JP3671393B2 - 感熱式流量センサ - Google Patents
感熱式流量センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3671393B2 JP3671393B2 JP2001155299A JP2001155299A JP3671393B2 JP 3671393 B2 JP3671393 B2 JP 3671393B2 JP 2001155299 A JP2001155299 A JP 2001155299A JP 2001155299 A JP2001155299 A JP 2001155299A JP 3671393 B2 JP3671393 B2 JP 3671393B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- fluid
- support
- measurement fluid
- fluid temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は発熱体を備え、発熱体あるいは発熱体によって加熱された部分から流体への伝熱現象に基づいて流体の流速あるいは流量を計測する感熱式流量センサに関するものであり、例えば内燃機関の吸入空気量を計測する場合等に用いられる。
【0002】
【従来の技術】
図9は従来の感熱式流量センサに用いられる検出素子を示す平面図、図10は図9のX−X矢視断面図である。
図9および図10において、平板状基板1は厚さ約0.4mmのシリコン基板よりなり、その表面に厚さ1μmの窒化シリコン等よりなる絶縁性の支持膜2がスパッタ、CVD等の方法で形成され、さらに白金等の感熱抵抗膜よりなる発熱体4が支持膜2上に形成されている。この発熱体4は、厚さ0.2μmの白金等の感熱抵抗膜を蒸着やスパッタ等の方法で支持膜2上に着膜し、写真製版、ウエットあるいはドライエッチング等の方法を用いて該感熱抵抗膜をパターニングすることにより、電流路を形成するように構成されている。また、同様に白金等の感熱抵抗膜よりなる流体温度検出体5が発熱体4から離れて支持膜2上に形成されている。この流体温度検出体5は、厚さ0.2μmの白金等の感熱抵抗膜を蒸着やスパッタ等の方法で支持膜2上に着膜し、写真製版、ウエットあるいはドライエッチング等の方法を用いて該感熱抵抗膜をパターニングすることにより、電流路を形成するように構成されている。さらに、発熱体4および流体温度検出体5の上には厚さ1μmの窒化シリコン等よりなる絶縁性の保護膜3がスパッタ、CVD等の方法で形成されている。
【0003】
発熱体4は、接続パターン9a、9b、リードパターン7a、7dを経て検出素子の外部との電気的接続を行うための電極8a、8dとつながっている。また、流体温度検出体5はリードパターン7b、7cを経て検出素子の外部との電気的接続を行うための電極8b、8cとつながっている。電極8a〜8dの部分はワイヤボンド等の方法で外部と電気的に接続するために保護膜3が除去されている。
さらに、キャビティ13が発熱体4の形成領域下部に形成されて、流量検出用ダイアフラム12が構成されている。つまり、裏面保護膜10が平板状基板1の裏面(支持膜2が形成されている面とは逆の面)に形成され、ついで発熱体4の形成領域の裏側の位置において、写真製版等の方法で裏面保護膜10を部分的に除去してエッチングホール11を形成する。その後、エッチングホール11から露出する平板状基板1に例えばアルカリエッチング等を施し、平板状基板1の一部を除去してキャビティ13を形成することによって流量検出用ダイアフラム12が構成されている。
このように構成された検出素子14は、流量検出用ダイアフラム12が計測流体の流れにさらされるように配置される。なお、図中、矢印6は計測流体の流れの方向を示している。
【0004】
ところで、検出素子14は上述のように平板状の形状をしているが、ダイアフラム12が計測流体の流れの方向に直交するように配置された場合には、ダイアフラム12に風圧が加わり、計測流体の高速流時にダイアフラム12の破損が発生したり、あるいは、計測流体内のダストがダイアフラム部に堆積して、発熱体4から計測流体への伝熱量が変化して検出流量のドリフトが発生する。そのような場合には、平板状の検出素子14は計測流体の流れ方向と略平行に、あるいは、計測流体の流れ方向に対して所定の角度をなすように配置される。
また、平板状の検出素子14を計測流体の流れ方向と略平行に、あるいは、計測流体の流れ方向に対して所定の角度をなすように配置する場合には、キャビティ13近傍における計測流体の流れに乱れが発生したり、またチッピングなどに起因する検出素子14の前縁部の形状バラツキによって発熱体4近傍における計測流体の流れにバラツキが発生してしまう。この発熱体4近傍における計測流体の流れのバラツキは流量検出特性の精度を低下させることにつながる。
【0005】
そこで、平板状の検出素子14を計測流体の流れ方向と略平行に、あるいは、計測流体の流れ方向に対して所定の角度をなすように配置する場合における上述の不具合を解決するために、検出素子を平板状の支持体に設けられた凹部内に配置することが、例えば特開平11−326000号公報などに提案されている。
