프로텍터(26)와 대략같은 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체 (21C,21F,21G,21H)가 상기 검출용통로 (19)를 지지하는 지지부재(20)에 대해 상기 프로텍터(26)와 거의 대칭이 되는 위치에 설치되어있는 것을 특징으로 하는 유량센서.
유체의 유량을 검출하는 유량검출소자(12)와, 유체가 도입되는 동시에 상기 유량검출소자(12)가 내부에 배치되는 검출용통로(19)와 이 검출용통로(19)를 지지하는 지지부재(20)와, 상기 검출용통로(19)내에 연출하도록 배치되어서, 상기 유량검출소자(12)를 지지하는 검출보조부재(22)와, 상기 유량검출소자(12)를 제어하는 전자회로부(14)가 수납된 회로케이스(15)를 구비한 유량센서(104,105)에서,상기 전자회로부(14)와 상기 유량검출소자(12)의 전기적 접속부를 상기 검출보조부재 (22)와 형등해서 유체로부터 보호하는 보호부재(27)가 상기 검출용통로 (19)내에 돌출하도록 설치되고, 상기 보호부재(27)의 상기 검출용통로(19)내에서 돌출부분과 거의 동일한 유체저항을 갖는 외형형상으로 구성된 구조체(21D, 21E)가 상기 검출용통로(19)의 축심을 중심으로 해서 상기 보호부재(27)의 상기 검출용통로(19)내에의 돌출부분과 대략 대칭이 되는 위치에 설치되어 있는것을 특징으로 하는 유량센서.