図11は特開平11−326000号公報に記載された従来の検出素子の支持構造を示す要部斜視図である。
図11において、支持体16は、平板状に形成され、ベース部材20に取り付けられている。そして、検出素子14よりも少し大きい外形形状を有する凹部18が支持体16の表面に設けられている。検出素子14は、その表面が支持体16の表面とほぼ同じ面位置となるように凹部18内に配設されている。そして、検出素子14の電極8a〜8dがベース部材20に配設されたリード線17にワイヤ19により電気的に接続されている。さらに、カバー21がベース部材20に取り付けられ、電極8a〜8dやワイヤ19がカバー21によって保護されている。
これにより、キャビティ13近傍に発生する計測流体の流れの乱れが抑えられ、また支持体16の上流側端部の円弧形状により計測流体の流れが整流され、検出素子14の前縁部の形状バラツキによって発生する発熱体4近傍における計測流体の流れのバラツキが低減される。
【0006】
ついで、検出素子14を用いた計測流体の流量検出方法について説明する。
流体温度検出体5は、ダイアフラム部12から離間してしているので、発熱体4で発生した熱は流体温度検出体5まで伝導しない。また、流体温度検出体5は発熱体4の下流側に位置していないので、流体温度検出体5は発熱体4からの伝熱により暖められた計測流体に曝されない。そこで、流体温度検出体5で検出される温度は計測流体の温度とほぼ等しくなっている。
そして、発熱体4は、図12に示される検出回路によって、流体温度検出体5で検出された計測流体の温度に対して所定温度(例えば、100deg)だけ高い平均温度となるような抵抗値に制御されている。検出回路は流体温度検出体5と発熱体4を含むブリッジ回路で構成されている。図中、抵抗R1、R2、R3、R4、R5は固定抵抗、OP1、OP2は演算増幅器、TR1、TR2はトランジスタ、BATTは電源である。そして、流体温度検出体5と発熱体4とを除く検出回路は、検出回路基板(図示せず)に構成されている。
この検出回路は、図中のa点とb点の電位を略等しくするように働き、発熱体4への通電電流Ihを制御する。計測流体の流速が速くなると、発熱体4から計測流体への熱伝達量が多くなるため、発熱体4の温度が低下する。そこで、発熱体4の平均温度を計測流体の温度より所定温度だけ高い値に保つ時の通電電流Ihは増加する。この通電電流を抵抗R3の両端で電圧Voutとして検出すると、流速あるいは所定の通路断面積を有する通路内を流れる流量信号が得られる。
【0007】
ここで、発熱部4の温度をTh、計測流体の温度をTa、発熱体4の抵抗値をRh、発熱体4への通電電流をIh、検出素子14が配置された通路を流れる計測流体の流量をQmとすると、式(1)が成り立つ。
Ih2・Rh=(a+b・Qmn)・(Th−Ta) ・・・(1)
但し、a、bおよびnは検出素子の形態や配置によって決まる定数である。
そこで、(Th−Ta)/RhをTaに拘わらず一定とすることにより、IhはQmの関数となる。そして、Ihに相当する出力が感熱式流量センサの検出流量出力となる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
図11に示される従来の検出素子の支持構造においては、以下の課題がある。
計測流体の温度が変化する場合、流体温度検出体5の検出温度が計測流体の真の温度に速やかに追従して、発熱体4の温度を計測流体の温度変化に応じて変化させないと、感熱式流量センサの流量検出値に誤差が発生することになる。例えば、計測流体の温度が上昇した場合、流体温度検出体5の検出温度に遅れが発生すると、流体温度検出体5の検出温度が計測流体の真の温度より低くなり、発熱体の温度は本来制御されるべき所定温度より低くなってしまう。つまり、発熱体4への通電電流が本来制御されるべき電流値より小さくなってしまう。そこで、発熱体4への通電電流に基づく流量検出値は、実際の計測流体の流量よりも低い値を示すことになる。
しかし、流体温度検出体5の検出温度は、支持体16がもつ熱容量により、計測流体の真の温度に即座に追従できないので、この支持構造では、感熱式流量センサの流量検出値の誤差を抑えることはできない。
【0009】
そこで、流体温度検出体5の温度検出の追従性に対する支持体16がもつ熱容量の影響を抑えるために、流体温度検出体が形成された検出素子の一端側を支持体から延出させて検出素子を支持体に支持させる検出素子の支持構造が、例えば特開平10−2773号公報に提案されている。しかし、この検出素子の支持構造においては、支持体が発熱体近傍でなくなっているので、計測流体の流れが支持体先端部や検出素子先端部で乱れることになる。そして、発熱体がこの計測流体の流れの乱れの影響を受け、流量検出値が乱れるという課題が生じてしまう。
【0010】
特に自動車用内燃機関の吸気流量を計測する感熱式流量センサにおいては、トンネルの出入り口などで吸気温度が急変する場合があり、この吸気温度の変化に速やかに追従できることが必要となる。
また、自動車用内燃機関の吸気流量を計測する感熱式流量センサは、エアクリーナケースとスロットル弁とを連結する配管に配設される。一般には、このような配管は、感熱式流量センサの上下流において、理想的な直管ではないため、流速分布や流れの方向が不均一なものとなる。このような自動車用内燃機関の吸気流量を計測する用途においては、発熱体(流量検出部)近傍で計測流体の流れの剥離や渦が発生しやすい検出素子の支持構造では、安定な流量計測が困難となる。
【0011】
この発明は上述のような課題を解決するためになされたもので、計測流体を流体温度検出体の形成領域下部に導いて強制対流熱伝達により流体温度検出体の形成領域を計測流体温度に速やかになじませるようし、流量検出信号に悪影響を与えることなく、計測流体の温度が変化しても正確な流量を計測できる感熱式流量センサを得ることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る感熱式流量センサは、感熱抵抗膜よりなる発熱体および流体温度検出体が平板状基板の表面に互いに離間して形成され、流量検出用ダイアフラムが該発熱体の形成領域下部にある該平板状基板を裏面側から部分的に除去して形成されている検出素子と、上記検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が計測流体の流れ方向に対して所定の角度をなして配置される支持体とを備え、上記検出素子がその表面を上記支持体の表面とほぼ同じ面位置となるように、かつ、上記発熱体と上記流体温度検出体との配列方向を上記計測流体の流れ方向に対して直交するように上記凹部内に収納されて上記支持体に支持されている感熱式流量センサであって、溝方向を上記計測流体の流れ方向とする溝が、上記支持体の上記計測流体の流れ方向の上流側端部から、上記検出素子の上記流体温度検出体の形成領域下部を通り、下流側端部に至るように上記支持体に設けられているものである。
【0013】
また、上記流体温度検出体が上記平板状基板の一端側に形成され、上記検出素子が上記流体温度検出体の形成領域を含む上記検出素子の一端部を上記溝内に延出するように上記支持体に片持ちの形態に支持されているものである。
【0016】
また、流体温度検出用ダイアフラムが上記流体温度検出体の形成領域下部にある該平板状基板を裏面側から部分的に除去して形成されているものである。
【0017】
また、上記計測流体を流通させる筒状の検出通路を備え、上記支持体が上記計測流体の流れ方向と直交する上記検出通路の通路断面を2分するように上記検出通路内に配設されているものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1および図2はこの発明の実施の形態1に係る感熱式流量センサを示す正面図および縦断面図である。図3は図2のIII−III矢視断面図、図4は図2のIV−IV矢視断面図、図5はこの発明の実施の形態1に係る感熱式流量センサに適用される検出素子を示す正面図である。なお、各図において図9〜図11に示した従来装置と同一または相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
【0019】
図1乃至図4において、感熱式流量センサ100は、図12に示される検出回路が構成された回路基板30と、この回路基板30が収納される回路ケース31と、感熱式流量センサ100に電力を供給したり、感熱式流量センサ100の流量検出信号を外部に取り出すためのコネクタ32と、計測流体が流通する検出通路33が形成され、この回路ケース31から一側に延設された挿入部材34と、挿入部材34の内部に配設され、リード線17が形成されたベース部材35と、検出通路33内に延出するようにベース部材35に取り付けられた支持部材36と、支持部材36に取り付けられた検出素子40とから構成されている。
【0020】
回路ケース31、コネクタ32および挿入部材34は、例えばポリブチレンテレフタレートなどの樹脂を用いて一体に成形されている。そして、挿入部材34には、ベース部材35を収納するための溝34aが検出通路33と回路ケース31とを連通するように形成されている。
【0021】
支持体36は、ポリブチレンテレフタレートなどの樹脂で平板状に形成されており、検出通路33内に延出するようにベース部材35に取り付けられている。この支持体36は、検出通路33の軸心(図1中紙面と垂直な方向で、計測流体の流れ方向6に一致する)を通り、該軸心と直交する検出通路33の通路断面を2分するように配置されている。そして、支持体36の主面は、図3および図4に示されるように検出通路33の軸心に対して角度θを有している。この実施の形態1では、角度θが7度となっている。また、検出素子40よりも少し大きい外形形状を有する凹部37が支持体36の主面に根元側(ベース部材35への取付側)から先端側に延びるように設けられている。さらに、検出素子40の流体温度検出体5の裏面側を通り、溝方向を検出通路33の軸心と平行とする溝38が支持体36の根元側の主面に支持体36の上流側端部から下流側端部に至るように延設されている。
【0022】
検出素子40は、図5に示されるように、キャビティ41が流体温度検出体5の形成領域下部に形成されて、流体温度検出用ダイアフラム42が構成されている。なお、この検出素子40は、流体温度検出用ダイアフラム42が形成されている点を除いて、検出素子14と同様に構成されている。
【0023】
この検出素子40は、その表面を支持体36の主面とほぼ同じ面位置となるように凹部37内に配設されている。この時、溝38が流体温度検出用ダイアフラム42の下部に位置している。そして、検出素子40の電極8a〜8dがベース部材35に配設されたリード線17にワイヤ19により電気的に接続され、さらにカバー(図示せず)が挿入部材34に取り付けられ、電極8a〜8dやワイヤ19がカバーによって保護されている。また、リード線17が回路基板30に接続されて、図12に示される検出回路が構成されている。
【0024】
このように構成された感熱式流量センサ100は、検出通路33の軸心が計測流体の通路となる円筒状の主通路39の軸心と一致するように、挿入部材34を主通路39内に延出させ、ねじ29により主通路39に締着固定されて取り付けられる。そして、支持体36に支持された検出素子40の表面が計測流体の流れ方向6と所定の角度θをなしている。また、Oリング28が感熱式流量センサ100と主通路39との間に介装され、計測流体の漏れが防止されている。
【0025】
この感熱式流量センサ100においては、主通路39内を流れる計測流体は検出通路33内に導かれる。そして、検出通路33内の軸心近傍を流れる計測流体は、支持体36の主面に沿って流れて発熱体4上に導かれ、そこで発熱体4で発生する熱が伝熱されて暖められ、下流側に流れる。また、図1中、検出通路33内の上部側を流れる計測流体は、流体温度検出体5の上部側を流れるとともに、溝38内に導かれて流体温度検出体5の下部側を流れる。
そして、先に説明したように、発熱体4が、流体温度検出体5で検出された計測流体の温度に対して所定温度(例えば、100deg)だけ高い平均温度となるように、発熱体4への通電電流が検出回路によって制御される。この通電電流を流量検出信号として取り出され、流速あるいは所定の通路断面積を有する通路内を流れる流量が検出される。
【0026】
この実施の形態1によれば、溝38が流体温度検出体5の下部側を通るように支持体36に形成されているので、計測流体が検出素子40の流体温度検出体5の形成領域の表面側および裏面側を流れる。そして、流体温度検出体5の形成領域は、溝38を通って流体温度検出体5の形成領域の裏面側に導かれた計測流体との強制対流熱伝達によって計測流体の温度に速やかになじむことになる。また、検出素子40の流体温度検出体5の形成領域が支持体36から離れているので、支持体36の熱容量の影響が低減される。そこで、流体温度検出体5の検出温度が計測流体の温度変化に速やかに追従されるようになり、計測流体の温度が変化しても、発熱体4の温度を計測流体の温度に対して所定温度だけ高い平均温度に制御することができる。これにより、計測流体の正確な流速および流量を検出できる感熱式流量センサが得られる。
【0027】
また、流体温度検出体5の形成領域が流体温度検出用ダイアフラム42を構成しているので、流体温度検出体5の形成領域の熱容量が小さくなるとともに、流体温度検出体5が周囲の平板状基板1から熱絶縁される。これにより、流体温度検出体5による計測流体の温度検出が速やかに、かつ、正確に行われるようになる。
また、溝38が上流側端から下流側端に至るように支持体36に形成されているので、計測流体が支持体36の上流側端から溝38内にスムーズに導かれ、支持体36の下流側端の溝38からスムーズに流出される。そこで、計測流体が流体温度検出体5の裏面側に淀みなく、かつ、多量に供給できるので、計測流体の温度が変化しても、計測流体の真の温度を流体温度検出体5により速やかに検出できるようになる。
【0028】
ここで、計測流体が検出素子40の流体温度検出体5の形成領域の表面側と裏面側とに分かれて流れることにより計測流体の流れに乱れを生じる。しかし、流体温度検出体5は計測流体の温度を検出する機能のみを有していることから、この計測流体の流れの乱れが流体温度検出体5による温度検出に影響することはない。一方、検出素子40の発熱体4の形成領域は流体温度検出体5の形成領域から計測流体の流れ方向6と直交する方向に離反しているので、発熱体4の近傍を流れる計測流体の流れは、溝38を形成することに起因する計測流体の流れの乱れの影響を受けず、安定したものとなる。従って、溝38を形成しても、流量検出信号の乱れを発生することはなく、安定した流量検出信号が得られる。
【0029】
また、支持体36が検出通路33の流路断面を2分するように配設されているので、検出通路33は検出通路33の軸心を中心として図1の上下方向に関して対称な形状をなしている。そこで、計測流体に流れに偏流があっても、流速分布が均一化され、流量検出精度が向上される。
また、支持体36の先端面(図1中下方向の端面)が検出通路33内に露出していないので、計測流体が流れの乱れを生じることなく発熱体5に導かれるようになり、乱れの少ない安定した流量検出信号が得られる。なお、支持体36の先端面が検出通路33内に露出していると、計測流体が支持体36の先端面で剥離し、計測流体の流れの乱れを発生することになる。
【0030】
実施の形態2.
図6および図7はこの発明の実施の形態2に係る感熱式流量センサを示す正面図および縦断面図、図8はこの発明の実施の形態2に係る感熱式流量センサに適用される検出素子を示す正面図である。
【0031】
この実施の形態2による感熱式流量センサ101に適用される検出素子40Aは、図8に示されるように、発熱体4が平板状基板1の中央部に形成された流量検出用ダイアフラム12に配設され、流体温度検出体5が平板状基板1の先端部に形成された流体温度検出用ダイアフラム42に配設されている。また、溝方向を検出通路33の軸心と平行とする溝38が支持体36Aの先端側に下流側端から上流側端に至るように延設され、凹部37が支持体36Aの根元側から溝38に至るように形成されている。
なお、検出素子40Aは、発熱体4と流体温度検出体5との形成位置が異なる点を除いて、実施の形態1による検出素子40と同様に構成されている。また、支持体36Aは、凹部37および溝38の形成位置が異なる点を除いて、実施の形態1による支持体36と同様に構成されている。
【0032】
この支持体36Aは、検出通路33内に延出するようにベース部材35に取り付けられ、検出通路33の軸心(図6中紙面と垂直な方向で、計測流体の流れ方向6に一致する)を通り、該軸心と直交する検出通路33の通路断面を2分するように配置されている。そして、検出素子40Aが、その表面を支持体36Aの主面とほぼ同じ面位置となるように凹部37内に配設されている。この時、検出素子40Aの先端部は溝38上に位置している。即ち、検出素子40Aの先端部は支持体36aに支持されず、片持ちの形態をなしている。そして、流体温度検出用ダイアフラム42が溝38上に位置している。
なお、他の構成は上記実施の形態1と同様に構成されている。
【0033】
この実施の形態2においても、溝38が流体温度検出体5の下部側を通るように支持体36Aに形成されているので、上記実施の形態1と同様に、流体温度検出体5の検出温度が計測流体の温度変化に速やかに追従されるようになり、計測流体の温度が変化しても、発熱体4の温度を計測流体の温度に対して所定温度だけ高い平均温度に制御することができる。
また、流体温度検出体5の形成領域が流体温度検出用ダイアフラム42を構成しているので、流体温度検出体5の形成領域の熱容量が小さくなるとともに、流体温度検出体5が周囲の平板状基板1と熱絶縁される。
また、溝38が上流側端から下流側端に至るように支持体36に形成されているので、計測流体を流体温度検出体5の裏面側に淀みなく、多量に供給でき、計測流体の温度が変化しても、計測流体の真の温度を流体温度検出体5により検出できるようになる。
【0034】
また、支持体36Aが検出通路33の流路断面を2分するように配設されているので、計測流体に流れに偏流があっても、流速分布が均一化され、流量検出精度が向上される。
また、支持体36Aの先端面(図6中下方向の端面)が検出通路33内に露出していないので、計測流体が流れの乱れを生じることなく発熱体5に導かれるようになり、乱れの少ない安定した流量検出信号が得られる。
【0035】
さらに、検出素子40Aが流体温度検出体5の形成領域を含む先端側を溝38上に位置して、片持ちの形態をなして支持体36Aに支持されているので、流体温度検出体5近傍と支持体36Aとの間に空間が形成され、流体温度検出体5による温度検出に対する支持体36Aの熱容量の影響を著しく低減される。そこで、計測流体の温度が変化しても、速やかに、かつ、正確な流量検出信号を得ることができる。
【0036】
なお、上記各実施の形態では、溝38が支持体36(36A)の上流側端から下流側端に至るように形成されているものとしているが、溝38は必ずしも支持体36(36A)の計測流体の流れ方向の全域にわたって形成される必要はなく、例えば流体温度検出用ダイアフラム42の下部を通り、流体温度検出用ダイアフラム42の計測流体の流れ方向の上流側および下流側に開口するように溝を設けてもよい。この場合、計測流体は、流体温度検出用ダイアフラム42の上流側の溝開口から流入し、流体温度検出用ダイアフラム42の下部に導かれて強制対流熱伝達によって流体温度検出用ダイアフラム42を計測流体の温度になじませ、その後流体温度検出用ダイアフラム42の下流側の溝開口から流出することになる。
【0037】
また、溝38の計測流体の流れ方向の下流側が支持体36(36A)の下流側端に至るように形成されていなくても、溝38の計測流体の流れ方向の上流側が支持体36(36A)の上流側端に至るように形成されていれば、計測流体がスムーズに溝内に導かれるので、流体温度検出用ダイアフラム42の下流側の溝開口から計測流体の流出が促進され、溝内の計測流体のよどみが防止される。これにより、主通路29内を流通する計測流体の温度が変化しても、溝内を流通する計測流体の温度が時間差なく変化するようになる。
【0038】
また、溝38の計測流体の流れ方向の上流側が支持体36(36A)の上流側端に至るように形成されていなくても、溝38の計測流体の流れ方向の下流側が支持体36(36A)の下流側端に至るように形成されていれば、計測流体がスムーズに溝から流出されるので、流体温度検出用ダイアフラム42の上流側の溝開口から計測流体の溝内への流れ込みが促進され、溝内の計測流体のよどみが防止される。これにより、主通路29内を流通する計測流体の温度が変化しても、溝内を流通する計測流体の温度が時間差なく変化するようになる。
【0039】
本発明は、溝38を用いて計測流体を流体温度検出体5の形成領域下部に導き、強制対流熱伝達によって流体温度検出体5の形成領域を計測流体の温度に速やかになじませるものである。従って、上記各実施の形態では、支持体36(36A)の主面と検出通路33の軸心との間の角度θが7度となるように支持体36(36A)を配設するものとしているが、計測流体が溝38内を流通すればよく、角度θは7度に限定されるものではない。例えば、角度θを45度とすれば、角度θが90度の場合(支持体の主面を計測流体の流れに直交させた場合)に比べ、計測流体の風圧に起因するダイアフラムの損傷、および、発熱体形成領域でのダスト堆積に起因する検出流量のドリフトを著しく抑えることができる。なお、ダイアフラムの長寿命化と検出精度の高精度化とが望まれる流量センサにおいては、0度≦θ≦30度とすることが望ましい。
【0040】
また、上記各実施の形態では、流体温度検出体5が流体温度検出用ダイアフラム42に形成されているものとしているが、感熱式流量センサの用途によっては、溝38により流体温度検出体5の形成領域の裏面側にも計測流体が流通できるように構成されていれば、流体温度検出用ダイアフラム42を形成しなくともよい。即ち、流体温度検出用ダイアフラム42がない場合には、平板状基板1の熱容量が影響して、計測流体の温度変化に対する流体温度検出体5による温度検出の追従性を低下させることになるが、計測流体が溝38を通って流体温度検出体5の形成領域の裏面側に流されることで、温度検出の追従性の低下が抑えられることになる。
【0041】
さらに、上記各実施の形態では、流量検出用ダイアフラム12に1つの発熱体4を形成し、発熱体4への通電電流によって計測流体の流量を検出する感熱式流量センサについて説明したが、計測流体への伝熱現象によって流量や流速を計測するダイアフラム形式の感熱式流量センサであれば、他の形式のものでも良い。例えば、発熱体の上流や下流に測温抵抗体を配置し、測温抵抗体の温度差を検出する形式でも良いし、上下流に複数の発熱体を配置し、各発熱体への通電電流の差を検出する形式のものであっても良い。
【0042】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
【0043】
この発明によれば、感熱抵抗膜よりなる発熱体および流体温度検出体が平板状基板の表面に互いに離間して形成され、流量検出用ダイアフラムが該発熱体形成領域下部にある該平板状基板を裏面側から部分的に除去して形成されている検出素子と、上記検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が計測流体の流れ方向に対して所定の角度をなして配置される支持体とを備え、上記検出素子がその表面を上記支持体の表面とほぼ同じ面位置となるように、かつ、上記発熱体と上記流体温度検出体との配列方向を上記計測流体の流れ方向に対して直交するように上記凹部内に収納されて上記支持体に支持されている感熱式流量センサであって、溝方向を上記計測流体の流れ方向とする溝が、上記支持体の上記計測流体の流れ方向の上流側端部から、上記検出素子の上記流体温度検出体の形成領域下部を通り、下流側端部に至るように上記支持体に設けられている。これにより、計測流体が流体温度検出体の形成領域下部に導かれ、強制対流熱伝達により流体温度検出体の形成領域が計測流体温度に速やかになじむので、流量検出信号に悪影響を与えることなく、計測流体の温度が変化しても正確な流量を計測できる感熱式流量センサが得られる。
【0044】
また、上記流体温度検出体が上記平板状基板の一端側に形成され、上記検出素子が上記流体温度検出体の形成領域を含む上記検出素子の一端部を上記溝内に延出するように上記支持体に片持ちの形態に支持されているので、流体温度検出体による計測流体温度検出が支持体の熱容量の影響を受けにくくなり、計測流体の温度変化に対する計測流体温度検出の追従性が向上される。
【0047】
また、流体温度検出用ダイアフラムが上記流体温度検出体の形成領域下部にある該平板状基板を裏面側から部分的に除去して形成されているので、流体温度検出体の形成領域の熱容量が小さくなり、かつ、流体温度検出体が周囲の平板状基板から熱絶縁され、計測流体の温度変化に対する計測流体温度検出の追従性が向上される。
【0048】
また、上記計測流体を流通させる筒状の検出通路を備え、上記支持体が上記計測流体の流れ方向と直交する上記検出通路の通路断面を2分するように上記検出通路内に配設されているので、検出通路内を流通する計測流体の流速分布が均一化され、流量検出精度が向上される。さらに、計測流体の流れ方向と直交する方向の支持体の端面が露出していないので、計測流体を乱すことなく発熱体に導くことができ、安定した流量検出信号が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1に係る感熱式流量センサを示す正面図である。
【図2】 この発明の実施の形態1に係る感熱式流量センサを示す縦断面図である。
【図3】 図2のIII−III矢視断面図である。
【図4】 図2のIV−IV矢視断面図である。
【図5】 この発明の実施の形態1に係る感熱式流量センサに適用される検出素子を示す正面図である。
【図6】 この発明の実施の形態2に係る感熱式流量センサを示す正面図である。
【図7】 この発明の実施の形態2に係る感熱式流量センサを示す縦断面図である。
【図8】 この発明の実施の形態2に係る感熱式流量センサに適用される検出素子を示す正面図である。
【図9】 従来の感熱式流量センサに用いられる検出素子を示す平面図である。
【図10】 図9のX−X矢視断面図である。
【図11】 従来の検出素子の支持構造を示す要部斜視図である。
【図12】 感熱式流量センサに用いられる検出素子の制御回路を示す図である。
【符号の説明】
1 平板状基板、4 発熱体、5 流体温度検出体、6 計測流体の流れ方向、12 流量検出用ダイアフラム、33 検出通路、36、36A 支持体、37 凹部、38 溝、40、40A 検出素子、42 流体温度検出用ダイアフラム、100、101 感熱式流量センサ。
Claims (4)
- 感熱抵抗膜よりなる発熱体および流体温度検出体が平板状基板の表面に互いに離間して形成され、流量検出用ダイアフラムが該発熱体の形成領域下部にある該平板状基板を裏面側から部分的に除去して形成されている検出素子と、
上記検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が計測流体の流れ方向に対して所定の角度をなして配置される支持体とを備え、
上記検出素子がその表面を上記支持体の表面とほぼ同じ面位置となるように、かつ、上記発熱体と上記流体温度検出体との配列方向を上記計測流体の流れ方向に対して直交するように上記凹部内に収納されて上記支持体に支持されている感熱式流量センサであって、
溝方向を上記計測流体の流れ方向とする溝が、上記支持体の上記計測流体の流れ方向の上流側端部から、上記検出素子の上記流体温度検出体の形成領域下部を通り、下流側端部に至るように上記支持体に設けられていることを特徴とする感熱式流量センサ。 - 上記流体温度検出体が上記平板状基板の一端側に形成され、上記検出素子が上記流体温度検出体の形成領域を含む上記検出素子の一端部を上記溝内に延出するように上記支持体に片持ちの形態に支持されていることを特徴とする請求項1記載の感熱式流量センサ。
- 流体温度検出用ダイアフラムが上記流体温度検出体の形成領域下部にある該平板状基板を裏面側から部分的に除去して形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の感熱式流量センサ。
- 上記計測流体を流通させる筒状の検出通路を備え、上記支持体が上記計測流体の流れ方向と直交する上記検出通路の通路断面を2分するように上記検出通路内に配設されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の感熱式流量センサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001155299A JP3671393B2 (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 感熱式流量センサ |
US10/121,713 US6679114B2 (en) | 2001-05-24 | 2002-04-15 | Thermosensitive flow rate sensor |
DE10221615A DE10221615B4 (de) | 2001-05-24 | 2002-05-15 | Thermosensitiver Flussratensensor |
KR10-2002-0027848A KR100464768B1 (ko) | 2001-05-24 | 2002-05-20 | 유량센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001155299A JP3671393B2 (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 感熱式流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002350204A JP2002350204A (ja) | 2002-12-04 |
JP3671393B2 true JP3671393B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=18999520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001155299A Expired - Lifetime JP3671393B2 (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 感熱式流量センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6679114B2 (ja) |
JP (1) | JP3671393B2 (ja) |
KR (1) | KR100464768B1 (ja) |
DE (1) | DE10221615B4 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1253409A1 (de) * | 2001-04-26 | 2002-10-30 | Endress + Hauser Flowtec AG | Magnetkreisanordnung für einen Messwertaufnehmer |
JP4166705B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2008-10-15 | 三菱電機株式会社 | 空気流量測定装置 |
JP4404104B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2010-01-27 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP5183164B2 (ja) * | 2007-11-19 | 2013-04-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
US8235589B1 (en) * | 2009-07-08 | 2012-08-07 | Murray F Feller | Specific heat measurement probe |
DE102009054082A1 (de) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Mahle International Gmbh | Messvorrichtung, Frischluftkanal, Frischluftanlage und Strömungsführungselement |
ES2362593B1 (es) * | 2010-12-27 | 2012-04-19 | Universidad De M�?Laga | Aparato y procedimiento antivaho predictivo. |
DE102012009421A1 (de) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Strömungssensor |
JP5662382B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2015-01-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5313832A (en) * | 1991-12-23 | 1994-05-24 | Ford Motor Company | Composite mass air flow sensor |
DE19524634B4 (de) * | 1995-07-06 | 2006-03-30 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
JPH102773A (ja) | 1996-06-19 | 1998-01-06 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
JP3335860B2 (ja) * | 1997-01-16 | 2002-10-21 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計 |
JPH10221142A (ja) * | 1997-02-03 | 1998-08-21 | Omron Corp | 半導体フローセンサ |
JP3416526B2 (ja) * | 1998-05-21 | 2003-06-16 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
JP3404300B2 (ja) | 1998-10-28 | 2003-05-06 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
JP3545637B2 (ja) * | 1999-03-24 | 2004-07-21 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
US6615655B1 (en) * | 2000-05-19 | 2003-09-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Heat-sensitive type flow rate detecting element and holder therefor |
-
2001
- 2001-05-24 JP JP2001155299A patent/JP3671393B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-04-15 US US10/121,713 patent/US6679114B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-15 DE DE10221615A patent/DE10221615B4/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-20 KR KR10-2002-0027848A patent/KR100464768B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020174718A1 (en) | 2002-11-28 |
DE10221615A1 (de) | 2003-01-02 |
US6679114B2 (en) | 2004-01-20 |
DE10221615B4 (de) | 2010-03-04 |
JP2002350204A (ja) | 2002-12-04 |
KR20020090300A (ko) | 2002-12-02 |
KR100464768B1 (ko) | 2005-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100300532B1 (ko) | 감열식 유량센서 | |
KR100323312B1 (ko) | 유량센서 | |
KR100488213B1 (ko) | 열식공기유량계 | |
JP3335860B2 (ja) | 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計 | |
KR100324840B1 (ko) | 감열식유량센서 | |
US6079264A (en) | Thermal flow sensor supporting element having a gradually increased portion between its distal ends | |
KR20010014671A (ko) | 감열식 유량센서 | |
US6675644B2 (en) | Thermo-sensitive flow rate sensor | |
JP3671393B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
JP2002188947A (ja) | 流量測定装置 | |
US6725716B1 (en) | Thermo-sensitive flow rate sensor and method of manufacturing the same | |
KR100849011B1 (ko) | 감열식 유량 센서의 유량 검출 소자 | |
KR100323315B1 (ko) | 감열식 유량센서 | |
JP3331814B2 (ja) | 感熱式流量検出装置 | |
JP2005024400A (ja) | 感熱式流量検出素子およびその製造方法 | |
US6470743B2 (en) | Heat-sensitive flow rate sensor | |
US4761995A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity and response speed | |
WO2002103301A1 (fr) | Instrument de mesure de debit d'une resistance thermique | |
JP6739525B2 (ja) | 湿度測定装置 | |
JP4435374B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JPH09236465A (ja) | 発熱抵抗式空気流量測定装置 | |
JPH04291115A (ja) | 熱式空気流量計 | |
JPH0835870A (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP2001317976A (ja) | 流量測定装置 | |
JPH07333025A (ja) | 熱式空気流量検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050408 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3671393 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080428 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090428 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110428 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120428 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120428 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |